脱模用双轴取向层合聚酯膜

摘要

通过满足下述(1)～(3)的脱模用双轴取向聚酯膜，均衡性良好地改善了薄膜生坯成型时的陶瓷浆料的涂布性及生坯剥离特性。(1)一个面(将该面设为A面)的表面粗糙度SRa(A)为7.0nm以上且小于15.0nm。(2)与A面相反的面(将该面设为B面)的表面粗糙度SRa(B)大于30nm且小于50nm。(3)在A面存在的大凸起的个数为10个/5.0mm2以上且20个/5.0mm2以下，并且，在A面存在的大凸起的高度均为800nm以下的范围。

权利要求

1.一种脱模用双轴取向聚酯膜，其满足下述(1)～(3)：(1)将一个面设为A面，其表面粗糙度SRa(A)为7.0nm以上且小于15.0nm；

(2)作为与A面相反的面的B面的表面粗糙度SRa(B)大于30nm且小于50nm；

(3)在A面存在的大凸起的个数为10个/5.0mm2以上且20个/5.0mm2以下，并且，在A面存在的大凸起的高度均为800nm以下的范围，需要说明的是，大凸起的个数、高度通过下述测定方法求出，大凸起的个数、高度的测定方法：

使用三维结构解析测定仪即Zygo Corporation制New View 7300，在(I)的测定条件下进行测定，得到微分干涉图像；在得到的图像中，将满足(II)的基准的凸起作为大凸起并对大凸起的个数进行计数，换算为每5.0mm2的值，将该值作为大凸起的个数；另外，将满足(II)的基准的凸起的高度作为大凸起的高度；将所述测定实施5次，将其平均值作为大凸起的个数，(I)测定条件

倍率：50倍

测定区域：宽度0.98mm、长度5.25mm针对宽度方向7个视野×长度方向50个视野＝350个视野实施测定，每1个视野的大小为140μm×105μm，Camera Mode：640×480 210HzScan Length：10μm

Min Mod：15.00％

Min Area Size：7

Film Min Mod：4％

(II)筛选基准

Reference Band：600nm

Area：0.25μm2以上。

2.如权利要求1所述的脱模用双轴取向聚酯膜，其特征在于，为由至少两层形成的层合聚酯膜。

3.如权利要求1或2所述的脱模用双轴取向聚酯膜，其特征在于，为由三层形成的层合聚酯膜，不具有A面、B面的中间层的厚度相对于膜整体为25％以上且小于95％。

4.如权利要求1或2所述的脱模用双轴取向聚酯膜，其特征在于，所述脱模用双轴取向聚酯膜在制造层合陶瓷电容器的工序中用于对生坯成型进行支撑。

5.权利要求1～4中任一项所述的脱模用双轴取向聚酯膜的制造方法，包括下述(4)所示的工序：工序(4)，在拉伸聚酯膜的工序中，利用红外线加热器对膜进行加热，所述红外线加热器的输出功率为10kw以上且小于13kw，其加热时间为0.05秒以上且小于0.3秒。

6.如权利要求5所述的脱模用双轴取向聚酯膜的制造方法，包括下述(5)～(8)所示的工序：工序(5)，在长度方向上，以3.5～3.8倍的拉伸倍率对未拉伸聚酯膜进行拉伸，得到单轴取向聚酯膜；

工序(6)，在沿长度方向将所述未拉伸聚酯膜拉伸的工序中，包括所述工序(4)；

工序(7)，将工序(5)中得到的单轴取向聚酯膜在宽度方向上拉伸，得到双轴取向聚酯膜；

工序(8)，将工序(7)中得到的双轴取向聚酯膜一边于205～240℃进行热处理一边在宽度方向上松弛0～10％。

说明书

脱模用双轴取向层合聚酯膜

技术领域

[0001] 本发明涉及以双轴拉伸聚酯膜为基础的、平滑性和均一剥离性之间的均衡性优异的脱模用基础膜(base film)。

背景技术

[0002] 随着近来的智能手机的普及，层合陶瓷电容器的小型高容量化逐渐发展。关于制造层合陶瓷电容器时使用的脱模膜，平滑性高、膜表面及内部没有缺陷的聚酯膜的需求正急速增加。

[0003] 关于平滑性高的脱模用途聚酯膜，公开了一种基础膜，所述基础膜通过具有下述特征，从而在生坯(green sheet)上产生的针孔少，所述特征为：在形成陶瓷浆料的表面实质上不含粒子，三维中心面粗糙度(SRa)为2～7nm(专利文献1)。另外，公开了下述技术：通过减少膜表面的凹坑缺陷，来抑制涂布陶瓷浆料后所形成的、生坯表面的缺陷，由此提高陶瓷浆料的涂布性(专利文献2)。另外，公开了下述方法：利用膜的卷绕工序来改善由平滑化(其伴随生坯薄膜化而产生)引起的带电，由此减少因静电而附着在膜上的杂质被卷入从而产生隆起状缺陷(专利文献3)。另外，为了使高平滑性、杂质削减、生产成本降低成为可能，还公开了在不同种类的三层结构的中间层中不配合微粒的方法(专利文献4)。另一方面，关于规定并控制表面凸起的方法，通常通过在作为基材的聚酯膜中添加粒子来实现，关于其评价方法，已知利用由三维微细表面形状测定仪得到的表面的轮廓(profile)来求得(专利文献5、专利文献6)。

[0004] 现有技术文献

[0005] 专利文献

[0006] 专利文献1：日本特开2007-62179号公报

[0007] 专利文献2：日本特开2007-210226号公报

[0008] 专利文献3：日本特开2004-196873号公报

[0009] 专利文献4：日本特开2004-196856号公报

[0010] 专利文献5：日本特开2009-215350号公报

[0011] 专利文献6：日本特开2008-239844号公报

发明内容

[0012] 发明要解决的问题

[0013] 近年来，由于对陶瓷电容器要求较高的精度，因此对于用于陶瓷电容器的脱模膜也要求在将陶瓷生坯以薄膜的形式层合多层时具有较高的层合精度。但是，就按照上述现有已知技术得到的脱模膜而言，发现虽然可以一定程度地提高层合精度，却存在无法抑制剥离特性的不均的问题。按照现有已知技术得到的脱模膜是减少了在脱模层的表面存在的凸起(通常称为粗大凸起)的、平滑性高的膜。但是，就利用上述现有已知技术得到的脱模膜而言，认为由于脱模层的表面过于平滑，所以导致用作剥离的起点的点(剥离开始点)消失，结果剥离特性产生不均。因此，本申请的发明人经过潜心研究，结果发现通过在脱模膜的表面形成具有一定形状的凸起(大凸起)，能够抑制上述剥离特性的不均。

[0014] 本发明的目的在于，提供一种平滑性高的脱模用双轴取向聚酯膜，就所述脱模用双轴取向聚酯膜而言，在将平滑性高的生坯以薄膜的形式层合多层后的、膜的剥离特性(特别是剥离)的不均极小。

[0015] 用于解决课题的手段

[0016] 本申请的发明人鉴于上述实际情况进行了潜心研究，结果发现通过将表面性状特别是大凸起个数控制在适当范围内，能够得到剥离特性良好、特别是剥离的不均极小、适合于平滑性高的薄膜生坯成型的脱模聚酯膜，从而完成了本发明。

[0017] 即，

[0018] 为满足下述(1)～(3)的脱模用双轴取向聚酯膜。

[0019] (1)一个面(将该面设为A面)的表面粗糙度SRa(A)为7.0nm以上且小于15.0nm。

[0020] (2)与A面相反的面(将该面设为B面)的表面粗糙度SRa(B)大于30nm且小于50nm。

[0021] (3)在A面存在的大凸起的个数为10个/5.0mm2以上且20个/5.0mm2以下，并且，在A面存在的大凸起的高度均为800nm以下的范围。

[0022] 发明效果

[0023] 根据本发明，能够改善平滑性高的薄膜生坯成型时的陶瓷浆料的涂布性、及生坯的剥离特性的不均。

具体实施方式

[0024] 以下，更详细地说明本发明。

[0025] 本发明的脱模用双轴取向聚酯膜中的所谓脱模用，是指使用聚酯膜基材，将构件进行成型，从成型后的构件剥离的用途。此处所说的构件，为多层陶瓷电容器中的生坯、多层电路基板中的层间绝缘树脂(电绝缘树脂)、光学相关构件中的聚碳酸酯(此时用于溶液制膜)等。

[0026] 本发明的脱模用双轴取向聚酯膜的剥离特性良好，特别是剥离不均极小。因此，在制造层合陶瓷电容器的工序中，可以适合用于脱模用膜(其用于对生坯成型进行支撑)。就本发明的脱模用双轴取向聚酯膜而言，即使将平滑性高的生坯以薄膜的形式层合多层，成型时陶瓷浆料的涂布性也优异，并且，生坯冲裁性及生坯层合精度也良好。

[0027] 本发明的脱模用双轴取向聚酯膜中的所谓双轴取向，是在大角度X射线衍射中显示双轴取向图案。可以通过利用常用方法将未拉伸(未取向)膜在二维方向上拉伸而得到。拉伸可以采用逐次双轴拉伸。就逐次双轴拉伸而言，可以以纵横各一次的方式实施在长度方向(纵向)及宽度方向(横向)上进行拉伸的工序，即纵-横；也可以在各个方向上实施1次以上，即纵-横-纵-横等。

[0028] 本发明的脱模用双轴取向聚酯膜中的所谓聚酯，为以二元酸和二元醇作为构成成分的聚酯，作为芳香族二元酸，可使用对苯二甲酸、间苯二甲酸、邻苯二甲酸、萘二甲酸、二苯基砜二甲酸、二苯醚二甲酸、二苯酮二甲酸、苯基茚满二甲酸(phenyl  indane dicarboxylic acid)、间苯二甲酸磺酸钠、二溴对苯二甲酸等。作为脂环族二元酸，可使用草酸、琥珀酸、己二酸、壬二酸、癸二酸、二聚酸等。作为二元醇，作为脂肪族二元醇，可使用乙二醇、丙二醇、1，4-丁二醇、丙二醇、1，4-丁二醇、1，6-己二醇、新戊二醇、二乙二醇等；作为芳香族二元醇，可使用萘二酚、2，2-双(4-羟基二苯基)丙烷、2，2-双(4-羟基乙氧基苯基)丙烷、双(4-羟基苯基)砜、氢醌等；作为脂环族二元醇，可使用环己烷二甲醇、环己烷二元醇等。

[0029] 上述聚酯可以利用已知方法制造，其特性粘度优选下限为0.5dl/g以上、上限为0.8dl/g以下。更优选地，下限为0.55dl/g以上、上限为0.70dl/g以下。

[0030] 本发明的脱模用双轴取向聚酯膜是一个面(将该面设为A面)的表面粗糙度SRa(A)为7.0nm以上且小于15.0nm、与A面相反的面(将该面设为B面)的表面粗糙度SRa(B)大于30nm且小于50nm的聚酯膜。本发明的脱模用双轴取向聚酯膜优选为由构成A面的A层、和构成B面的B层这至少2层以上形成的、具有A层及B层的层合膜(脱模用双轴取向聚酯膜)。

[0031] A层是在设置了脱模层后，陶瓷浆料的涂布性优异，适合于构成供陶瓷浆料涂布的面的层。

[0032] 陶瓷浆料的涂布性表示下述特性：将陶瓷电容器的电介质原料涂布在由本发明的脱模用双轴取向聚酯膜形成的脱模膜上后，使其干燥后所得到的成型体即陶瓷片材(所谓生坯)是否能不产生针孔、不产生涂布不匀地获得。

[0033] 所谓生坯剥离特性表示下述特性：将在上述工序中切断的生坯利用热压而压接在基板上后，在使脱模膜剥离的工序中，是否能不对生坯造成破损等损伤地进行剥离。对于上述评价方法的说明在后面陈述。

[0034] B层是形成脱模层的A层的、相反面的表层，为在将脱模层、生坯进行层合并卷绕时，与脱模层或生坯接触的面。

[0035] 本发明的聚酯膜中除了上述A层、B层之外，还可以包含不具有A面、B面的中间层。若包含中间层，则易于控制大凸起的高度，故较优选。

[0036] 本发明的脱模用双轴取向聚酯膜的厚度的下限优选为20μm以上，较优选为25μm以上，更优选为31μm以上。上限优选为40μm以下，较优选为38μm。若厚度小于20μm，则用于保持陶瓷浆料的硬挺度消失，在陶瓷浆料的涂布中，变得不能支撑陶瓷浆料，有时在后续工序中不能进行均匀的干燥。若厚度大于40μm，则有时在制造膜时的输送工序中变得容易受到损伤，不优选。

[0037] 本发明的A层的层合厚度优选为0.5μm以上。若层合厚度小于0.5μm，则在A层中含有粒子的情况下，存在粒子脱落的情况。

[0038] 另外，本发明的中间层可以仅使用未经使用的屑片(virgin chip)作为原料，也可以使用回收原料作为原料。作为回收原料，优选仅使用在聚酯膜制造工序中产生的双轴拉伸后的产生屑。进而，若仅使用在中间制品的卷绕后的工序中产生的屑，则能够使回收原料所受到的热历程均质化，能够使得到的膜的特性均质化，故优选。例如，若使未取向膜和双轴拉伸后的膜混合存在而用作回收原料，则由于结晶性不同，所以熔融粘度不稳定，再熔融时产生熔点的差异，有时产生未熔融杂质或热劣化杂质。该杂质大于A层或者B层的层厚度时，有时在A面或B面形成大凸起、粗大凸起。此时，特别是向A面侧形成表面凸起的情况下，有时在生坯中产生针孔。

[0039] 对于本发明的聚酯膜而言，优选的是，为由3层形成的层合聚酯膜，且不具有A面、B面的中间层的厚度相对于膜整体为25％以上且小于95％。通过使中间层的厚度为上述范围，即使在中间层中含有回收原料，也能够使膜的A面的表面形状为特定形状。中间层的厚度相对于膜整体而言过厚(为95％以上)时，在中间层中使用回收原料时，根据回收原料中含有的粒子种类、杂质的不同，有时表层(A、B面)发生变形(顶起)，无法形成适当的凸起。中间层的厚度相对于膜整体而言过薄(小于25％)时，有时难以使中间层中含有较多的回收原料。

[0040] 就本发明的脱模用双轴取向聚酯膜而言，出于提高输送、卷绕时的操作性的目的，可以含有粒子。若A层及B层中含有粒子，则能够向A面及B面形成微细的凸状形态。若形成该凸状形态，则在输送时，输送辊与膜之间的空气变得容易排出，另外，卷绕时，A面与B面之间的空气变得容易排出，因此操作性提高，故优选。

[0041] 本发明优选使用具有均一的粒子形状和粒径分布的粒子，特别优选粒子形状近似球形的粒子。体积形状系数优选为f＝0.3～π/6，较优选为f＝0.4～π/6。体积形状系数f用下式表示。

[0042] f＝V/Dm3

[0043] 此处，V为粒子体积(μm3)，Dm为粒子的投影面中的最大直径(μm)。

[0044] 需要说明的是，就体积形状系数f而言，在粒子为球时，取最大的π/6(＝0.52)。另外，优选根据需要进行过滤等，由此除去凝集粒子、粗大粒子等。作为本发明中使用的粒子，可适当使用利用乳液聚合法等合成的、交联聚苯乙烯树脂粒子、交联有机硅树脂粒子、交联丙烯酸树脂粒子，交联聚苯乙烯粒子、交联有机硅、以及球状二氧化硅等的体积形状系数接近圆球，粒径分布极其均一，从均匀地形成膜表面凸起的观点考虑，是特别优选的。

[0045] 另外，在将被卷绕的生坯开卷时，B面的凸起有时卡挂在生坯表面，刮伤生坯。该卡挂也可以通过使在B面的平坦面上形成的凸起具有均一的高度来防止。

[0046] 进而，通过对上述粒子实施利用表面活性剂等而进行的表面处理，可以实现与聚酯的亲和性的改善，可以形成较少脱落的凸起，为优选。

[0047] 在本发明的脱模用双轴取向聚酯膜中，必要的是，A面的表面粗糙度(中心线平均粗糙度)SRa(A)为7nm以上15nm以下，B面的表面粗糙度(中心线平均粗糙度)SRa(B)大于30nm且为50nm以下。通过达成该范围的表面粗糙度，可以在成型厚度为2μm以下的薄膜的生坯时获得适当的平滑性。A面的表面粗糙度(中心线平均粗糙度)SRa(A)小于7nm时，在涂布脱模层后的膜卷的保管中引起结块，若大于15nm，则陶瓷浆料的涂布变得不均匀，生坯中产生针孔等缺陷。

[0048] 另外，就将浆料进行涂布并干燥后得到的生坯而言，在将脱模层涂布于本发明的脱模用双轴取向聚酯膜而形成的脱模膜上保持，并进行卷绕。因此，如上所述，B面的形状会对被卷绕后的生坯的表面形态造成影响。若B面的表面粗糙度(中心线平均粗糙度)SRa(B)为30nm以下，则在脱模层涂布工序、浆料涂布工序中操作性恶化，涂布变得不稳定，产生涂布不匀，或者在涂布后的卷绕时，进入的空气变得难以排出，从而引起卷绕错位。另外，B面的表面粗糙度(中心线平均粗糙度)SRa(B)大于50nm时，形成于表面的凹凸被转印至生坯表面的影响变大，陶瓷电容器的静电电容产生不均。为了使A面、B面的表面粗糙度为上述范围，可以通过使A层及B层中含有特定量的特定有机粒子或无机粒子、或者利用后述制造方法进行制造来实现。

[0049] 本发明的脱模用双轴取向聚酯膜中，必要的是，A面的大凸起的个数为10个/5.0mm2以上且20个/5.0mm2以下，并且，存在于A面的该大凸起的高度均大于300nm且为800nm以下。

[0050] 本发明中所谓的大凸起，通过下述方法求出。即，使用三维结构解析测定仪(Zygo Corporation制New View7300)，在(I)的测定条件下对膜的测定面进行测定，得到微分干涉图像。在得到的图像中，将满足(II)的基准的凸起判定为大凸起。对大凸起的个数进行计数，换算为每5.0mm2的值，将该值作为大凸起的个数。另外，将满足(II)的基准的凸起的高度作为大凸起的高度。将上述测定实施5次，将其平均值作为大凸起的个数。

[0051] (I)测定条件

[0052] 倍率：50倍

[0053] 测定区域：宽度0.98mm、长度5.25mm

[0054] (针对宽度方向7个视野×长度方向50个视野＝350个视野实施测定，每1个视野的大小为140μm×105μm。)

[0055] Camera Mode：640×480 210Hz

[0056] Scan Length：10μm

[0057] Min Mod：15.00％

[0058] Min Area Size：7

[0059] Film Min Mod：4％

[0060] (II)筛选基准

[0061] Reference Band：600nm

[0062] Area：0.25μm2以上。

[0063] 需要说明的是，此处所谓的Reference Band：600nm，为用于判定是否为凸起高度大于300nm的凸起的阈值。Reference Band值表示下述宽度，所述宽度决定在以平均平面为中心时的、峰(Peaks)的高度及谷(Vallays)的深度。若Reference Band为600nm，则与峰/谷相关的阈值成为300nm，可以筛选出高度大于300nm的凸起。接着，将利用Reference Band判定的凸起，通过称作Peak Area的阈值判定为大凸起。

[0064] 所谓Peak Area，是指在大于由Reference Band规定的阈值的峰中，具有大于阈值的高度的峰的、阈值面(日语原文：しきぃ值面)的面积。即，本发明中，所谓大凸起，表示下述凸起：高度大于300nm、并且300nm的阈值面中的该凸起的截面积为0.25μm2以上的凸起。

[0065] 所谓大凸起，是指具有宽阔的峰形状的凸起，其不同于现有的常被使用的作为凸起指标的粗大凸起。因为大凸起具有宽阔的峰形状，所以在现有的粗大凸起测定中无法检测。就具有粗大凸起的膜而言，在使膜面密合时，膜从粗大凸起的凸起周围发生剥离，产生干涉条纹。因此，为了抑制干涉条纹的产生，现有技术中一直采用尽可能减少粗大凸起的方法。但是，就减少了粗大凸起的膜而言，由于膜面过于平滑，所以导致用作剥离的起点的点(剥离开始点)消失，结果剥离特性产生不均。另一方面，就具有特定数量的大凸起的本发明的膜而言，与具有粗大凸起的膜不同，膜面完全密合，不产生干涉条纹。另外，大凸起能够成为剥离开始点，因此能够显著降低剥离特性的不均。即，若A面的大凸起个数小于10个/2
5.0mm ，则表面变得过于平滑，难以确定剥离的起点，容易产生剥离力的不均，因此不能制作品质稳定的电容器。若大于20个/5.0mm2，则生坯产生大量的缺陷。另外，还需要控制该大凸起的高度，即使大凸起以上述个数范围分布，但是若大凸起的高度为300nm以下，则剥离也不稳定，若大于800nm，则会导致生坯产生缺陷。为了将A面的大凸起的个数、高度控制在上述范围内，可以举出在后述的拉伸条件下进行拉伸等。

[0066] 就本发明的脱模用双轴取向聚酯膜而言，长度方向及宽度方向的断裂强度之和优选为500MPa以上600MPa以下，更优选为520MPa以上590MPa以下。另外，优选宽度方向的断裂强度与长度方向的断裂强度同等或在其以上，其差为0MPa以上90MPa以下，进而，其差更优选为40MPa以上80MPa以下。若长度方向及宽度方向的断裂强度之和小于500MPa，则变得难以呈现孔隙(空隙)结构(其是通过在拉伸工序中粒子周围的聚合物从粒子剥离而形成的)，无法呈现所期望的表面粗糙度、缓冲性，故不优选。为了达成大于600MPa的状态，需要过度地实施沿长度方向、宽度方向的拉伸，拉伸中有时发生破裂，故不优选。

[0067] 另外，就断裂伸长率而言，长度方向及宽度方向均为80％以上220％以下，优选均为90％以上210％以下。进而，优选长度方向的断裂伸长率与宽度方向的断裂伸长率同等或在其以上，更优选其差为0％以上100％以下，进而，更优选地，长度方向的断裂伸长率为170％以上190％以下，宽度方向的断裂伸长率为90％以上110％以下，并且长度方向的断裂伸长率比宽度方向的断裂伸长率大70％以上90％以下。若长度方向、宽度方向中的至少一方的断裂伸长率小于80％，则在涂布陶瓷浆料时，当受到工序内的张力时，有时无法吸收张力变动，导致涂布不匀，不优选。若长度方向、宽度方向中的至少一方的断裂伸长率大于
220％，则在涂布脱模层后的保管时，平面性恶化，另外，在涂布陶瓷浆料后的保管时，有时损坏生坯的平面性，不优选。通过将断裂伸长率控制在上述范围内，能够控制因在加工工序中受到的张力而引起的膜伸缩的现象、在卷绕后残留应力进行恢复的行为，最终能够良好地保持薄膜的生坯的平面性。为了抑制上述长度方向·宽度方向的尺寸变化，优选将长度方向和宽度方向的断裂伸长率差控制在上述范围内。

[0068] 另外，本发明中的脱模用双轴取向聚酯膜的雾度优选为7％以下，更优选为6％以下。用于层合陶瓷电容器的脱模用途时，可以在本发明的聚酯膜的3层复合层的中间层中加入回收原料，但是若加入大量回收原料，则存在雾度升高的趋势。若雾度大于7％，则有时导致难以对生坯的成型状态、特别是端部的状态进行确认。

[0069] 进而，就本发明的聚酯膜而言，沿膜的长度方向15m对膜的厚度进行测定，由记录的膜厚度图求出的、最大厚度与最小厚度之差即厚度不匀(长度方向的厚度不匀)优选为2μm以下。更优选为1.4μm以下。一直以来，减少膜的厚度不匀对于制造膜来说是课题。就本发明的脱模用膜、特别是适用于制造薄膜陶瓷电容器的脱模膜而言，将长度方向的厚度不匀设定在上述范围内，这使得在使生坯厚度较薄时电容器的静电电容不产生不均，故特别优选。

[0070] 对于本发明的聚酯膜而言，优选在膜表面存在的粗大凸起为5个/100cm2以下。此2
处所谓的粗大凸起，表示Reference Band：600nm、Area：小于0.25μm (凸起的高度大于
300nm，该凸起的高度300nm的截面的面积小于0.25μm2)的凸起。更优选高度0.54μm以上的粗大凸起为1个/100cm2以下。若粗大凸起数超过上述值，则涂布脱模剂时，有时产生涂布不匀、针孔状的涂布遗漏缺陷，另外，使生坯的厚度较薄时，由于上述的脱模剂涂布遗漏的原因，有时发生生坯的剥离不匀、或因粗大凸起的原因而在生坯中产生凹陷、针孔，故不优选。

[0071] 为了使膜表面的粗大凸起达成上述优选形态，期望使粒子种类及体积平均粒径在上述范围内，将用于供给原料的设备、特别是原料储存设备(筒仓(silo))、用于输送原料的配管仅用于含有本发明使用的粒子的母粒料(master pellet)。另外，为了输送原料，使用鼓风机利用空气进行输送，或者利用自由下落进行输送，但是利用空气进行输送时，优选使用过滤器(其在进入空气时能够阻隔95％的0.3μm以上的尘埃)来过滤空气。另外，可以通过采用后述的高精度过滤器作为制造本发明时使用的过滤器来达成。

[0072] 对于本发明的聚酯膜而言，从保持后加工特别是涂布脱模层后的平面性为良好的方面考虑，优选适当地控制尺寸变化率。尺寸变化率可以通过制膜条件中的松弛处理等已知方法进行适当调整而达成。150℃时的尺寸变化率优选在长度方向上为2％以下、在宽度方向上为2.5％以下，更优选在长度方向上为0.5％以上1.7％以下、在宽度方向上为1％以上2％以下。另外，100℃时的尺寸变化率优选在长度方向、宽度方向上均为1％以下，更优选均为0.2％以上0.8％以下的范围。若该尺寸变化率低于上述范围的下限，则在涂布脱模层时，发生由松垂引起的平面性不良；若高于上限，则在涂布脱模层时，因收缩而引起锌皮状(日语原文：トタン状)的收缩不匀，导致平面性不良，任一种情况下均存在导致薄膜生坯的涂布厚度不匀的情况，故不优选。

[0073] 接着，说明本发明的双轴取向聚酯膜的制造方法。作为使聚酯含有非活性粒子的方法，例如使非活性粒子以规定比例以浆料的形式分散于作为二元醇成分的乙二醇中，在聚酯聚合结束前的任意阶段添加该乙二醇浆料。此处，在添加粒子时，例如，若将合成粒子时得到的水溶胶、醇溶胶不进行暂时干燥地进行添加，则粒子的分散性良好，能够抑制粗大凸起的产生，为优选。另外，将粒子的水浆料直接与规定的聚酯粒料混合，供给至排气式双螺杆混炼挤出机而掺入到聚酯中的方法对本发明的制造来说也是有效的。

[0074] 如上所述，将为了各层而准备的、含粒子的母粒料和实质上不含有粒子等的粒料以规定比例混合，进行干燥后，供给至已知的熔融层合用挤出机。制造本发明的脱模用双轴取向聚酯膜的挤出机可以使用单螺杆挤出机、双螺杆挤出机。另外，为了省去粒料的干燥工序，也可以使用在挤出机中设置有抽真空管线的排气式挤出机。另外，设置中间层时，为了使挤出量最多，可以使用由各个挤出机来分担将粒料熔融的功能和将熔融了的粒料保持在一定温度的功能的、所谓串联挤出机。本发明的脱模用双轴取向聚酯膜中的A层及B层可以使用双螺杆式排气式挤出机，其可良好地保持粒子的分散性，故优选。

[0075] 在挤出机中熔融并挤出的聚合物通过过滤器进行过滤。因为即使极小的杂质进入到膜中也会成为粗大凸起缺陷，因此就过滤器而言例如使用捕集95％以上的3μm以上的杂质的高精度过滤器是有效的。接着，从狭缝状缝模以片状挤出，在流延辊(casting roll)上使其冷却固化而制作未拉伸膜。即，使用3台挤出机、3层歧管或合流块(confluent blocks)(例如具有矩形合流部的合流块)层合为3层，从喷嘴挤出片材，利用流延辊进行冷却而制作未拉伸膜。这种情况下，从背压的稳定化及抑制厚度变动的观点考虑，在聚合物流路中设置静力混合器、齿轮泵的方法是有效的。

[0076] 拉伸方法需要采用逐次双轴拉伸。

[0077] 同时双轴拉伸可以在拉幅机内实施长度方向的拉伸(以下，有时称为纵向拉伸)及宽度方向的拉伸(以下，有时称为横向拉伸)，因此可以省略纵向拉伸机中的辊间预热·拉伸行程，但另一方面，难以与逐次双轴拉伸同样地确定拉伸点，认为其原因在于，拉伸时泊松变形(Poisson deformation)、拉幅机内的伴随流(accompanying flow)的影响。

[0078] 长度方向的拉伸有多次时，最初的长度方向的拉伸对于抑制伤痕的产生、形成·控制大凸起来说是重要的，拉伸温度优选为100℃以上120℃以下。若拉伸温度低于100℃，则膜容易破裂，并且，导致形成较高的大凸起。若拉伸温度高于120℃，则膜表面容易受到热损伤，难以形成大凸起，故不优选。另外，从防止拉伸不匀及伤痕的观点考虑，优选分成2个阶段以上来进行拉伸，总倍率在长度方向上优选为3.5倍以上3.8倍以下。

[0079] 另外，就本发明的双轴取向聚酯膜而言，为了控制大凸起的高度，通过将红外线加热器(其是在拉伸时为了补足热量而使用)的输出功率控制在最适范围，能够容易地将大凸起高度控制在合适的范围。即，通过将距离25mm处的红外线加热器的输出功率调节为10kw以上且小于13kw、并且将处理时间调节为0.05秒以上且小于0.3秒，能够控制本申请的大凸起的高度。对于本发明的双轴取向聚酯膜而言，优选的是，在拉伸聚酯膜的工序中，包括在上述条件下利用红外线加热器进行加热的工序。特别是在长度方向的拉伸工序中，如果包括利用红外线加热器进行加热的工序，则容易控制所形成的大凸起的高度，故优选。

[0080] 对于长度方向的拉伸过程而言，由于是膜与辊接触而易于因辊的圆周速度与膜的速度差而导致产生伤痕的工序，因此优选能够对每个辊单独设定辊圆周速度的驱动方式。在长度方向的拉伸过程中，输送辊的材质根据下述情况来选择：在拉伸前将未拉伸膜加热至玻璃化温度以上；或者，在保持为低于玻璃化温度的温度的状态下输送至拉伸区，而在拉伸时一次性进行加热。在拉伸前将未拉伸膜加热至玻璃化温度以上时，从防止因加热而导致的粘合的方面考虑，可以从非粘合性有机硅辊、陶瓷、Teflon(注册商标)中选择。另外，由于是拉伸辊对膜施加的负载最大、在该过程中容易产生伤痕、拉伸不匀的工序，因此拉伸辊的表面粗糙度Ra为0.005μm以上1.0μm以下，优选为0.1μm以上0.6μm以下。Ra大于1.0μm时，拉伸时辊表面的凹凸转印到膜表面，故不优选，另一方面，Ra小于0.005μm时，辊与膜表面粘合，膜易于受到热损伤，故不优选。为了控制表面粗糙度，适当调整研磨剂的粒度、研磨次数等是有效的。在将未拉伸膜以保持为低于玻璃化温度的温度的状态下输送至拉伸区、在拉伸时一次性进行加热时，预热区的输送辊优选使用利用硬铬、碳化钨进行了表面处理的、表面粗糙度Ra为0.2μm以上0.6μm以下的金属辊。

[0081] 沿纵向拉伸的膜优选沿宽度方向进行4.0倍以上4.3倍以下的拉伸。进而，在双轴拉伸后对膜进行热处理，该热处理可以在烘箱中、加热的辊上等、利用现有已知的任意方法进行。在205℃以上240℃以下、优选在210℃以上230℃以下进行0.5秒以上20秒以下、优选1秒以上15秒以下的热固定。特别地，若热固定温度低于205℃，则膜的结晶化不进行，所以结构不稳定，不能得到目标的尺寸变化率等特性，不优选。热处理可以一边使膜在其长度方向及/或宽度方向上松弛一边进行。另外，在热处理后，在比热处理温度低0℃以上150℃以下的温度下使膜在宽度方向上松弛0％以上10％以下。

[0082] 对于热处理后的膜，可以设置例如中间冷却区、缓慢冷却区从而调整尺寸变化率、平面性。另外，特别是为了赋予特定的热收缩性，可以在热处理时或者在其后的中间冷却区、缓慢冷却区中，在纵向及/或横向上进行松弛。

[0083] 对于双轴拉伸后的膜，在输送工序中使其冷却后，切断边缘后进行卷绕，从而得到中间制品。在该输送工序中，测定膜的厚度，反馈使用该数据而通过调整模具厚度等来调整膜厚度，另外，利用缺陷检测器进行杂质检测。

[0084] 对于本发明的脱模用双轴取向聚酯膜而言，在切断边缘时抑制切屑的产生是必要的。边缘的切断使用圆刃、剪刃、直刃(straight blade)进行，使用直刃时，使刃抵碰膜的位置不经常为相同位置能够抑制刃的磨耗，故为优选方式。因此优选具有使刃振荡的结构。另外，优选在膜切断位置设置抽吸装置来抽吸产生的切屑、切断后膜端部彼此刮削而产生的削屑。

[0085] 通过分切工序(slitting step)将中间制品分切成适当的宽度·长度并进行卷绕，可得到本发明的脱模用双轴取向聚酯膜的卷。在分切工序中的膜的切断时，也可以从与上述边缘切断同样的切断方式中选择。

[0086] 将中间制品分切为期望的宽度，得到本发明的脱模用双轴取向聚酯膜。

[0087] 实施例

[0088] 以下，通过实施例详细地说明本发明。

[0089] 本发明涉及的测定方法、评价方法如下所述。

[0090] (1)粒子的体积平均粒径

[0091] 利用等离子体低温灰化处理法从膜中除去聚合物，使粒子露出。处理条件选择聚合物被灰化但粒子尽量不受损伤的条件。利用扫描型电子显微镜(SEM；株式会社日立制作所制S-4000型)观察处理后的试样，将粒子图像输入图像分析仪(Nireco，Ltd.制LUZEX_AP)，测定等效圆直径，求出粒子的体积平均粒径。SEM的倍率根据粒径的不同从5000～20000倍中适当选择。任意地改变观察位置，测定至少5000个粒子的等效圆直径，由其平均值求出平均粒径。

[0092] 在粒子因等离子体低温灰化处理法而受到大幅度损伤的情况下，使用透射型电子显微镜(TEM；株式会社日立制作所制H-600型)，根据粒径的不同以3000～20000倍的倍率对膜截面进行观察。使用厚度约为100nm的切片进行TEM观察，改变位置，测定至少100个以上的粒子的等效圆直径，由其平均值求出体积平均粒径。

[0093] 需要说明的是，在测定粒子的体积平均粒径时，在利用SEM及TEM观察时即使以5000倍的倍率对10个视野进行确认、也未观察到粒子的情况下，判断为实质上不含有粒子。

[0094] (2)粒子的体积形状系数

[0095] 利用扫描型电子显微镜，以例如5000倍的倍率拍摄10个视野的粒子照片，在此基础上，使用图像解析处理装置算出投影面最大直径及粒子的平均体积，利用下式得到体积形状系数。

[0096] f＝V/Dm3

[0097] 此处，V为粒子的平均体积(μm3)，Dm为投影面的最大直径(μm)。

[0098] (3)特性粘度

[0099] 使用由溶液粘度(其为在邻氯苯酚中于25℃测定而得)通过下式算出的值。即，[0100] ηsp/C＝[η]+K[η]2·C

[0101] 此处，ηsp＝(溶液粘度/溶剂粘度)-1，C为每100ml溶剂中溶解的聚合物的重量(g/100ml，通常为1.2)，K为赫金斯常数(使其为0.343)。另外，溶液粘度、溶剂粘度使用奥斯特瓦尔德粘度计进行测定。单位以[dl/g]表示。

[0102] 需要说明的是，在溶解有测定试样的溶液中存在不溶物的情况下，过滤溶液并进行滤得物的重量测定，从测定试样重量减去滤得物的重量，将该值作为测定试样重量，由此进行测定。

[0103] (4)膜层合厚度

[0104] 使用透射型电子显微镜(TEM；日立(株)制H-600型)在加速电压100kV下利用超薄切片(RuO4染色)观察膜的截面。由该截面整体求出总厚度。关于层合厚度，求出于该界面观察到的从表面至粒子最深的位置的深度、即所层合的厚度。对于倍率而言，只要根据测定膜的总厚度、层厚度而适当设定倍率即可，通常对于总厚度测定而言倍率为1000倍、对于层合厚度测定而言倍率为1万～10万倍是适当的。在粒子较少等情况下，为了事先估计为了辨别层合界面应该以多大的倍率得到粒子图像，下述方式是有效的：由通过截面的SEM-XMA测得的截面中的元素分布(图谱)来估计层合厚度，进行该层合厚度的估算，由此确定TEM中设定的倍率。

[0105] (5)表面粗糙度(中心线平均粗糙度：SRa)

[0106] 使用三维微细表面形状测定仪(小坂制作所制ET-350K)进行测定，利用所得的表面的轮廓曲线，基于JIS·B0601-1994求出算术平均粗糙度SRa值。测定条件如下所述。

[0107] X方向测定长度：0.5mm、X方向输送速度：0.1mm/秒。

[0108] Y方向输送间距：5μm、Y方向线数：40条。

[0109] 临界值(cut off)：0.25mm。

[0110] 触针压力：0.02mN。

[0111] 高度(Z方向)放大倍率：5万倍。

[0112] (6)大凸起的个数、高度

[0113] 使用三维结构解析测定仪(Zygo Corporation制NewView7300)，在(I)的测定条件下进行测定，得到微分干涉图像。在得到的图像中，将满足(II)的基准的凸起作为大凸起并对大凸起的个数进行计数，换算为每5.0mm2的值，将该值作为大凸起的个数。另外，将满足(II)的基准的凸起的高度作为大凸起的高度。将上述测定实施5次，将其平均值作为大凸起的个数。

[0114] (I)测定条件

[0115] 倍率：50倍

[0116] 测定区域：宽度0.98mm、长度5.25mm

[0117] (针对宽度方向7个视野×长度方向50个视野＝350个视野实施测定，每1个视野的大小为140μm×105μm。)

[0118] Camera Mode：640×480210Hz

[0119] Scan Length：10μm

[0120] Min Mod：15.00％

[0121] Min Area Size：7

[0122] Film Min Mod：4％

[0123] (II)筛选基准

[0124] Reference Band：600nm

[0125] Area：0.25μm2以上。

[0126] (7)粗大凸起数

[0127] 与(6)同样地进行测定，将Reference Band：600nm、Area小于0.25μm2的凸起作为粗大凸起进行测定。

[0128] (8)脱模层的涂布特性

[0129] 在膜的卷上，涂布涂布液(将其调整为以固态成分1％的量含有交联底涂层(Dow Corning Toray Silicone Co.，Ltd.(株)制商品名BY24-846))并进行干燥，利用凹版式涂布机进行涂布，使得干燥后的涂布厚度成为0.1μm，于100℃干燥20秒使其固化。之后，在1小时以内，利用凹版涂布法涂布下述涂布液，使得干燥后的涂布厚度成为0.1μm，所述涂布液含有加成反应型有机硅树脂(Dow Corning Toray Silicone Co.，Ltd.(株)制商品名LTC750A)100重量份、铂催化剂(Dow Corning Toray Silicone Co.，Ltd.(株)制商品名SRX212)2重量份，且被调整为固态成分为5质量％，于120℃干燥固化30秒后进行卷绕，得到脱模膜。

[0130] 此时，针对脱模层的涂布状态，在1000勒克斯的荧光灯下，以1m2的面积目视观察涂布不匀，来评价涂布性。

[0131] S：涂布端部未产生涂布不匀，被均匀地涂布，也无涂布遗漏。

[0132] A：涂布时膜起伏等，在涂布端部产生涂布不匀，但无涂布遗漏。

[0133] B：在涂布端部产生严重的涂布不匀。且/或有涂布遗漏。

[0134] (9)陶瓷浆料的涂布性

[0135] 在钛酸钡(Fuji Titanium Industry Co.，Ltd.制商品名HPBT-1)100重量份、聚乙烯醇缩丁醛(积水化学(株)制商品名BL-1)10重量份、邻苯二甲酸二丁酯5重量份和甲苯-乙醇(重量比30：30)60重量份中加入数均粒径为2mm的玻璃珠，利用气流磨混合·分散20小时后，进行过滤并调整为糊状的陶瓷浆料。利用模具式涂布机(die coater)将所得的陶瓷浆料以干燥后的厚度为2μm的方式涂布到实施例中得到的脱模膜上并使其干燥，进行卷绕，得到生坯。

[0136] 将上述卷绕的生坯顺序放出，在未从脱模膜剥离的状态下通过目视进行观察，确认有无针孔、片材表面及端部的涂布状态。需要说明的是，进行观察的面积为宽度300mm、长度500mm。

[0137] a.有无针孔

[0138] 针对在脱模膜上成型的生坯，一边利用1000勒克斯的背光模组从背面进行照射，一边观察因涂布遗漏导致的针孔的状态。

[0139] S：既无针孔也无凹陷。

[0140] A：无针孔，确认到3个以内的凹陷

[0141] B：有针孔，或确认到4个以上的凹陷。

[0142] b.片材表面·端部的涂布状态

[0143] 针对在脱模膜上成型的生坯，一边以偏离正面45度的角度以1000勒克斯的照明进行照射一边目视观察片材的表面。

[0144] S：未在片材表面确认到圆形的痕迹(转印痕迹)。

[0145] A：片材表面隐约地具有圆形的痕迹(转印痕迹)。

[0146] B：片材表面清楚地具有圆形的痕迹(转印痕迹)。

[0147] (10)生坯剥离特性

[0148] 利用下述工序形成内部电极图案，冲裁生坯并进行层合后，实施进行剥离时的特性评价。

[0149] a.内部电极图案的形成

[0150] 将Ni粒子44.6重量份、萜品醇52重量份、乙基纤维素3重量份、和苯并三唑0.4重量份进行混炼并进行浆料化，得到内部电极层用涂料。利用丝网印刷法以规定图案将内部电极层用涂料涂布到生坯上，得到具有内部电极图案的陶瓷生坯。干燥温度为90℃，干燥时间为5分钟。

[0151] b.生坯的冲裁

[0152] 将上述的、在脱模膜上成型并赋予了内部电极图案的陶瓷生坯依次拉出，在脱模膜上将生坯切断并冲裁成100片。在切断中使用旋转式的圆刃切刀。此时，用于切断生坯的、旋转式圆刃切刀的切入深度设定为生坯厚度+2μm～3μm。

[0153] c.生坯层合特性及剥离特性评价

[0154] 将上述的、在脱模膜上进行冲裁后的生坯层合。对于层合而言，将生坯在保持在脱模膜上的状态下进行输送，然后将生坯热压接在层合体上，然后剥离脱模膜。对100片重复该操作，得到陶瓷层合体。目视确认此时的层合状态，利用以下基准评价生坯层合特性。

[0155] S：在片材层合后的剥离时，未发生生坯剥离不良，另外，不夹入空气、不夹入杂质地良好地层合。

[0156] A：片材层合时热压接稍有不均，未夹入空气，为允许范围的剥离状态，但在极少的情况下剥离状态不稳定。

[0157] B：在片材层合时发生剥离不良，片材破损。

[0158] [实施例1]

[0159] ·聚酯粒料的制作

[0160] (聚酯树脂组合物A的制作)

[0161] 针对86.5重量份对苯二甲酸和37.1重量份乙二醇，于255℃一边馏出水一边进行酯化反应。酯化反应结束后，添加0.02重量份磷酸三甲酯、0.06重量份乙酸镁、0.01重量份乙酸锂、0.0085重量份三氧化锑，接着，于真空下加热至290℃，升温进行缩聚反应，得到特性粘度为0.63dl/g的聚酯粒料。

[0162] (聚酯树脂组合物B及聚酯树脂组合物C的制作)

[0163] 与上述同样地制造聚酯时，使用排气式双螺杆混炼机使上述实质上不含粒子的均聚聚酯粒料中含有体积平均粒径为0.3μm、体积形状系数f＝0.51的二乙烯基苯/苯乙烯共聚交联粒子(其通过使单体吸附的方法而得到)的水浆料，得到相对于聚酯而言含有2重量％的体积平均粒径为0.3μm的二乙烯基苯/苯乙烯共聚交联粒子的母粒料(聚酯树脂组合物B)。

[0164] 另外，与上述同样地制造聚酯时，使用排气式双螺杆混炼机使上述实质上不含粒子的均聚聚酯粒料中含有体积平均粒径为0.8μm、体积形状系数f＝0.51的二乙烯基苯/苯乙烯共聚交联粒子(其通过使单体吸附的方法而得到)的水浆料，得到相对于聚酯而言含有1重量％的体积平均粒径为0.8μm的二乙烯基苯/苯乙烯共聚交联粒子的母粒料(聚酯树脂组合物C)。

[0165] (聚酯树脂组合物D的制作)

[0166] 与上述同样地制造聚酯时，在酯交换后，分别添加体积平均粒径为0.2μm且体积形状系数f＝0.51、体积平均粒径为0.06μm且体积形状系数f＝0.51、莫氏硬度为7的球状二氧化硅，进行缩聚反应，得到相对于聚酯而言含有1重量％粒子的含二氧化硅的母粒料(聚酯树脂组合物D)。需要说明的是，就聚酯树脂组合物D中使用的球状二氧化硅而言，一边对乙醇和硅酸乙酯的混合溶液进行搅拌，一边在该混合溶液中添加含有乙醇、纯水、及作为碱性催化剂的氨水的混合溶液，将得到的反应液进行搅拌，进行硅酸乙酯的水解反应及该水解产物的缩聚反应，然后，进行反应后的搅拌，得到单分散二氧化硅粒子。

[0167] (聚酯树脂组合物E的制作)

[0168] 另外，制造聚酯树脂组合物A时，在酯交换后，相对于聚酯而言添加1重量％的碳酸钙(利用二氧化碳法制作，体积平均粒径为1.1μm，莫氏硬度为3)，得到含碳酸钙的母粒料。

[0169] 另一方面，制造下述实施例1的膜后，将该膜回收，将粒料化了的物质作为回收原料A。需要说明的是，以下记载的比率表示为相对于各层重量而言的重量比(重量％)。

[0170] A层的厚度及组成

[0171] A层的厚度(μm)：28.0

[0172] 聚酯树脂组合物A：95.0

[0173] 聚酯树脂组合物B：5.0

[0174] B层的厚度及组成

[0175] B层的厚度(μm)：3.0

[0176] 聚酯树脂组合物A：40.0

[0177] 聚酯树脂组合物C：10.0

[0178] 聚酯树脂组合物E：50.0

[0179] (2)聚酯粒料的调和

[0180] 将供给至A层、B层各层的挤出机中的聚酯粒料按照以下比率进行调和。需要说明的是，以下记载的比率是相对于构成各层的聚酯粒料而言的重量比(单位：重量％)。

[0181] A层

[0182] 聚酯树脂组合物A：95

[0183] 聚酯树脂组合物B：5

[0184] B层

[0185] 聚酯树脂组合物A：40

[0186] 聚酯树脂组合物C：10

[0187] 聚酯树脂组合物E：50。

[0188] (3)双轴取向聚酯膜的制造

[0189] 将上述针对各层所调和的原料在掺合机内进行搅拌，然后，就A层原料而言，将搅拌后的原料供给至A层的带排气口的双螺杆挤出机中，就B层的原料而言，于160℃减压干燥8小时，供给至B层用的单螺杆挤出机中。于275℃熔融挤出，利用高精度过滤器(其捕集95％以上的3μm以上的杂质)进行过滤后，使用矩形的2层用合流块进行合流层合，制成由层A、层B形成的2层层合结构。之后，介由保持为285℃的缝模供给至冷却辊上，采用施加静电的流延法卷绕在表面温度为25℃的流延鼓上，冷却固化，得到未拉伸层合膜。

[0190] 对该未拉伸层合膜实施逐次拉伸(长度方向、宽度方向)。首先，实施长度方向的拉伸，于105℃利用Teflon(注册商标)辊进行输送后，一边沿长度方向利用输出功率为11.0kw的红外线加热器加热0.08秒，一边于110℃拉伸3.8倍，从而得到单轴拉伸膜。

[0191] 将该单轴拉伸膜在拉幅机内沿横向于100℃拉伸4.2倍，接着于230℃进行热固定，此时沿宽度方向松弛3.2％并利用输送工序使其冷却后，切断边缘后进行卷绕，得到厚度为31μm的双轴拉伸膜的中间制品。将该中间制品利用分切机进行分切，得到厚度为31μm的双轴拉伸膜的卷。测定该双轴拉伸膜的层合厚度、表面粗糙度、大凸起、粗大凸起，结果示于表中。就层合厚度而言，A层为28.0μm，B层为3.0μm。

[0192] (4)脱模层的涂布

[0193] 接着，在该双轴拉伸膜的卷上，涂布涂布液(将其调整为以固态成分1质量％的量含有交联底涂层(Dow Corning Toray Silicone Co.，Ltd.(株)制商品名BY24-846))并进行干燥，利用凹版式涂布机进行涂布，使得干燥后的涂布厚度成为0.1μm，于100℃干燥20秒使其固化。之后，在1小时以内，利用凹版涂布法涂布下述涂布液，使得干燥后的涂布厚度成为0.1μm，所述涂布液含有加成反应型有机硅树脂(Dow Corning Toray Silicone Co.，Ltd.(株)制商品名LTC750A)100重量份、铂催化剂(Dow Corning Toray Silicone Co.，Ltd.(株)制商品名SRX212)2重量份，且被调整为固态成分为5质量％，于120℃干燥固化30秒后进行卷绕，得到脱模膜。

[0194] 对于得到的脱模膜而言，评价了陶瓷浆料的涂布特性、生坯剥离特性，结果是良好的。

[0195] [实施例2]

[0196] 在与实施例1同样的层结构、配方中，使纵向拉伸红外线加热器输出功率为12.0kw，纵向拉伸倍率为3.6倍，红外线加热器处理时间为0.09秒，横向拉伸倍率为4.6倍，松弛率为2.6％，除此之外，按照与实施例1同样的制膜条件得到双轴取向聚酯膜。脱模层涂布性、浆料涂布性、生坯剥离特性均良好。

[0197] [实施例3]

[0198] 在与实施例1同样的层结构、配方中，使纵向拉伸倍率为3.8倍，除此之外，按照与实施例2同样的制膜条件得到双轴取向聚酯膜。脱模层涂布性、浆料涂布性、生坯剥离特性均良好。

[0199] [实施例4]

[0200] 在与实施例1同样的层结构、配方中，使纵向拉伸红外线加热器输出功率为10.0kw，除此之外，按照与实施例2相同的制膜条件得到双轴取向聚酯膜。脱模层涂布性、浆料涂布性、生坯剥离特性均良好。

[0201] [实施例5]

[0202] 采用不同种类的3层结构(A层/中间层/B层)以与实施例2相同的条件得到双轴取向聚酯膜。

[0203] 供给至A层、中间层、B层各层的挤出机中的聚酯粒料按照以下比率进行调和。需要说明的是，以下记载的比率是相对于构成各层的聚酯粒料而言的重量比(单位：重量％)。

[0204] A层

[0205] 聚酯树脂组合物A：97

[0206] 聚酯树脂组合物D：3

[0207] 中间层

[0208] 聚酯树脂组合物A：60

[0209] 回收原料A：40

[0210] B层

[0211] 聚酯树脂组合物A：45

[0212] 聚酯树脂组合物B：5

[0213] 聚酯树脂组合物E：50。

[0214] 脱模层涂布性、浆料涂布性、生坯剥离特性均良好。

[0215] [比较例1]

[0216] 在与实施例1同样的层结构、配方中，使纵向拉伸红外线加热器输出功率为9.5kw，除此之外，按照与实施例1相同的制膜条件得到双轴取向聚酯膜。虽然在脱模层涂布中没有问题，但是在浆料涂布中可见针孔。生坯剥离特性未发生问题。

[0217] [比较例2]

[0218] 供给至A层的挤出机中的聚酯粒料按照以下比率进行变更，使纵向拉伸红外线加热器输出功率为9.5kw，除此之外，按照与实施例1相同的制膜条件得到双轴取向聚酯膜。需要说明的是，以下记载的比率是相对于构成各层的聚酯粒料而言的重量比(单位：重量％)。

[0219] A层

[0220] 聚酯树脂组合物A：97

[0221] 聚酯树脂组合物B：3

[0222] 虽然在脱模层涂布中没有问题，但是在浆料涂布中可见针孔。就生坯剥离特性而言，有时片材的剥离状态不稳定，因此评价为A。

[0223] [比较例3]

[0224] 在与实施例1同样的层结构、配方中，就供给至A层的挤出机中的聚酯粒料而言，仅为聚酯A，A层中实质上不含有粒子。大凸起数为0，但是粗糙度超出本申请的范围，剥离导致片材破损，因此评价为B。

[0225] [比较例4]

[0226] 在与实施例1同样的层结构、配方中，使纵向拉伸倍率为3.3倍，除此之外，按照与实施例1相同的制膜条件得到双轴取向聚酯膜。虽然在脱模层涂布中没有问题，但是在浆料涂布中可见针孔。生坯剥离特性未发生问题。

[0227] [比较例5]

[0228] 在与实施例1同样的层结构、配方中，使纵向拉伸倍率为3.6倍，使拉伸红外线加热器输出功率为14kw，除此之外，按照与实施例1相同的制膜条件得到双轴取向聚酯膜。虽然在脱模层涂布中没有问题，但是在浆料涂布中可见针孔。生坯剥离特性不稳定，因此评价为A。

[0229] [比较例6]

[0230] 在与实施例1同样的层结构、配方中，供给至A层的挤出机中的聚酯粒料按照以下比率进行变更、调和。需要说明的是，以下记载的比率是相对于构成各层的聚酯粒料而言的重量比(单位：重量％)。

[0231] A层

[0232] 聚酯树脂组合物A：80

[0233] 聚酯树脂组合物B：20

[0234] 按照与实施例1相同的制膜条件得到双轴取向聚酯膜。粗糙度Ra(A)变为20nm，浆料涂布后存在针孔，而且，剥离不稳定，片材破损，因此评价为B。

[0235] [比较例7]

[0236] 按照与比较例1相同的条件，将B层的添加粒子改为粒径更小的粒子。浆料涂布后存在针孔，因此评价为B。

[0237] [比较例8]

[0238] 为了得到A层、B层均平滑的膜而调整所添加的粒子，且使制膜条件与实施例1为相同条件时，在脱模层的涂布中，膜经常曲折，产生涂布不匀，评价为A，在转印检查中隐约存在凹陷，剥离导致片材破损，因此评价为B。

[0239] [比较例9]

[0240] 按照与实施例1相同的条件，将长度方向的拉伸温度改为90℃。浆料涂布后存在针孔，因此评价为B。

[0241]

[0242]

[0243]

[0244]

[0245] 产业上的可利用性

[0246] 本发明的双轴拉伸聚酯膜的剥离特性良好，特别是剥离不均极小。因此，在制造层合陶瓷电容器的工序中，可以适合用于脱模用膜(其用于对生坯成型进行支撑)。就本发明的脱模用双轴取向聚酯膜而言，即使平滑性高的构成陶瓷电容器的生坯以薄膜的形式多层层合，薄膜生坯成型时的陶瓷浆料的涂布性也优异，生坯的剥离特性变得均一。