生产系统的控制方法及装置

摘要

本发明公开了一种生产系统的控制方法及装置。其中，该方法包括：获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息；根据时间信息计算每批待生产产品执行相同的事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值，其中，生命周期为生产系统中所有事件的执行时间的总和；根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制。本发明解决了由于统计的时间信息分散于多个系统中，不能有效地统计生产浪费的时间，导致生产系统的生产效率降低的技术问题，达到了缩短生产系统的生产周期，进而提高生产系统的生产效率的技术效果。

权利要求

1.一种生产系统的控制方法，其特征在于，包括：

获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息；

根据所述时间信息计算每批所述待生产产品执行相同的所述事件的平均执行时间，和/或，计算所述事件的平均执行时间与所述生产系统的生命周期的比值，其中，所述生命周期为所述生产系统中所有所述事件的执行时间的总和；

根据所述平均执行时间和/或所述比值调整对所述生产系统的控制；

其中，获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息之前，包括：将每批所述待生产产品的各个生产步骤拆分成多个所述事件，其中，每个所述事件标识每批所述待生产产品在所述生产步骤中所执行的单个操作，所述事件包括动作事件及等待事件。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述时间信息计算每批所述待生产产品执行相同的所述事件的平均执行时间，和/或，计算所述事件的平均执行时间与所述生产系统的生命周期的比值包括：计算得出所述等待事件及所述动作事件的平均执行时间，和/或分别计算所述等待事件的平均执行时间与所述生命周期的第一比值及所述动作事件的平均执行时间与所述生命周期的第二比值。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述平均执行时间和/或所述比值调整对所述生产系统的控制包括：判断所述等待事件的平均执行时间是否大于第一预定阈值；若判断出所述等待事件的平均执行时间大于第一预定阈值，则指示减小每批所述待生产产品执行所述等待事件的执行时间；或者判断所述动作事件的平均执行时间是否大于第二预定阈值；若判断出所述动作事件的平均执行时间大于第二预定阈值，则指示调整每批所述待生产产品执行所述动作事件时的执行路径，以减小每批所述待生产产品执行所述动作事件的执行时间。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述平均执行时间和/或所述比值调整对所述生产系统的控制包括：判断所述等待事件的平均执行时间与所述生命周期的第一比值是否大于第三预定阈值；若判断出所述等待事件的平均执行时间与所述生命周期的第一比值大于第三预定阈值，则指示减小每批所述待生产产品执行所述等待事件的执行时间；或者判断所述动作事件的平均执行时间与所述生命周期的第二比值是否大于第四预定阈值；若判断出所述动作事件的平均执行时间与所述生命周期的第二比值大于第四预定阈值，则指示调整每批所述待生产产品执行所述动作事件时的执行路径，以减小每批所述待生产产品执行所述动作事件的执行时间。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述平均执行时间和/或所述比值调整对所述生产系统的控制包括：若判断出所述等待事件的平均执行时间大于第五预定阈值且所述等待事件的平均执行时间与所述生命周期的第一比值大于第六预定阈值，则指示减小每批所述待生产产品执行所述等待事件的执行时间；或者若判断出所述动作事件的平均执行时间大于第七预定阈值且所述动作事件的平均执行时间与所述生命周期的第二比值大于第八预定阈值，则指示调整每批所述待生产产品执行所述动作事件时的执行路径，以减小每批所述待生产产品执行所述动作事件的执行时间。

6.一种生产系统的控制装置，其特征在于，包括：

获取单元，用于获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息；

计算单元，用于根据所述时间信息计算每批所述待生产产品执行相同的所述事件的平均执行时间，和/或，计算所述事件的平均执行时间与所述生产系统的生命周期的比值，其中，所述生命周期为所述生产系统中所有所述事件的执行时间的总和；

调整单元，用于根据所述平均执行时间和/或所述比值调整对所述生产系统的控制；

其中，所述装置还包括：

拆分单元，用于将每批所述待生产产品的各个生产步骤拆分成多个所述事件，其中，每个所述事件标识每批所述待生产产品在所述生产步骤中所执行的单个操作，所述事件包括动作事件及等待事件。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述计算单元包括：

第一计算模块，用于计算得出所述等待事件及所述动作事件的平均执行时间；和/或第二计算模块，用于分别计算所述等待事件的平均执行时间与所述生命周期的第一比值及所述动作事件的平均执行时间与所述生命周期的第二比值。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述调整单元包括：

第一判断模块，用于判断所述等待事件的平均执行时间是否大于第一预定阈值；

第一指示模块，用于在判断出所述等待事件的平均执行时间大于第一预定阈值时，指示减小每批所述待生产产品执行所述等待事件的执行时间；或者第二判断模块，用于判断所述动作事件的平均执行时间是否大于第二预定阈值；

第二指示模块，用于在判断出所述动作事件的平均执行时间大于第二预定阈值时，指示调整每批所述待生产产品执行所述动作事件时的执行路径，以减小每批所述待生产产品执行所述动作事件的执行时间。

9.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述调整单元包括：

第三判断模块，用于判断所述等待事件的平均执行时间与所述生命周期的第一比值是否大于第三预定阈值；

第三指示模块，用于在判断出所述等待事件的平均执行时间与所述生命周期的第一比值大于第三预定阈值时，指示减小每批所述待生产产品执行所述等待事件的执行时间；或者第四判断模块，用于判断所述动作事件的平均执行时间与所述生命周期的第二比值是否大于第四预定阈值；

第四指示模块，用于在判断出所述动作事件的平均执行时间与所述生命周期的第二比值大于第四预定阈值时，指示调整每批所述待生产产品执行所述动作事件时的执行路径，以减小每批所述待生产产品执行所述动作事件的执行时间。

10.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述调整单元包括：

第五判断模块，用于判断所述等待事件的平均执行时间是否大于第五预定阈值且所述等待事件的平均执行时间与所述生命周期的第一比值是否大于第六预定阈值；

第五指示模块，用于在判断出所述等待事件的平均执行时间大于第五预定阈值且所述等待事件的平均执行时间与所述生命周期的第一比值大于第六预定阈值时，指示减小每批所述待生产产品执行所述等待事件的执行时间；或者，第六判断模块，用于判断所述动作事件的平均执行时间是否大于第七预定阈值且所述动作事件的平均执行时间与所述生命周期的第二比值是否大于第八预定阈值；

第六指示模块，用于在判断出所述动作事件的平均执行时间大于第七预定阈值且所述动作事件的平均执行时间与所述生命周期的第二比值大于第八预定阈值时，指示调整每批所述待生产产品执行所述动作事件时的执行路径，以减小每批所述待生产产品执行所述动作事件的执行时间。

说明书

生产系统的控制方法及装置

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种生产系统的控制方法及装置。

背景技术

[0002] 在半导体制造过程中，由于生产工艺和过程极其复杂，每一批次的产品在生产过程中都要经过不同的系统，执行许多不同的生产步骤。然而，在当前的生产线上，每一批次的产品执行不同步骤中的不同动作时，或多或少都存在浪费时间的现象。而现有技术中对生产步骤所使用时间的统计数据分散于多个系统中，不能直观可见，进而不能进行有效地数据分析以避免浪费生产时间，因而导致延长了生产的生命周期，并降低了生产系统的生产效率。

[0003] 针对上述的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

[0004] 本发明实施例提供了一种生产系统的控制方法及装置，以至少解决由于统计的时间信息分散于多个系统中，不能有效地统计生产浪费的时间，导致生产系统的生产效率降低的技术问题。

[0005] 根据本发明实施例的一个方面，提供了一种生产系统的控制方法，包括：获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息；根据时间信息计算每批待生产产品执行相同的事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值，其中，生命周期为生产系统中所有事件的执行时间的总和；根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制。

[0006] 可选地，获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息之前，包括：将每批待生产产品的各个生产步骤拆分成多个事件，其中，每个事件标识每批待生产产品在生产步骤中所执行的单个操作，事件包括动作事件及等待事件。

[0007] 可选地，根据时间信息计算每批待生产产品执行相同的事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值包括：计算得出等待事件及动作事件的平均执行时间，和/或分别计算等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值及动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值。

[0008] 可选地，根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制包括：判断等待事件的平均执行时间是否大于第一预定阈值；若判断出等待事件的平均执行时间大于第一预定阈值，则 指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者，判断动作事件的平均执行时间是否大于第二预定阈值；若判断出动作事件的平均执行时间大于第二预定阈值，则指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。

[0009] 可选地，根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制包括：判断等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值是否大于第三预定阈值；若判断出等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值大于第三预定阈值，则指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者，判断动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值是否大于第四预定阈值；若判断出动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值大于第四预定阈值，则指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。

[0010] 可选地，根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制包括：若判断出等待事件的平均执行时间大于第五预定阈值且等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值大于第六预定阈值，则指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者，若判断出动作事件的平均执行时间大于第七预定阈值且动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值大于第八预定阈值，则指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。

[0011] 根据本发明实施例的另一方面，还提供了一种生产系统的控制装置，包括：获取单元，用于获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息；计算单元，用于根据时间信息计算每批待生产产品执行相同的事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值，其中，生命周期为生产系统中所有事件的执行时间的总和；调整单元，用于根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制。

[0012] 可选地，该装置还包括：拆分单元，用于将每批待生产产品的各个生产步骤拆分成多个事件，其中，每个事件标识每批待生产产品在生产步骤中所执行的单个操作，事件包括动作事件及等待事件。

[0013] 可选地，计算单元包括：第一计算模块，用于计算得出等待事件及动作事件的平均执行时间；和/或第二计算模块，用于分别计算等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值及动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值。

[0014] 可选地，调整单元包括：第一判断模块，用于判断等待事件的平均执行时间是否大于第一预定阈值；第一指示模块，用于在判断出等待事件的平均执行时间大于第一预定阈值时，指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者第二判断模块，用于判断动作事件的平均执行时间是否大于第二预定阈值；第二指示模块，用于在判断出动作事件的平均执行时间大于第二预定阈值时，指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。

[0015] 可选地，调整单元包括：第三判断模块，用于判断等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值是否大于第三预定阈值；第三指示模块，用于在判断出等待事件的平均执行时间 与生命周期的第一比值大于第三预定阈值时，指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者第四判断模块，用于判断动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值是否大于第四预定阈值；第四指示模块，用于在判断出动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值大于第四预定阈值时，指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。

[0016] 可选地，调整单元包括：第五判断模块，用于判断等待事件的平均执行时间是否大于第五预定阈值且等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值是否大于第六预定阈值；第五指示模块，用于在判断出等待事件的平均执行时间大于第五预定阈值且等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值大于第六预定阈值时，指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者第六判断模块，用于判断动作事件的平均执行时间是否大于第七预定阈值且动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值是否大于第八预定阈值；第六指示模块，用于在判断出动作事件的平均执行时间大于第七预定阈值且动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值大于第八预定阈值时，指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。

[0017] 在本发明实施例中，通过获取每批待生产产品在生产系统中各个生产步骤所执行的事件的时间信息，得到执行相同事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值，进而根据上述计算结果调整对生产系统的控制，实现了将生产系统中的各个生产步骤拆分成更小单位的事件，通过调整各个事件的执行时间，从而实现对生产系统的控制，达到了缩短生产系统的生产周期，进而提高生产系统的生产效率的技术效果，进而解决了由于统计的时间信息分散于多个系统中，不能有效地统计生产浪费的时间，导致生产系统的生产效率降低的技术问题。

附图说明

[0018] 此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

[0019] 图1是根据本发明实施例的一种可选的生产系统的控制方法的流程图；

[0020] 图2是根据本发明实施例的一种可选的生产系统的生产过程的示意图；

[0021] 图3是根据本发明实施例的另一种可选的生产系统的控制方法的流程图；

[0022] 图4是根据本发明实施例的另一种可选的生产系统中所执行的事件的示意图；

[0023] 图5是根据本发明实施例的一种可选的生产系统控制装置的示意图；以及[0024] 图6是根据本发明实施例的另一种可选的生产系统控制装置的示意图。

具体实施方式

[0025] 下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

[0026] 实施例1

[0027] 根据本发明实施例，提供了一种生产系统的控制方法，如图1所示，该方法包括：

[0028] S102，获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息；

[0029] 可选地，在本实施例中上述情景可以应用于半导体芯片的生产过程中，例如，如图2所示，半导体芯片生产系统的生产过程包括：天车系统的传输步骤，跑货系统的监控步骤，机台系统的处理步骤，上述举例只是一种示例，本申请对此不作限定。

[0030] 可选地，在本实施例中所执行的事件可以为但不限于：每批待生产产品在生产步骤中所执行的单个操作，例如，在天车系统的传输步骤中的举起、搬动、吞入到货架，由货架吐出。可选地，在本实施例中的时间信息包括但不限于：事件的起始时间、事件的终止时间。

[0031] 例如，将产品由货架Stocker1传输到货架Stocker2，上述过程中包括以下事件：搬起产品到货架Stocker1的入口MI，在货架Stocker1上传输，由货架Stocker1的出口MO搬走，天车传输，放置到货架Stocker2的入口TI，其中，事件“搬起产品到货架Stocker1的入口MI”的时间信息包括以下内容：起始时间为2013-8-1619:31:26，终止时间为2013-8-1619:31:53。

[0032] S104，根据时间信息计算每批待生产产品执行相同的事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值；

[0033] 可选地，在本实施例中的生命周期为生产系统中所有事件的执行时间的总和。例如，统计半导体芯片在生产系统中执行所有事件的执行时间的总和，进而得到半导体芯片生产系统的生命周期，例如，上述生命周期为T。

[0034] 可选地，在本实施例中执行相同的事件的平均执行时间可以为但不限于：由事件的时间信息得到该事件的执行时间，统计多批产品在执行该事件的执行时间，经计算得出执行同一事件的平均执行时间。

[0035] 例如，以执行传输步骤中的搬起事件为例，根据每批产品(Lot)执行传输步骤中的搬起事件的时间信息ta，tb，统计各批产品(Lot)搬起事件的执行时间ta-tb，计算得出该事件的平均执行时间为t1。假设生产系统的生命周期为T，则经计算得出该事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值t1/T。

[0036] S106，根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制。

[0037] 可选地，在本实施例中的调整的依据可以为但不限于：上述平均执行时间和/或比值是否大于预定阈值。例如，判断得知事件的平均执行时间大于预定阈值P，则调整生产系统对该事件的控制，例如，减小该事件的执行时间。

[0038] 例如，以执行传输步骤中在货架Stocker1的出口MO等待搬走的事件为例，假设生产系统的生命周期为T，计算该事件的平均执行时间，例如，该事件的平均执行时间为t2，该事件的平均执行时间t2与生产系统的生命周期T的比值为t2/T，经判断得知，平均执行时间t2大于预定阈值P，平均执行时间t2与生产系统的生命周期T的比值为t2/T大于预定阈值Q，则减小上述在货架Stocker1的出口MO等待搬走的事件的等待时间。

[0039] 通过本申请提供的实施例，通过获取每批待生产产品在生产系统中各个生产步骤所执行的事件的时间信息，得到执行相同事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值，进而根据上述计算结果调整对生产系统的控制，实现了将生产系统中的各个生产步骤拆分成更小单位的事件，通过调整各个事件的执行时间，从而实现对生产系统的控制，达到了缩短生产系统的生产周期，进而提高生产系统的生产效率的技术效果。

[0040] 作为一种可选的方案，如图3所示，获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息之前，包括：

[0041] S302，将每批待生产产品的各个生产步骤拆分成多个事件；

[0042] 可选地，在本实施例中每个事件标识每批待生产产品在生产步骤中所执行的单个操作，事件包括动作事件及等待事件。

[0043] 表1

[0044]

[0045] 例如，如表1所示，在跑货系统的监控步骤中只包括一个操作：监控待生产产品在机台系统的运行，因而，上述步骤只包括一个事件，其中，该事件的时间信息为：开始时间(Track in time)，终止时间(Track Out Time)。例如，一批待生产产品(Lot1)的开始时间(Track in time)为：2013-8-1618:03:54，终止时间(Track Out Time)为：2013-8-1618:42:37。

[0046] 表2

[0047]

[0048] 例如，在天车系统的传输步骤中包括如下操作：搬起、放上货架Stocker1，传输，再搬至货架Stocker2，由货架Stocker2放至机台，因而，上述操作对应多个事件，如表2所示，表中示出了各个事件的名称及描述。如表3所示，表中示出了上述多个事件的时间信息，例如，在货架Stocker1的入口MI的等待事件的时间信息为：起始时间为：2013-8-1619:31:26，终止时间为：2013-8-1619:31:53；又例如，由入口MI到进入货架Stocker1的动作事件的时间信息为：起始时间为：2013-8-1619:31:53，终止时间为：2013-8-1619:31:53。

[0049] 表3

[0050]产品批次编号(Lot ID) 位置(Location) 开始时间(Start Time) 结束时间(End Time) Lot1 MI 2013-08-1619:31:26 2013-08-1619:31:53
Lot1 Stocker 2013-08-1619:31:53 2013-08-1619:31:53
Lot1 TO 2013-08-1619:31:54 2013-08-1619:31:54
Lot1 MCS 2013-08-1619:31:54 2013-08-1619:33:43
Lot1 TI 2013-08-1619:33:43 2013-08-1619:33:43
Lot1 Stocker 2013-08-1619:33:43 2013-08-1702:36:24
Lot1 MO 2013-08-1702:36:24 2013-08-1702:36:24

[0051] 通过本申请提供的实施例，通过将生产系统中的各个生产步骤拆分成更小单位的事件，达到了通过对各个事件的执行时间的调整，实现对生产系统调整的效果，进而实现缩短生产系统的生产周期，进而提高生产系统的生产效率的技术效果。

[0052] 作为一种可选的方案，根据时间信息计算每批待生产产品执行相同的事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值包括：

[0053] S1，计算得出等待事件及动作事件的平均执行时间，和/或分别计算等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值及动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值。

[0054] 例如，如表3所示，在货架Stocker1的入口MI的等待事件的时间信息为：起始时间为：2013-8-1619:31:26，终止时间为：2013-8-1619:31:53。进而经计算得出执行上述等待事件的执行时间为27秒，而且可以再根据统计的各批次产品在执行上述等待事件的执行时间，计算该等待事件的平均执行时间，例如，平均执行时间为25秒。

[0055] 又例如，如表3所示，由入口MI到进入货架Stocker1的动作事件的时间信息为：起始时间为：2013-8-1619:31:53，终止时间为：2013-8-1619:31:53。进而经计算得出执行上述动作事件的执行时间为0秒，而且可以再根据统计的各批次产品在执行上述动作事件的执行时间，再由计算可知该等待事件的平均执行时间，例如，平均执行时间为1秒。

[0056] 又例如，该生产系统的生命周期为10小时，计算等待事件(例如，在货架Stocker1的入口MI的等待事件)的平均执行时间(例如，平均执行时间为25秒)与生命周期的第一比值，例如，第一比值为1/1440，动作事件(由入口MI到进入货架Stocker1的动作事件)的平均执行时间(例如，平均执行时间为1秒)与生命周期的第二比值，例如，第二比值为1/36000。

[0057] 作为一种可选的方案，根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制包括以下三种可选的实施方式：

[0058] 作为一种可选的实施方式，根据平均执行时间调整对生产系统的控制包括：

[0059] S1，判断等待事件的平均执行时间是否大于第一预定阈值；若判断出等待事件的平均执行时间大于第一预定阈值，则指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者

[0060] S2，判断动作事件的平均执行时间是否大于第二预定阈值；若判断出动作事件的平均执行时间大于第二预定阈值，则指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。

[0061] 例如，以在货架Stocker1的入口MI的等待事件为例，该等待事件平均执行时间为25秒，第一预定阈值为20秒，则可判断得出上述等待事件的平均执行时间25秒大于第一预定阈值20秒，进而可知在生产系统中执行该事件的执行时间过长，则指示减小当前的待生产产品在执行该等待事件的执行时间，以使该等待事件的执行时间满足小于或等于第一预定阈值20秒的条件。

[0062] 又例如，以入口MI到进入货架Stocker1的动作事件为例，该动作事件的平均执行时间为1秒，第二预定阈值为2秒，经判断上述动作事件的平均执行时间1秒小于第二预定阈值2秒，则可不做指示处理；又例如，以天车传输的动作事件为例，该动作事件的平均执行时间为3秒，经判断上述动作事件的平均执行时间3秒大于第二预定阈值2秒，进而可知在生产系统中执行该事件的执行时间过长，则指示调整待生产产品执行该动作事件时的执行路径，例如，由位置A传输到位置B，调整为由位置A传输到位置C，其中，位置B与位置C所执行的动作一致，以减小待生产产品执行该动作事件的执行时间。

[0063] 作为另一种可选的实施方式，根据比值调整对生产系统的控制包括：

[0064] S1，判断等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值是否大于第三预定阈值；若判断出等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值大于第三预定阈值，则指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者，

[0065] S2，判断动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值是否大于第四预定阈值；若判断出动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值大于第四预定阈值，则指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。

[0066] 例如，以在货架Stocker1的入口MI的等待事件为例，该等待事件平均执行时间为25秒，该生产系统的生命周期为10小时，第三预定阈值为1/2000，经计算可得上述等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值，例如，上述第一比值为1/1440，则可判断得出上述第一比值1/1440大于第三预定阈值1/2000，进而可知在生产系统中执行该事件的执行时间过长，则指示减小当前的待生产产品在执行该等待事件的执行时间。

[0067] 又例如，以入口MI到进入货架Stocker1的动作事件为例，该动作事件的平均执行时间为1秒，该生产系统的生命周期为10小时，第四预定阈值为1/30000，经计算可得上述动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值，例如，上述第二比值为1/36000，经判断上述第二比值1/36000小于第四预定阈值1/30000，则可不做指示处理；又例如，以天车传输的动作事件为例，该动作事件的平均执行时间为3秒，该生产系统的生命周期为10小时，第四预定阈值为1/30000，经计算可得上述动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值，例如，上述第二比值为1/12000，经判断上述第二比值1/12000大于第四预定阈值1/30000秒，进而可知在 生产系统中执行该事件的执行时间过长，则指示调整待生产产品执行该动作事件时的执行路径，例如，由位置A传输到位置B，调整为由位置A传输到位置C，其中，位置B与位置C所执行的动作一致，以减小待生产产品执行该动作事件的执行时间。

[0068] 作为又一种可选的实施方式，根据平均执行时间和比值调整对生产系统的控制包括：

[0069] S1，若判断出等待事件的平均执行时间大于第五预定阈值且等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值大于第六预定阈值，则指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者

[0070] S2，若判断出动作事件的平均执行时间大于第七预定阈值且动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值大于第八预定阈值，则指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。

[0071] 例如，以在货架Stocker1的入口MI的等待事件为例，该等待事件平均执行时间为25秒，该生产系统的生命周期为10小时，经计算可得上述等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值，例如，上述第一比值为1/1440。其中，第五预定阈值为20秒，第六预定阈值为1/2000，判断得出上述等待事件的平均执行时间25秒大于第五预定阈值20秒，平均执行时间与生命周期的第一比值1/1440大于第六预定阈值1/2000，进而可知在生产系统中执行该事件的执行时间过长，则指示减小当前的待生产产品在执行该等待事件的执行时间。

[0072] 又例如，以天车传输的动作事件为例，该动作事件的平均执行时间为3秒，该生产系统的生命周期为10小时，经计算可得上述动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值，例如，上述第二比值为1/12000。其中，第七预定阈值为2秒，第八预定阈值为1/30000，判断得出上述动作事件的平均执行时间3秒大于第七预定阈值2秒，平均执行时间与生命周期的第二比值1/12000大于第八预定阈值1/30000秒，进而可知在生产系统中执行该事件的执行时间过长，则指示调整待生产产品执行该动作事件时的执行路径，例如，由位置A传输到位置B，调整为由位置A传输到位置C，其中，位置B与位置C所执行的动作一致，以减小待生产产品执行该动作事件的执行时间。

[0073] 通过本申请提供的实施例，通过将等待事件及动作事件的平均执行时间，以及等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值及动作事件的执行时间与生命周期的第二比值，分别与相应的预定阈值比较，进而判断各个事件是否存在时间的浪费，从而对生产系统的控制做出相应调整，以实现减少生产过程中的时间浪费，缩短生产系统的生产周期，进而提高生产系统的生产效率。

[0074] 需要进一步说明的是，如表4所示，收集整合分散在生产系统中各个生产步骤中的事件的时间信息，生成事件结果集，其中，所有事件按照事件的执行顺序排列，进而利用得到的多个批次的产品的事件结果集统计得出每批产品在各个事件的平均执行时间，及平均执行时间与生命周期的比值，并将二者输出显示，如图4所示，以柏拉图的形式直观地呈现出计算的结果，以便于线上工程师做出调整。

[0075] 表4

[0076]

[0077] 进一步，结合表1和表3所示，其中，表1示出了跑货系统监控步骤各个事件的时间信息，表3示出了天车系统传输步骤各个事件的时间信息。在收集整合分散在生产系统中各个生产步骤中的事件的时间信息时，可以以每批次产品的ID为依据，在不同的生产步骤中进行查找。例如，在表1中的各个事件的时间信息并不连续，而在这些间断的时间里该批次产品可能在执行其他的生产步骤，通过该批次产品的ID可以实现在其他生产步骤中查找上述间断的时间信息，以时间信息为线整合各个事件，如表3所示，可看出其中的事件时间信息与表1中事件的时间信息连续，则说明该批次产品由跑货系统转到了天车系统。

[0078] 可选地，在本实施例中的跑货系统的时间信息间隔较大，而与其同时执行的机台系统的时间信息间隔小，则可将跑货系统中事件进一步拆分为机台系统中的事件，使时间信息的间隔更小，以便于调整控制。

[0079] 本发明提供了一种优选的实施例来进一步对本发明进行解释，但是值得注意的是，该优选实施例只是为了更好的描述本发明，并不构成对本发明不当的限定。

[0080] 实施例2

[0081] 根据本发明实施例，还提供了一种生产系统的控制装置，如图5所示，在本实施例中生产系统的控制装置包括：

[0082] 1)获取单元502，用于获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件 的时间信息；

[0083] 可选地，在本实施例中上述情景可以应用于半导体芯片的生产过程中，例如，如表6所示，半导体芯片生产系统的生产过程包括：天车系统的传输步骤，跑货系统的监控步骤，机台系统的处理步骤，上述举例只是一种示例，本申请对此不作限定。

[0084] 可选地，在本实施例中所执行的事件可以为但不限于：每批待生产产品在生产步骤中所执行的单个操作，例如，在天车系统的传输步骤中的举起、搬动、吞入到货架，由货架吐出。可选地，在本实施例中的时间信息包括但不限于：事件的起始时间、事件的终止时间。

[0085] 例如，将产品由货架Stocker1传输到货架Stocker2，上述过程中包括以下事件：搬起产品到货架Stocker1的入口MI，在货架Stocker1上传输，由货架Stocker1的出口MO搬走，天车传输，放置到货架Stocker2的入口TI，其中，事件“搬起产品到货架Stocker1的入口MI”的时间信息包括以下内容：起始时间为2013-8-1619:31:26，终止时间为2013-8-1619:31:53。

[0086] 2)计算单元504，用于根据时间信息计算每批待生产产品执行相同的事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值，其中，生命周期为生产系统中所有事件的执行时间的总和；

[0087] 例如，统计半导体芯片在生产系统中执行所有事件的执行时间的总和，进而得到半导体芯片生产系统的生命周期，例如，上述生命周期为T。

[0088] 可选地，在本实施例中执行相同的事件的平均执行时间可以为但不限于：由事件的时间信息得到该事件的执行时间，统计多批产品在执行该事件的执行时间，经计算得出执行同一事件的平均执行时间。

[0089] 例如，以执行传输步骤中的搬起事件为例，根据每批产品(Lot)执行传输步骤中的搬起事件的时间信息，ta，tb，统计各批产品(Lot)搬起事件的执行时间ta-tb，计算得出该事件的平均执行时间为t1。假设生产系统的生命周期为T，则经计算得出该事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值t1/T。

[0090] 3)调整单元506，用于根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制。

[0091] 可选地，在本实施例中的调整的依据可以为但不限于：上述平均执行时间和/或比值是否大于预定阈值。例如，判断得知事件的平均执行时间大于预定阈值P，则调整生产系统对该事件的控制，例如，减小该事件的执行时间。

[0092] 例如，以执行传输步骤中在货架Stocker1的出口MO等待搬走的事件为例，假设生产系统的生命周期为T，计算该事件的平均执行时间，例如，该事件的平均执行时间为t2，该事件的平均执行时间t2与生产系统的生命周期T的比值为t2/T，经判断得知，平均执行时间t2大于预定阈值P，平均执行时间t2与生产系统的生命周期T的比值为t2/T大于预定阈值Q，则减小上述在货架Stocker1的出口MO等待搬走的事件的等待时间。

[0093] 通过本申请提供的实施例，通过获取每批待生产产品在生产系统中各个生产步骤所执行的事件的时间信息，得到执行相同事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值，进而根据上述计算结果调整对生产系统的控制，实现了将生产系统中的各个生产步骤拆分成更小单位的事件，通过调整各个事件的执行时间，从而实现对生产系统的控制，达到了缩短生产系统的生产周期，进而提高生产系统的生产效率的技术效果。

[0094] 作为一种可选的方案，如图6所示，在本实施例中生产系统的控制装置还包括：

[0095] 1)拆分单元602，用于将每批待生产产品的各个生产步骤拆分成多个事件，其中，每个事件标识每批待生产产品在生产步骤中所执行的单个操作，事件包括动作事件及等待事件。

[0096] 可选地，在本实施例中每个事件标识每批待生产产品在生产步骤中所执行的单个操作，事件包括动作事件及等待事件。

[0097] 表5

[0098]

[0099] 例如，如表5所示，在跑货系统的监控步骤中只包括一个操作：监控待生产产品在机台系统的运行，因而，上述步骤只包括一个事件，其中，该事件的时间信息为：开始时间(Track in time)，终止时间(Track Out Time)。例如，一批待生产产品(Lot1)的开始时间(Track in time)为：2013-8-1618:03:54，终止时间(Track Out Time)为：2013-8-1618:42:37。

[0100] 表6

[0101]

[0102] 例如，在天车系统的传输步骤中包括如下操作：搬起、放上货架Stocker1，传输，再搬至货架Stocker2，由货架Stocker2放至机台，因而，上述操作对应多个事件，如表6所示，表中示出了各个事件的名称及描述。如表7所示，表中示出了上述多个事件的时间信息，例如，在货架Stocker1的入口MI的等待事件的时间信息为：起始时间为：2013-8-1619:31:26，终止时间为：2013-8-1619:31:53；又例如，由入口MI到进入货架Stocker1的动作事件的时间信息为：起始时间为：2013-8-1619:31:53，终止时间为：2013-8-1619:31:53。

[0103] 表7

[0104]产品批次编号(Lot ID) 位置(Location) 开始时间(Start Time) 结束时间(End Time) Lot1 MI 2013-08-1619:31:26 2013-08-1619:31:53
Lot1 Stocker 2013-08-1619:31:53 2013-08-1619:31:53
Lot1 TO 2013-08-1619:31:54 2013-08-1619:31:54
Lot1 MCS 2013-08-1619:31:54 2013-08-1619:33:43
Lot1 TI 2013-08-1619:33:43 2013-08-1619:33:43
Lot1 Stocker 2013-08-1619:33:43 2013-08-1702:36:24
Lot1 MO 2013-08-1702:36:24 2013-08-1702:36:24

[0105] 通过本申请提供的实施例，通过将生产系统中的各个生产步骤拆分成更小单位的事件，达到了通过对各个事件的执行时间的调整，实现对生产系统调整的效果，进而实现缩短生产系统的生产周期，进而提高生产系统的生产效率的技术效果。

[0106] 作为一种可选的方案，在本实施例中计算单元504包括：

[0107] 1)第一计算模块，用于计算得出等待事件及动作事件的平均执行时间；和/或[0108] 例如，如表7所示，在货架Stocker1的入口MI的等待事件的时间信息为：起始时间为：2013-8-1619:31:26，终止时间为：2013-8-1619:31:53。进而经计算得出执行上述等待事件的执行时间为27秒，而且可以再根据统计的各批次产品在执行上述等待事件的执行时间，计算该等待事件的平均执行时间，例如，平均执行时间为25秒。

[0109] 又例如，如表7所示，由入口MI到进入货架Stocker1的动作事件的时间信息为：起始时间为：2013-8-1619:31:53，终止时间为：2013-8-1619:31:53。进而经计算得出执行上述动作事件的执行时间为0秒，而且可以再根据统计的各批次产品在执行上述动作事件的执行时间，再由计算可知该等待事件的平均执行时间，例如，平均执行时间为1秒。

[0110] 2)第二计算模块，用于分别计算等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值及动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值。

[0111] 又例如，该生产系统的生命周期为10小时，计算等待事件(例如，在货架Stocker1的入口MI的等待事件)的平均执行时间(例如，平均执行时间为25秒)与生命周期的第一比值，例如，第一比值为1/1440，动作事件(由入口MI到进入货架Stocker1的动作事件)的平均执行时间(例如，平均执行时间为1秒)与生命周期的第二比值，例如，第二比值为1/36000。

[0112] 作为一种可选的方案，在本实施例中调整单元506包括：

[0113] 1)第一判断模块，用于判断等待事件的平均执行时间是否大于第一预定阈值；

[0114] 2)第一指示模块，用于在判断出等待事件的平均执行时间大于第一预定阈值时，指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者

[0115] 例如，以在货架Stocker1的入口MI的等待事件为例，该等待事件平均执行时间为25秒， 第一预定阈值为20秒，则可判断得出上述等待事件的平均执行时间25秒大于第一预定阈值20秒，进而可知在生产系统中执行该事件的执行时间过长，则指示减小当前的待生产产品在执行该等待事件的执行时间，以使该等待事件的执行时间满足小于或等于第一预定阈值20秒的条件。

[0116] 3)第二判断模块，用于判断动作事件的平均执行时间是否大于第二预定阈值；

[0117] 4)第二指示模块，用于在判断出动作事件的平均执行时间大于第二预定阈值时，指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。

[0118] 又例如，以入口MI到进入货架Stocker1的动作事件为例，该动作事件的平均执行时间为1秒，第二预定阈值为2秒，经判断上述动作事件的平均执行时间1秒小于第二预定阈值2秒，则可不做指示处理；又例如，以天车传输的动作事件为例，该动作事件的平均执行时间为3秒，经判断上述动作事件的平均执行时间3秒大于第二预定阈值2秒，进而可知在生产系统中执行该事件的执行时间过长，则指示调整待生产产品执行该动作事件时的执行路径，例如，由位置A传输到位置B，调整为由位置A传输到位置C，其中，位置B与位置C所执行的动作一致，以减小待生产产品执行该动作事件的执行时间。

[0119] 作为一种可选的方案，在本实施例中调整单元506包括：

[0120] 1)第三判断模块，用于判断等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值是否大于第三预定阈值；

[0121] 2)第三指示模块，用于在判断出等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值大于第三预定阈值时，指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者[0122] 例如，以在货架Stocker1的入口MI的等待事件为例，该等待事件平均执行时间为25秒，该生产系统的生命周期为10小时，第三预定阈值为1/2000，经计算可得上述等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值，例如，上述第一比值为1/1440，则可判断得出上述第一比值1/1440大于第三预定阈值1/2000，进而可知在生产系统中执行该事件的执行时间过长，则指示减小当前的待生产产品在执行该等待事件的执行时间。

[0123] 3)第四判断模块，用于判断动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值是否大于第四预定阈值；

[0124] 4)第四指示模块，用于在判断出动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值大于第四预定阈值时，指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。

[0125] 又例如，以入口MI到进入货架Stocker1的动作事件为例，该动作事件的平均执行时间为1秒，该生产系统的生命周期为10小时，第四预定阈值为1/30000，经计算可得上述动作事件 的平均执行时间与生命周期的第二比值，例如，上述第二比值为1/36000，经判断上述第二比值1/36000小于第四预定阈值1/30000，则可不做指示处理；又例如，以天车传输的动作事件为例，该动作事件的平均执行时间为3秒，该生产系统的生命周期为10小时，第四预定阈值为1/30000，经计算可得上述动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值，例如，上述第二比值为1/12000，经判断上述第二比值1/12000大于第四预定阈值1/30000秒，进而可知在生产系统中执行该事件的执行时间过长，则指示调整待生产产品执行该动作事件时的执行路径，例如，由位置A传输到位置B，调整为由位置A传输到位置C，其中，位置B与位置C所执行的动作一致，以减小待生产产品执行该动作事件的执行时间。

[0126] 作为一种可选的方案，在本实施例中调整单元包括：

[0127] 1)第五判断模块，用于判断等待事件的平均执行时间是否大于第五预定阈值且等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值是否大于第六预定阈值；

[0128] 2)第五指示模块，用于在判断出等待事件的平均执行时间大于第五预定阈值且等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值大于第六预定阈值时，指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者

[0129] 例如，以在货架Stocker1的入口MI的等待事件为例，该等待事件平均执行时间为25秒，该生产系统的生命周期为10小时，经计算可得上述等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值，例如，上述第一比值为1/1440。其中，第五预定阈值为20秒，第六预定阈值为1/2000，判断得出上述等待事件的平均执行时间25秒大于第五预定阈值20秒，平均执行时间与生命周期的第一比值1/1440大于第六预定阈值1/2000，进而可知在生产系统中执行该事件的执行时间过长，则指示减小当前的待生产产品在执行该等待事件的执行时间。

[0130] 3)第六判断模块，用于判断动作事件的平均执行时间是否大于第七预定阈值且动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值是否大于第八预定阈值；

[0131] 4)第六指示模块，用于在判断出动作事件的平均执行时间大于第七预定阈值且动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值大于第八预定阈值时，指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。

[0132] 又例如，以天车传输的动作事件为例，该动作事件的平均执行时间为3秒，该生产系统的生命周期为10小时，经计算可得上述动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值，例如，上述第二比值为1/12000。其中，第七预定阈值为2秒，第八预定阈值为1/30000，判断得出上述动作事件的平均执行时间3秒大于第七预定阈值2秒，平均执行时间与生命周期的第二比值1/12000大于第八预定阈值1/30000秒，进而可知在生产系统中执行该事件的执行时间过长，则指示调整待生产产品执行该动作事件时的执行路径，例如，由位置A传输到位置B，调整为由位置A传输到位置C，其中，位置B与位置C所执行的动作一致，以减小待生产产品执行该动作事件的执行时间。

[0133] 通过本申请提供的实施例，通过将等待事件及动作事件的平均执行时间，以及等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值及动作事件的执行时间与生命周期的第二比值，分别与相应的预定阈值比较，进而判断各个事件是否存在时间的浪费，从而对生产系统的控制做出相应调整，以实现减少生产过程中的时间浪费，缩短生产系统的生产周期，进而提高生产系统的生产效率。

[0134] 需要进一步说明的是，如表8所示，收集整合分散在生产系统中各个生产步骤中的事件的时间信息，生成事件结果集，其中，所有事件按照事件的执行顺序排列，进而利用得到的多个批次的产品的事件结果集统计得出每批产品在各个事件的平均执行时间，及平均执行时间与生命周期的比值，并将二者输出显示，如图4所示，以柏拉图的形式直观地呈现出计算的结果，以便于线上工程师做出调整。

[0135] 表8

[0136]

[0137] 进一步，结合表5和表7所示，其中，表5示出了跑货系统监控步骤各个事件的时间信息，表7示出了天车系统传输步骤各个事件的时间信息。在收集整合分散在生产系统中各个生产步骤中的事件的时间信息时，可以以每批次产品的ID为依据，在不同的生产步骤中进行查找。例如，在表5中的各个事件的时间信息并不连续，而在这些间断的时间里该批次产品可能在执行其他的生产步骤，通过该批次产品的ID可以实现在其他生产步骤中查找上述间断的时间信息，以时间信息为线整合各个事件，如表7所示，可看出其中的事件时间信息与表5中事件的时间信息连续，则说明该批次产品由跑货系统转到了天车系统。

[0138] 可选地，在本实施例中的跑货系统的时间信息间隔较大，而与其同时执行的机台系统的时间信息间隔小，则可将跑货系统中事件进一步拆分为机台系统中的事件，使时间信息的间隔更小，以便于调整控制。

[0139] 本发明提供了一种优选的实施例来进一步对本发明进行解释，但是值得注意的是，该优选实施例只是为了更好的描述本发明，并不构成对本发明不当的限定。

[0140] 从以上的描述中，可以看出，通过获取每批待生产产品在生产系统中各个生产步骤所执行的事件的时间信息，得到执行相同事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值，进而根据上述计算结果调整对生产系统的控制，实现了将生产系统中的各个生产步骤拆分成更小单位的事件，通过调整各个事件的执行时间，从而实现对生产系统的控制，达到了缩短生产系统的生产周期，进而提高生产系统的生产效率的技术效果，进而解决了由于统计的时间信息分散于多个系统中，不能进行有效地统计生产浪费的时间，导致生产系统的生产效率降低的技术问题。以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。