电磁加热高真空油扩散泵

摘要

本发明涉及一种高真空油扩散泵，特别是涉及一种电磁加热高真空油扩散泵。电磁加热高真空油扩散泵，电磁加热器设置在泵体底部、泵体的排气口设有水冷挡油装置，泵体采用了直腔结构，泵体外设有水槽式冷却外套，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心位置，泵芯组件结构是由内至外依次设置伞帽形一级喷嘴帽、伞帽形二级喷嘴帽、伞帽形三级喷嘴帽、三级导流管构成整体结构，各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本发明具有加热速度快、冷却速度快效果好、返油率低、极限真空高、抽气速率高、耗电量低、达到极限真空时间短的特点。

权利要求

1.电磁加热高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其特征在于电磁加热器设置在泵体底部、泵体的排气口处设有水冷挡油装置，泵体采用了直腔结构，泵体外设有水槽式冷却外套，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心位置，泵芯组件结构是由内至外依次设置伞帽形一级喷嘴帽、伞帽形二级喷嘴帽、伞帽形三级喷嘴帽、三级导流管构成整体结构，各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高；所述的泵体直腔的中间体直径尺寸与进气口直径尺寸相同，泵体采用不锈钢制成，泵体的内外焊缝处采用两面焊接结构，泵体进气口处的法兰采用不锈钢整体结构；所述的水槽式冷却外套结构如下，它是由不锈钢板折压制造而成，缠绕泵体外部形成水流导向结构；水流导向结构为冷却槽缠绕泵体外壁，冷却水在水冷却槽内流动，水冷却槽与泵体外壁接触处采用氩弧焊点焊连接，然后再满焊连接；所述的泵体的下部设有观察窗和测温电阻；所述的观察窗结构为第一无氧铜密封垫安装于小法兰口处，小法兰与小接管焊接，小法兰上部安装盲板法兰，第二无氧铜密封垫安装在主法兰上，主管法兰与主接管焊接，第二无氧铜密封垫与观察窗法兰连接；所述的泵芯组件采用不锈钢拉丝板材料制造，其具体结构为：一级喷嘴帽安装在一级喷嘴座上，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体，二级喷嘴安装在三级喷嘴上，三级喷嘴帽安装在三级导流管上，二级喷嘴帽与三级导流管通过垫圈、连接套管和不锈钢螺杆连接在一起，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，二级间隙垫安装在三级喷嘴帽上，三级间隙垫安装三级导流管上部，一级喷嘴帽、二级喷嘴帽和三级喷嘴帽为伞帽形扩散喷嘴帽；所述的泵芯组件的伞帽形扩散喷嘴的喷射角度为53 63度，一级扩压导流~

管的喷射角度为75度；所述的电磁加热器的结构如下：金属外壳内安装电磁耐热高温加热线，金属外壳由铝制品制造，金属外壳外部焊接有连接螺母，连接螺母通过紧固件连接于泵体底部，用于控制电磁加热器的电控箱安装在泵体上；所述的水冷挡油装置垂直安装在泵体的排气口处，水冷挡油装置是由位于中心的水冷铜管及水冷铜管上由下至上间隔、交错排列的半圆形挡油片构成，水冷铜管与水冷法兰、无缝弯头焊接成一体；所述的泵体的进气口上水平安装有水冷挡板，水冷挡板的结构如下：水冷挡板法兰上下端中部安装挡油帽体，挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五安装在水冷挡板法兰内，固定拉筋、上挡片、压垫与挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五焊接成一体结构，铜冷却管缠绕于挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五外，把手、水嘴组件、测量元件焊接于水冷挡板法兰外侧，挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五的水平方向倾斜角度为47度。

说明书

电磁加热高真空油扩散泵

技术领域

[0001] 本发明涉及一种高真空油扩散泵，特别是涉及一种电磁加热高真空油扩散泵，它适用于真空烧结、真空热处理，镀膜设备。

背景技术

[0002] 高真空油扩散泵属于射流真空泵的一种，它工作在高真空区域，以低压高速油蒸汽作为工作介质。泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸汽射流中而被携带到泵出口的排除的过程。它由泵体、泵芯组件、加热器等组件组成。泵体大都采用碳钢或不锈钢制造；泵芯组件是由喷嘴及导流管组成，泵芯组件是高真空油扩散泵的关键部件；加热器由加热元器件、电控箱组成。高真空油扩散泵除了在一般工业中有广泛的应用外，特别适用于那些要求对大的被抽容器进行快速抽空以及迅速排出被处理材料在处理过程中放出大量的气体的工艺过程。例如：真空永磁烧结，刀具，刃具热处理，真空幕墙玻璃镀膜设备等。

[0003] 传统的高真空油扩散泵根据泵体的形状主要分为两种，为直腔和凸腔两种，其冷却方式有水冷套、铜管两种冷却方式，由于冷却效果在真空状态下起到比较大的作用。目前市面上没有水冷槽式的冷却扩散泵，由于传统技术结构及制造难度无法生产水冷槽式的高真空油扩散泵，使其生产加工制造受限制。传统的高真空油扩散泵的抽速小，原有抽气速率最大仅能达到8500L/S，极限真空低，极限真空度最高为7×10-5Pa，达到极限真空时间长，返油率高，耗电量大。

发明内容

[0004] 本发明就是为了解决上述技术问题而提供的一种电磁加热高真空油扩散泵，它具有加热速度快、冷却速度快效果好、返油率低、极限真空高、抽气速率高、耗电量低、达到极限真空时间短的特点。

[0005] 为了达到上述目的，本发明是通过下述技术方案试下的：电磁加热高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其中电磁加热器设置在泵体底部、泵体的排气口处设有水冷挡油装置，泵体采用了直腔结构，泵体外设有水槽式冷却外套，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心位置，泵芯组件结构是由内至外依次设置伞帽形一级喷嘴帽、伞帽形二级喷嘴帽、伞帽形三级喷嘴帽、三级导流管构成整体结构，各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。

[0006] 上述的泵体直腔的中间体直径尺寸与进气口直径尺寸相同，泵体采用不锈钢制成，泵体的内外焊缝处采用两面焊接结构，泵体进气口处的法兰采用不锈钢整体结构。

[0007] 上述的水槽式冷却外套结构如下，它是由不锈钢板折压制造而成，缠绕泵体外部形成水流导向结构；水流导向结构为冷却槽缠绕泵体外壁，冷却水在水冷却槽内流动，水冷却槽与泵体外壁接触处采用氩弧焊点焊连接，然后再满焊连接。

[0008] 上述的泵体的下部设有观察窗和测温电阻。

[0009] 上述的观察窗结构为第一无氧铜密封垫安装于小法兰口处，小法兰与小接管焊接，小法兰上部安装盲板法兰，第二无氧铜密封垫安装在主法兰上，主管法兰与主接管焊接，第二无氧铜密封垫与观察窗法兰连接。

[0010] 上述的泵芯组件采用不锈钢拉丝板材料制造，其具体结构为：所述的泵芯组件采用不锈钢拉丝板材料制造，其具体结构为：一级喷嘴帽安装在一级喷嘴座上，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体，二级喷嘴安装在三级喷嘴上，三级喷嘴帽安装在三级导流管上，二级喷嘴帽与三级导流管通过垫圈、连接套管和不锈钢螺杆连接在一起，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，二级间隙垫安装在三级喷嘴帽上，三级间隙垫安装三级导流管上部，一级喷嘴帽、二级喷嘴帽和三级喷嘴帽为伞帽形扩散喷嘴帽。

[0011] 上述的泵芯组件的伞帽形扩散喷嘴的喷射角度为53 63度，一级扩压导流管的喷~射角度为75度。

[0012] 上述的电磁加热器的结构：所述的电磁加热器的结构如下：金属外壳内安装电磁耐热高温加热线，金属外壳由铝制品制造，金属外壳外部焊接有连接螺母，连接螺母通过紧固件连接于泵体底部，用于控制电磁加热器的电控箱安装在泵体上。

[0013] 上述的水冷挡油装置垂直安装在泵体的排气口处，水冷挡油装置是由位于中心的水冷铜管及水冷铜管上由下至上间隔、交错排列的半圆形挡油片构成，水冷铜管与水冷法兰、无缝弯头焊接成一体。

[0014] 上述的泵体的进气口上水平安装有水冷挡板，水冷挡板的结构如下：水冷挡板法兰上下端中部安装挡油帽体，挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五安装在水冷挡板法兰内，固定拉筋、上挡片、压垫与挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五焊接成一体结构，铜冷却管缠绕于挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五外，把手、水嘴组件、测量元件焊接于水冷挡板法兰外侧，挡片一、挡片二、挡片三、挡片四及挡片五的水平方向倾斜角度为47度。

[0015] 由于采用上述技术方案，使得本发明具有如下优点和效果：为满足市场对大抽速高真空油扩散泵的要求，本发明KCD-720毫米口径电磁加热高真空油扩散泵，其特点在于比现有泵抽气速率提高40％以上，抽速为11000L/S。本发明电磁加热高真空油扩散泵的加热时间短，提高了工作效率，减少了抽气时间，缩短了生产工艺过程的操作时间，并降低了用电量成本。本发明高真空油扩散泵结构紧凑，便于安装、操作、运输、维修。

[0016] 经过试验验证为了得到较高的真空度， 泵体的结构采用了直腔形式，直腔的中间体直径尺寸是进气口径尺寸相同，泵体采用不锈钢制造，内外焊缝处两面焊接，使泵体内部达到了设计真空设备的较高要求。外部采用了冷却效果较好的水冷槽式冷却结构，水槽式冷却外套采用为不锈钢板，避免了泵在长期使用工作中由于水质的问题导致泵水套的腐蚀问题，大大提高扩散泵的使用寿命，由水槽式冷却外套缠绕泵体外部形成水流导向模式，最大限度的提供冷却水与泵体的接触面积和水流量，快速充分的降低了泵体内表面的温度，减少泵工作液在泵体内部表面附着时间，避免泵液的二次蒸发，减少了返油量，降低了对真空室的污染，提高了真空室产品的质量。泵体法兰采用优质不锈钢整体加工制造结构，合理的工艺，精密的加工设备，保证了法兰密封表面所要求的粗糙度，对真空设备的密封起到了作用。在泵体中设计安装油位观察装置，由不锈钢制造，其作用便于使用和观察泵液的使用情况，整体为不锈钢金属法兰密封，形式为金属刀口密封法兰，其特点在高温状态下，使用时间长，不易泄漏，安装维修方便等。安装了泵油测温装置，将泵液工作的温度通过油温数显表表示出来，便于观察泵的使用工作情况。

[0017] 泵芯组件结构采用的是整体结构，利于安装调试时的整体性。泵芯组件的材料采用了不锈钢拉丝板材料制造，保证了泵芯组件零部件表面的光洁度，使泵工作油液快速下滑，减少了泵油液在泵芯组件零件表面上的附着时间，大大降低了对真空室的泵液返油率的污染，对真空室中的产品工件起到了保护作用。其结构采用了一级导流管和二级喷嘴帽上部焊接连接；三级导流管和二级喷嘴帽通过连接套管连接在一起；三级间隙垫安装在三级导流管上部；三级喷嘴帽放置在三级导流管上；二级间隙垫安装在三级喷嘴帽上；一级喷嘴座安装在一级导流管上，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体；三个伞帽形喷嘴帽的角度为53 63度；由于采用此种泵芯结构达到极限真空时间短，能得到~
较高的抽气速率，各级最佳角度的设定加快了泵体内抽气介质的排除，可以达到最佳喷射效率，达到提高抽气速率的效果；采用这样的泵芯组件结构是设计该产品的核心技术。本发明泵芯采用设计伞帽形喷嘴帽及导流管组成整体的结构形式，利于在安装调试时的整体性。泵芯组件的材料采用了不锈钢拉丝板材，其零部件加工采用机械整体拉伸加工工艺，保证了产品质量与零部件表面的光洁度，使泵工作油液快速下滑，减少了泵油液在泵芯组件零件表面上的附着时间，大大降低了对真空室的返油率的污染，对真空室中的产品工件起到了保护作用，获得较高的真空度起到了决定性的作用。

[0018] 在排气口处安装了水冷挡油装置，水冷挡油装置垂直安放在泵体的排气口处，由多半个圆形挡片与冷却管组成，冷却管与半圆形挡片焊接牢固，由多个半圆形挡片组成的水冷挡油装置（可通过冷却水），减少了跟随泵排气过程中所携带的油蒸汽中的泵工作液，降低了对前级真空泵及真空系统的污染。

[0019] 电磁加热器紧贴在泵体底部，易于对扩散泵泵体内的泵油加热，大大降低了用电量，起到了节能的效果。采用电磁加热方式，质量好，使用寿命长，易于更换与维修。

[0020] 本发明是口径720毫米，极限真空度最高达2×10-5Pa，抽气速率高达11000L/S，4小时内达到极限真空要求，冷却效果好，返油率降低，使用寿命长，耗电量低，节能环保。

附图说明

[0021] 图1是本发明的整体主视结构示意图。

[0022] 图2是泵芯组件的主视结构示意图。

[0023] 图3是观察窗的主视结构示意图。

[0024] 图4是电磁加热器主视结构示意图。

[0025] 图5是水冷挡油装置的主视结构示意图。

[0026] 图6是水冷挡板的主视结构示意图。

[0027] 图7是本发明工作原理结构示意图。

[0028] 图8是本发明整体俯视结构示意图。

[0029] 图9是水冷挡板的俯视结构示意图。

[0030] 图中：1、水冷挡板， 2、泵体， 3、泵芯 ，4、水冷挡油装置 ，5、电磁加热器， 6、支杆， 7、角轮， 8、观察窗 ，9、测温电阻， 10、电控箱， 11、一级喷嘴帽， 12、一级喷嘴座 ，13、二级喷嘴帽 ，14、一级导流管， 15、二级间隙垫 ，16、垫圈，17、连接套管 ，18、不锈钢螺杆 ，19、三级喷嘴帽， 20、三级间隙垫 ，21、三级导流管， 22、一级扩压导流管， 23、长螺杆， 24、小法兰 ，25、第一无氧铜密封垫 ，26、盲板法兰 ，27、小接管， 28、第二无氧铜密封垫， 29、观察窗法兰， 30、主法兰 ，31、主接管 ，32、金属外壳， 33、连接螺母， 34、水冷法兰， 35、无缝弯头 ，36、挡油片 ，37、水冷铜管， 38、水冷挡板法兰 ，39、挡油帽体， 40、挡片一， 41、挡片二， 42、挡片三 ，43、挡片四， 44、挡片五， 45、固定拉筋， 46、上挡片， 47、压垫 ，48、铜冷却管， 49、把手， 50、水嘴组件， 51、测量元件， 52、水槽式冷却外套水槽式冷却外套。

具体实施方式

[0031] 它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其特征在于电磁加热器设置在泵体底部、泵体的排气口处设有水冷挡油装置，泵体采用了直腔结构，泵体外设有水槽式冷却外套，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心位置，泵芯组件结构是由内至外依次设置伞帽形一级喷嘴帽、伞帽形二级喷嘴帽、伞帽形三级喷嘴帽、三级导流管构成整体结构，各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。

[0032] 如图1、图8和图9所示，本发明电磁加热高真空油扩散泵，其结构如下：它包括泵体2、设置在泵体2内的泵芯组件3、设置在泵体2底部的电磁加热器5、设置在泵体2排气口处的水冷挡油装置4，水冷挡油装置4与泵体排气口连接紧固，泵体2的进气口上水平安装有水冷挡板1，泵体2通过支杆6、角轮7支撑于地面，泵体2的下部设有观察窗8和测温电阻9，泵体2上安装了泵油测温装置测温电阻9，泵液工作的温度通过油温数显表表示出来，便于观察泵的使用工作情况；电控箱10安装在泵体2上，上述的泵芯组件3垂直安装在泵体2内的中心位置。泵体2的结果采用了直腔结构，泵体2采用不锈钢制造，泵体2的内外焊缝处采用两面焊接结构，泵体直腔的中间体直径尺寸与进气口直径尺寸相同，泵体进气口处的法兰采用不锈钢整体结构，保证了法兰密封表面所要求的粗糙度，提高了真空设备密封性能。泵体2外设有水槽式冷却外套52，水槽式冷却外套52由不锈钢折压制造，为减少焊缝采用4米板材加工，缠绕泵体2外部形成水流导向结构；水流导向结构为冷却槽缠绕泵体外壁，冷却水在水冷却槽内流动，水冷却槽与泵体外壁接触处采用氩弧焊点焊连接，然后再满焊连接，保证了产品的同圆度与整体性。水槽式冷却外套52避免了泵在长期使用工作中由于水质的问题导致泵水套的腐蚀问题，大大提高了扩散泵的使用寿命，最大限度的提供冷却水与泵体的接触面积和水流量，充分降低了泵体内表面的温度，减少泵工作液在泵体内部表面附着时间，避免了泵液的二次蒸发，减少了返油量，降低了对真空室的污染，提高了真空室产品的质量。水冷却铜管式冷却外套的结构为冷却铜管缠绕泵体外壁，冷却水在冷却铜管内流动，冷却铜管采用紫铜管，冷却铜管与泵体外壁的接触面积，达到最佳冷却：一级导流管和二级喷嘴帽上部焊接连接；三级导流管和二级喷嘴帽通过连接套管连接在一起；三级间隙垫安装在三级导流管上部；三级喷嘴帽放置在三级导流管上；二级间隙垫安装在三级喷嘴帽上；一级喷嘴座安装在一级导流管上，一级喷嘴帽通过长螺杆与一级喷嘴座、三级导流管安装成一体。

[0033] 如图2所示，泵芯组件3采用不锈钢拉丝板材料制造，它是由内至外设置的一级导流管、三级导流管构成整体结构，各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管，一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的上部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高；泵芯组件3的详细结构如下：一级喷嘴帽11安装在一级喷嘴座12上，一级喷嘴帽11通过长螺杆23与一级喷嘴座12、三级导流管21安装成一体，二级喷嘴13安装在三级喷嘴19上，三级喷嘴帽19安装在三级导流管21上，二级喷嘴帽13与三级导流管21通过垫圈16、连接套管17和不锈钢螺杆18连接在一起，一级喷嘴帽11通过长螺杆23与一级喷嘴座12、三级导流管21安装成一体，二级间隙垫15安装在三级喷嘴帽19上，并分别用螺栓、平垫圈连接紧固，保证二级间隙垫的均匀性和稳定性；三级间隙垫20安装三级导流管21上部，并分别用螺栓、平垫圈连接紧固，保证三级间隙垫的均匀性和稳定性。一级喷嘴帽11、二级喷嘴帽13和三级喷嘴帽19为伞帽形扩散喷嘴帽，一级喷嘴帽11、二级喷嘴帽13和三级喷嘴帽19的喷射角度为53 63度，在此喷射角度可以加快泵体内抽气介质的排除，达到最佳喷射效率，达到~抽气速率的效果。采用这样的泵芯组件结构是设计该产品的核心技术。本发明泵芯采用设计伞帽形喷嘴帽及导流管组成整体的结构形式，利于在安装调试时的整体性。泵芯组件的材料采用了不锈钢拉丝板材，其零部件加工采用机械整体拉伸加工工艺，保证了产品质量与零部件表面的光洁度，使泵工作油液快速下滑，减少了泵油液在泵芯组件零件表面上的附着时间，大大降低了对真空室的返油率的污染，对真空室中的产品工件起到了保护作用。

[0034] 如图3所示，在泵体2的下部设有观察窗8，观察窗8由不锈钢制成，其作用是便于使用和观察泵液的使用情况，易于向泵体内注油和清洗时防油，清晰的视镜可随时观察泵油的使用情况，其具体结构为：第一无氧铜密封垫25安装于小法兰24口处，小法兰24与小接管27焊接，小法兰24上部安装盲板法兰26并用不锈钢六角头螺栓、螺母、平垫圈连接紧固，第二无氧铜密封垫28安装在主法兰30上，主管法兰30与主接管31焊接，第二无氧铜密封垫28与观察窗法兰29通过不锈钢六角头螺栓，螺母、平垫圈连接紧固。

[0035] 如图4所示，电磁加热器5的结构如下：金属外壳32内安装电磁耐热高温加热线，金属外壳32由铝制品制造，金属外壳32外部焊接有连接螺母33，连接螺母33通过紧固件连接于泵体2底部，用于控制电磁加热器5的电控箱10安装在泵体2上。电控箱10可以调节加热功率，为现有技术不做详细描述。电磁加热器紧贴在泵体底部，易于对泵工作油液加热，大大降低了用电量，起到了节能的效果。高品质的电磁加热器质量好，使用寿命长，易于更换与维修。

[0036] 如图5所示，水冷挡油装置4垂直安装在泵体的排气口处，水冷挡油装置是由位于中心的水冷铜管37及水冷铜管37上由下至上间隔、交错排列的半圆形挡油片36构成，水冷铜管37与水冷法兰34、无缝弯头35焊接成一体。法兰内可通冷却水，避免了工作油液在高温加热过程中所产生的爆炸沸腾时工作油液跟随高速的油蒸汽所携带走，降低了真空室污染的效果。

[0037] 如图6所示，泵体2的进气口上水平安装有水冷挡板1，水冷挡板1的结构如下：水冷挡板法兰38上下端中部安装挡油帽体39，挡片一40、挡片二41、挡片三42、挡片四43及挡片五44安装在水冷挡板法兰38内，固定拉筋45、上挡片46、压垫47与挡片一40、挡片二41、挡片三42、挡片四43及挡片五44焊接成一体结构，铜冷却管48缠绕于挡片一40、挡片二41、挡片三42、挡片四43及挡片五44外，把手49、水嘴组件50、测量元件51焊接于水冷挡板法兰38外侧。水冷挡板法兰38由不锈钢材料制造，挡油帽体39及挡片一40、挡片二41、挡片三42、挡片四43及挡片五44为紫铜板制造。为充分达到冷却效果，挡片一40、挡片二41、挡片三42、挡片四43及挡片五44的水平方向倾斜角度设定为47度，该角度的设定是最大限度的减小了泵液油蒸汽对真空室的污染，同时也保证该泵的抽气速率。上挡片46也是可达到遮挡返油效果的，为充分达到冷却效果，铜冷却管48与各挡片接触，增加冷却水的接触面积，达到冷却效果，另产品中设计的测量元件51方便检测检查产品的性能和指标。

[0038] 如图7所示，本发明的工作原理如下：高真空油扩散泵的主要部件有泵体、泵芯和电磁加热器等，泵体油锅中的泵油加热到沸腾温度，产生大量的油蒸气，油蒸气经各级导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附件被抽气体的分压力高于蒸汽流中该气体的分压力，所以被抽气体分子就不断地扩散到蒸汽流中。油蒸汽撞击被抽气体分子，使被抽气体分子沿蒸汽流束的方向高速运动。气体分子碰到泵体内壁又反射回来，再受到蒸汽流的碰撞而重新沿蒸汽流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸汽进行多级压缩，最后由前级真空泵抽走。而油蒸汽在冷却的泵壁上被冷凝之后又返回到油锅中重新被加热，如此循环工作。经过试验检测，采用上述结构制成的进气口为720毫米口径的电磁加热高真空油扩散泵，其极限真空度最高达2×10-5Pa，抽气速率高达11000L/S,4小时内达到极限真空要求，耗电量为12KW。