一种IC装片机转让专利

申请号 : CN201510963777.2

文献号 : CN105428259B

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法律信息:

相似专利:

发明人 : 王敕

申请人 : 王敕

摘要 :

本发明提供了一种IC装片机,其使得整个设备在实际工作中的产能高,且对基板的芯片固装精度高,并降低了整个设备的制造成本。其包括基板上料工位、点胶工位、装片工位;所述基板上料工位,用于连续提供点胶工位的基板正常输送;所述点胶工位,其位于所述基板上料工位的正后方、用于对基板的待贴芯片位置进行点胶处理,所述点胶工位包括点胶工作台、卡板输送夹爪、点胶枪、点胶枪控制部分,卡板输送夹爪位于所述点胶工作台的一侧位置,所述点胶枪位于所述点胶工作台的正上方,所述点胶枪外接所述点胶枪控制部分,所述点胶枪控制部分控制点胶枪的移动和点胶,所述点胶枪控制部分内置一个三轴运动模组;所述装片工位,其用于对基板进行芯片固装。

权利要求 :

1.一种IC装片机,其特征在于:其包括基板上料工位、点胶工位、装片工位;

所述基板上料工位,用于连续提供点胶工位的基板正常输送;

所述点胶工位,其位于所述基板上料工位的正后方、用于对基板的待贴芯片位置进行点胶处理,所述点胶工位包括点胶工作台、卡板输送夹爪、点胶枪、点胶枪控制部分,所述卡板输送夹爪位于所述点胶工作台的一侧位置,所述点胶枪位于所述点胶工作台的正上方,所述点胶枪外接所述点胶枪控制部分,所述点胶枪控制部分控制点胶枪的移动和点胶,所述点胶枪控制部分内置一个三轴运动模组;

所述装片工位,其用于对基板进行芯片固装,所述装片工位具体包括晶圆支承工作台、装片工作台、焊头、摆臂结构、摆臂控制结构,所述装片工作台位于所述点胶工位的点胶工作台的正后方,所述晶圆支承工作台位于所述装片工作台的一侧,所述装片工作台、晶圆支承工作台之间布置有可180°旋转的摆臂结构,所述摆臂结构的底部连接有所述焊头,所述摆臂结构的主轴连接所述摆臂控制结构,所述摆臂结构可沿着Z轴垂直向升降,所述装片工作台支承于XY导向座,所述XY导向座可带动整个装片工作台X向、Y向精确移动。

2.如权利要求1所述的一种IC装片机,其特征在于:所述装片工作台上的基板、晶圆支承工作台的晶圆处于同一水平高度。

3.如权利要求1所述的一种IC装片机,其特征在于:其还包括机座结构,所述基板上料工位、点胶工位、装片工位分别布置于所述机座结构,所述装片工作台的直线轨道的末端设置有物料排放结构。

4.如权利要求1所述的一种IC装片机,其特征在于:所述点胶枪具体为前后布置的两把或多把,所述点胶枪位于所述点胶工作台的正上方,所述点胶枪分别外接所述点胶枪控制部分,所述点胶枪控制部分控制点胶枪的移动和点胶。

5.如权利要求1所述的一种IC装片机,其特征在于:所述装片工作台的一侧布置有基板卡位输送夹爪,所述基板卡位输送夹爪包括夹爪、第一丝杆轴,工作状态下所述夹爪的内侧紧压所述基板,所述夹爪的外侧底部螺纹连接所述第一丝杆轴,所述第一丝杆轴支承于所述装片工作台。

6.如权利要求1所述的一种IC装片机,其特征在于:工作状态下的所述卡板输送夹爪的内侧紧压所述基板,所述卡板输送夹爪的外侧底部螺纹连接第二丝杆轴,所述第二丝杆轴支承于所述点胶工作台。

7.如权利要求4所述的一种IC装片机,其特征在于:两把所述点胶枪之间的距离具体为所述基板长度的一半。

8.如权利要求1所述的一种IC装片机,其特征在于:所述基板上料工位包括基板储料结构、基板转运结构、基板输送气缸、基板支承台,所述基板输送气缸将基板输送至所述点胶工位。

9.如权利要求8所述的一种IC装片机,其特征在于:所述基板转运结构包括吸料结构、顶升机构、Y向平移结构,所述基板支承台和基板储料结构组合形成一个整体框架结构,整体框架结构支承于所述顶升机构的输出部分,所述Y向平移结构的输出部分连接所述顶升机构的固定结构,所述吸料结构位于整体框架结构的正上方、并位于输送状态下的所述基板支承台的正上方。

说明书 :

一种IC装片机

技术领域

[0001] 本发明涉及集成电路封装的技术领域,具体为一种IC装片机。

背景技术

[0002] IC装片机是半导体封装生产线中的关键设备,其在芯片装片中具有非常广泛的应用。
[0003] IC装片机需要从直径八寸以上的大尺寸晶圆上取片,然后高速精准的贴装在宽度最大可达100mm的基板上,现有的IC装片机的结构包括上料工位、点胶工位、装片工位,通过上料工位将物料传送至点胶工位,点胶工位完成点胶后将物料传送至装片工位进行焊接。
[0004] 传统点胶工位的结构具体包括点胶工作台、点胶头,其点胶方式具体为点胶工作台进给移动、点胶头微动,点胶头对准点胶工作台上物料的对应位置后,然后点胶头点胶,其中点胶工作台、点胶头各自带有一套运动模组,两者在点胶之前需要互相配合、进而运动对位,其使得点胶对位的工作效率不高,且存在以下两方面的缺陷:一方面,两套运动模组的设置提高了整个设备的成本;另一方面,由于不同的运动模组之间需要配合不同的轨道结构,一个点胶工作台最多配合安装两个点胶头,三个以上的点胶头无法适用该点胶方式,该点胶方式无法提升装片的效率和速度。
[0005] 装片工位的结构具体包括装片工作台、焊头组件,其焊接方式为装片工作台上的基板位置固定后,焊头组件内的运动模组带动焊头在X、Y、Z三轴方向分别驱动定位,分别对基板上不同的装片点进行装片,即焊头的取片点位置一定、装片点需不断进行调整,焊头组件内的运动模组需要完成焊头的三向调整,焊头组件在取片时需要在XY平面内完成直线方向的进给,其结构复杂,运动时间周期长,且成本高,无法满足现代化装片机既要快又要准的工作要求。

发明内容

[0006] 针对上述问题,本发明提供了一种IC装片机,其使得整个设备在实际工作中的产能高,且对基板的芯片固装精度高,并降低了整个设备的制造成本。
[0007] 一种IC装片机,其特征在于:其包括基板上料工位、点胶工位、装片工位;
[0008] 所述基板上料工位,用于连续提供点胶工位的基板正常输送;
[0009] 所述点胶工位,其位于所述基板上料工位的正后方、用于对基板的待贴芯片位置进行点胶处理,所述点胶工位包括点胶工作台、卡板输送夹爪、点胶枪、点胶枪控制部分,所述卡板输送夹爪位于所述点胶工作台的一侧位置,所述点胶枪位于所述点胶工作台的正上方,所述点胶枪外接所述点胶枪控制部分,所述点胶枪控制部分控制点胶枪的移动和点胶,所述点胶枪控制部分内置一个三轴运动模组;
[0010] 所述装片工位,其用于对基板进行芯片固装,所述装片工位具体包括晶圆支承工作台、装片工作台、焊头、摆臂结构、摆臂控制结构,所述装片工作台位于所述点胶工位的点胶工作台的正后方,所述晶圆支承工作台位于所述装片工作台的一侧,所述装片工作台、晶圆支承工作台之间布置有可180°旋转的摆臂结构,所述摆臂结构的底部连接有所述焊头,所述摆臂结构的主轴连接所述摆臂控制结构,所述摆臂结构可沿着Z轴垂直向升降,所述装片工作台支承于XY导向座,所述XY导向座可带动整个装片工作台X向、Y向精确移动。
[0011] 其进一步特征在于:
[0012] 所述装片工作台上的基板、晶圆支承工作台的晶圆处于同一水平高度,确保焊头在取片、装片时的升降高度相同,简化产品结构,进一步降低成本;
[0013] 其还包括机座结构,所述基板上料工位、点胶工位、装片工位分别布置于所述机座结构,所述装片工作台的直线轨道的末端设置有物料排放结构;
[0014] 所述点胶枪具体为前后布置的两把或多把,所述点胶枪位于所述点胶工作台的正上方,所述点胶枪分别外接所述点胶枪控制部分,所述点胶枪控制部分控制点胶枪的移动和点胶;
[0015] 所述装片工作台的一侧布置有基板卡位输送夹爪,所述基板卡位输送夹爪包括夹爪、第一丝杆轴,工作状态下所述夹爪的内侧紧压所述基板,所述夹爪的外侧底部螺纹连接所述第一丝杆轴,所述第一丝杆轴支承于所述装片工作台;
[0016] 工作状态下的所述卡板输送夹爪的内侧紧压所述基板,所述卡板输送夹爪的外侧底部螺纹连接第二丝杆轴,所述第二丝杆轴支承于所述点胶工作台;
[0017] 两把所述点胶枪之间的距离具体为所述基板长度的一半,确保两把所述点胶枪可以同时精确对基板进行点胶;
[0018] 所述基板上料工位包括基板储料结构、基板转运结构、基板输送气缸、基板支承台,所述基板输送气缸将基板输送至所述点胶工位;
[0019] 所述基板转运结构包括吸料结构、顶升机构、Y向平移结构,所述基板支承台和基板储料结构组合形成一个整体框架结构,整体框架结构支承于所述顶升机构的输出部分,所述Y向平移结构的输出部分连接所述顶升机构的固定结构,所述吸料结构位于整体框架结构的正上方、并位于输送状态下的所述基板支承台的正上方,当基板通过基板输送气缸被输送至点胶工位的点胶工作台后,整体框架下降、并Y向移动,使得基板储料结构位于吸料结构的正下方,之后整体框架再次上升,直至高度确保吸料结构吸持一块基板,之后整体框架下降、Y向移动、再上升,使得吸料结构位于输送状态下的基板支承台的正上方,之后吸料结构解除吸力,等待基板输送气缸将基板送至点胶工位。
[0020] 采用本发明的结构后,基板上料工位将基板输送至点胶工作台后,卡板输送夹爪卡住一侧的基板,确保基板位置固定,之后点胶枪控制部分的三轴运动模组控制点胶枪XYZ三轴运动分别对基板上的芯片进行点胶操作,由于只需设置一个运动模组,其使得整个设备的成本低,且由于一个运动模组不会和其他运动模组的轨道产生干涉,进而使得点胶枪可以设置多个,只需按照基板的具体结构进行合理布置即可,多个点胶枪可以同时进行点胶,使得点胶的效率提高,提升了产能;之后基板通过卡板输送夹爪被输送至装片工作台、之后被锁位于装片工作台,装片工作台支承于XY导向座,XY导向座可带动整个装片工作台X向、Y向精确移动,使得在固装过程中,基板连同装片工作台一起运动,基板不会单独脱离装片工作台单独运动,对基板的芯片固装精度高,此外,焊头通过可180°旋转的摆臂结构进行驱动,使得焊头的水平向移动转化为旋转,旋转过程只需旋转电机驱动即可轻松完成、在焊头取晶的同时XY导向座快速动作,带动基板运动到位,其定位周期短,且该结构使得焊头的取晶位置、固晶位置均固定,有效提升了焊头装片的精度,该结构易于实现,降低了整个设备的制造成本;综上,其使得整个设备在实际工作中的产能高,且对基板的芯片固装精度高,并降低了整个设备的制造成本。

附图说明

[0021] 图1为本发明的俯视图结构示意图;
[0022] 图2为图1的基板上料工位的整体框架的主视图结构示意图;
[0023] 图中各序号所对应的标注名称如下:
[0024] 上料工位1、点胶工位2、装片工位3、基板4、基板储料结构5、基板转运结构6、基板输送带7、点胶工作台8、卡板输送夹爪9、点胶枪10、点胶枪控制部分11、基板输送气缸12、晶圆支承工作台13、装片工作台14、摆臂结构15、摆臂控制结构16、顶升气缸17、Y向平移结构18、XY导向座19、机座结构20、物料排放工位21、焊头22、夹爪23、第一丝杆轴24、第二丝杆轴
25、吸料结构26。

具体实施方式

[0025] 一种IC装片机,具体为带有两个点胶枪的IC装片机,见图1、图2:其包括基板上料工位1、点胶工位2、装片工位3;基板上料工位1用于连续提供点胶工位2的基板4正常输送,基板上料工位1包括基板储料结构5、基板转运结构6、基板支承台7、基板输送气缸12,基板输送气缸12的活塞杆朝向支承于基板支承台7的基板一端布置,基板输送气缸12将基板推送至点胶工位;
[0026] 点胶工位2位于基板上料工位1的正后方、用于对基板4的待贴芯片位置进行点胶处理,点胶工位2包括点胶工作台8、卡板输送夹爪9、点胶枪10、点胶枪控制部分11,卡板输送夹爪9位于点胶工作台8的一侧位置,点胶枪10具体为前后布置的两把,两把点胶枪10位于点胶工作台8的正上方,两把点胶枪10分别外接点胶枪控制部分11,点胶枪控制部分11控制点胶枪的移动和点胶,所述点胶枪控制部分内只需布置一个三轴运动模组;
[0027] 装片工位3用于对基板4进行芯片固装,装片工位3具体包括晶圆支承工作台13、装片工作台14、焊头22、摆臂结构15、摆臂控制结构16,装片工作台14位于点胶工位2的点胶工作台8的正后方,晶圆支承工作台13位于装片工作台14的一侧,装片工作台14、晶圆支承工作台13之间布置有可180°旋转的摆臂结构15,摆臂结构15的底部连接有焊头22,摆臂结构15的主轴连接摆臂控制结构16,,摆臂结构15可沿着Z轴垂直向升降,装片工作台14支承于XY导向座19,XY导向座19可带动整个装片工作台14进行X向、Y向精确移动。
[0028] 其还包括机座结构20,基板上料工位1、点胶工位2、装片工位3分别布置于机座结构20,装片工作台14的的末端设置有物料排放工位21;
[0029] 装片工作台14的一侧布置有基板卡位输送夹爪,基板卡位输送夹爪包括夹爪23、第一丝杆轴24,工作状态下夹爪23的内侧紧压基板4,夹爪23的外侧底部螺纹连接第一丝杆轴24,第一丝杆轴24支承于装片工作台14;
[0030] 工作状态下的卡板输送夹爪9的内侧紧压基板4,卡板输送夹爪9的外侧底部螺纹连接第二丝杆轴25,第二丝杆轴25支承于点胶工作台8;
[0031] 两把点胶枪10之间的距离具体为基板4长度的一半,确保两把点胶枪10可以同时精确对基板4进行点胶;
[0032] 基板转运结构6包括吸料结构26、顶升机构17、Y向平移结构18,基板支承台27和基板储料结构5组合形成一个整体框架结构,整体框架结构支承于顶升机构17的输出部分,Y向平移结构18的输出部分连接所述顶升机构17的固定结构,吸料结构26位于整体框架结构的正上方、并位于输送状态下的基板支承台27的正上方,当基板4通过基板输送气缸12被输送至点胶工位2的点胶工作台8后,整体框架下降、并Y向移动,使得基板储料结构5位于吸料结构26的正下方,之后整体框架再次上升,直至高度确保吸料结构26吸持一块基板,之后整体框架下降、Y向移动、再上升,使得吸料结构26位于输送状态下的基板支承台7的正上方,之后吸料结构26解除吸力,等待基板输送气缸12将基板4送至点胶工位2。
[0033] 其工作原理如下:基板4通过基板输送气缸12被输送至点胶工位2的点胶工作台8,之后被卡板输送夹爪9紧压,然后两把点胶枪10在点胶枪控制部分11的控制下对基板4进行快速精确点胶,完成点胶后,卡板输送夹爪9在第二丝杆轴25的转动下、带动基板4沿着点胶工作台8向后输送至装片工作台14,夹爪23的内侧紧压基板4,XY导向座19驱动装片工作台14进行位移、可180°旋转的摆臂结构17带动焊头22转动、焊头22同时做垂直向动作,同时XY导向座19可带动整个装片工作台14进行X向、Y向精确移动,使得焊头22准确固装至基板对应的已点胶的位置,芯片固装完成后,第一丝杆轴24转动带动夹爪23驱动基板4移动至物料排放工位21,整个工作过程依次循环。
[0034] 以上对本发明的具体实施例进行了详细说明,但内容仅为本发明创造的较佳实施例,不能被认为用于限定本发明创造的实施范围。凡依本发明创造申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。