可推定气体容器的密闭性的气体激光振荡器

摘要

本发明提供一种可推定气体容器的密闭性的气体激光振荡器，所述气体激光振荡器具备：输出指令部，其输出电源输出指令；电源部，其向放电管施加与电源输出指令对应的放电管电压，以便在放电管内开始放电；电压检测部，其对放电管电压进行检测；放电开始判定部，其根据逐渐增加电源输出指令时的电压检测部的检测值，来判定是否在放电管内开始了放电；以及密闭性判定部，其在放电开始时间超过了预定的第1阈值时，判定为气体容器的密闭性下降，其中，所述放电开始时间是从施加放电管电压到放电开始判定部判定为放电已开始为止的时间。

权利要求

1.一种气体激光振荡器，其特征在于，具备：激光气体进行循环的气体容器；

放电管，其被配置在所述激光气体的循环路径上；

输出指令部，其输出电源输出指令；

电源部，其向所述放电管施加与所述电源输出指令对应的放电管电压，以便在所述放电管内开始放电；

电压检测部，其对所述放电管电压进行检测；

放电开始判定部，其根据逐渐增加所述电源输出指令时的所述电压检测部的检测值，来判定是否在所述放电管内开始了放电；以及密闭性判定部，其在放电开始时间超过了预定的第1阈值时，判定为所述气体容器的密闭性下降，其中，所述放电开始时间是从开始施加所述放电管电压到所述放电开始判定部判定为开始了放电为止的时间。

2.根据权利要求1所述的气体激光振荡器，其特征在于，还具备：存储部，其存储由所述密闭性判定部判定为所述气体容器的密闭性下降的判定次数，当存储在所述存储部中的所述判定次数超过了预定的第2阈值时，使气体激光振荡器停止。

3.根据权利要求1或2所述的气体激光振荡器，其特征在于，还具备：显示装置，其显示所述放电开始时间和由所述密闭性判定部判定为所述气体容器的密闭性下降的判定次数中的至少一项。

4.根据权利要求1或2所述的气体激光振荡器，其特征在于，还具备用于检测所述电源部的输出电流的电流检测部，当所述电流检测部的检测值超过了预定的第3阈值时，所述输出指令部暂时使所述电源输出指令下降，之后使其逐渐增加。

5.根据权利要求4所述的气体激光振荡器，其特征在于，还具备：第2存储部，其存储所述电流检测部的检测值超过了所述第3阈值的次数作为重试次数，当所述重试次数超过了预定的第4阈值时，暂时使激光气体的压力下降后开始放电。

6.根据权利要求1或2所述的气体激光振荡器，其特征在于，施加所述放电管电压后，所述放电开始判定部没有判定为放电开始而经过了预定时间时，暂时使激光气体的压力下降后开始放电。

说明书

可推定气体容器的密闭性的气体激光振荡器

技术领域

[0001] 本发明涉及一种以激光气体为介质使激光振动的气体激光振荡器。

背景技术

[0002] 在将激光气体作为介质使激光振动的气体激光振荡器中，重要的是确保用于收纳激光气体的气体容器的密闭性。例如，当气体容器的密闭性较低时，空气或水分混入到激光气体中，从而激光气体组成发生变化。作为该结果，有时不能得到所希望的激光输出，导致加工不良乃至加工时间增加。此外，不能对激光电源侧与放电负载(匹配单元、电极、放电管以及放电空间内的激光气体)侧的阻抗进行整合，从而在激光电源中流过过大电流，并且，有时向放电管施加过大的电压。其结果，有时电源装置或放电管破损，或气体激光振荡器检测到异常而警报停止。

[0003] 在JPH09－000405U中公开了具备漏气检测装置的气体激光振荡器，其中，所述漏气检测装置可以通过比较切断气体激光振荡器的电源前的气体压力与紧接着接通电源时的气体压力来检测激光气体的泄露。此外，在JPH09－000405U中公开了为了准确地测定气体压力而使用用于测定激光气体的温度的温度传感器。

[0004] 在JP2008－153281A中公开了在激光气体的压力比正常运转低的状态下，根据从电源部输出的电流值来判定激光气体组成的异常的气体激光振荡器。

[0005] 在JP2008－004773A中公开了如下的气体激光振荡器，其具备：激光气体判定单元，其根据激光气体的压力与向用于使激光气体循环的涡轮鼓风机供给的电力之间的相关性，来判定激光气体的类型；以及异常判断单元，其根据判定结果来判断气体激光振荡器的异常。

[0006] 在JPH09－000405U记载的公知技术中，若不能使气体激光振荡器长时间地充分停止时，则无法推定气体容器的密闭性。此外，不能推定O形密封圈的劣化等随着使用而逐渐严重的密闭性的下降。此外，为了准确地测定气体压力需要设置温度传感器，从而成为成本增加的原因。

[0007] 在JP2008－153281A以及JP2008－004773A记载的公知技术中，需要在每次进行测定时排出激光气体，之后重新供给激光气体。由此，激光气体的消耗量变多，作为结果成本增加。此外，当气体容器的密闭性下降的程度非常小时，与之对应的DC电流值或涡轮鼓风机的电力变化量较小，从而无法忽略测定误差。因此，有时无法准确地判定气体激光组成的变化。

[0008] 但是，JP2011－222586A以及JP2014－053423A中公开了如下的技术，即：在向放电管施加与以阶梯状增加的电源输出指令对应的电压的气体激光振荡器中，根据放电管的电压变化相对于电源输出指令的比例，来判定是否在放电管内发生了放电。

发明内容

[0009] 本发明人着眼于当激光气体组成变化时，即气体容器的密闭性下降时，很难引起放电，从而到放电开始为止的需要时间(以下，称为“放电开始时间”)增加，而提出了可以根据放电开始时间来推定气体容器的密闭性的气体激光振荡器。

[0010] 本申请的第1发明，提供一种气体激光振荡器，具备：激光气体进行循环的气体容器；放电管，其被配置在所述激光气体的循环路径上；输出指令部，其输出电源输出指令；电源部，其向所述放电管施加与所述电源输出指令对应的放电管电压，以便在所述放电管内开始放电；电压检测部，其对所述放电管电压进行检测；放电开始判定部，其根据逐渐增加所述电源输出指令时的所述电压检测部的检测值，来判定是否在所述放电管内开始了放电；以及密闭性判定部，其在放电开始时间超过了预定的第1阈值时，判定为所述气体容器的密闭性下降，其中，所述放电开始时间是从开始施加所述放电管电压到所述放电开始判定部判定为开始了放电为止的时间。

[0011] 本申请的第2发明，在第1发明所涉及的气体激光振荡器中，还具备：存储部，其存储由所述密闭性判定部判定为所述气体容器的密闭性下降的判定次数，当存储在所述存储部中的所述判定次数超过了预定的第2阈值时，使气体激光振荡器停止。

[0012] 本申请的第3发明，在第1或第2发明所涉及的气体激光振荡器中，还具备：显示装置，其显示所述放电开始时间和由所述密闭性判定部判定为所述气体容器的密闭性下降的判定次数中的至少一项。

[0013] 本申请的第4发明，在第1至第3发明中的任一项所涉及的气体激光振荡器中，还具备用于检测所述电源部的输出电流的电流检测部，当所述电流检测部的检测值超过了预定的第3阈值时，所述输出指令部暂时使所述电源输出指令下降，之后使其逐渐增加。

[0014] 本申请的第5发明，在第4发明所涉及的气体激光振荡器中，还具备：第2存储部，其存储所述电流检测部的检测值超过了所述第3阈值的次数作为重试次数，当所述重试次数超过了预定的第4阈值时，暂时使激光气体的压力下降后开始放电。

[0015] 本申请的第6发明，在第1至第4发明中的任一项所涉及的气体激光振荡器中，施加所述放电管电压后，所述放电开始判定部没有判定为放电开始而经过了预定时间时，暂时使激光气体的压力下降后开始放电。

[0016] 参照附图所示的本发明的示例性实施方式的详细的说明，使这些以及其他本发明的目的、特征以及优点更加明确。

附图说明

[0017] 图1是一实施方式的气体激光振荡器的结构图。

[0018] 图2是气体激光振荡器的功能框图。

[0019] 图3是表示气体激光振荡器从等待状态恢复时的工序流程的流程图。

[0020] 图4是表示执行恢复动作时的放电管电压以及DC电流的特性的例子的图。

[0021] 图5是表示执行恢复动作时的放电管电压以及DC电流的特性的其他例子的图。

[0022] 图6是表示执行恢复动作时的放电管电压以及DC电流的特性的其他例子的图。

[0023] 图7是表示安装有警报停止判定功能的气体激光振荡器的恢复动作的工序流程的流程图。

[0024] 图8是表示变形例的气体激光振荡器的恢复动作的工序流程的流程图。

具体实施方式

[0025] 以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。为了有助于理解本发明，在附图中适当地变更缩尺后进行了记载。此外，在多个实施方式中，对相同或对应的构成要素使用相同的参照符号。

[0026] 图1是一实施方式的气体激光振荡器1的结构图。气体激光振荡器1具备：控制气体激光振荡器1的CNC(计算机数值控制装置)2、使作为激光介质的激光气体循环的气体循环系统3、配置在激光气体的循环路径上的谐振器4、向构成谐振器4的放电管41供给电力的电源部5、介于CNC2与电源部5之间的接口部6以及视觉显示各种信息的显示装置7。

[0027] 气体循环系统3具备用于形成激光气体的循环路径的气体容器31。气体容器31的内部空间311被激光气体充满。激光气体例如是以预定的组成比例混合了二氧化碳、氮、氦等的气体。气体容器31的内部空间311与放电空间32连通，所述放电空间32是通过经由连接支架33相互连接的一对放电管41形成的空间。

[0028] 气体循环系统3具备涡轮鼓风机35，其在连接支架33的附近具有吸入部。如图中的箭头所示，通过涡轮鼓风机35使激光气体在气体容器31的内部空间311以及放电空间32循环。在涡轮鼓风机35的上游侧(吸入部侧)以及下游侧(吐出部侧)分别配置有用于冷却激光气体的热交换器34。

[0029] 气体循环系统3还具备冷却水循环系统36和气体压力控制系统37。冷却水循环系统36具有使用于冷却热交换器34以及气体容器31的冷却水循环的功能。气体压力控制系统37具有如下的功能，即通过从外部向气体容器31内导入激光气体，或者从气体容器31向外部排出激光气体，来控制激光气体的压力。通过CNC2或其他控制装置(未图示)来控制冷却水循环系统36以及气体压力控制系统37。

[0030] 谐振器4具备：一对放电管41、相对激光气体的流动配置在一个放电管41的上游侧的部分反射镜即后镜(rear mirror)44以及配置在另一个放电管41的上游侧的部分反射镜即输出镜45。放电管41具备主电极42，当从电源部5向主电极42施加了预定的电压时，在放电空间32中发生放电。此外，在每个放电管41的上游设置有辅助经由主电极42的放电的辅助电极43，当气体激光振荡器1运转时，与主电极42一起接受来自电源部5的电力供给。

[0031] 当在放电空间32中发生放电时，激发激光气体而产生光。产生的光一边在后镜44与输出镜45之间重复反射，一边通过受激发射而被放大。被充分放大后的激光的一部分通过输出镜45后向外部排出。例如执行激光加工时使用激光。在输出镜45的输出侧设置有机械闸门46，可以根据需要对激光进行切断。此外，谐振器4还具备用于检测激光输出的功率传感器47。将功率传感器47的检测值输入到接口部6的监视部62中。

[0032] 电源部5具有根据从输出指令部61输入的电源输出指令，向各个放电管41供给高频电力的功能。电源部5具备电源单元51和匹配单元53。在图示的实施方式中，针对一对放电管41分别设置有电源单元51以及匹配单元53，但这些结构以及作用效果相互相同，因此仅对一方的电源单元51以及匹配单元53进行说明。

[0033] 电源单元51输出与从接口部6的输出指令部61输入的电源输出指令对应的DC电流。输出指令部61根据来自CNC2的控制信号生成电源输出指令。将从电源单元51输出的DC电流转换成高频电力后，输入到匹配单元53中。匹配单元53整合电源部5侧的输出阻抗与放电负载侧的输入阻抗，来向放电管41施加与电源输出指令对应的电压(以下，称为“放电管电压”)。

[0034] 电源单元51具备用于检测由电源单元51输出的DC电流的电流检测部52。此外，匹配单元53具备用于检测放电管电压的电压检测部54。向接口部6的监视部62分别输入电流检测部52以及电压检测部54的检测值。

[0035] 图2是气体激光振荡器1的功能框图。如图所示，CNC2具备放电开始判定部21、重试处理部22、密闭性判定部23以及存储部24。CNC2具有包括CPU、ROM、RAM等的硬件结构。以下，为了简单只对1个放电管41进行说明，但如果是本技术领域的技术人员，可以容易地认识到对具备任意数量的放电管的气体激光振荡器也可以应用同样的概念。

[0036] 当使气体激光振荡器1从等待状态恢复时，放电开始判定部21判定是否在放电管41中开始了放电。在一实施方式中，当使电源输出指令以阶梯状增大时，放电开始判定部21根据由电压检测部54检测出的放电管电压的变化量是否超过了预定的阈值来判定放电开始。

[0037] 在执行气体激光振荡器1的恢复动作时，若从电源单元51输出的DC电流超过了预定的阈值，则重试处理部22暂时使电源输出指令下降后，重新执行使电源输出指令以阶梯状增加的工序(重试处理)。具体而言，在一实施方式中，当电流检测部52的检测值超过了预定的阈值时，重试处理部22执行重试处理。

[0038] 密闭性判定部23根据放电开始时间来判定气体容器31的密闭性是否下降。在一实施方式中，放电开始时间是从向放电管41施加放电管电压到在放电管41开始放电为止所需要的时间。例如通过放电开始判定部21来判定是否开始了放电。

[0039] 存储部24根据需要对各种信息进行存储。例如，存储部24存储密闭性判定部23判定气体容器31的密闭性下降的次数。此外，在一实施方式中，存储部24也可以存储重试次数。存储部24通过非易失性存储器来存储各种信息，以便即使切断了向气体激光振荡器1供给的电力也能够保持存储信息。或者，存储部24也可以通过与气体激光振荡器1的电源不同的电源，与可动作的外部存储装置协作地存储信息。

[0040] 显示装置7是具有LCD等公知结构的显示装置，并根据需要显示各种信息。显示装置7例如是显示CNC2的控制程序或参数等的一般的显示装置。在一实施方式中，显示装置7例如也可以显示密闭性判定部23判定气体容器31的密闭性下降的次数。此外，在一实施方式中，显示装置7也可以显示存储在CNC2中的放电开始时间。

[0041] 图3是说明在一实施方式的气体激光振荡器1中，判定气体容器31的密闭性的密闭性判定功能的图。在本实施方式中，当气体激光振荡器1从等待状态恢复时，执行密闭性的判定。因此，图3的流程图表示气体激光振荡器1从等待状态恢复时的工序的流程。

[0042] 通过向CNC2输入预定的控制信号来开始从等待状态的恢复动作。另外，“等待状态”表示来自输出指令部61的电源输出指令为零，且在放电管41中没有发生放电的状态。当开始恢复动作时，在步骤S301中将重试次数M设定为零。此外，启动用于测量放电开始时间的定时器。

[0043] 在步骤S302中，输出指令部61在预定的时间Δt内输出电源输出指令C1(0)。此外，将步进(step)次数N设定为零。

[0044] 在步骤S303中，电流检测部52根据电源输出指令C1(0)检测从电源单元51输出的DC电流I(0)，并且电压检测部54检测向放电管41施加的放电管电压V(0)。将DC电流I(0)以及放电管电压V(0)输入到监视部62中，并且存储在CNC2的存储部24中。

[0045] 在步骤S304中，向步进次数N代入N+1后，在步骤S305中，输出指令部61在预定的时间Δt内输出向之前的电源输出指令C1(N－1)相加ΔC1而得到的电源输出指令C1(N)。这样，在本实施方式中，输出指令部61在每个预定的周期(Δt)使电源输出指令以阶梯状仅增加ΔC1。

[0046] 在步骤S306中，电流检测部52以及电压检测部54检测与电源输出指令C1(N)对应的DC电流I(N)以及放电管电压V(N)。将这些DC电流I(N)以及放电管电压V(N)输入到监视部62中，并且存储在CNC2的存储部24中。

[0047] 在步骤S307中，CNC2的放电开始判定部21判断是否在放电管41中开始了放电。根据当前的放电管电压V(N)与之前的放电管电压V(N－1)之间的差是否小于预定的阈值TH5来执行放电开始判定。可知当使电源输出指令以阶梯状增加预定的增加量时，放电管电压相对于电源输出指令的变化比例，在放电开始后小于放电开始前。因此，每次增加电源输出指令时，比较放电管电压的变化量与阈值TH5，来判定是否开始了放电。请同时参照JP2011－222586A以及JP2014－053423A。阈值TH5可以适当地根据气体激光振荡器1正常运转时的放电管电压相对于电源输出指令的变化量来决定。

[0048] 当否定了步骤S307中的判定时，向步骤S308前进，执行过电流判定。过电流判定根据DC电流I(N)是否超过预定的阈值TH3(第3阈值)来执行。为了防止DC电流I(N)变得过大，气体激光振荡器1停止警报而执行过电流判定。因此，将阈值TH3设定为例如小于应停止警报的DC电流值的值。

[0049] 当否定了步骤S308中的判定时，返回到步骤S304，重新执行使电源输出指令仅增加ΔC1的处理。重复执行步骤S304～步骤S307的处理，直到肯定步骤S307以及步骤S308中的某一方为止。

[0050] 当肯定了步骤S307的判定时，向步骤S309前进，输出指令部61输出以维持辅助电极43的辅助放电，并且不产生主电极42的主放电(即，激光输出为0W)的方式决定的电源输出指令C2。接着，在步骤S310中取得放电开始时间TS作为从开始恢复动作到判定放电开始为止所需要的时间。

[0051] 图4表示执行了恢复动作时的放电管电压以及DC电流的特性的例子。在图4中示出了不肯定步骤S308中的判定，而肯定步骤S307中的放电开始判定时的电源输出指令、放电管电压以及DC电流的相互的关系性。在图4中，分别通过实线、点线、虚线来表示电源输出指令、放电管电压以及DC电流。

[0052] 如上所述，根据阶梯状增大的电源输出指令，放电管电压以及DC电流分别增大。然后，在开始恢复动作后经过了时间TS的时刻，放电管电压的变化量ΔV小于阈值TH5，放电开始判定部21判定放电开始(即，肯定步骤S307的判定)。在图4所示的例子中，在较短的时间内顺利地开始放电。因此，可以推定为气体容器31的密闭性非常高。

[0053] 再次参照图3，当肯定了步骤S308的判定时，向步骤S311前进，重试处理部22执行重试处理。在步骤S311中，向重试次数M代入M+1。接着，向步骤S312前进，执行气体压力下降判断。

[0054] 根据重试次数M是否超过预定的阈值TH4(第4阈值)来执行气体压力下降判定。如果是正常状态，若重复预定次数的重试处理则开始放电。然而，当激光气体组成变化时，有时在没有开始放电的状态下重试次数M超过阈值TH4。此时，执行气体压力下降处理来可靠地开始放电。

[0055] 另一方面，当否定了步骤S312的判定时返回步骤S302，输出指令部61输出电源输出指令C1(0)(初始值)。

[0056] 图5表示执行了恢复动作时的放电管电压以及DC电流的特性的第2个例子。在图5中示出了在时间TR执行重试处理，并且在时间TS放电开始判定部21判定放电开始的情况的例子。即，在时间TR，DC电流超过阈值TH3(肯定步骤S308的判定)，并且随着重试处理的执行，输出指令部61再次输出电源输出指令C1(0)。如图5的例子所示，当需要执行重试处理时，可以推定为发生了较轻度的密闭性的下降。此外，根据重试处理的执行次数的增加，可以推定为密闭性的下降还在继续。例如，当重试次数的执行次数超过了预定次数时，可以推定为在放电管41等中使用的O形密封圈劣化，需要进行更换。

[0057] 返回到图3，当肯定步骤S312的判定时，向步骤S313前进，执行气体压力下降处理以便能够可靠地开始放电。气体压力控制系统37向外部排出气体容器31内的激光气体，并使气体压力下降直到成为比通常的气体压力P小ΔP的压力P’为止。

[0058] 在步骤S314中，输出指令部61输出运转时使激光输出为0W而设定的电源输出指令C2。在气体压力下降至P’的状态下，若赋予电源输出指令C2，则根据经验可以知道可靠地开始了放电。换言之，执行完气体压力下降处理后的激光气体压力P’在赋予了电源输出指令C2时，被设定为可靠地开始放电的气体压力。

[0059] 开始放电后，在步骤S315中，气体压力控制系统37向气体容器31内供给激光气体，并且使气体压力增加至通常动作时的气体压力(执行气体压力下降处理前的激光气体压力)P。

[0060] 接着，向步骤S310前进，取得放电开始时间TS。当通过执行气体压力下降处理使放电开始时，将放电开始时间TS视为在肯定步骤S312的判定为止的时间上相加执行步骤S313～S315所需要的时间(根据气体容器31的容积决定的时间)而得的合计时间。

[0061] 图6表示执行了恢复动作时的放电管电压以及DC电流的特性的第3个例子。在图6中示出了分别在时间TR(1)、TR(2)、……TR(i)执行重试处理，并且在时间TS视为开始放电的情况的例子。在图6的例子中，可知在时间TR(i)，重试次数M超过阈值TH4(肯定步骤S312的判定)，并且随着气体压力下降处理的执行，通过气体压力控制系统37气体压力仅下降ΔP。如图6的例子所示，当需要执行气体压力下降处理时，可以推定为发生了较重度的密闭性的下降。例如，可以推定为气体容器31发生了龟裂，或在通过气体压力控制系统37控制的阀中发生了不良。

[0062] 返回到图3，当取得放电开始时间TS时，向步骤S316前进，密闭性判定部23判定气体容器31的密闭性是否下降。根据放电开始时间TS是否超过了预定的阈值TH1(第1阈值)来执行密闭性判定。

[0063] 当肯定步骤S316的判定时，向步骤S317前进，判定气体容器31的密闭性下降后，完成恢复动作。另一方面，当否定步骤S316的判定时，绕过步骤S317后完成恢复动作。

[0064] 本实施方式的气体激光振荡器1具有如下的优点。

[0065] (1)每次使气体激光振荡器1从等待状态恢复时，判定气体容器31的密闭性是否下降。由此，即使在没有完全停止气体激光振荡器1的状态下继续执行激光加工的情况下，也能够推定气体容器31的密闭性。例如，当长时间执行一连串的激光加工时，可以利用气体激光振荡器1从临时的等待状态恢复的定时，来推定气体容器31的密闭性。此外，可以判定因O形密封圈的劣化等，在气体激光振荡器运转中逐渐发展的气体容器的密闭性的下降，从而能够提高密闭性监视的可靠性。

[0066] (2)根据放电开始时间TS推定气体容器31的密闭性，由此即使在密闭性下降程度非常低时，也可以判定密闭性下降。并且，可以根据放电开始时间的长度对密闭性下降的程度进行某种程度的推定，由此可以推定密闭性下降的原因。例如，可以根据步进次数N增加的结果或执行重试处理的结果、放电开始时间TS的增加，来推定O形密封圈等密封部件的劣化在继续。此外，在重试次数M增加，放电开始时间TS增加至需要进行气体压力下降处理的程度时，可以推定在除了气体容器31以外的其他配管设备中产生了不良。并且，不需要设置现有的用于检测激光气体组成的变化的温度传感器，因此可削减成本。

[0067] (3)根据本实施方式，可不更换激光气体地判定气体容器31的密闭性的下降。因此，可以在短时间内，例如在0.5秒～2秒内执行密闭性的判定，从而能够缩短气体激光振荡器1的停机时间。此外，能够抑制激光气体的消耗量。

[0068] (4)气体激光振荡器1在显示装置7上显示密闭性判定部23判定气体容器31的密闭性下降的次数或放电开始时间TS。气体激光振荡器1还可以在显示装置7上显示所请求的修复作业的内容。例如，也可以在显示装置7上显示需要更换O形密封圈、在气体容器31等存在不良可能性等警告信息。操作员可以根据显示在显示装置7上的信息来执行必要的维护作业或修复作业。并且，操作员根据情况，可以基于显示在显示装置7上的信息来推定需要修复的位置。例如，当放电开始时间TS在更换了用于收纳激光气体的气瓶后增加时，操作员可以推定在更换后的气瓶中发生了不良。

[0069] 图7是表示按照其他实施方式安装了警报停止判定功能的气体激光振荡器1的恢复动作的工序流程的流程图。在步骤S701中，按照参照图3说明的方法来取得放电开始时间TS。即，步骤S701相当于图3的步骤S310。在图7中，为了便于说明，省略了取得放电开始时间TS之前的工序。步骤S702以及步骤S703的处理与图3的步骤S316以及步骤S317相同。此外，当否定了步骤S702的判定时，与图3同样地完成恢复动作。

[0070] 在本实施方式中，当在步骤S703中判定为气体容器31的密闭性下降时，在步骤S704中，将X+1代入到密闭性下降判定次数(以下，称为“判定次数”)X中。例如通过CNC2的存储部24来存储判定次数X。存储部24通过非易失性存储器或外部存储装置来存储判定次数X，以便即使切断了向气体激光振荡器1供给的电力也能够保持判定次数X。另外，在通过维护工序或修复工序解决了密闭性下降的原因的时刻，重置判定次数X。

[0071] 接着，向步骤S705前进，执行警报停止判定。根据判定次数X是否超过了阈值TH2(第2阈值)来执行警报停止判定。当肯定步骤S705的判定时，气体容器31的密闭性显著下降，从而视为可能引起放电管41的故障等不良，使气体激光振荡器1进行警报停止。另一方面，当否定了步骤S706的判定时，完成恢复动作。

[0072] 根据本实施方式，当密闭性下降的程度明显变大时，使气体激光振荡器1进行警报停止。因此，作为激光气体的组成变化的结果能够施加过大的电流或电压，防止气体激光振荡器1的破损。此外，与密闭性判定同样地，每次从等待状态恢复时执行警报停止判定，因此即使气体激光振荡器1进行无人运转也能够防止事故的发生。

[0073] 图8是表示变形例的气体激光振荡器1的恢复动作的工序流程的流程图。在本变形例中，步骤S810中的气体压力下降判定不是根据重试次数M来执行，而是根据开始恢复动作后的经过时间TE来执行。即，当经过时间TE超过了预定的阈值TH6时，向步骤S811前进，执行气体压力下降处理。步骤S810以外的工序与图3相关联，与所述的实施方式相同，因此省略说明。

[0074] 在该变形例的气体激光振荡器1中，当经过时间TE超过了阈值TH6时，执行气体压力下降处理。因此，即使在激光气体组成发生变化而难以引起放电时，也可以通过使气体压力下降来可靠地开始放电，因此能够防止停机时间的发生。

[0075] 根据本发明的气体激光振荡器，根据放电开始时间来判定气体容器的密闭性是否下降。由此，能够迅速且高精度地推定气体容器的密闭性。

[0076] 以上，对本发明的各种实施方式进行了说明，但本领域的技术人员应当明白通过其他实施方式也能够实现本发明所意图的作用效果。尤其，在不脱离本发明的范围的情况下，可以对所述的实施方式的构成要素进行删除或置换，或者可以进一步附加公知的技术手段。此外，本领域的技术人员应当明白也可以通过任意地组合在本说明书中明示或暗示的多个实施方式的特征来实施本发明。