电动机的控制装置

摘要

本发明的电动机的控制装置具备位置检测器(107)、前馈控制器(101)、前置补偿器(102)、反馈控制器(103)、振动抑制控制器(104)、转矩控制器(105)、转矩估计部(108)以及调整运算部为将前馈操作量与反馈操作量相加所得到的值的操作量指令值。振动抑制控制器(104)输出与被输入的操作量指令值相应的实际操作量指令值。转矩控制器(105)控制通过电动机产生的操作量，使得通过电动机产生的操作量与实际操作量指令值一致。调整运算部(109)对前置补偿器(102)的传递特性进行调整，使得前置补偿器(102)的传递特性与从操作量指令值到操作量的传递特性相等。(109)。特别是，振动抑制控制器(104)被输入作

权利要求

1.一种电动机的控制装置，具备：

状态量检测部，其检测电动机的动作来计算所述电动机的动作量，将计算出的所述动作量作为状态量检测值来输出；

前馈控制器，其被输入用于指示所述动作的状态量指令值，输出与被输入的所述状态量指令值相应的前馈操作量；

能够变更的前置补偿器，其被输入所述状态量指令值，输出对被输入的所述状态量指令值进行校正所得到的状态量指令校正值；

反馈控制器，其被输入所述状态量指令校正值与所述状态量检测值之差，输出相应于被输入的所述状态量指令校正值与所述状态量检测值之差的反馈操作量；

振动抑制控制器，其被输入作为将所述前馈操作量与所述反馈操作量相加所得到的值的操作量指令值，输出与被输入的所述操作量指令值相应的实际操作量指令值；

操作量控制器，其控制通过所述电动机产生的操作量，使得所述操作量与所述实际操作量指令值一致；

操作量估计部，其被输入所述状态量检测值，输出与被输入的所述状态量检测值相应的操作量估计值；以及调整运算部，其调整所述前置补偿器的传递特性，

其中，所述调整运算部对所述前置补偿器的传递特性进行调整，使得所述前置补偿器的传递特性与从所述操作量指令值到所述操作量的传递特性相等。

2.根据权利要求1所述的电动机的控制装置，其特征在于，还具备施加操作量检测部，该施加操作量检测部检测所述操作量，将所述操作量作为施加操作量检测值来输出，所述操作量估计部被输入所述施加操作量检测值来代替所述状态量检测值，输出与被输入的所述施加操作量检测值相应的操作量估计值。

3.根据权利要求1所述的电动机的控制装置，其特征在于，具备施加操作量检测部来代替所述操作量估计部，该施加操作量检测部被输入所述操作量，输出与被输入的所述操作量相应的操作量估计值。

4.根据权利要求1所述的电动机的控制装置，其特征在于，所述前馈控制器和所述操作量估计部的计算算法是相同的结构。

5.根据权利要求1所述的电动机的控制装置，其特征在于，所述振动抑制控制器包括一个以上的IIR滤波器、或者一个以上的FIR滤波器、或者一个以上的IIR滤波器与一个以上的FIR滤波器的组合。

6.根据权利要求1所述的电动机的控制装置，其特征在于，所述前置补偿器包括IIR滤波器或FIR滤波器。

7.根据权利要求6所述的电动机的控制装置，其特征在于，所述调整运算部通过最小二乘法对所述IIR滤波器或所述FIR滤波器所具有的滤波系数进行修正。

8.根据权利要求6所述的电动机的控制装置，其特征在于，所述调整运算部逐次地根据自适应律对所述IIR滤波器或所述FIR滤波器所具有的滤波系数进行修正。

9.根据权利要求6所述的电动机的控制装置，其特征在于，所述调整运算部对所述IIR滤波器或所述FIR滤波器所具有的滤波阶数、以及所述IIR滤波器或所述FIR滤波器所具有的滤波系数进行变更，根据学习规则导出使所述操作量指令值与所述操作量估计值之差最小的所述滤波阶数和所述滤波系数。

10.根据权利要求7至9中的任一项所述的电动机的控制装置，其特征在于，还具有进行所述反馈操作量的判定的阈值，在所述反馈操作量超过所述阈值的情况下，所述调整运算部变更所述前置补偿器的滤波系数，在所述反馈操作量没有超过所述阈值的情况下，所述调整运算部不变更所述前置补偿器的滤波系数。

说明书

电动机的控制装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种在电子部件的安装机、半导体的制造装置等中使用的电动机的控制装置，特别涉及具备对前置补偿器的传递特性进行调整的功能的电动机的控制装置。

背景技术

[0002] 以往，存在如下的电动机的控制装置：针对包括无用时间的控制对象，对前置补偿器的传递特性进行调整，使得前置补偿器的传递特性与从状态量指令值到状态量检测值的传递特性相等。电动机的控制装置减小状态量指令与状态量之间的偏差，从而获得高的跟踪性能。

[0003] 例如在专利文献1中记载了这样的电动机的控制装置。

[0004] 图4是表示以往的电动机的控制装置的结构图。如图4所示，控制对象206例如是电动机和安装于电动机的负载。关于控制对象206而言，通过作为操作量的转矩而作为状态量的位置发生变化。

[0005] 位置检测器207检测控制对象206的位置，输出位置检测值。前馈控制器201基于从上级控制器提供的位置指令值来生成前馈操作量。前置补偿器202基于位置指令值来生成位置指令修正值。

[0006] 反馈控制器203基于位置指令修正值与位置检测值之差来生成反馈操作量。转矩控制器205将前馈操作量与反馈操作量之和作为转矩指令值。转矩控制器205进行控制使得转矩与转矩指令值一致。调整运算部209基于位置指令修正值和位置检测值来调整前置补偿器202。

[0007] 为了将前置补偿器202的传递函数设定得尽可能地接近前馈误差，用数字控制器的IIR型自适应滤波器来实现前置补偿器202。前馈误差是控制对象206的传递函数与在前馈控制器201中使用的控制对象模型的传递函数之差。调整运算部209依照自适应律，根据位置指令修正值和位置检测值来计算前置补偿器202所具有的滤波系数并进行设定。

[0008] 专利文献1：日本特开2008-310651号公报

发明内容

[0009] 本发明作为对象的电动机的控制装置具备状态量检测部、前馈控制器、能够变更的前置补偿器、反馈控制器、振动抑制控制器、操作量控制器、操作量估计部以及调整运算部。

[0010] 状态量检测部检测电动机的动作来计算电动机的动作量。状态量检测部将计算出的动作量作为状态量检测值来输出。

[0011] 前馈控制器被输入用于指示动作的状态量指令值。前馈控制器输出与被输入的状态量指令值相应的前馈操作量。

[0012] 能够变更的前置补偿器被输入状态量指令值。能够变更的前置补偿器输出对被输入的状态量指令值进行校正所得到的状态量指令校正值。

[0013] 反馈控制器被输入状态量指令校正值与状态量检测值之差。反馈控制器输出相应于被输入的状态量指令校正值与状态量检测值之差的反馈操作量。

[0014] 振动抑制控制器被输入作为将前馈操作量与反馈操作量相加所得到的值的操作量指令值。振动抑制控制器输出与被输入的操作量指令值相应的实际操作量指令值。

[0015] 操作量控制器控制通过电动机产生的操作量，使得通过电动机产生的操作量与实际操作量指令值一致。

[0016] 操作量估计部被输入状态量检测值。操作量估计部输出与被输入的状态量检测值相应的操作量估计值。

[0017] 调整运算部调整前置补偿器的传递特性。

[0018] 特别是，调整运算部对前置补偿器的传递特性进行调整，使得前置补偿器的传递特性与从操作量指令值到操作量的传递特性相等。

附图说明

[0019] 图1是表示本发明的实施方式1中的电动机的控制装置的结构图。

[0020] 图2是表示本发明的实施方式2中的电动机的控制装置的结构图。

[0021] 图3是表示本发明的实施方式2中的其它电动机的控制装置的结构图。

[0022] 图4是表示以往的电动机的控制装置的结构图。

具体实施方式

[0023] 本发明的实施方式中的电动机的控制装置通过后述的结构能够降低振动。在振动中，存在基于由状态量检测部进行检测的分辨率的粗细度的振动。或者，在振动中存在基于机械系统的共振的振动。

[0024] 另外，本发明的实施方式中的电动机的控制装置即使是前置补偿器正在调整，也能够实现高的跟踪性能。

[0025] 即，在以往的电动机的控制装置中，存在以下的应该改善的方面。即，以往的电动机的控制装置受到基于由状态量检测部进行检测的分辨率的粗细度的振动的影响。另外，以往的电动机的控制装置受到基于机械系统的共振的振动的影响。考察出以往的电动机的控制装置没有考虑到这些振动，无法抑制振动。

[0026] 另外，调整运算部根据位置指令修正值和位置检测值来计算前置补偿器的传递函数。位置检测值受到反馈控制器的控制的影响。因此，在前置补偿器的调整过程中需要降低反馈控制器的控制增益。其结果，在前置补偿器的调整过程中，二自由度控制装置的跟踪性能降低。

[0027] 下面，使用附图来说明本发明的各实施方式。此外，以下的实施方式是将本发明具体化的一个例子，并不限定本发明的技术范围。

[0028] (实施方式1)

[0029] 图1是表示本发明的实施方式1中的电动机的控制装置的结构图。

[0030] 如图1所示，本发明的实施方式1中的电动机的控制装置具备例如能够用位置检测器107实现的状态量检测部、前馈控制器101、能够变更的前置补偿器102、反馈控制器103、振动抑制控制器104、例如能够用转矩控制器105实现的操作量控制器、例如能够用转矩估计部108实现的操作量估计部以及调整运算部109。

[0031] 在图1中，以位置检测器107来表示的状态量检测部检测电动机的动作来计算电动机的动作量。状态量检测部将计算出的动作量作为状态量检测值来输出。以电动机的位置信息来表示电动机的动作量。以位置检测值来表示状态量检测值。

[0032] 前馈控制器101被输入用于指示动作的状态量指令值。前馈控制器101输出与被输入的状态量指令值相应的前馈操作量。作为具体例子，在图1中，以从上级控制器提供的位置指令值来表示状态量指令值。以前馈转矩指令值来表示前馈操作量。

[0033] 能够变更的前置补偿器102被输入状态量指令值。能够变更的前置补偿器102输出对被输入的状态量指令值进行校正所得到的状态量指令校正值。作为具体例子，在图1中，以位置指令校正值来表示状态量指令校正值。

[0034] 反馈控制器103被输入状态量指令校正值与状态量检测值之差。反馈控制器103输出相应于被输入的状态量指令校正值与状态量检测值之差的反馈操作量。作为具体例子，在图1中，以反馈转矩指令值来表示反馈操作量。

[0035] 振动抑制控制器104被输入作为将前馈操作量与反馈操作量相加所得到的值的操作量指令值。振动抑制控制器104输出与被输入的操作量指令值相应的实际操作量指令值。作为具体例子，在图1中，以转矩指令值来表示操作量指令值。以实际转矩指令值来表示实际操作量指令值。

[0036] 在图1中，以转矩控制器105来表示的操作量控制器控制通过电动机产生的操作量，使得通过电动机产生的操作量与实际操作量指令值一致。以转矩来表示操作量。

[0037] 在图1中，以转矩估计部108来表示的操作量估计部被输入状态量检测值。操作量估计部输出与被输入的状态量检测值相应的操作量估计值。以转矩估计值来表示操作量估计值。

[0038] 调整运算部109调整前置补偿器102的传递特性。

[0039] 特别是，调整运算部109对前置补偿器102的传递特性进行调整，使得前置补偿器102的传递特性与从操作量指令值到操作量的传递特性相等。

[0040] 根据本结构，能够如后述那样降低振动。振动中存在基于由作为状态量检测部的位置检测器107进行检测的分辨率的粗细度的振动。另外，振动中存在基于机械系统的共振的振动。并且，根据本结构，不降低反馈控制器103的控制增益就能够进行前置补偿器102的调整。由此，在前置补偿器102的调整过程中，本实施方式1中的电动机的控制装置能够实现高的跟踪性能。

[0041] 特别地起到显著的作用效果的方式如下。即，在本实施方式1中的电动机的控制装置中，前馈控制器101和作为操作量估计部的转矩估计部108的计算算法具有相同的结构。具体地说，前馈控制器101和作为操作量估计部的转矩估计部108在基于输入值来计算输出值时，使用相同的计算算法。

[0042] 根据本结构，除了上述的作用效果以外，还起到以下的作用效果。即，根据本结构，能够根据状态量检测值高精度地估计通过电动机产生的操作量。由此，能够减小操作量指令值与通过电动机产生的操作量之间的偏差。因此，本实施方式1中的电动机的控制装置能够实现高的跟踪性能。

[0043] 另外，在本实施方式1中，振动抑制控制器104包括至少一个以上的IIR滤波器、或者至少一个以上的FIR滤波器、或者至少一个以上的IIR滤波器与至少一个以上的FIR滤波器的组合。

[0044] 根据本结构，能够从操作量指令值去除会激发振动的成分。由此，本实施方式1中的电动机的控制装置能够降低基于由作为状态量检测部的位置检测部107进行检测的分辨率的粗细度的振动、基于机械系统的共振的振动。

[0045] 另外，在本实施方式1中，前置补偿器102包括IIR滤波器或FIR滤波器。

[0046] 根据本结构，能够对状态量指令值实施与从操作量指令值到通过电动机产生的操作量的传递特性等效的滤波处理。由此，能够减小输入到反馈控制器103的状态量指令校正值与状态量检测值之间的偏差量。因此，本实施方式1中的电动机的控制装置能够实现高的跟踪性能。

[0047] 另外，在本实施方式1中，调整运算部109通过最小二乘法对IIR滤波器或FIR滤波器所具有的滤波系数进行修正。

[0048] 另外，在本实施方式1中，调整运算部109逐次地根据自适应律对IIR滤波器或FIR滤波器所具有的滤波系数进行修正。

[0049] 或者，在本实施方式1中，调整运算部109对IIR滤波器或FIR滤波器所具有的滤波阶数以及IIR滤波器或FIR滤波器所具有的滤波系数进行变更。调整运算部109根据学习规则导出使操作量指令值与操作量估计值之差最小的滤波阶数和滤波系数。

[0050] 根据本结构，能够将前置补偿器102调整为最优的传递特性。因此，本实施方式1中的电动机的控制装置能够实现高的跟踪性能。

[0051] 另外，本实施方式1中的电动机的控制装置还具有进行反馈操作量的判定的阈值。

[0052] 调整运算部109在反馈操作量超过阈值的情况下，变更前置补偿器102的滤波系数。调整运算部109在反馈操作量没有超过阈值的情况下，不变更前置补偿器102的滤波系数。

[0053] 根据本结构，在前置补偿器102的传递特性与从操作量指令值到操作量的传递特性大幅不同的情况下，调整前置补偿器102。由此，能够稳定地调整前置补偿器102。

[0054] 进一步地使用附图来详细进行说明。

[0055] 如图1所示，在本实施方式1中，控制对象106是机械系统的装置。作为具体例子，控制对象106是电动机和安装于电动机的负载。电动机产生转矩，由此驱动作为控制对象106的机械系统的装置。位置检测器107检测位置信息来作为电动机的动作量。位置检测器107将检测出的结果作为位置检测值来输出。

[0056] 前馈控制器101被输入从上级控制器提供的位置指令值。前馈控制器101输出前馈转矩指令值。前馈转矩指令值的目的在于进行驱动使得控制对象106的位置与位置指令值相等。前置补偿器102对位置指令值进行修正使得基于前馈转矩指令值的控制对象的位置与位置检测值相等。前置补偿器102被输入位置指令值，输出位置指令校正值。

[0057] 反馈控制器103被输入位置指令校正值与位置检测值之间的偏差量。反馈控制器103输出用于减小被输入的偏差量的反馈转矩指令值。振动抑制控制器104从由电动机产生的转矩去除会激发机械系统的振动的成分。振动抑制控制器104被输入作为前馈转矩指令值与反馈转矩指令值的相加值的转矩指令值。振动抑制控制器104去除会激发机械系统的振动的成分，将去除后的结果作为实际转矩指令值来输出。

[0058] 转矩控制器105控制向电动机施加的转矩，使得通过电动机产生的转矩与实际转矩指令值一致。转矩估计部108估计通过电动机产生的转矩。转矩估计部108被输入位置检测值。转矩估计部108输出作为通过电动机产生的转矩的估计值的转矩估计值。

[0059] 调整运算部109被输入转矩指令值和转矩估计值。调整运算部109对前置补偿器102的传递特性进行调整，使得前置补偿器102的传递特性与从转矩指令值到通过电动机产生的转矩的传递特性相等。

[0060] 下面，说明如以上那样构成的电动机的控制装置的动作、作用。

[0061] 在本实施方式中，将控制对象106的传递函数设为G(s)。s是拉普拉斯算子。例如将控制对象106假定为刚体负载。将刚体负载的惯量设为J。此时，作为一个例子，用以下的式(1)表示传递函数Gp(s)。

[0062] [式1]

[0063]

[0064] 接着，说明前馈控制器101。前馈控制器101运算前馈转矩指令值并输出，使得输入到前馈控制器101的位置指令值与控制对象106的位置一致。前馈转矩指令值是指需要通过电动机产生的转矩。

[0065] 将控制对象106的模型的传递函数设为Gm(z)。将前馈控制器101的传递函数设为Gm-1(z)。z是z变换的算子。Ts是电动机的控制装置的采样周期。此时，作为一个例子，如以下的式(2)那样表示传递函数Gm-1(z)。

[0066] [式2]

[0067]

[0068] 但是，即使电动机的控制装置使用以式(2)表示的前馈控制器101，输入到前馈控制器101的位置指令值与控制对象106的位置也不一致。下面说明其主要原因。

[0069] 将振动抑制控制器104的传递函数设为Gtf(s)和Gtf(z)。由于由位置检测器107进行检测的分辨率的粗细度，在机械系统中激发振动。振动抑制控制器104的目的在于降低在该机械系统中激发的振动。能够用去除高频成分的低通滤波器来实现振动抑制控制器104。此时，关于振动抑制控制器104，作为一个例子，用以下的式(3)表示传递函数Gtf(s)。另外，作为一个例子，如以下的式(4)那样表示传递函数Gtf(z)。

[0070] [式3]

[0071]

[0072] [式4]

[0073]

[0074] 另外，转矩控制器105被输入实际转矩指令值。转矩控制器105对施加转矩进行控制使得通过电动机产生的转矩与实际转矩指令值一致。但是，一般在实际转矩指令值与通过电动机产生的转矩之间产生误差、延迟。于是，将转矩控制器105的传递函数设为Gtc(s)。

[0075] 根据振动抑制控制器104的传递特性和转矩控制器105的传递特性，导出针对转矩指令值通过电动机产生的转矩的传递函数。将通过电动机产生的转矩的传递函数设为Gd(s)。用以下的式(5)表示传递函数Gd(s)。

[0076] [式5]

[0077] Gd(s)＝Gtf(s)·Gtc(S)...(5)

[0078] 从前馈控制器101输出前馈转矩指令值。从前馈转矩指令值到通过电动机产生的转矩的传递特性与式(5)相等。由此，在使用以式(2)表示的前馈控制器101的情况下，位置指令值与作为控制对象106的刚体负载的位置检测值的传递特性成为式(5)。位置指令值与作为控制对象106的刚体负载的位置检测值不会完全一致。

[0079] 将无法通过传递函数Gd(s)实现的部分设为前馈误差。当考虑该前馈误差时，如以下的式(6)那样表示前馈控制器101的传递函数。

[0080] [式6]

[0081]

[0082] 在本实施方式中，将前置补偿器102的传递函数设为Gdm(s)。调整运算部109对传递函数Gdm(s)进行调整使得传递函数Gdm(s)接近传递函数Gd(s)。

[0083] 接着，说明转矩估计部108的动作。转矩估计部108被输入位置检测值xm。基于被输入的位置检测值xm，转矩估计部108运算作为通过电动机产生的转矩的估计值的转矩估计-1值τc。设转矩估计部108的传递函数与前馈控制器的传递函数Gm (z)相同。此时，作为一个例子，如以下的式(7)那样表示转矩估计部108的传递函数。

[0084] [式7]

[0085]

[0086] 接着，说明调整运算部109的动作。在本实施方式中，将前置补偿器102设为IIR滤波器。此时，用以下的式(8)表示前置补偿器102的传递函数Gs(z)。

[0087] [式8]

[0088]

[0089] 根据自适应律求出在调整运算部109中使用的滤波系数ai、bj。i是从1到N的整数。j是从1到M的整数。N和M是滤波阶数。N和M设为任何值都可以，值越大则越能够实现高精度的滤波器。此外，关于N和M，值越大则运算量越增加，越难以收敛。因此，例如将N和M分别设为3以下的固定值。

[0090] 调整运算部109被输入转矩指令值τin以及作为转矩估计部108的输出的转矩估计值τc。调整运算部109将转矩指令值τin作为传递函数Gs(z)的输入、将转矩估计值τc作为传递函数Gs(z)的输出，来运算式(8)的滤波系数。调整运算部109运算Gs(z)的系数使得前置补偿器102的传递特性与从转矩指令值到通过电动机产生的转矩的传递特性相等。关于滤波系数的运算，例如使用最小二乘法、迭代最小二乘法来进行计算。

[0091] 在以上的说明中，关于电动机例示了旋转型的产生转矩的电动机来进行了说明。电动机也可以是如线性电动机那样得到推力的电动机。在该情况下，针对上述实施方式中的各要素进行以下的置换即可。即，将作为控制对象的物理特性的惯量置换为质量。另外，将作为操作量的转矩置换为推力。如果进行这样的置换，则能够得到同样的效果。

[0092] 另外，在本实施方式中，例示了状态量是位置的情况来进行了说明。状态量也可以是速度。在该情况下，如果前馈控制器的传递特性为与控制对象的操作量对应的状态量的传递特性的逆特性，则能够得到同样的效果。

[0093] 另外，在本实施方式中，将操作量设为转矩，根据状态量检测值估计计算出操作量估计值。作为其它实施方式，电动机的控制装置也可以是以下的结构。即，电动机的控制装置将操作量设为电流值。电动机的控制装置具备操作量检测器和操作量估计部。操作量检测器检测作为操作量的电流。操作量检测器将检测出的电流作为操作量检测值来输出。操作量估计部根据操作量检测值来估计操作量估计值并输出。

[0094] 另外，在本实施方式中，将振动抑制控制器设为IIR型的低通滤波器。作为其它实施方式，振动抑制控制器也可以是用于抑制机械共振的去除特定的频率成分的滤波器。

[0095] 具体地说，振动抑制控制器也可以是包括IIR型陷波滤波器的滤波器。或者，振动抑制控制器也可以是包括多个IIR型陷波滤波器的滤波器，或者是包括IIR型低通滤波器与多个IIR型陷波滤波器的滤波器。

[0096] 另外，振动抑制控制器也可以是包括FIR型陷波滤波器的滤波器。或者，振动抑制控制器也可以是包括FIR型陷波滤波器、多个IIR型陷波滤波器以及FIR型陷波滤波器的滤波器，或者是包括IIR型低通滤波器、多个IIR型陷波滤波器以及FIR型陷波滤波器的滤波器。

[0097] 另外，在本实施方式中，设前置补偿器为IIR滤波器。在其它实施方式中，前置补偿器也可以是FIR滤波器。

[0098] 另外，在本实施方式中，前置补偿器将滤波阶数设为固定。在其它实施方式中，也可以是如下结构：前置补偿器将滤波阶数设为可变，调整运算部根据学习规则变更滤波阶数和滤波系数来决定最优的值。

[0099] 另外，在本实施方式中，设调整运算部为始终调整前置补偿器的结构。在其它实施方式中，也可以是以下的结构：在反馈操作量超过阈值的情况下，调整运算部调整前置补偿器。

[0100] (实施方式2)

[0101] 接着，实施方式2示出作为电动机的控制装置的其它的具体例子。

[0102] 图2是表示本发明的实施方式2中的电动机的控制装置的结构图。图3是表示本发明的实施方式2中的其它电动机的控制装置的结构图。

[0103] 如图2所示，本发明的实施方式2中的电动机的控制装置还具备例如能够用转矩检测部110实现的施加操作量检测部。在图2中，用转矩检测部110表示的施加操作量检测部检测操作量，将其作为施加操作量检测值来输出。以施加转矩检测值来表示施加操作量检测值。

[0104] 在实施方式2中示出的电动机的控制装置与在上述实施方式1中示出的电动机的控制装置在以下的方面不同。

[0105] 即，例如能够用转矩估计部108实现的操作量估计部被输入表示为施加转矩检测值的施加操作量检测值来代替表示为位置检测值的状态量检测值。作为操作量估计部的转矩估计部108输出与被输入的施加操作量检测值相应的操作量估计值。以转矩估计值来表示操作量估计值。

[0106] 或者，如图3所示，本发明的实施方式2中的电动机的控制装置具备例如能够用转矩检测部110实现的施加操作量检测部来代替在图1中以转矩估计部108来表示的操作量估计部。在图3中，以转矩检测部110来表示的施加操作量检测部被输入操作量。施加操作量检测部输出操作量估计值。以转矩来表示操作量。以转矩估计值来表示操作量估计值。

[0107] 此外，除此以外，对与上述实施方式1所示的结构相同的结构标注相同的标记并引用说明。

[0108] 根据上述结构，除了在实施方式1中说明的作用效果以外，还起到以下的作用效果。即，根据本结构，能够减小操作量估计值与通过电动机产生的操作量之间的偏差。由此，在前置补偿器102的调整过程中，本实施方式的电动机的控制装置能够实现高的跟踪性能。

[0109] 产业上的可利用性

[0110] 本发明中的电动机的控制装置能够降低因由状态量检测部进行检测的分辨率的粗细度而引起的振动、因机械系统的共振而引起的振动。另外，本发明中的电动机的控制装置不降低反馈控制器的控制增益就能够进行前置补偿器的调整。由此，如果使用本发明中的电动机的控制装置，则即使在前置补偿器的调整过程中，也能够实现高的跟踪性能。能够将本发明中的电动机的控制装置用于在电子部件的安装机、半导体的制造装置中对驱动部进行驱动的用途。

[0111] 附图标记说明

[0112] 101、102：前馈控制器；102、202：前置补偿器；103、203：反馈控制器；104：振动抑制控制器；105：转矩控制器(操作量控制器)；106、206：控制对象；107：位置检测器(状态量检测部)；108：转矩估计部(操作量估计部)；109、209：调整运算部；110：转矩检测部(施加操作量检测部)；205：转矩控制器；207：位置检测器