涂胶设备及其框架

摘要

本发明提供了一种涂胶设备及其框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。本发明可以通过外部的起重设备将烘烤机放置在支撑架上，安装更加方便、省力、省时。

权利要求

1.一种涂胶设备的框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，其特征在于，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。

2.根据权利要求1所述的框架，其特征在于，所述支撑架的数量为多个，每一支撑架对应一个安装开口。

3.根据权利要求1所述的框架，其特征在于，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。

4.一种涂胶设备，其特征在于，包括：

框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有支撑架；

烘烤机，设置在所述支撑架上；

其中，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。

5.根据权利要求4所述的涂胶设备，其特征在于，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。

说明书

涂胶设备及其框架

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体加工设备，尤其涉及一种涂胶设备及其框架。

背景技术

[0002] 在半导体工艺中，光刻是一种重要的工艺。在光刻工艺中，需要采用涂胶设备(coater)进行光刻胶的涂布，后续还需要对光刻胶进行烘、曝光、显影等操作。为了提高设备集成度，现有技术中的涂胶设备往往集成有烘烤机(bake)。

[0003] 目前的烘烤机的壳体通常是封闭的，其中设置有支撑架用于支撑烘烤机。在设备总装时，需要通过人力将烘烤机抬起后放置在封闭壳体内的支撑架上。但是，烘烤机的重量通常是非常大的，例如可以达到数百公斤，这就使得烘烤机的安装过程比较费时、费力。

发明内容

[0004] 本发明要解决的技术问题是提供一种涂胶设备及其框架，可以通过外部的起重设备将烘烤机放置在支撑架上，安装更加方便、省力、省时。

[0005] 为解决上述技术问题，本发明提供了一种涂胶设备的框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架，其中，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。

[0006] 根据本发明的一个实施例，所述支撑架的数量为多个，每一支撑架对应一个安装开口。

[0007] 根据本发明的一个实施例，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。

[0008] 本发明还提供了一种涂胶设备，包括：

[0009] 框架，所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成，所述横梁和纵梁相互垂直，所述设备框架内具有支撑架；

[0010] 烘烤机，设置在所述支承架上；

[0011] 其中，所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口，该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对，该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。

[0012] 根据本发明的一个实施例，所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。

[0013] 与现有技术相比，本发明具有以下优点：

[0014] 本发明实施例的涂胶设备的框架为开放的框架式结构，采用多条横梁和纵梁拼接而成，其侧壁具有安装开口，该安装开口的底边位置与支撑架的位置相对，并且该开口底边位置处的横梁至少部分可拆卸。在安装烘烤机时，可以将可拆卸的部分拆卸下来，利用铲车等外部起重设备直接将烘烤机放置在支撑架上，无需人力，更加省时、省力。

附图说明

[0015] 图1是本发明实施例的涂胶设备的框架的立体结构示意图；

[0016] 图2是本发明实施例的涂胶设备的框架改换另一视角的立体结构示意图；

[0017] 图3是本发明实施例的涂胶设备的立体结构示意图；

[0018] 图4是本发明实施例的涂胶设备的改换另一视角的立体结构示意图。

具体实施方式

[0019] 下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。

[0020] 参考图1和图2，本实施例的涂胶设备的框架10是一种“笼状”的开放式结构，底面、顶面以及侧壁都采用多条横梁和纵梁拼接而成，其中，横梁和纵梁相互垂直。横梁和纵梁可以采用各种适当的材料，例如可以是钢梁、铝合金梁等承重能力较强的材料。各条横梁和纵梁之间的连接方式可以是焊接等常用的固定方式。

[0021] 框架10内部设置有用于支撑烘烤机的支撑架11。根据集成的烘烤机的数量的不同，支撑架11的数量可以不同，但总体而言，支撑架11的数量与烘烤机的数量相等，也就是一台烘烤机设置在一个支撑架11上。支撑架11也可以采用横梁和纵梁来构建，也就是支撑架11的材料和加工过程可以和框架10的底面、顶面以及侧面相同，以简化制造工艺，降低成本。

[0022] 或者，支撑架11也可以采用专用的支架结构，将该专用的支架结构固定安装在框架10内部，例如可以和侧壁的多条横梁、纵梁相固定，以保持足够的支撑能力。

[0023] 框架10的侧壁上具有用于装入烘烤机的安装开口12。框架10制成后，烘烤机就从该安装开口12装入框架10内部并放置在支撑架11上。安装开口12的尺寸需要大于烘烤机的尺寸，以使得烘烤机能够通过该安装开口12装入框架10内部。

[0024] 安装开口12可以在加工框架10的侧壁时预留，例如，在焊接多条横梁和纵梁时预留足够大小的开口作为安装开口。或者，安装开口12也可以在框架10的侧壁加工完成后，再在侧壁上打开一个开口。

[0025] 安装开口12的数量与支撑架11的数量相等，每一个支撑架11对应一个安装开口12，相应地也就对应一台烘烤机。以图1和图2所示为例，该实例中包含2个支撑架11，2个安装开口12。

[0026] 安装开口12的底边位置与支撑架11的位置相对，二者基本在同一水平面内。该安装开口12的底边位置处保留一横梁13，而且该横梁13至少是部分可拆卸的。进一步而言，该安装开口12的底边位置处的横梁13可以全部或者部分被拆卸下来，然后可以根据需要再装回。

[0027] 横梁13的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式可以是螺接、键连接、卡口连接等适当的可拆卸连接方式。

[0028] 参考图3和图4，图3和图4示出了本实施例的涂胶设备20的立体结构，其在图1和图2所示框架的基础上，还包括了烘烤机21。该烘烤机21设置在支撑架11上。

[0029] 结合图1至图4，在安装烘烤机21时，可以将安装开口12底边位置处的横梁13的可拆卸部分拆除；然后将烘烤机21采用铲车等外部起重设备直接架设到支撑架11上；最后再将横梁13的可拆卸部分装回，完成烘烤机21的安装过程。整个安装过程无需人力将烘烤机21抬起，更加省时、省力。其中，图3和图4示出了横梁13的可拆卸部分被卸下时的状态，图1和图2示出了横梁13的可拆卸部分被装回后的状态。

[0030] 由上，横梁13的可拆卸部分拆除后，使得支撑架11为一开放式结构，对外并无遮挡，从而使得铲车的使用成为可能。

[0031] 本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。