一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法

摘要

本发明公开了一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，包括以下步骤：(1)切割基片，使基片成型；(2)镀前对基片进行超声波清洗；(3)电焊护目镜滤光片的膜层的镀制：(4)检测环节：采用晶振法监控。本发明镀膜方法将硫化锌、银这两种材料采用电子束蒸发方式制成的，电子束的优点是对膜料扫描功率高，膜层与基片的附着力好，通过采用上述工艺调整杜绝了镀膜过程中膜料造成的“溅点”和“膜料被击穿”等异常现象。

权利要求

1.一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)切割基片，使基片成型；

(2)镀前对基片进行超声波清洗；

(3)电焊护目镜滤光片的膜层的镀制：使用的膜料为氧化铝、银和硫化锌，膜料的预熔为采用三个坩埚逐次预熔，镀膜方式采用电子束镀膜，镀制过程采用两种过程，首先是上述膜料的沉积过程，其次是等离子源的辅助轰击过程；

(4)检测环节：采用晶振法监控；

通过上述的过程制成成品滤光片；

步骤(2)中的超声波清洗包括以下步骤：

对一号清洗槽加入20L纯水与500g草酸，控制药液温度45℃±2℃，对三号清洗槽加入

20L纯水与500g活性剂，控制药液温度45℃±2℃，对五号与六号槽各加入60L纯水与4升C15清洗剂，控制药液温度45℃±2℃；

二号与四号清洗槽用常温纯水漂洗，八号、九号、十号、十一号清洗槽用50℃±2℃纯水漂洗；

十二号纯水慢拉烘干槽，纯水温度60℃±2℃，十三、十四号槽热风烘干，温度65℃±2℃，十五号槽常温去离子烘干；

将插好基片的清洗网放入一号清洗槽开始清洗，按照一号至六号、八号至十五号清洗槽的顺序依次清洗，清洗速度为每5分钟一个槽，直到最后一槽结束；

超声波的功率为700W；

频率值的设定为28KHZ～40KHZ。

2.如权利要求1所述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其特征在于，步骤(3)中，三种膜料沉积过程中，电子束的技术参数如下：硫化锌  放电功率 5.5-6.0KW  沉积速率 5nm/s  偏转电流  0.5-1.2A；

银      放电功率 7.5-8.0KW  沉积速率 6nm/s  偏转电流  0.5-1.2A；

氧化铝  放电功率 7.5-8.0KW  沉积速率 6nm/s  偏转电流  0.5-1.2A。

说明书

一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种滤光片的镀膜方法，尤其是涉及一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法。

背景技术

[0002] 公告号为CN2486990，名为“硬膜型电焊护目滤光片”的中国专利公开了一种电焊护目滤光片的膜系结构，但是在实际使用过程中发现，该膜层与基片的附着力不佳，特别是在恶劣环境下，如高温环境或低温环境下，膜层容易发生脱落，大大影响了护目镜的护目效果。

发明内容

[0003] 本发明的目的，就是为了解决上述问题而提供了一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，对应用在恶劣环境条件下，有效提高膜层的附着力。

[0004] 本发明的目的是这样实现的：

[0005] 本发明的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，包括以下步骤：

[0006] (1)切割基片，使基片成型；

[0007] (2)镀前对基片进行超声波清洗；

[0008] (3)电焊护目镜滤光片的膜层的镀制：使用的膜料为氧化铝、银和硫化锌，膜料的预熔为采用三个坩埚逐次预熔，镀膜方式采用电子束镀膜，镀制过程采用两种过程，首先是上述膜料的沉积过程，其次是等离子源的辅助轰击过程；

[0009] (4)检测环节：采用晶振法监控；

[0010] 通过上述的过程制成成品滤光片。

[0011] 上述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其中，步骤(2)中的超声波清洗包括以下步骤：

[0012] 对一号清洗槽加入20L纯水与500g草酸，控制药液温度45℃±2℃，对三号 清洗槽加入20L纯水与500g活性剂，控制药液温度45℃±2℃，对五号与六号槽各加入60L纯水与4升C15清洗剂，控制药液温度45℃±2℃；

[0013] 二号与四号清洗槽用常温纯水漂洗，八号、九号、十号、十一号清洗槽用50℃±2℃纯水漂洗；

[0014] 十二号纯水慢拉烘干槽，纯水温度60℃±2℃，十三、十四号槽热风烘干，温度65℃±2℃，十五号槽常温去离子烘干；

[0015] 将插好基片的清洗网放入一号清洗槽开始清洗，按照一号至十五号清洗槽的顺序依次清洗，清洗速度为每5分钟一个槽，直到最后一槽结束；

[0016] 超声波的功率为700W；

[0017] 频率值的设定为28KHZ～40KHZ。

[0018] 上述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其中，步骤(3)中，采用三个坩埚进行逐次预熔，其中电子束技术参数设定如下：

[0019]

[0020] 上述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其中，步骤(3)中，三种膜料沉积过程中，电子束的技术参数如下：

[0021]

[0022] 现有生产工艺中硫化锌、银这两种材料是用电阻蒸发方式制成的，电阻蒸发不足之处是功率小对膜料的加温不够(功率电流400A)，由此造成了膜层与基片的附着力不足，本发明镀膜方法将硫化锌、银这两种材料采用电子束蒸发方式制成的，电子束的优点是对膜料扫描功率高(局部温度800℃)，膜层与基片的附着力好，通过采用上述工艺调整杜绝了镀膜过程中膜料造成的“溅点”和“膜料被击穿”等异常现象。

具体实施方式

[0023] 下面将结合实施例，对本发明作进一步说明。

[0024] 本发明电焊护目镜滤光片的镀膜方法，包括以下步骤：

[0025] (1)切割基片，使基片成型；

[0026] (2)镀前对基片进行超声波清洗；

[0027] (3)电焊护目镜滤光片的膜层的镀制：使用的膜料为氧化铝、银和硫化锌，膜料的预熔为采用三个坩埚逐次预熔，镀膜方式采用电子束镀膜，镀制过程采用两种过程，首先是上述膜料的沉积过程，其次是等离子源的辅助轰击过程；

[0028] (4)检测环节：采用晶振法监控；

[0029] 通过上述的过程制成成品滤光片。

[0030] 上述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其中，步骤(2)中的超声波清洗包括以下步骤：

[0031] 对一号清洗槽加入20L纯水与500g草酸，控制药液温度45℃±2℃，对三号清洗槽加入20L纯水与500g活性剂，控制药液温度45℃±2℃，对五号与六号槽各加入60L纯水与4升C15清洗剂，控制药液温度45℃±2℃；

[0032] 二号与四号清洗槽用常温纯水漂洗，八号、九号、十号、十一号清洗槽用50℃±2℃纯水漂洗；

[0033] 十二号纯水慢拉烘干槽，纯水温度60℃±2℃，十三、十四号槽热风烘干，温度65℃±2℃，十五号槽常温去离子烘干；

[0034] 将插好基片的清洗网放入一号清洗槽开始清洗，按照一号至十五号清洗槽的顺序依次清洗，清洗速度为每5分钟一个槽，直到最后一槽结束；

[0035] 超声波的功率为700W；

[0036] 频率值的设定为28KHZ～40KHZ。

[0037] 上述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其中，步骤(3)中，采用三个坩埚进行逐次预熔，其中电子束技术参数设定如下：

[0038]

[0039] 上述的一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其中，步骤(3)中，三种膜料沉积过程中，电子束的技术参数如下：

[0040]

[0041]

[0042] 由于电焊护目镜滤光片使用的环境比较恶劣，所以对膜层各项性能在镀制过程中采取以上所介绍的几项工艺创新，而且在膜层附着力性能检测方面也制定了一系列规范的检验，合格后才能出厂。

[0043] 高温实验

[0044] 实验条件：温度60℃ 120H

[0045] 实验设备：高低温实验机ETH-150-40-CP-SD(苏州巨孚仪器有限公司)[0046] 镀膜材料：氧化铝、硫化锌、银

[0047] 测试仪器：岛津UV-1700

[0048]

[0049] 低温实验

[0050] 实验条件：温度-40℃ 120H

[0051] 实验设备：高低温实验机ETH-150-40-CP-SD(苏州巨孚仪器有限公司)[0052] 镀膜材料：氧化铝、硫化锌、银

[0053] 测试仪器：岛津UV-1700

[0054]

[0055] 高低温实验

[0056] 实验条件：温度60℃变化-40℃ (1.5H)100次循环

[0057] 实验设备：高低温实验机ETH-150-40-CP-SD(苏州巨孚仪器有限公司)[0058] 镀膜材料：氧化铝、硫化锌、银

[0059] 测试仪器：岛津UV-1700

[0060]

[0061] 高温高湿实验

[0062] 实验条件：温度60℃ 湿度90％ 120H

[0063] 实验设备：高低温实验机ETH-150-40-CP-SD(苏州巨孚仪器有限公司)[0064] 镀膜材料：氧化铝、硫化锌、银

[0065] 测试仪器：岛津UV-1700

[0066]

[0067] 通过上述检测可见，本发明镀膜方法制得的电焊护目镜滤光片，其膜层与基片的附着力极佳，特别是在恶劣环境下也依然保持较高的附着力，大大保障了电焊护目镜的护目效果。

[0068] 以上实施例仅供说明本发明之用，而非对本发明的限制，有关技术领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本发明的范畴，应由各权利要求所限定。