承载治具

摘要

本发明公开一种承载治具，适于供多个物件插置，这些物件包括多个板体。承载治具包括两端板及多个连接件。两端板彼此间隔一距离。各连接件的两端分别连接于两端板。当这些物件插置于承载治具时，连接件支撑这些板体的侧缘，以使这些板体能够以特定角度立起于承载治具。

权利要求

1.一种承载治具，适于供多个物件插置，该些物件包括多个板体，该承载治具包括：两端板，彼此间隔一距离；

多个连接件，各该连接件的两端分别连接于该两端板；以及移动件，可移动地配置于其中一个该端板的内侧，其中当该些物件插置于该承载治具时，该些连接件支撑该些板体的侧缘，以使该些板体能够以特定角度立起于该承载治具，其中一个该物件包括一个该板体及凸出于该板体的多个中空管体，当该物件插置于该承载治具时，该些管体的至少一者适于固定至该移动件，以通过该移动件相对于对应的该端板移动而调整该些中空管体的倾斜角度。

2.如权利要求1所述的承载治具，其中该些连接件分别为多个可伸缩的连接件，以调整该两端板之间的距离。

3.如权利要求1所述的承载治具，其中各该端板包括握持部。

4.如权利要求1所述的承载治具，还包括：

多个定位部，可调整地设置于该些连接件上，以固定该些板体之间的相对位置。

5.如权利要求1所述的承载治具，还包括：

固定件，位于该两端板之间且该些连接件穿设于该固定件，以固定该些连接件之间的相对位置。

6.如权利要求1所述的承载治具，其中该些板体呈圆形，该些板体的直径在12英寸至15英寸之间，且该些连接件的长度在60厘米至80厘米之间。

7.如权利要求1所述的承载治具，其中当该些板体插置于该承载治具时，该些板体实质上平行于该两端板。

8.如权利要求1所述的承载治具，其中该些物件分别为使用于化学气相沉积制作工艺或是高温热扩散制作工艺的多个均热片，且该些物件的材料包括石英或是碳化硅。

9.如权利要求1所述的承载治具，其中该承载治具与该些物件适于一起被放置于一清洗槽内，且该清洗槽的洗液适于沿着垂直于该些板体的法线的方向流入该些物件之间的间隙。

说明书

承载治具

技术领域

[0001] 本发明涉及一种承载治具，且特别是涉及一种适于供物件插置且使物件以特定角度立起的承载治具。

背景技术

[0002] 化学气相沉积制作工艺及高温热扩散制作工艺已被广泛地使用在半导体工业中，上述制作工艺的操作温度约在摄氏400度至1200度的范围之间，在制作工艺过程中，部分的化合物会在设备的零件(例如是均热片)上沉积成膜，当零件上的膜层达到一定厚度时必须将这些零件拆下进行保养。保养的方式是将这些零件直接摆入清洗槽，以酸洗的方式去除附着于这些零件上的膜层。

[0003] 然而，由于目前的清洗槽无法通用适应各种形状的零件，而发生零件的局部区域无法洗净干净。目前的处理方式是以二次清洗来克服，但此方式相当浪费清洗槽的产能并且增加了洗液的损耗量。

发明内容

[0004] 本发明的目的在于提供一种承载治具，其可使物件(例如是均热片)以特定角度放置于清洗槽中，以提升物件在清洗槽中能被清洗干净的机率，并可提高清洗槽内的空间利用率。

[0005] 为达上述目的，本发明的一种承载治具，适于供多个物件插置，这些物件包括多个板体。承载治具包括两端板及多个连接件。两端板彼此间隔一距离。各连接件的两端分别连接于两端板。当这些物件插置于承载治具时，连接件支撑这些板体的侧缘，以使该些板体能够以特定角度立起于该承载治具。

[0006] 在本发明的一实施例中，上述的这些连接件分别为多个可伸缩的连接件，以调整两端板之间的距离。

[0007] 在本发明的一实施例中，上述的承载治具还包括一移动件，可移动地配置于其中一个端板的内侧，其中一个物件包括一个板体及凸出于板体的多个中空管体，当此物件插置于承载治具时，这些管体的至少一者适于固定至移动件，以通过移动件相对于对应的端板移动而调整这些中空管体的倾斜角度。

[0008] 在本发明的一实施例中，上述的各端板包括一握持部。

[0009] 在本发明的一实施例中，上述的承载治具还包括多个定位部，可调整地设置于这些连接件上，以固定这些板体之间的相对位置。

[0010] 在本发明的一实施例中，上述的这些板体呈圆形，这些板体的直径约在12英寸至15英寸之间，且这些连接件的长度约在60厘米至80厘米之间。需说明的是，板体直径与连接件两者的尺寸，也可依使用者的需要而作适度变动，以符合不同的需求，并不限于上述尺寸数值。

[0011] 在本发明的一实施例中，上述的承载治具还包括一固定件，位于两端板之间且这些连接件穿设于固定件，以固定这些连接件之间的相对位置。

[0012] 在本发明的一实施例中，当这些板体插置于该承载治具时，这些板体实质上平行于两端板。

[0013] 在本发明的一实施例中，上述的这些物件分别为使用于化学气相沉积制作工艺或是高温热扩散制作工艺的多个均热片，且这些物件的材料包括石英或是碳化硅。

[0014] 在本发明的一实施例中，上述的承载治具与这些物件适于一起被放置于一清洗槽内，且清洗槽的洗液适于沿着垂直于这些板体的法线的方向流入这些物件之间的间隙。

[0015] 基于上述，本发明的承载治具通过连接于两端板的这些连接件来支撑物件，以使物件能够以特定角度(例如是直立)插置在承载治具上，当要清洗物件时，只要把物件连同承载治具一起放入清洗槽，便可使物件在清洗槽内维持特定角度，清洗槽的洗液便能够沿着垂直于板体的法线的方向流入这些物件之间的间隙，而提高物件被清洗的干净程度。并且，由于物件是以直立的方式插置于本发明的承载治具上，而降低在清洗槽内的所占空间，进而提升清洗槽内的空间利用率。

[0016] 为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附的附图作详细说明如下。

附图说明

[0017] 图1为本发明的一实施例的一种承载治具的示意图；

[0018] 图2为图1的另一视角的示意图；

[0019] 图3为物件插入图1的承载治具的示意图；

[0020] 图4为图3的另一视角的示意图；

[0021] 图5为物件插入图1的承载治具后一起被放入清洗槽的示意图。

[0022] 符号说明

[0023] 10：物件

[0024] 12：板体

[0025] 14：中空管体

[0026] 20：清洗槽

[0027] 100：承载治具

[0028] 110：端板

[0029] 112：握持部

[0030] 120：连接件

[0031] 130：定位部

[0032] 140：固定件

[0033] 150：移动件

具体实施方式

[0034] 图1是依照本发明的一实施例的一种承载治具的示意图。图2是图1的另一视角的示意图。图3是物件插入图1的承载治具的示意图。图4是图3的另一视角的示意图。图5是物件插入图1的承载治具后一起被放入清洗槽的示意图。

[0035] 请参阅图1至图5，本实施例的承载治具100适于供多个物件10插置，以使这些物件10能够以特定角度立起于承载治具100，之后，当这些物件10随着承载治具100一起被放置于一清洗槽20内时，物件10可以在清洗槽20内维持一定的角度，以使清洗槽20内的洗液能够更全面地清洗到物件10。

[0036] 在本实施例中，这些物件10例如是使用于化学气相沉积制作工艺或是高温热扩散制作工艺的多个均热片。物件10的材料包括石英或是碳化硅。如图3至图5所示，这些物件10包括多个板体12，板体12呈圆形，板体12的直径约在12英寸至15英寸之间，其中一个物件10包括一个板体12及凸出于板体12的多个中空管体14。当然，物件10的种类、材料、尺寸、形状与板体直径，也可依使用者的需要而作适度变动，以符合不同的需求，并不以上述为限制。

[0037] 此外，在本实施例中，清洗槽20为一酸洗槽，洗液包括硝酸、硫酸或氢氟酸等，通过酸洗的方式清除经化学气相沉积制作工艺或是高温热扩散制作工艺之后沉积于物件10上的膜层。需说明的是，为了清楚看到承载治具100与物件10在清洗槽20内的配置，图5特意隐藏清洗槽20的上半部，仅示意性地绘示清洗槽20的局部区域。

[0038] 为了使承载治具100也能够承受酸洗的过程，在本实施例中，承载治具100的材料包括铁氟龙，其具有耐酸碱环境的特质。当然，承载治具100的材料种类并不以此为限制，只要能够承受清洗槽20内的环境的材料均可。

[0039] 请回到图1，承载治具100包括两端板110及多个连接件120。两端板110彼此间隔一距离。各连接件120的两端分别连接于两端板110。在本实施例中，端板110的形状接近一倒置的梯形，连接件120的数量为四个，四个连接件120分别连接至端板110的边缘靠近顶点的位置。当然，在其他的实施例中，端板110的形状也可以是半圆形或其他形状，连接件120的数量以及连接位置也不以此为限制。

[0040] 此外，承载治具100还包括多个定位部130，设置于这些连接件120上。制作承载治具100时，设计者可先预量所需承载的物件10的尺寸与所需间距，而使定位部130可与连接件120以一体成型的方式制作。或者，定位部130也可以是可活动地设置在连接件120上，根据实际上物件10之间的距离来调整定位部130之间的位置。

[0041] 如图3至图5所示，在本实施例中，物件10分为三组，在其中两组的这些物件10为四个相叠的板体12，板体12之间分别间隔有一距离，各组的这四个物件10一起被插置在两相邻的定位部130之间。另一组的物件10为有三个板体12以及四支凸出于其中一板体12的中空管体14，此组的这些物件10同样地也是通过板体12被插置在两相邻的定位部130之间，以固定彼此之间的位置。

[0042] 当这些物件10插置于承载治具100时，连接件120支撑这些板体12的侧缘，以使板体12能够以特定角度(例如是90度)立起承载治具100，而使得当这些板体12插置于承载治具100时，这些板体12能够以实质上平行于两端板110的角度立起。

[0043] 在现有的清洗方式中，物件10是直接摆放在清洗槽20内。更详细地说，最下方的数个物件10是以整个板体12接触清洗槽20的下表面上，此空间配置使得一个清洗槽20中仅能放置几片物件10，其他物件10则是再叠在与清洗槽20的下表面接触的板体12上，这些彼此交叠的板体12与清洗槽20的下表面平行，洗液从清洗槽20的下表面向上喷出时，部分洗液可能会被位于最下方的板体12遮住，未必能够喷洗到位于上方的板体12。

[0044] 相反地，在本实施例中，如图5所示，由于物件10是以直立的方式(也就是接近于垂直于清洗槽20的下表面的角度)插置于承载治具100上，当物件10连同承载治具100一起放置在清洗槽20时，此配置不但能够在清洗槽20的有限空间中，放置更多组物件10，而提升清洗槽20内的空间利用率。当物件10连同承载治具100一起放置在清洗槽20内以进行酸洗过程时，由于清洗槽20的洗液会从图5的下表面向上流出，物件10的板体12以几乎是90度的角度立起于清洗槽20的下方表面，而使得清洗槽20的洗液可以沿着垂直于这些板体12的法线的方向流入这些物件10之间的间隙，而能够使洗液接触到整个物件10，以增加物件10清洗的洁净程度，进而提供较佳的喷洗效果。

[0045] 值得一提的是，在本实施例中，为了使承载治具100能够应用于承载更多种类的物件10，这些连接件120分别为多个可伸缩的连接件，也就是说，两端板110之间的距离可被调整。当物件10的数量较多，或是中空管体14的长度较长时，仍能够被放置在承载治具100中。在本实施例中，这些连接件120的长度约在60厘米至80厘米之间，但连接件120的长度范围并不以此为限制。

[0046] 此外，请回到图1，在本实施例中，各端板110包括一握持部112，两端板110上的两握持部112用以供操作者的双手握持，以举起承载治具100及位于其上的这些物件10。相较于以往未有承载治具100时，操作者需要将这些物件10以徒手搬移至清洗槽20，现在只需要将这些物件10先排列在承载治具100上，再一起搬入清洗槽20即可，操作上较为方便。

[0047] 另外，为了提供这些连接件120能够具有更佳的支撑强度，在本实施例中，承载治具100还包括一固定件140，位于两端板110之间且这些连接件120穿设于固定件140，以固定这些连接件120之间的相对位置。

[0048] 此外，由于其中一个物件10具有四支中空管体14，为了避免清洗之后洗液残留在中空管体14内，在本实施例中，承载治具100还包括一移动件150，可上下移动地配置于其中一个端板110的内侧。当具有中空管体14的物件10的板体12插置于承载治具100时，这些中空管体14的至少一者适于固定至移动件150(在本实施例中，较靠近下方的两个中空管体14固定至移动件150)，以通过移动件150相对于对应的端板110上下移动而调整这些中空管体14的倾斜角度。如此一来，这些中空管体14便能够具有些许的倾角，而使清洗过后的洗液能够流出，以避免中空管体14发生残酸的问题。

[0049] 综上所述，本发明的承载治具通过连接于两端板的这些连接件来支撑物件，以使物件能够以特定角度(例如是直立)插置在承载治具上，当要清洗物件时，只要把物件连同承载治具一起放入清洗槽，便可使物件在清洗槽内维持特定角度，清洗槽的洗液便能够沿着垂直于板体的法线的方向流入这些物件之间的间隙，而提高物件被清洗的干净程度。并且，由于物件是以直立的方式插置于本发明的承载治具上，而降低在清洗槽内的所占空间，进而提升清洗槽内的空间利用率。此外，本发明的承载治具的连接件可调整长度，以因应不同种类物件的尺寸。另外，为了使具有中空管体的物件能够被清洗干净且避免残酸，可通过将至少一个管体固定于移动件，通过移动件相对于对应的端板上下移动而调整这些中空管体的倾斜角度。

[0050] 虽然结合以上实施例公开了本发明，然而其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，可作些许的更动与润饰，故本发明的保护范围应当以附上的权利要求所界定的为准。