元件安装装置

摘要

本发明提供一种能够获取吸附部的加速度的元件安装装置。具有：基台(41)；吸附头(60)，吸附元件并将元件安装到基板上；X、Y机器人，安装在基台(41)上并使吸附头(60)移动；加速度获取部件(90)，获取通过X、Y机器人使吸附头(60)移动时的、吸附头(60)部位的加速度。加速度获取部件(90)以能够与吸嘴(65)互换的方式安装在吸附头(60)上。

权利要求

1.一种元件安装装置，其中，具有：基台；

吸附部，吸附元件并将所述元件安装到基板上；

吸附部移动装置，安装在所述基台上并使所述吸附部移动；

加速度获取部，获取通过所述吸附部移动装置使所述吸附部移动时的、所述吸附部部位的加速度，所述吸附部由吸附所述元件的吸嘴和安装有该吸嘴并安装在所述吸附部移动装置上的吸附头构成，所述加速度获取部以能够与所述吸嘴互换的方式安装在所述吸附头上。

2.一种元件安装装置，其中，具有：基台；

吸附部，吸附元件并将所述元件安装到基板上；

吸附部移动装置，安装在所述基台上并使所述吸附部移动；

加速度获取部，获取通过所述吸附部移动装置使所述吸附部移动时的、所述吸附部部位的加速度，所述吸附部由吸附所述元件的吸嘴和安装有该吸嘴并安装在所述吸附部移动装置上的吸附头构成，所述加速度获取部以能够与所述吸附头互换的方式安装在所述吸附部移动装置上。

3.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，所述加速度获取部以能够拆装的方式安装在所述基台、或一体安装于所述基台的部件上。

4.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，在所述基台上安装有搬运所述基板的基板搬运装置，所述基板搬运装置能够搬运所述加速度获取部。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的元件安装装置，其中，具有：振动分析部，在通过所述吸附部移动装置使所述吸附部移动时，基于由所述加速度获取部获取的加速度，对因所述吸附部的移动所产生的振动进行分析；及振动抑制部，基于由所述振动分析部分析出的分析结果，控制所述吸附部移动装置，抑制所述振动。

说明书

元件安装装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种将元件安装到基板上的元件安装装置。

背景技术

[0002] 元件安装装置用于通过吸嘴等吸附部吸附元件并将其安装到基板上。为了提高将元件安装到基板上的安装精度，需要提高吸附部前端的定位精度。吸附部通过X、Y机器人进行移动，而伴随吸附部的移动，吸附部会产生振动。

[0003] 因此，一直以来，通过反馈控制来抑制吸附部的振动。但是，存在即使执行反馈控制也无法充分抑制吸附部的振动的问题。

[0004] 因此，如专利文献1所示，提出了一种检测元件安装装置主体的加速度并基于该加速度对吸附部的移动进行前馈控制的技术。

[0005] 专利文献1：日本特开2009－217329号公报

发明内容

[0006] 但是，在专利文献1所示的技术中，只能获取元件安装装置主体的加速度。因此，由于不是基于吸附部的加速度而是基于元件安装装置主体的加速度对吸附部的移动进行前馈控制，因此，存在无法充分抑制吸附部的振动的问题。

[0007] 本发明鉴于上述情况而完成，其目的在于提供一种能够获取吸附部的加速度的元件安装装置。

[0008] 为了解决上述课题而作出的第一方面的发明具有：基台；吸附部，吸附元件并将上述元件安装到基板上；吸附部移动装置，安装在上述基台上并使上述吸附部移动；加速度获取部，获取通过上述吸附部移动装置使上述吸附部移动时的、上述吸附部部位的加速度。

[0009] 由此，能够提供一种能够获取吸附部的加速度的元件安装装置。而且，由于加速度获取部获取吸附部移动时的、吸附部部位的加速度，因此，通过分析吸附部部位的加速度，能够得到吸附部部位的固有振动频率等对抑制吸附部的振动起作用的信息。因此，能够基于该信息进行抑制吸附部的振动的控制。

[0010] 第二方面的发明根据第一方面所述的发明，上述吸附部由吸附上述元件的吸嘴和安装有该吸嘴并安装在上述吸附部移动装置上的吸附头构成，上述加速度获取部以能够与上述吸嘴互换的方式安装在上述吸附头上。

[0011] 这样一来，加速度获取部以能够与吸嘴互换的方式安装在吸附头上。由此，通过代替吸嘴而将加速度获取部安装在吸附头上，能够容易地获取吸附部部位的加速度。

[0012] 第三方面的发明根据第一方面的发明，上述吸附部由吸附上述元件的吸嘴和安装有该吸嘴并安装在上述吸附部移动装置上的吸附头构成，上述加速度获取部以能够与上述吸附头互换的方式安装在上述吸附部移动装置上。

[0013] 这样一来，加速度获取部以能够与吸附头互换的方式安装在吸附部移动装置上。由此，通过代替吸附头而将加速度获取部安装在吸附部移动装置上，能够容易地获取吸附部部位的加速度。

[0014] 第四方面的发明根据第二方面的发明，上述加速度获取部以能够拆装的方式安装在上述基台、或一体安装于上述基台的部件上。

[0015] 由此，能够容易地将加速度获取部安装在基台、或一体安装于基台的部件上。因此，能够容易地获取吸附部移动时的基台侧的加速度。而且，通过分析基台侧的加速度，能够得到基台侧的固有振动频率等对抑制吸附部的振动起作用的信息。因此，能够结合对抑制吸附部部位的吸附部的振动起作用的信息，并基于对抑制基台侧的吸附部的振动起作用的信息，进行进一步抑制吸附部的振动的控制。

[0016] 第五方面的发明根据第二方面的发明，在上述基台上安装有搬运上述基板的基板搬运装置，上述基板搬运装置能够搬运上述加速度获取部。

[0017] 由此，通过基板搬运装置搬运加速度获取部，并使其在元件安装装置内停止，通过吸附部移动装置移动吸附部，由此能够容易地获取吸附部移动时的基台侧的加速度。而且，通过分析基台侧的加速度，能够获取基台侧的固有振动频率等对抑制吸附部的振动起作用的信息。因此，能够结合对抑制吸附部部位的吸附部的振动起作用的信息，基于对抑制基台侧的吸附部的振动起作用的信息，进行进一步抑制吸附部的振动的控制。

[0018] 第六方面的发明根据第一～第五方面的任一方面所述的发明，具有：振动分析部，在通过上述吸附部移动装置使上述吸附部移动时，基于由上述加速度获取部获取的加速度，对因上述吸附部的移动所产生的振动进行分析；及振动抑制部，基于由上述振动分析部分析出的分析结果，控制上述吸附部移动装置，抑制上述振动。由此，能够抑制伴随吸附部的移动而产生的吸附部的振动。

附图说明

[0019] 图1是元件安装装置的立体图。

[0020] 图2是示意性地对吸附头的吸嘴座的一部分、吸嘴及压力源进行说明的图。

[0021] 图3是加速度获取部件的立体图。

[0022] 图4是第一实施方式的第一固有振动频率获取处理的流程图。

[0023] 图5是第二实施方式的第一固有振动频率获取处理的流程图。

[0024] 图6是第一实施方式的第二固有振动频率获取处理的流程图。

[0025] 图7是第二实施方式的第二固有振动频率获取处理的流程图。

[0026] 图8是表示振动抑制部的框图。

[0027] 图9是另一实施方式的加速度获取部件的立体图。

具体实施方式

[0028] (元件安装装置)

[0029] 以下，使用图1对元件安装装置100进行说明。如图1所示，元件安装装置100具有基板搬运装置10、元件供给装置20、元件安装部40、控制部50及吸嘴收容部件70。此外，在以下的说明中，将基板的搬运方向设为X轴方向。而且，在水平面上，将与X轴方向正交的方向设为Y轴方向。另外，将与X轴方向及Y轴方向正交的铅垂方向设为Z轴方向。

[0030] 在元件安装装置100的前部，沿X轴方向并列设置有多个槽22。元件供给装置20由以能够拆装的方式安装在各槽22内的多个供料器21构成。在供料器21上以能够拆装的方式保持有带盘23。在带盘23上卷绕有带件，该带件将多个元件收容成一列。

[0031] 带齿卷盘(未图示)以能够旋转的方式支撑在供料器21的内部。带齿卷盘的外周部与形成在带件上的输送孔卡合。在供料器21上设有作为使带齿卷盘旋转的驱动源的伺服马达(未图示)。

[0032] 通过带齿卷盘的旋转，逐个间距地送出卷绕在带盘23上的带件。于是，对设在供料器21的前端部的元件供给部21a依次供给收容在带件上的元件。

[0033] 基板搬运装置10将基板沿X轴方向依次搬运至下游侧的元件安装装置100，并且，定位固定(夹持)在所搬运的元件安装装置100内的安装位置。本实施方式中，在元件安装部40的基台41上，沿Y轴方向并列设置有两个基板搬运装置10。基板搬运装置10具有一对导轨
11a、11b和一对输送带(未图示)。

[0034] 导轨11a、11b在基台41上相互平行地相向并分别沿水平方向并列设置。一对输送带配置在一对导轨11a、11b的内侧。由一对输送带支撑并搬运由导轨11a、11b分别引导的基板。

[0035] 各元件安装装置100以基板搬运装置10沿X方向连续的方式彼此相邻地配置。而且，各元件安装装置100的基板搬运装置10相互联动地动作，并将各基板依次送入到下游侧的基板搬运装置10上，并定位保持在预定位置。

[0036] 在基板搬运装置10上安装有安装部12。安装部12为在其上端具有水平面的板状或块状，并由透磁力较大的铁等软磁性材料构成。

[0037] 元件安装部40具有导轨42、Y轴滑动件43、Y伺服马达44、X轴滑动件45、X伺服马达46(如图8所示)、X伺服放大器48(如图8所示)、Y伺服放大器49(如图8所示)、吸嘴65及吸附头60。

[0038] 由导轨42、Y轴滑动件43、Y伺服马达44及Y伺服放大器49构成Y机器人。导轨42沿Y轴方向架设在基台41上并配置在基板搬运装置10的上方。Y轴滑动件43以能够沿导轨42在Y轴方向上移动的方式设置。Y轴滑动件43通过具有与Y伺服马达44的输出轴连结的滚珠丝杠的滚珠丝杠机构沿Y轴方向移动。

[0039] 由X轴滑动件45、X伺服马达46及X伺服放大器48构成X机器人。X轴滑动件45以能够沿X轴方向移动的方式设在Y轴滑动件43上。在Y轴滑动件43上设有X伺服马达46。通过与该X伺服马达46的输出轴连结的省略图示的滚珠丝杠机构，使X轴滑动件45沿X轴方向移动。通过上述的X机器人及Y机器人，构成权利要求书中所述的“吸附部移动装置”。

[0040] 在X轴滑动件45上以能够拆装的方式安装有吸附头60。以下，使用图1及图2对吸附头60及吸嘴65进行说明。如图1所示，在吸附头60上设有向下方突出的单个或多个吸嘴座61及摄像装置67。在吸嘴座61上以能够拆装的方式安装有吸嘴65。

[0041] 如图2所示，吸嘴座61由支撑主体部611和吸嘴安装部615构成。支撑主体部611由内管618和在内管618的外侧与内管618同轴配置的外管619构成。在内管618和外管619之间形成有供给负压空气的负压空气流路612。在内管618的内侧形成有供给负压空气的空气流路613。

[0042] 吸嘴安装部615结合在支撑主体部611的下侧，下表面为平面状。负压空气流路612与从吸嘴安装部615的下表面周边朝下方开口的吸嘴吸附孔616连通。另外，内侧的空气流路613与从吸嘴安装部615的下表面中央朝下方开口的供给孔617连通。

[0043] 吸嘴65由安装台651、连结部654及吸引部657构成。安装台651为圆盘状。在安装台651的中央形成有沿上下方向贯通的供给孔652。安装台651与吸嘴座61的吸嘴安装部615相向配置。而且，安装台651的上表面吸附在吸嘴安装部615的吸嘴吸附孔616，安装台651的供给孔652与吸嘴安装部615的供给孔617连通。

[0044] 连结部654为筒状。连结部654与安装台651的下方结合并朝下方延伸。在连结部654的内周侧形成有与安装台651的供给孔652连通的空气流路655。

[0045] 吸引部657以相对于连结部654相对地上下移动的方式配置在连结部654的下侧。在吸引部657的中央形成有沿上下方向贯通的吸附孔658，吸附孔658与连结部654的空气流路655连通。另外，在连结部654的内周侧保持有螺旋状的弹簧部件659。弹簧部件659向使吸引部657相对于安装台651向下方离开的一侧施力。通过弹簧部件659，在吸引部657抵接并吸附于元件时，相对于连结部654相对上升，并缓和施加到元件上的冲击力。

[0046] 压力源80为吸嘴65吸附及安装元件时的驱动源。图2中示例的压力源80由真空泵81及两个电磁阀82、83构成。

[0047] 真空泵81的吸入侧成为负压。该负压的空气经由连通状态的电磁阀82供给到吸嘴座61的支撑主体部611的负压空气流路612，而且，供给至吸嘴安装部615的吸嘴吸附孔616。由此，吸嘴座61能够在吸嘴安装部615吸附并安装吸嘴65。另外，在通过电磁阀82封闭负压时，负压空气流路612和吸嘴吸附孔616向大气开放。由此，吸嘴65从吸嘴安装部615离开。

[0048] 进而，负压的空气经由连通状态的电磁阀83，并经由固定节流阀87，供给到吸嘴座61的支撑主体部611的空气流路613。该负压的空气从吸嘴安装部615的供给孔617经由吸嘴
65的安装台651的供给孔652和连结部654的空气流路655，供给至吸引部657的吸附孔658。
由此，吸嘴65能够通过吸引部657吸附元件。

[0049] 摄像装置67用于拍摄吸附头60的下方，并对控制部50输出摄像图像。

[0050] 控制部50用于进行元件安装装置100的总体控制。控制部50具有由CPU、RAM、ROM、非易失性存储器等构成的“存储部”(均未图示)。CPU执行程序。RAM用于临时存储执行该程序所需的变量。“存储部”存储上述程序。控制部50通过对供料器21、基板搬运装置10及元件安装部40的各伺服马达、真空泵81、电磁阀82、83输出指令，对这些装置进行控制。

[0051] 吸嘴收容部件70设在元件供给装置20和基板搬运装置10之间。在本实施方式中，吸嘴收容部件70能够拆卸。在吸嘴收容部件70的上表面形成有多个收容部70a。在该收容部70a中收容有多种吸嘴65。通过X机器人及Y机器人，使吸附头60移动至吸嘴收容部件70，由此，能够将安装在吸附头60上的吸嘴65取下并收容在收容部70a内，并且，将收容在收容部
70a内的吸嘴65安装在吸附头60上进行互换。

[0052] 通过Y机器人和X机器人，使吸嘴65移动到元件供给部21a上，该吸嘴65吸附供给到元件供给部21a的元件。而且，通过Y机器人和X机器人，使吸嘴65移动到基板搬运装置10上，吸嘴65将元件安装到基板上。

[0053] (加速度获取部件)

[0054] 以下，使用图3对加速度获取部件90进行说明。加速度获取部件90由主体部91、加速度传感器92、通信部93、蓄电池94、磁铁95构成。主体部91为块状。在本实施方式中，主体部91为大致圆柱形状。在主体部91的上部形成有作为平面的安装面96。

[0055] 加速度传感器92安装在主体部91上并与通信部93连接。通信部93与控制部50以能够通过无线或有线进行通信的方式连接，并将由加速度传感器92检测出的加速度的检测信号发送到控制部50。蓄电池94与通信部93连接并对通信部93供给电力。

[0056] 代替图2所示的吸嘴65，而将加速度获取部件90安装在吸嘴座61上。具体来说，加速度获取部件90的安装面96与吸嘴座61的吸嘴安装部615相向配置，安装面96吸附在吸嘴安装部615的吸嘴吸附孔616上，加速度获取部件90安装在吸嘴座61上。加速度获取部件90收容在吸嘴收容部件70的收容部70a内。

[0057] (第一实施方式的第一固有振动频率获取处理)

[0058] 以下，使用图4所示的流程图对“第一实施方式的第一固有振动频率获取处理”进行说明。“第一固有振动频率获取处理”是获取使XY机器人工作时产生的、吸附头60部位(吸嘴65)的固有振动频率即“第一固有振动频率”的处理。此外，在吸嘴收容部件70的收容部70a内收容有加速度获取部件90。当“第一实施方式的第一固有振动频率获取处理”开始时，程序进入S11。

[0059] 在S11中，控制部50使X、Y机器人工作并使吸附头60移动至吸嘴收容部件70上。接下来，控制部50通过摄像装置67识别吸嘴收容部件70的收容部70a中未收容有吸嘴65或加速度获取部件90的收容部70a，取下安装在吸嘴座61上的吸嘴65后收容在该收容部70a内。接下来，控制部50通过摄像装置67识别收容在收容部70a的加速度获取部件90，并对吸嘴座
61安装加速度获取部件90。当S11结束时，程序进入S12。

[0060] 控制部50在S12中，使X、Y机器人工作，使吸附头60部位(吸嘴65部位)开始振动，并且，在S13中，基于来自加速度传感器92的检测信号，获取吸附头60部位(吸嘴65部位)的加速度。当S13结束时，程序进入S14。

[0061] 在S14中，控制部50基于在S13中获取的吸附头60部位(吸嘴65部位)的加速度，对通过伴随吸附头60的移动的反作用力而产生的吸附头60部位(吸嘴65部位)的振动进行分析，对吸附头60部位(吸嘴65部位)的固有振动频率即“第一固有振动频率”进行计算。当S14结束时，程序进入S15。

[0062] 在S15中，控制部50将在S14中算出的“第一固有振动频率”存储在“存储部”。当S15结束时，程序进入S16。

[0063] 在S16中，控制部50使X、Y机器人工作，将吸附头60移动至吸嘴收容部件70上。接下来，控制部50通过摄像装置67识别吸嘴收容部件70的收容部70a中未收容有吸嘴65或加速度获取部件90的收容部70a，将安装在吸嘴座61上的加速度获取部件90取下后收容在该收容部70a内。接下来，控制部50通过摄像装置67识别收容在收容部70a内的吸嘴65，并将吸嘴65安装在吸嘴座61上。当S16结束时，“第一固有振动频率获取处理”结束。

[0064] (第二实施方式的第一固有振动频率获取处理)

[0065] 以下，使用图5所示的流程图，对“第二实施方式的第一固有振动频率获取处理”进行说明。“第二实施方式的第一固有振动频率获取处理”为通过基板搬运装置10将收容在吸嘴收容部件70的收容部70a内的加速度获取部件90依次搬运至元件安装装置100内的安装位置而获取各元件安装装置100的“第一固有振动频率”的处理。当“第二实施方式的第一固有振动频率获取处理”开始时，程序进入S111。

[0066] 在S111中，控制部50使基板搬运装置10工作，将吸嘴收容部件70搬运至元件安装装置100内的安装位置并停止。当S111结束时，程序进入S112。

[0067] S112、S113、S114、S115、S116的处理分别与图4所示的“第一实施方式的第一固有振动频率获取处理”的S12、S13、S14、S15、S16的处理相同。当S116结束时，程序进入S117。

[0068] 在S117中，在控制部50判断为获取了全部元件安装装置100的“第一固有振动频率”的情况下(S117：“是”)，使“第一实施方式的第二固有振动频率获取处理”结束，在判断为未获取全部元件安装装置100的“第一固有振动频率”的情况下(S117：“否”)，返回到程序S110。

[0069] (第一实施方式的第二固有振动频率获取处理)

[0070] 以下，使用图6所示的流程图，对“第一实施方式的第二固有振动频率获取处理”进行说明。“第二固有振动频率获取处理”为获取使XY机器人工作时产生的、基板搬运装置10部位(基台41部位)的固有振动频率、即作为基台41侧的固有振动频率的“第二固有振动频率”的处理。当“第一实施方式的第二固有振动频率获取处理”开始时，程序进入S20。S20的处理与图4所示的“第一固有振动频率获取处理”的S11相同。当S20结束时，程序进入S21。

[0071] 在S21中，控制部50使X、Y机器人工作，并通过摄像装置67确认安装部12的位置，使吸附头60在安装部12上移动，并将安装在吸嘴座61上的加速度获取部件90载置在安装部12上。由于安装部12为软磁性材料，因此，加速度获取部件90的磁铁95吸附在安装部12上，加速度获取部件90安装在安装部12上。当S21结束时，程序进入S22。

[0072] 控制部50在S22中，通过使X、Y机器人工作，并使吸附头60振动，使基板搬运装置10部位(基台41部位)振动，在S23中，基于来自加速度传感器92的检测信号来获取基板搬运装置10部位(基台41部位)的加速度。当S23结束时，程序进入S24。

[0073] 在S24中，控制部50基于在S23中获取的基板搬运装置10部位(基台41部位)的加速度，对因伴随吸附头60的移动的反作用力而产生的基板搬运装置10部位(基台41部位)的振动进行分析，对作为基板搬运装置10部位(基台41部位)的固有振动频率的“第二固有振动频率”进行计算。当S24结束时，程序进入S25。

[0074] 在S25中，控制部50将在S24中算出的“第二固有振动频率”存储在“存储部”中。当S25结束时，程序进入S26。

[0075] S26的处理为与图4所示的“第一固有振动频率获取处理”的S16相同的处理。当S26结束时，“第一实施方式的第二固有振动频率获取处理”结束。

[0076] (第二实施方式的第二固有振动频率获取处理)

[0077] 以下，使用图7所示的流程图，对“第二实施方式的第二固有振动频率获取处理”进行说明。“第二实施方式的第二固有振动频率获取处理”为通过基板搬运装置10将收容在吸嘴收容部件70的收容部70a内的加速度获取部件90依次搬运至元件安装装置100内的安装位置而获取各元件安装装置100的“第二固有振动频率”的处理。此外，在未图示的搬运板上载置收容有加速度获取部件90的吸嘴收容部件70，并通过基板搬运装置10将搬运板依次搬运至元件安装装置100内的安装位置。当“第二实施方式的第二固有振动频率获取处理”开始时，程序进入S31。

[0078] 在S31中，控制部50使基板搬运装置10工作，并将吸嘴收容部件70搬运至元件安装装置100内的安装位置并停止。当S31结束时，程序进入S32。

[0079] 在S32中，控制部50使X、Y机器人工作，并使吸附头60振动，由此使基板搬运装置10部位(基台41部位)振动，在S33中，基于来自加速度传感器92的检测信号来获取基板搬运装置10部位(基台41部位)的加速度。当S33结束时，程序进入S34。

[0080] 在S34中，控制部50基于在S33中获取的基板搬运装置10部位(基台41部位)的加速度，对因伴随吸附头60的移动的反作用力而产生的基板搬运装置10部位(基台41部位)的振动进行分析，对基板搬运装置10部位(基台41部位)的固有振动频率即“第二固有振动频率”进行计算。当S34结束时，程序进入S35。

[0081] 在S35中，控制部50将在S34中算出的“第二固有振动频率”存储在“存储部”中。当S35结束时，程序进入S36。

[0082] 在S36中，在控制部50判断为获取了全部元件安装装置100的“第二固有振动频率”的情况下(S36：“是”)，使“第二实施方式的第二固有振动频率获取处理”结束，在判断为未获取全部元件安装装置100的“第二固有振动频率”的情况下(S36：“否”)，使程序返回到S31。

[0083] (振动抑制部)

[0084] 接下来，使用图8所示的振动抑制部200的框图，对“振动抑制控制”进行说明。“振动抑制控制”为抑制因伴随X、Y机器人的工作引起的吸附头60的移动的反作用力而产生的振动的控制。如图8所示，振动抑制部200具有位置指令部51、抑振控制部52及反馈控制部53。位置指令部51、抑振控制部52及反馈控制部53由存储在控制部50的CPU、“存储部”内的程序构成，也可以由ASIC(Application Specific Integrated Circuit)构成。

[0085] 位置指令部51输出用于使X、Y机器人工作的“位置指令”。抑振控制部52由转矩控制部52a和位置控制部52b构成。转矩控制部52a基于“位置指令”、“第一固有振动频率”及“第二固有振动频率”，将使吸附头60部位(吸嘴65部位)的振动即“第一固有振动”和基板搬运装置10部位(基台41部位)的振动即“第二固有振动”降低的“前馈转矩指令”输出到X伺服放大器48和Y伺服放大器49。

[0086] 位置控制部52b基于“位置指令”、“第一固有振动频率”及“第二固有振动频率”，将使“第一固有振动”和“第二固有振动”降低的“前馈位置指令”输出到反馈控制部53。

[0087] 反馈控制部53基于“前馈位置指令”和从X伺服马达46、Y伺服马达44输出的“反馈信号”(位置信号)，将X伺服马达46和Y伺服马达44的位置成为“前馈位置指令”的位置的“反馈转矩指令”分别输出到X伺服放大器48和Y伺服放大器49。

[0088] X伺服放大器48和Y伺服放大器49基于由“前馈转矩指令”和“反馈转矩指令”构成的“转矩指令”，生成供给到X伺服马达46和Y伺服马达44的驱动电流。

[0089] X伺服马达46和Y伺服马达44按照从X伺服放大器48和Y伺服放大器49供给的驱动电流进行动作。另外，X伺服马达46和Y伺服马达44向反馈控制部53输出“反馈信号”。

[0090] (本实施方式的效果)

[0091] 从上述的说明可知，图3所示的加速度获取部件90(加速度获取部)获取通过X、Y机器人(吸附部移动装置)使吸附头60(吸附部)移动时的、吸附头60部位的加速度(图4的S13)。由此，在图4的S14中，控制部50通过分析吸附头60部位的加速度，能够获得吸附头60部位的固有振动频率即“第一固有振动频率”等对抑制吸附头60的振动起作用的信息。

[0092] 一直以来，X、Y机器人的X伺服马达46、Y伺服马达47进行反馈控制的位置控制。而且，响应X伺服马达46和Y伺服马达47的伺服控制的“反馈信号”的振动分量能够通过反馈控制抑制其振动。但是，由于未反馈给X伺服马达46的Y伺服马达47的编码器的振动分量，会导致X伺服马达46的Y伺服马达47的位置控制劣化。因此，在现有技术中，由于一边确认吸附头60的振动一边进行元件安装装置100的调节以避免X、Y机器人工作时吸附头60产生振动，因此调节作业需要大量的时间。

[0093] 本实施方式中，如上所述，通过加速度获取部件90，能够容易地得到“第一固有振动频率”等对抑制吸附头60的振动起作用的信息。因此，能够基于该信息来抑制吸附头60的振动。

[0094] 另外，加速度获取部件90以能够与吸嘴65互换的方式安装在吸附头60上。由此，通过代替吸嘴65而将加速度获取部件90安装在吸附头60上，能够容易地获取吸附头60部位的加速度。

[0095] 近年来，有通过一台元件安装装置100将多种多样的电子元件安装到基板上的需求。因此，元件安装装置100通过替换与元件种类对应的吸附头60或吸嘴65，来应对多种多样的电子元件。在此，未响应上述“反馈信号”的振动分量根据吸附头60的种类而不同。另外，根据安装元件安装装置100的地板、元件安装装置100的高度，振动分量不同。因此，由于在调节元件安装装置100时要假定能够考虑到的振动分量进行元件安装装置100的调节，因此，调节作业需要大量的时间。

[0096] 在本实施方式中，即使吸附头60的种类、安装元件安装装置100的地板、元件安装装置100的高度改变，如上所述，也能够通过代替吸嘴65而将加速度获取部件90安装在吸附头60上来容易地获取吸附头60部位的加速度。而且，基于吸附头60部位的加速度，能够获取“第一固有振动频率”等对抑制吸附头60的振动起作用的信息，并基于该信息来抑制吸附头60的振动。因此，调节作业不需要大量的时间。

[0097] 此外，在振动分量因元件安装装置100的工作期间而产生变化的情况下，通过定期地代替吸嘴65而将加速度获取部件90安装在吸附头60上，能够获取“第一固有振动频率”等对抑制吸附头60的振动起作用的信息，并能够基于该信息来抑制吸附头60的振动。

[0098] 另外，加速度获取部件90以能够拆装的方式安装在一体安装于基台41的部件即安装部12上。由此，通过使X、Y机器人工作，能够容易地将加速度获取部件90安装在安装部12上(图6的S21)。因此，能够容易地获取吸附头60移动时的基台41侧的加速度(图6的S23)。而且，控制部50在图6的S24中，通过分析基台41侧的加速度，能够获取基台41侧的固有振动频率即“第二固有振动频率”等对抑制吸附头60的振动起作用的信息。而且，振动抑制部200(如图8所示)结合“第一固有振动频率”，基于“第二固有振动频率”能够进行进一步抑制吸附头60的振动的控制。

[0099] 另外，基板搬运装置10能够搬运加速度获取部件90。由此，通过基板搬运装置10搬运加速度获取部件90并使其停止在元件安装装置100内的安装位置(图7的S31)，通过X、Y机器人使吸附头60移动(图7的S32)，由此能够容易地获取吸附头60移动时的基台41侧的加速度(图7的33)。而且，控制部50在图7的S34中，通过分析基台41侧的加速度能够得到基台41侧的固有振动频率即“第二固有振动频率”等对抑制吸附头60的振动起作用的信息。而且，振动抑制部200(如图8所示)能够结合“第一固有振动频率”，并基于“第二固有振动频率”进行进一步抑制吸附头60的振动的控制。

[0100] 另外，在图5所示的“第二实施方式的第一固有振动频率获取处理”中，通过基板搬运装置10将加速度获取部件90依次搬运到下游侧的元件安装装置100(图5的S110)，通过各元件安装装置100将加速度获取部件90安装在吸附头60上(图5的S111)，获取各元件安装装置100的“第一固有振动频率”(图5的S114)。

[0101] 这样一来，由于加速度获取部件90通过基板搬运装置10依次搬运到下游侧的元件安装装置100，因此，能够在短时间内获取元件安装装置100的“第一固有振动频率”、“第二固有振动频率”。

[0102] 另外，在图4的S14中，控制部50(振动分析部)在使吸附头60移动时，基于由加速度获取部件90获取的加速度，分析因伴随吸附头60的移动的反作用力而产生的振动，并计算“第一固有振动频率”。而且，图8所示的振动抑制部200基于“第一固有振动频率”来控制X、Y机器人(吸附部移动装置)。由此，能够抑制伴随吸附头60的移动的吸附头60的振动。

[0103] 另外，在图4的S15中，“第一固有振动频率”存储在“存储部”中。由此，无需每次重新起动元件安装装置100都基于加速度获取部件90检测出的加速度来计算“第一固有振动频率”。同样，在图6的S25、图7的S35中，“第二固有振动频率”存储在“存储部”中。由此，无需每次重新起动元件安装装置100都基于加速度获取部件90检测出的加速度来计算“第二固有振动频率”。

[0104] (其它实施方式)

[0105] 在以上说明的实施方式中，对“第一固有振动频率”、“第二固有振动频率”进行计算。但是，也可以是如下实施方式：不对“第一固有振动频率”、“第二固有振动频率”进行计算，而是通过X、Y机器人重复进行吸附头60的定位动作，并基于由加速度获取部件90检测出的吸附头60部位的加速度，对控制部50的程序进行调节，抑制吸附头60的振动。

[0106] 在以上说明的实施方式中，获取吸附头60部位的加速度的“加速度获取部”为以能够与吸嘴65互换的方式安装在吸附头60的吸嘴座61上的加速度获取部件90。但是，上述“加速度获取部”也可以是以能够与吸附头60互换的方式安装在X轴滑动件45(吸附部移动装置)上的加速度获取部件190。

[0107] 如图9所示，加速度获取部件190由主体部191、加速度传感器192、通信部163及蓄电池194构成。主体部191为块状，并形成有以能够通过螺钉等进行拆装的方式安装在X轴滑动件45上的拆卸安装部191a。加速度传感器192、通信部163、蓄电池194分别与图3所示的加速度获取部件90的加速度传感器92、通信部93、蓄电池94相同。

[0108] 这样一来，通过代替吸附头60而将加速度获取部件190(加速度获取部)安装在X轴滑动件45(吸附部移动装置)上，能够容易地获取吸附头60部位的加速度。

[0109] 在以上说明的实施方式中，加速度获取部件90不具有作为吸嘴65的功能。但是，也可以是在吸嘴65上安装有加速度传感器92、通信部93、蓄电池94的实施方式。同样，也可以是在吸附头60上安装有加速度传感器192、通信部193、蓄电池194的实施方式。

[0110] 在以上说明的实施方式中，图8所示的振动抑制部200基于“第一固有振动频率”和“第二固有振动频率”进行前馈控制，以降低“第一固有振动”和“第二固有振动”。但是，也可以是振动抑制部200仅基于“第一固有振动频率”进行前馈控制以降低“第一固有振动”的实施方式。

[0111] 在以上说明的实施方式中，在图6的S21中，加速度获取部件90的磁铁95吸附在安装部12上，加速度获取部件90安装在安装部12上。但是，也可以是如下实施方式：在安装部12的上表面形成有卡合加速度获取部件90的下部的卡合凹部，加速度获取部件90安装在安装部12上。在该实施方式的情况下，加速度获取部件90中不需要磁铁95。

[0112] 在以上说明的实施方式中，安装部12安装在基板搬运装置10上。但是，也可以是如下实施方式：安装部12安装在基台41、或一体安装于基台41的部件上。

[0113] 附图标记说明

[0114] 10…基板搬运装置

[0115] 12…安装部(一体安装于基台的部件)

[0116] 41…基台

[0117] 42…导轨(吸附部移动装置)

[0118] 43…Y轴滑动件(吸附部移动装置)

[0119] 44…Y伺服马达(吸附部移动装置)

[0120] 45…X轴滑动件(吸附部移动装置)

[0121] 46…X伺服马达(吸附部移动装置)

[0122] 48…X伺服放大器(吸附部移动装置)

[0123] 49…Y伺服放大器(吸附部移动装置)

[0124] 60…吸附头(吸附部)

[0125] 65…吸嘴(吸附部)

[0126] 90…加速度获取部件(加速度获取部)

[0127] 190…加速度获取部件(加速度获取部)