基板处理装置以及成膜装置

摘要

基板处理装置具备框体(21)以及位于框体内部的中空的摆动臂(23)。摆动臂包括与框体连接的中空的摆动中心轴部(23a)以及作为摆动端的中空的连结轴部(23b)。进一步，基板处理装置具备处理部(22)，该处理部(22)位于框体内部，并且在与基板面对的处理空间，沿与摆动中心轴部的轴向(P)正交的方向移动而对基板实施处理。处理部以追随处理部的移动而使连结轴部(23b)能够与处理部平移的方式与连结轴部连结。因此，通过处理部(22)的移动而使摆动臂线路，该连接线路位于摆动臂(23)内部，通过摆动中心轴部(23a)内部而与位于框体外部的共用设备连接、且通过连结轴部(23b)内部而与处理部连接。(23)进行摆动。进一步，基板处理装置具备连接

权利要求

1.一种基板处理装置，其具备：

框体；

摆动臂，其是位于所述框体内部的中空的单一摆动臂，该摆动臂包括与所述框体连接的中空的摆动中心轴部以及作为摆动端的中空的连结轴部；

处理部，其位于所述框体内部，并且在与基板面对的处理空间，沿与所述摆动中心轴部的轴向正交的方向移动而对所述基板实施处理，所述处理部以随着所述处理部的移动而使所述连结轴部能够与所述处理部平移的方式与所述连结轴部连结，通过所述处理部的移动而使所述摆动臂进行摆动；以及连接线路，其位于所述摆动臂内部，通过所述摆动中心轴部内部而与位于所述框体外部的共用设备连接、且通过所述连结轴部内部而与所述处理部连接，所述处理部具备轴支承部，该轴支承部以能够使所述连结轴部相对于所述处理部旋转的方式支承所述处理部，所述摆动臂具备伸缩机构，该伸缩机构使所述连结轴部相对于所述摆动中心轴部位移，而使所述摆动中心轴部与所述连结轴部之间的距离伸缩，所述伸缩机构以使所述摆动中心轴部与所述连结轴部之间的距离根据所述摆动中心轴部和所述轴支承部之间的距离而变化的方式使所述摆动臂的长度线性变化。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述连接线路由多个线路构成元件构成，

所述多个线路构成元件包括：

2个中间刚体配线，其配置在所述摆动臂的内部，并分别固定在所述摆动臂上，从而根据由所述伸缩机构进行的所述摆动臂的伸缩，而使相互之间的距离伸缩；以及中间可挠线路，其配置在所述摆动臂内部，并连接在所述2个中间刚体配线之间，所述中间可挠线路具有可挠性，从而对应于所述2个中间刚体配线之间的距离增加而使挠曲量变小。

3.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其中，

所述摆动中心轴部设置为基端旋转部，该基端旋转部以沿所述摆动中心轴部的轴向的旋转轴为中心而相对于所述框体旋转，所述连接线路包括：

基端旋转配线，其是刚体，该基端旋转配线固定在所述基端旋转部，并追随所述基端旋转部的旋转而旋转；

基端固定配线，其是刚体，该基端固定配线固定在所述框体；以及基端可挠线路，其以能够因自重而挠曲的方式设置，并连接在所述基端旋转配线与所述基端固定配线之间、且对应于所述基端旋转配线与所述基端固定配线之间的距离增加而使挠曲量变小。

4.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其中，

所述连结轴部设置为顶端旋转部，该顶端旋转部以沿所述摆动中心轴部的轴向的旋转轴为中心，而相对于所述处理部旋转，所述连接线路包括：

顶端旋转配线，其是刚体，该顶端旋转配线固定在所述顶端旋转部，并随着所述顶端旋转部的旋转而旋转；

顶端平移配线，其是刚体，该顶端平移配线固定在所述处理部，并随着所述处理部的移动而与该处理部平移；以及顶端可挠线路，其以能够因自重而挠曲的方式设置，并连接在所述顶端旋转配线与所述顶端平移配线之间、且对应于所述顶端旋转配线与所述顶端平移配线之间的距离增加而使挠曲量变小。

5.一种成膜装置，其具备：

框体；

摆动臂，其是位于所述框体内部的中空的单一摆动臂，该摆动臂包括与所述框体连接的中空的摆动中心轴部以及作为摆动端的中空的连结轴部；

成膜部，其位于所述框体内部，并且在与基板面对的处理空间，沿与所述摆动中心轴部的轴向正交的方向移动，通过朝向所述基板放出成膜材料而在所述基板上形成膜，所述成膜部以追随所述成膜部的移动而使所述连结轴部能够与所述成膜部平移的方式与所述连结轴部连结，通过所述成膜部的移动而使所述摆动臂进行摆动；以及连接线路，其位于所述摆动臂内部，通过所述摆动中心轴部内部而与位于所述框体外部的共用设备连接、且通过所述连结轴部内部而与所述成膜部连接，所述成膜部具备轴支承部，该轴支承部以能够使所述连结轴部相对于所述处理部旋转的方式支承所述处理部，所述摆动臂具备伸缩机构，该伸缩机构使所述连结轴部相对于所述摆动中心轴部位移，而使所述摆动中心轴部与所述连结轴部之间的距离伸缩，所述伸缩机构以使所述摆动中心轴部与所述连结轴部之间的距离根据所述摆动中心轴部和所述轴支承部之间的距离而变化的方式使所述摆动臂的长度线性变化。

说明书

基板处理装置以及成膜装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种对基板实施处理的基板处理装置以及在基板上形成薄膜的成膜装置。

背景技术

[0002] 作为在基板上形成薄膜的溅射装置，例如专利文献1所记载，已知有使包含靶材的阴极从在基板上面对的一对边上的一边往另一边移动的溅射装置。在该溅射装置中，阴极一边移动一边对基板放出溅射粒子。

[0003] 现有技术文献

[0004] 专利文献

[0005] 专利文献1：国际公开第2010/044257号说明书

发明内容

[0006] 发明所要解决的课题

[0007] 但是，溅射装置具有连接线路，该连接线路包括对靶材供给电力的电力线以及对靶材的表面供给溅射气体的配管等。在上述的溅射装置中，每当阴极移动时，连接线路从配置有阴极的腔室的外侧向内侧被拉入或从腔室的内侧向外侧被拉出与阴极的移动相对应的量。并且，每当阴极移动时，由于连接线路被拉扯或连接线路与引导连接线路的部件产生磨擦，所以连接线路反复地承受机械性负载。

[0008] 另外，不限于溅射装置等成膜装置，只要是对基板进行处理的处理部在与基板面对的空间移动的基板处理装置，均会发生上述的情况。

[0009] 本发明的技术，其目的为提供一种能够减少因与对基板进行处理的处理部连接的连接线路在框体的内部与框体外部之间进出而承受的机械性负载的基板处理装置以及成膜装置。

[0010] 用于解决课题的手段

[0011] 本发明技术中的基板处理装置的一个方式，具备框体以及位于所述框体内部的中空的摆动臂。该摆动臂包括与所述框体连接的中空的摆动中心轴部以及作为摆动端的中空的连结轴部。并且，基板处理装置具备处理部，其位于所述框体内部，并在与基板相对的处理空间，沿与所述摆动中心轴部的轴向正交的方向移动而对所述基板实施处理。该处理部以能够追随所述处理部的移动而使所述连结轴部能够与所述处理部平移的方式与所述连结轴部连结，并通过所述处理部的移动而使所述摆动臂进行摆动。并且，基板处理装置具备连接线路，该连接线路位于所述摆动臂内部，通过所述摆动中心轴部内部而与位于所述框体外部的共用设备连接、且通过所述连结轴部内部而与所述处理部连接。

[0012] 根据该构成，在处理部与连结轴部一起平移时，摆动臂以摆动中心轴部为中心摆动。此时，位于摆动臂内的连接线路一方面追随摆动臂的摆动一方面保持与处理部的连接。因此，连接线路通过摆动中心轴部而几乎不在摆动臂的内部与外部之间进出。也就是说，连接线路追随摆动臂的摆动并以摆动中心轴部为中心摆动。于是，能够使在框体的内部与外部之间变化的连接线路的长度的变化量小于处理部的移动距离。其结果，能够减少连接线路因进出框体内部与框体外部之间而承受的机械性负载。

[0013] 本发明技术中的成膜装置的一个方式，具备框体以及位于所述框体内部的中空的摆动臂。该摆动臂包括与所述框体连接的中空的摆动中心轴部以及作为摆动端的中空的连结轴部。并且，成膜装置具备成膜部，该成膜部位于所述框体内部，并在与基板相对的处理空间，沿与所述摆动中心轴部的轴向正交的方向移动，通过朝向所述基板放出成膜材料而在所述基板上形成膜。该成膜部以追随所述成膜部的移动而使所述连结轴部能够与所述成膜部平移的方式与所述连结轴部连结，并通过所述成膜部的移动而使所述摆动臂进行摆动。并且，成膜装置具备连接线路，该连接线路位于所述摆动臂内部，通过所述摆动中心轴部内部而与位于所述框体外部的共用设备连接、且通过所述连结轴部内部而与所述成膜部连接。

[0014] 根据该构成，在成膜部与连结轴部一起平移时，摆动臂以摆动中心轴部为中心摆动。此时，位于摆动臂内的连接线路一方面追随摆动臂的摆动一方面保持与成膜部的连接。因此，连接线路通过摆动中心轴部几乎不在摆动臂的内部与外部之间进出。也就是说，连接线路追随摆动臂的摆动而以摆动中心轴部为中心摆动。于是，在框体的内部与外部之间变化的连接线路的长度的变化量小于成膜部的移动距离。其结果，能够减小连接线路因进出框体内部与框体外部之间而承受的机械性负载。

[0015] 优选地，在上述基板处理装置中，所述处理部具备轴支承部，该轴支承部以能够使所述连结轴部相对于所述处理部旋转的方式支承连结轴部。并且，优选地，所述摆动臂具备伸缩机构，该伸缩机构使所述连结轴部相对于所述摆动中心轴部位移，而使在所述摆动中心轴部与所述连结轴部之间的距离伸缩。在该构成中，伸缩机构使所述摆动中心轴部与所述连结轴部之间的距离根据所述摆动中心轴部与所述轴支承部之间的距离而变化。

[0016] 根据该构成，在处理部与连结轴部一起平移时，摆动臂的伸缩机构使摆动中心轴部与连结轴部之间的距离根据摆动中心轴部与轴支承部之间的距离而变化。由此，能够使摆动臂的连结轴部追随处理部的移动。

[0017] 优选地，在上述基板处理装置中，所述连接线路由多个线路构成元件构成。并且，优选地，所述多个线路构成元件包括：2个中间刚体配线，其配置在所述摆动臂内部，并分别固定在所述摆动臂上，从而配合由所述伸缩机构进行的所述摆动臂的伸缩，而使相互之间的距离伸缩。并且，优选地，所述多个线路构成元件包括中间可挠线路，其配置在所述摆动臂内部，并连接在所述2个中间刚体配线之间，所述中间可挠线路具有可挠性，从而对应于所述2个中间刚体配线之间的距离增加而使挠曲量变小。

[0018] 根据该构成，在摆动臂伸缩时，中间可挠线路的挠曲量在2个中间刚体配线之间变化。因此，通过摆动臂内部的连接线路的长度与摆动臂的长度之差的变化被中间可挠线路的挠曲量的变化吸收。于是，使在摆动臂内部与外部之间进出的连接线路的长度变短。

[0019] 优选地，在上述基板处理装置中，所述摆动中心轴部设置为基端旋转部，该基端旋转部以沿所述摆动中心轴部的轴向的旋转轴为中心而相对于所述框体旋转。并且，优选地，所述连接线路包括：基端旋转配线，其是刚体，该基端旋转配线固定在所述基端旋转部，并追随所述基端旋转部的旋转而旋转；基端固定配线，其是刚体，该基端固定配线固定在所述框体；以及基端可挠线路，其以能够因自重而挠曲的方式设置，并连接在所述基端固定配线与所述基端旋转配线之间、且对应于所述基端旋转配线与所述基端固定配线之间的距离增加而使挠曲量变小。

[0020] 根据该构成，能够抑制连接线路因基端旋转部的旋转而扭曲。因此，能够减少连接线路所承受的机械性负载。

[0021] 优选地，在上述基板处理装置中，所述连结轴部设置为顶端旋转部，该顶端旋转部以沿所述摆动中心轴部的轴向的旋转轴为中心，而相对于所述处理部旋转。并且，优选地，所述连接线路具备：顶端旋转配线，其是刚体，该顶端旋转配线固定在所述顶端旋转部，并追随所述顶端旋转部的旋转而旋转；顶端平移配线，其是刚体，该顶端平移配线固定在所述处理部，并追随所述处理部的移动而与该处理部平移；以及顶端可挠线路，其以能够因自重而挠曲的方式设置，并连接在所述顶端旋转配线和所述顶端平移配线之间、且对应于所述顶端旋转配线与所述顶端平移配线之间的距离增加而使挠曲量变小。

[0022] 根据该构成，能够抑制连接线路因顶端旋转部的旋转而扭曲。因此，能够减少连接线路所承受的机械性负载。

附图说明

[0023] 图1是将成膜装置的第1实施方式的溅射装置的内部构成与溅射装置的处理对象、即基板一起示意性地示出的构成图。

[0024] 图2是从与位于框体内的基板相对的方向对框体的内部结构进行透视的图。

[0025] 图3是从与位于框体内的基板相对的方向对框体的内部结构进行透视的图。

[0026] 图4是从与位于框体内的基板相对的方向对框体的内部结构进行透视的图。

[0027] 图5是示出沿成膜装置的第2实施方式的溅射装置所具有的摆动臂的高度方向的截面结构的剖视图。

[0028] 图6是示出摆动臂伸长前的正面结构的主视图。

[0029] 图7是示出摆动臂伸长后的正面结构的主视图。

[0030] 图8是示出沿摆动臂伸长前的高度方向的局部截面结构的剖视图。

[0031] 图9是示出沿摆动臂伸长后的高度方向的局部截面结构的剖视图。

[0032] 图10是示出从相对于阴极装置的与基板的相反侧看作为成膜装置的第3实施方式的溅射装置所具有的摆动臂时的背面结构的一部分的局部后视图。

[0033] 图11是示出从相对于阴极装置的与基板的相反侧看摆动臂时的背面结构的一部分的局部后视图。

[0034] 图12是示出从相对于阴极装置的与基板的相反侧看摆动臂时的正面结构的一部分的局部主视图。

[0035] 图13是示出从相对于阴极装置的基板侧看摆动臂时的正面结构的一部分的局部主视图。

[0036] 附图标记说明

[0037] 10…溅射装置、11…运出运入腔室、12…前处理腔室、13…溅射腔室、14…闸阀、15…排气部、16…成膜路线、17…回收路线、18…阴极装置、19…路线变更部、21…框体、
22…阴极单元、22a…平移台、22b…轨道、23…摆动臂、23a…摆动中心轴部、23a1…摆动轴支承部、23a2…摆动凸缘、23b…连结轴部、23b1…连结轴支承部、23b2…连结凸缘、31…上部框体、31a…摆动开口部、31b…上部开口部、32…固定板、32a…固定开口部、33…引导筒部、33a…上部筒部、33b…下部筒部、33c…伸缩软管、34…下部框体、34a…连结开口部、
34b…下部开口部、40…伸缩机构、41…长杆、41a…上端部、42…长杆引导部、50…连接线路、51…电力线、51a…刚体部、51a…摆动刚体部、51a2…连结刚体部、51b…可挠部、51b1，
61a…弯曲部、51A…第1电力线、51B…第2电力线、52…气体配管、52a，53a…挠曲部、53…冷却水配管、61…摆动固定部、62…摆动可挠部、71…连结平移部、72…连结可挠部、72a…折返部、A…旋转轴、P…摆动轴、S…基板、T…托盘。

具体实施方式

[0038] [第1实施方式]

[0039] 参照图1-图4说明将基板处理装置以及成膜装置具体化为溅射装置的第1实施方式。以下，按顺序说明作为溅射装置整体构成的一个例子的溅射装置所具备的阴极装置以及阴极装置的作用。

[0040] [溅射装置的整体构成]

[0041] 参照图1说明溅射装置整体构成的一个例子。

[0042] 如图1所示，溅射装置10具备运出运入腔室11、前处理腔室12以及溅射腔室13，3个腔室沿1个方向、即运送方向排列。溅射装置10具备2个闸阀14，2个闸阀14分别将运出运入腔室11和前处理腔室12之间以及前处理腔室12和溅射腔室13之间连接。3个腔室分别搭载有对各个腔室进行减压的排气部15。在3个腔室的各自的底面分别安装有成膜路线16和回收路线17，成膜路线16和回收路线17是沿运送方向延伸且相互平行的2个路线。

[0043] 成膜路线16和回收路线17例如由沿运送方向延伸的轨道、沿运送方向配置的多个滚子以及使多个滚子分别自转的多个电动机等构成。成膜路线16将运入至溅射装置10内部的托盘T与成膜前的基板S一起从运出运入腔室11送往溅射腔室13。回收路线17将运入至溅射腔室13内部的托盘T与成膜后的基板S一起从溅射腔室13送往运出运入腔室11。朝向纸面前方延伸且呈矩形的基板S以立起的状态被固定在托盘T上。基板S的宽度，例如沿运送方向为2200mm，朝向纸面前方为2500mm。

[0044] 运出运入腔室11将从溅射装置10外部运入的成膜前的基板S送往前处理腔室12，将从前处理腔室12运入的成膜后的基板S运出到溅射装置10外部。在成膜前的基板S从外部运入至运出运入腔室11时或是在成膜后的基板S从运出运入腔室11运出到外部时，运出运入腔室11的腔室内升压至大气压。在成膜前的基板S从运出运入腔室11运入至前处理腔室12时或是在成膜后的基板S从前处理腔室12运出至运出运入腔室11时，运出运入腔室11的内部减压至与前处理腔室12内部相同的程度。

[0045] 前处理腔室12对从运出运入腔室11运入至前处理腔室12的成膜前的基板S进行例如加热处理、洗净处理等，以作为成膜所必须的处理。前处理腔室12将从运出运入腔室11运出至前处理腔室12的基板S运入至溅射腔室13。并且，前处理腔室12将从溅射腔室13运出至前处理腔室12的基板S运出至运出运入腔室11。

[0046] 溅射腔室13具备对基板S放出成膜材料的阴极装置18。阴极装置18对阴极装置18与基板S面对的处理空间放出成膜材料。溅射腔室13具备路线变更部19，该路线变更部19设置在成膜路线16与回收路线17之间。

[0047] 溅射腔室13使用阴极装置18而在从前处理腔室12运入溅射腔室13的成膜前的基板S上形成薄膜。溅射腔室13使用路线变更部19，而使托盘T与成膜后的基板S一起从成膜路线16移动至回收路线17。

[0048] 另外，溅射装置10只要是至少具备溅射腔室13的构成即可。在这样的构成中，溅射腔室13也可以不具备成膜路线16、回收路线17以及路线变更部19，只要具备将基板S以与阴极装置18面对的状态配置的配置部即可。

[0049] [阴极装置]

[0050] 参照图2说明阴极装置18。另外，为了便于说明，在图2-图4中省略构成溅射腔室13的框体所具有的壁部、即与运送方向平行的壁部的图示。

[0051] 如图2所示，阴极装置18位于形成为箱状并构成溅射腔室13的框体21内部，并且框体21具有与运送方向平行的2个壁部。与运送方向平行的2个壁部相互对置，并且2个壁部中的一个壁部面向另一个壁部的方向为对置方向。阴极装置18具备阴极单元22以及摆动臂23。

[0052] 阴极单元22具有形成为中空的矩形柱状的平移台22a，构成平移台22a的壁部中的与基板S对置的壁部具有由薄膜的形成材料构成的靶材。平移台22a在其内部搭载有与靶材连接而将来自外部的电力供给至靶材的背板以及在与基板S对置的靶材的一面上形成漏磁场的磁回路等。阴极单元22为处理部以及成膜部的一个例子。

[0053] 在框体21内部铺设有沿运送方向延伸的轨道22b，平移台22a载置在轨道22b上。平移台22a与使平移台22a沿轨道22b往返移动的驱动部连结。平移台22a由驱动部驱动，而沿运送方向进行往返移动。平移台22a通过沿运送方向往返移动，而在与基板S面对的处理空间移动。

[0054] 框体21的上述2个壁部中的一个壁部上安装有位于框体21内部的摆动臂23。摆动臂23被形成为中空的大致矩形柱状，以沿对置方向延伸的摆动轴P为中心摆动。

[0055] 摆动臂23具备在框体21内部的上方与框体21连接的中空的摆动中心轴部23a以及在框体21内部的下方与平移台22a连接的作为摆动端的中空的连结轴部23b。例如，摆动中心轴部23a在与运送方向上的轨道22b的大致中央一致的位置上与框体21壁部的上方连接。摆动中心轴部23a的轴向与摆动轴P一致。

[0056] 摆动轴支承部23a1位于摆动中心轴部23a的外侧，该摆动轴支承部23a1形成为沿对置方向延伸的筒状，将摆动中心轴部23a以能够相对于框体21旋转的状态进行支承。摆动轴支承部23a1固定在框体21。也就是说，框体21具备摆动轴支承部23a1。

[0057] 连结轴部23b连接在平移台22a中与靶材对置的壁部的外侧面，连结轴部23b连接在平移台22a的外侧面上例如比其中央更靠下方的位置。连结轴部23b以与沿对置方向延伸的中心轴一致的旋转轴A为中心而相对于平移台22a旋转。连结轴部23b以能够追随阴极单元22平移的状态与平移台22a连结。

[0058] 连结轴支承部23b1位于连结轴部23b的外侧，该连结轴支承部23b1形成为沿对置方向延伸的筒状，并以能够使连结轴部23b相对于平移台22a旋转的状态支承连结轴部23b。连结轴支承部23b1固定在平移台22a。也就是说，阴极单元22具备连结轴支承部23b1。

[0059] 在阴极装置18中，摆动臂23内部以及与摆动臂23内部相连的平移台22a内部为大气压气氛。另一方面，真空密封构件位于摆动中心轴部23a外周面与摆动轴支承部23a1内周面之间，并且通过真空密封构件位于连结轴部23b外周面与连结轴支承部23b1内周面之间，从而在排气部15对框体21内部进行减压时，框体21内部被保持在真空气氛。

[0060] 连接线路位于摆动臂23内部，该连接线路与为了驱动阴极单元22而配置在溅射腔室13外部的共用设备(Utilitu)连接，并与为了驱动阴极单元22而位于溅射腔室13内部的阴极单元22连接。共用设备例如包括：各种电源；工艺气体的储气瓶，该工艺气体包括溅射气体以及反应气体；以及冷却水箱。连接线路例如也可以是对靶材供给电力的电力线，也可以是供对靶材进行冷却的冷却水流动的配管，也可以是供被供给至溅射腔室13内部的工艺气体流动的配管。

[0061] [阴极装置的作用]

[0062] 参照图2-图4说明阴极装置的作用。

[0063] 如图2所示，在阴极装置18开始形成薄膜时，平移台22a在框体21内部位于轨道22b的运送方向上的一个端部、例如图2中的左端部。此时，摆动臂23的摆动中心轴部23a在运送方向上的与轨道22b的大致中央一致的位置上与框体21壁部的上方连接。另一方面，摆动臂23的连结轴部23b在运送方向上的轨道22b的左端部侧的位置上位于框体21内部的下方。因此，平移台22a相对于轨道22b垂直延伸的方向与摆动臂23延伸的方向形成预定的角度。

[0064] 在阴极装置18开始形成薄膜时，平移台22a沿轨道22b从与摆动轴P正交的运送方向上的一个端部朝向另一个端部移动。例如，平移台22a沿运送方向从图2中的左端部朝向右端部移动。由此，由于摆动臂23的连结轴部23b也沿运送方向与平移台22a平移，所以在运送方向上的连结轴部23b的位置接近在运送方向上的摆动中心轴部23a的位置。其结果，平移台22a延伸的方向与摆动臂延伸的方向所形成的角度逐渐地变小。在平移台22a沿运送方向与连结轴部23b一起平移时，摆动中心轴部23a与连结轴部23b一起旋转。此时，摆动中心轴部23a相对于框体21旋转的方向与连结轴部23b相对于平移台22a旋转的方向彼此相同。

[0065] 如图3所示，在平移台22a沿运送方向与连结轴部23b平移，而使在运送方向上的摆动中心轴部23a的位置与在运送方向上的连结轴部23b的位置重叠时，平移台22a延伸的方向与摆动臂23延伸的方向重叠。其结果，上述角度变成0°。

[0066] 在平移台22a在运送方向上超过摆动中心轴部23a的位置而接近另一个端部时，连结轴部23b在运送方向上的位置远离摆动中心轴部23a在运送方向上的位置。其结果，平移台22a延伸的方向与摆动臂23延伸的方向所形成的角度逐渐地变大。

[0067] 如图4所示，若平移台22a移动至轨道22b在运送方向上的另一个端部，例如图2中的右端部，摆动臂23的摆动中心轴部23a则在运送方向上的轨道22b的大致中央一致的位置上位于框体21内部的上方。另一方面，摆动臂23的连结轴部23b在运送方向上的轨道22b的右端部侧的位置上位于框体21内部的下方。因此，平移台22a延伸的方向与摆动臂23延伸的方向所形成的角度变成与平移台22a位于轨道22b的左端部时所形成的角度大致相同的角度。

[0068] 如此，阴极单元22与连结轴部23b一起从在运送方向上的轨道22b的一个端部朝向另一个端部或是从另一个端部朝向一个端部平移。由此，具有连结轴部23b作为摆动端的摆动臂23以摆动中心轴部23a为中心摆动。

[0069] 因此，在阴极单元22沿轨道22b与连结轴部23b平移时，通过框体21内部的连接线路也追随摆动臂23的摆动，而以摆动中心轴部23a为中心摆动。此时，位于摆动臂23内部的连接线路一边追随摆动臂23的摆动一边保持与阴极单元22的连接。因此，连接线路通过摆动中心轴部23a而几乎不在摆动臂23内部与外部之间进出。由此，由于在框体21内部与外部之间变化的连接线路的长度的变化量小于阴极单元22平移的距离，所以能够降低连接线路所承受的机械性负载。

[0070] 如以上说明，根据第1实施方式的溅射装置能够得到如下的效果。

[0071] (1)在阴极单元22与连结轴部23b平移时，摆动臂23进行摆动。此时，位于摆动臂23内部的连接线路追随摆动臂23的摆动，一边以摆动中心轴部23a为中心摆动一边保持与阴极单元22的连接。因此，连接线路通过摆动中心轴部23a而几乎不在摆动臂23内部和外部之间进出。因此，在框体21内部与外部之间变化的连接线路的长度的变化量小于阴极单元22移动的距离。其结果，能够减少因连接线路在框体21内部与框体21外部之间进出而使其所承受的机械性负载。

[0072] 另外，第1实施方式也可以以如下的方式适当地进行变更而实施。

[0073] ·摆动中心轴部23a与框体21壁部连接的位置也可以不是与运送方向上的轨道22b的大致中央一致的位置。只要摆动臂23能够进行摆动，摆动中心轴部23a与框体21壁部连接的位置也可以是与在运送方向上的轨道22b的2个端部中的某一个相对应的位置或其他位置。

[0074] ·阴极单元22如上述所述，不仅限于具有与基板S对置的形成为平板状的靶材的构成。阴极单元22也可以是具有如下靶材的构成、即该靶材具有沿运送方向与平移台22a一起移动的旋转轴，形成为以旋转轴为中心轴的圆筒状并与基板S对置。

[0075] ·成膜装置可以不是具备阴极单元22的溅射装置10，也可以具体化为各种成膜装置、例如具有蒸镀源作为成膜部的蒸镀装置等。或是，成膜装置也可以具体化为具备离子束照射部作为处理部的离子束照射装置或具备紫外线等各种激光照射部作为处理部的激光照射装置等各种基板处理装置。

[0076] [第2实施方式]

[0077] 参照图5-图9说明将基板处理装置以及成膜装置具体化为溅射装置的第2实施方式。摆动臂23的摆动中心轴部23a与连结轴部23b之间的距离根据摆动中心轴部23a与连结轴支承部23b1之间的距离而变化。因此，以下，详细地说明涉及这样的距离变化的构成。并且，以下，依次说明摆动臂23的整体构成、摆动臂23的伸缩机构以及作为连接线路的一个例子的电力线的详细的构成。

[0078] [摆动臂的整体构成]

[0079] 参照图5，与内部构成一起说明摆动臂23的整体构成。

[0080] 如图5所示，摆动臂23具备上部框体31、固定板32、引导筒部33以及下部框体34，上部框体31、固定板32、引导筒部33以及下部框体34以该顺序沿1个方向、即高度方向排列。

[0081] 上部框体31形成为中空的矩形柱状，并具有摆动开口部31a，该摆动开口部31a在上部框体31的1个侧面上与摆动中心轴部23a连结，并沿对置方向贯穿该侧面。上部框体31在与下部框体34面对的侧面上具有沿高度方向延伸的贯穿孔、即上部开口部31b。

[0082] 固定板32形成为矩形板状，并具有沿高度方向延伸的贯穿孔、即固定开口部32a。固定板32在固定开口部32a与上部开口部31b面对的状态下与上部框体31连结。在固定板32中，沿对置方向的宽度以及在与纸面正交的方向上的宽度分别大于上部框体31。

[0083] 引导筒部33形成为沿高度方向延伸的圆筒状，引导筒部33在高度方向上的2个端部中接近固定板32的端部与固定开口部32a面对的状态下被固定在固定板32。

[0084] 下部框体34形成为中空的矩形柱状，并具有连结开口部34a，该连结开口部34a在下部框体34的1个侧面上与连结轴部23b连结，并沿对置方向贯穿该侧面。下部框体34在与上部框体31面对的侧面上具有沿高度方向延伸的贯穿孔、即下部开口部34b。引导筒部33在高度方向上的2个端部中接近下部框体34的端部与下部开口部34b面对的状态下被固定在下部框体34的与上部框体31面对的侧面。在下部框体34中，沿对置方向的宽度以及与纸面正交的方向的宽度分别与固定板32大致相等。

[0085] 摆动中心轴部23a与上部框体31连接，并且将摆动中心轴部23a的外周面包覆的形成为圆筒状的摆动轴支承部23a1以能够使摆动中心轴部23a相对于框体21旋转的状态枢轴支承摆动中心轴部23a。摆动轴支承部23a1在沿对置方向延伸的途中具有从外周面朝向径向外侧延伸的摆动凸缘23a2，摆动凸缘23a2通过固定部件而被固定在框体21。摆动中心轴部23a在摆动中心轴部23a的外周面通过具有真空密封功能的轴承而抵接在摆动轴支承部23a1的内周面的状态下，以摆动轴P为中心相对于框体21旋转。

[0086] 连结轴部23b与下部框体34连接，该连结轴部23b形成为相对于引导筒部33沿对置方向而朝摆动中心轴部23a的相反侧延伸的圆筒状。形成为将连结轴部23b的外周面包覆的圆筒状的连结轴支承部23b1以能够使连结轴部23b相对于平移台22a旋转的状态枢轴支承连结轴部23b。连结轴支承部23b1在沿对置方向延伸的途中具有从外周面朝向径向外侧延伸的连结凸缘23b2，连结凸缘23b2通过固定部件而被固定在平移台22a。连结轴部23b在连结轴部23b的外周面通过具有真空密封功能的轴承而抵接在连结轴支承部23b1的内周面的状态下，以旋转轴A为中心相对于平移台22a旋转。

[0087] 摆动臂23在高度方向上在上部框体31与下部框体34之间具有伸缩机构40，该伸缩机构40以如下方式构成、即将引导筒部33的周围包围，并包括引导筒部33。伸缩机构40使连结轴部23b相对于摆动中心轴部23a位移，从而使得摆动中心轴部23a与连结轴部23b之间的距离伸缩。

[0088] 伸缩机构40具备多个长杆(shaft)41以及与长杆41相同数量的长杆引导部42。多个长杆引导部42隔着等间隔位于引导筒部33的周围，多个长杆引导部42分别形成为沿高度方向延伸的圆筒状。各个长杆引导部42的2个筒端中接近上部框体31的筒端以与被形成在固定板32上的沿高度方向延伸的长杆贯穿孔(省略图示)面对的状态被固定在固定板32。多个长杆41分别形成为沿高度方向延伸的圆柱状。各个长杆41的2个端部中接近上部框体31的端部被1个长杆引导部42和固定板32的长杆贯穿孔贯通，而接近下部框体34的端部被固定在下部框体34中的与上部框体31面对的侧面。

[0089] 在摆动臂23内部穿通有从摆动中心轴部23a朝向连结轴部23b延伸的多个连接线路50。多个连接线路50分别可以是1条线，也可以是由通过接线柱(terminal)而相互连结的多个线路构成元件构成。多个连接线路50包括：对阴极单元22的背板供给高频电力的电力线51；对阴极单元22的周围供给工艺气体的气体配管52；以及对背板供给冷却水的冷却水配管53。连接线路50所包括的电力线51、气体配管52以及冷却水配管53的数量分别可以是1条也可以是多条。

[0090] 电力线51具有：刚体部51a，其以形状不变的状态被固定在摆动臂23内部；以及可挠部51b，其收纳于下部框体34内部且形状可变。刚体部51a具有：摆动刚体部51a1，其从摆动中心轴部23a外朝向下部框体34延伸，而与可挠部51b的一个端部连接；以及连结刚体部51a2，其与可挠部51b的另一个端部连接，并从下部框体34朝向连结轴部23b外延伸。摆动刚体部51a1以及连结刚体部51a2为中间刚体配线的一个例子，可挠部51b为中间可挠线路的一个例子。

[0091] 气体配管52具有呈弯曲形状的挠曲部52a，挠曲部52a位于下部框体34内部。冷却水配管53具有呈弯曲形状的挠曲部53a，挠曲部53a位于下部框体34内部。

[0092] [摆动臂的伸缩机构]

[0093] 参照图6以及图7，进一步详细地说明摆动臂23的伸缩机构40。

[0094] 如图6所示，伸缩机构40具备引导筒部33、4个长杆41(在图6中只示出2个长杆41)、以及4个长杆引导部42。4个长杆41以及4个长杆引导部42位于与固定板32的四个角相对应的位置。

[0095] 引导筒部33具有：上部筒部33a，其形成为圆筒状并被固定在固定板32；以及下部筒部33b，其形成为圆筒状并被固定在下部框体34。

[0096] 引导筒部33在高度方向上的上部筒部33a与下部筒部33b之间具备形成为圆筒状的伸缩软管33c。伸缩软管33c具有与上部筒部33a连接的一个筒端以及与下部筒部33b连接的另一个筒端。伸缩软管33c在高度方向上从下部筒部33b向上部筒部33a的方向被施力。

[0097] 如图6所示，在运送方向上摆动臂23与阴极单元22重叠时，在摆动臂23上的摆动中心轴部23a与对连结轴部23b进行支承的连结轴支承部23b1之间的距离成为最小。此时，伸缩机构40根据摆动中心轴部23a与连结轴支承部23b1之间的距离，而缩短摆动臂23上的摆动中心轴部23a与连结轴部23b之间的距离。也就是说，伸缩机构40使得摆动中心轴部23a与连结轴部23b之间的距离、即摆动臂的长度L成为最小。

[0098] 此时，在伸缩机构40中，伸缩软管33c被施力而缩短，位于接近上部框体31的一侧的各个长杆41的上端部41a移动至在高度方向上的从固定板32的突出量成为最大的位置。由此，各个长杆41以及被固定在伸缩软管33c的下部筒部33b与下部框体34一起在高度方向上移动至最接近固定板32的位置。

[0099] 并且，在摆动臂23的内部，气体配管52的挠曲部52a的挠曲量成为最大，冷却水配管53的挠曲部53a的挠曲量成为最大。平移台22a在运送方向上的位置与摆动臂23的摆动中心轴部23a在运送方向上的位置越接近，2个挠曲部52a，53a各自的挠曲量就越大。

[0100] 如图7所示，平移台22a沿轨道22b与连结轴部23b平移，而配置于轨道22b在运送方向上的一个端部时，在运送方向上的摆动中心轴部23a与对连结轴部23b进行支承的连结轴支承部23b1之间的距离成为最大。此时，伸缩机构40根据摆动中心轴部23a与连结轴支承部23b1之间的距离，而使摆动臂23的摆动中心轴部23a与连结轴部23b之间的距离伸长。也就是说，伸缩机构40使得摆动中心轴部23a与连结轴部23b之间的距离、即摆动臂23的长度L成为最大。

[0101] 此时，在伸缩机构40中，伸缩软管33c抵抗施力而延伸，各个长杆41的上端部41a移动至在高度方向上的从固定板32的突出量成为最小的位置。由此，各个长杆41以及被固定在伸缩软管33c的下部筒部33b与下部框体34一起在高度方向上移动至离固定板32最远的位置。

[0102] 并且，在摆动臂23的内部，气体配管52的挠曲部52a的挠曲量成为最小，冷却水配管53的挠曲部53a的挠曲量成为最小。平移台22a在运送方向上的位置离摆动臂23的摆动中心轴部23a在运送方向上的位置越远，2个挠曲部52a，53a各自的挠曲量就越小。

[0103] 如此，摆动臂23的伸缩机构40根据与平移台22a平移的连结轴部23b的位置、即摆动臂23的摆动中心轴部23a与连结轴支承部23b1之间的距离，而改变摆动臂23的长度L。也就是说，在阴极单元22与平移台22a平移时，摆动臂23的长度在摆动中心轴部23a与连结轴部23b之间伸缩。换句话来讲，摆动臂23的伸缩机构40使摆动中心轴部23a与连结轴部23b之间的距离根据摆动中心轴部23a与连结轴支承部23b1之间的距离而变化。由此，设置在摆动臂23的连结轴部23b能够追随平移台22a的移动。

[0104] [电力线的构成]

[0105] 参照图8以及图9进一步详细地说明电力线51的构成。另外，图8示出摆动臂23的长度L成为最小时的电力线51的状态，另一方面，图9示出摆动臂23的长度L成为最大时的电力线51的状态。

[0106] 如图8所示，电力线51由多个构成元件构成，多个构成元件包括摆动刚体部51a1、可挠部51b以及连结刚体部51a2。摆动刚体部51a1形成为从摆动中心轴部23a朝向下部框体34延伸的带状，形成摆动刚体部51a1的材料主成分例如为铜。摆动刚体部51a1的2个端部中的一个端部与配置在摆动臂23外部的电力线连接，另一个端部在摆动臂23内部与可挠部
51b连接。

[0107] 摆动刚体部51a1通过引导筒部33内部，摆动刚体部51a1的另一个端部从下部框体34的下部开口部34b朝向下部框体34的底部突出。虽未予图示，但摆动刚体部51a1在从摆动中心轴部23a朝向下部框体34延伸的途中被固定在摆动臂23的上部框体31内部或是上部筒部33a内部。

[0108] 连结刚体部51a2形成为从下部框体34朝向连结轴部23b延伸的带状，形成连结刚体部51a2的材料的主成分例如为铜。连结刚体部51a2的2个端部中的一个端部在摆动臂23内部与可挠部51b连接，另一个端部与配置在摆动臂23外部的电力线连接。虽未予图示，但连结刚体部51a2在从下部框体34朝向连结轴部23b延伸的途中被固定在摆动臂23内部。在伸缩机构40配合摆动臂23的摆动而使摆动臂23伸缩时，可挠部51b使摆动刚体部51a1与连结刚体部51a2之间的距离伸缩。

[0109] 可挠部51b配置在下部框体34内部，并形成为2个端部中的一个端部与摆动刚体部51a1连接，另一个端部与连结刚体部51a2连接的带状。可挠部51b例如由将多个铜线编成带状的平编铜线构成，并具有可挠性。可挠部51b具有因自重而挠曲的部分、即弯曲部51b1。

[0110] 如图8所示，在摆动臂23的长度L成为最小时，伸缩软管33c收缩的程度最大，而下部框体34最接近上部框体31(参照图6)。因此，摆动刚体部51a1与可挠部51b的连接部分最接近下部框体34的底壁。并且，摆动刚体部51a1与连结刚体部51a2之间的距离成为最小。由此，可挠部51b变形成从连接在摆动刚体部51a1的可挠部51b的一个端部到弯曲部51b1的距离与从连接在连结刚体部51a2的可挠部51b的另一个端部到弯曲部51b1的距离大致相等。也就是说，可挠部51b的挠曲量成为最大。

[0111] 另一方面，如图9所示，在摆动臂23的长度L成为最大时，伸缩软管33c伸长，而下部框体34离上部框体31最远(参照图7)。因此，摆动刚体部51a1与可挠部51b的连接部分最接近下部框体34的上壁。并且，摆动刚体部51a1与连结刚体部51a2之间的距离成为最大。由此，可挠部51b变形成从连接在摆动刚体部51a1的可挠部51b的一个端部到弯曲部51b1的距离成为最大，从连接在连结刚体部51a2的可挠部51b的另一个端部到弯曲部51b1的距离成为最小。也就是说，可挠部51b的挠曲量成为最小。

[0112] 如此，在摆动臂23伸缩时，可挠部51b的挠曲量在摆动刚体部51a1与连结刚体部51a2之间变化。因此，通过摆动臂23内部的电力线51的长度与摆动臂23的长度之差的变化被可挠部51b的挠曲量的变化吸收。于是，在摆动臂23内部与外部之间进出的电力线51的长度变短。

[0113] 如以上说明，根据第2实施方式的溅射装置，能够得到以下列举的效果。

[0114] (2)在平移台22a与连结轴部23b平移时，摆动臂23的伸缩机构40使摆动中心轴部23a与连结轴部23b之间的距离根据摆动中心轴部23a与连结轴支承部23b1之间的距离而变化。由此，设置在摆动臂23的连结轴部23b能够追随平移台22a的移动。

[0115] (3)在摆动臂23伸缩时，连结在摆动刚体部51a1与连结刚体部51a2之间的可挠部51b的挠曲量会变化。因此，通过摆动臂23内部的电力线51的长度与摆动臂23的长度之差的变化被可挠部51b的挠曲量的变化吸收。于是，在摆动臂23内部与外部之间进出的电力线51的长度变短。

[0116] 另外，第2实施方式也可以以如下的方式适当地进行变更而实施。

[0117] ·气体配管52的挠曲部52a以及冷却水配管53的挠曲部53a不是作为分别在气体配管52以及冷却水配管53上具有弯曲形状的部位而被具体化，也可以例如在连接线路上作为具有螺旋形状的部分而被具体化。另外，螺旋形状也可以是二维的螺旋形状，也可以是三维的螺旋形状。

[0118] ·电力线51的构成也可以适用于连接线路50所包括的其他线路、例如气体配管52以及冷却水配管53中的至少一方。

[0119] ·溅射装置也可以具体化为将第1实施方式所述的构成和第2实施方式所述的构成组合的构成。根据这样的构成，也能够将溅射装置具体化为具有第1实施方式的效果和第2实施方式的效果的双方的构成。

[0120] ·摆动臂23也可以不具备伸缩机构40。在这种情况下，引导筒部33也可以作为1个圆筒状的筒部而被具体化。并且，例如为了抑制连结轴部23b与连结轴部23b的连接对象、即平移台22a之间的距离变大，也可以在摆动中心轴部23a与框体21之间具备连结部(例如，弹簧等伸缩部件)，该连结构件使摆动中心轴部23a与框体21之间的距离随着阴极单元22平移而变大。即使是这样构成，摆动臂23只要是以摆动中心轴部23a为中心摆动，就能够得到等同于上述(1)的效果。

[0121] ·摆动臂23也可以不具备伸缩机构40，例如也可以具备连结部(例如，弹簧等伸缩部件)，连结轴部23b与连结轴部23b的连接对象、即平移台22a之间的距离越大，该连结部越在连结轴部23b与平移台22a之间延伸。另外，在这种情况下，引导筒部33也可以具体化为1个圆筒状的筒部。即使是这样的构成，只要摆动臂23以摆动中心轴部23a为中心摆动，就能够得到等同于上述(1)的效果。

[0122] ·摆动臂23也可以不具备伸缩机构40，也可以采用在连结轴部23b与平移台22a之间以及摆动中心轴部23a与框体21之间分别具备上述的连结部(例如，弹簧等伸缩部件)的构成。另外，在这种情况下，引导筒部33也可以具体化为1个圆筒状的筒部。即使是这样的构成，只要摆动臂23以摆动中心轴部23a为中心摆动，就能够得到等同于上述(1)的效果。

[0123] ·对于电力线51，作为电力线51的构成元件，不仅是导体，也可以包括位于2个导体之间的绝缘体、即端子台。例如，也可以在摆动刚体部51a1与可挠部51b之间设置以将摆动刚体部51a1和可挠部51b电连接的状态对它们进行支承的端子台，也可以在连结刚体部51a2与可挠部51b之间设置以将连结刚体部51a2和可挠部51b电连接的状态对它们进行支承的端子台。

[0124] [第3实施方式]

[0125] 参照图10-图13说明将基板处理装置以及成膜装置具体化为溅射装置的第3实施方式。第3实施方式的溅射装置，其特征为安装在摆动臂23的摆动中心轴部23a的电力线以及安装在摆动臂23的连结轴部23b的电力线。因此，以下针对这些构成进行说明。另外，在图10-图13中，作为一个例子示出具有2条电力线51的溅射装置。

[0126] [摆动中心轴部的电力线]

[0127] 参照图10以及图11说明安装在摆动中心轴部23a的电力线51。另外，图10示出摆动臂23的长度L成为最小时的电力线51的状态，另一方面，图11示出摆动臂23的长度L成为最大时的电力线51的状态。

[0128] 如图10所示，电力线51包括第1电力线51A以及第2电力线51B，第1电力线51A和第2电力线51B相对于通过摆动轴P而沿高度方向延伸的假想平面形成面对称。构成各个电力线51的摆动刚体部51a1分别形成为带状，在从沿对置方向延伸的摆动中心轴部23a的内周面离开的状态下，从上部框体31内部朝向摆动中心轴部23a的筒端延伸。也就是说，由于各个摆动刚体部51a1中的通过摆动中心轴部23a的部分沿摆动轴P延伸，所以能够抑制随着摆动臂23的摆动而产生变形。各个摆动刚体部51a1的端部在摆动中心轴部23a的筒端上通过绝缘物而被固定在摆动中心轴部23a的端面。摆动中心轴部23a为基端旋转部的一个例子，摆动刚体部51a1为基端旋转配线的一个例子。

[0129] 第1电力线51A以及第2电力线51B分别具有摆动固定部61，该摆动固定部61通过绝缘物而被固定在溅射腔室13的壁部、例如固定在摆动凸缘23a2上的框体21的壁部，并与其他电力线连接。摆动固定部61为基端固定配线的一个例子。

[0130] 第1电力线51A以及第2电力线51B分别具有摆动可挠部62，该摆动可挠部62与摆动刚体部51a1的端部和摆动固定部61连接。各个摆动可挠部62形成为沿运送方向延伸的大致圆弧状、且例如由具有可挠性的平编铜线构成。摆动可挠部62具有在高度方向上因自重而向下部框体34挠曲的弯曲部62a。在根据摆动刚体部51a1的端部与摆动固定部61之间的距离而变形的摆动可挠部62上所形成的弯曲部62a的长度相当于弯曲部62a的挠曲量。摆动可挠部62为基端可挠线路的一个例子。

[0131] 如图10所示，在摆动臂23的长度L成为最小时，各个摆动可挠部62变形成在运送方向上从摆动刚体部51a1到弯曲部62a的距离与从摆动固定部61到弯曲部62a的距离大致相等。也就是说，在摆动刚体部51a1的端部与摆动固定部61之间的距离成为最小时，各个弯曲部62a的挠曲量成为最大。

[0132] 如图11所示，摆动臂23的长度L成为最大时，摆动中心轴部23a以摆动轴P为中心摆动。例如，在摆动中心轴部23a在纸面上向左旋转时，第1电力线51A上的摆动刚体部51a1的端部沿摆动中心轴部23a的圆周方向朝下方移动。另一方面，第2电力线51B上的摆动刚体部51a1的端部沿摆动中心轴部23a的圆周方向朝上方移动。由此，摆动刚体部51a1的端部与摆动固定部61之间的距离变大，各个弯曲部62a的挠曲量变小。

[0133] 如此，由于抑制电力线51因摆动中心轴部23a的旋转而扭曲，所以能够减小电力线51所承受的机械性负载。

[0134] [连结轴部的电力线]

[0135] 参照图12以及图13说明安装在连结轴部23b的电力线51。另外，图12示出摆动臂23的长度L成为最小时的电力线51的状态，另一方面，图13示出摆动臂23的长度L成为最大时的电力线51的状态。

[0136] 如图12所示，构成电力线51的连结刚体部51a2分别形成为带状，并在从沿对置方向延伸的连结轴部23b的内周面离开的状态下，从下部框体34内部朝向连结轴部23b的筒端延伸。也就是说，由于各个连结刚体部51a2中的通过连结轴部23b的部分沿旋转轴A延伸，所以抑制随着摆动臂23的摆动而产生变形。各个连结刚体部51a2在连结轴部23b的筒端上通过绝缘物而被固定在连结轴部23b的端面上。连结轴部23b为顶端旋转部的一个例子，连结刚体部51a2为顶端旋转配线的一个例子。

[0137] 第1电力线51A以及第2电力线51B分别具有连结平移部71，该连结平移部71追随阴极单元22以及连结轴部23b的平移而平移。连结平移部71通过绝缘物而被固定在平移台22a的一侧面、例如固定在连结轴支承部23b1上的平移台22a侧壁的内侧面，并与其他电力线连接。连结平移部71为顶端平移配线的一个例子。

[0138] 第1电力线51A以及第2电力线51B分别具有连结可挠部72，该连结可挠部72与连结刚体部51a2的端部和连结平移部71连接。各个连结可挠部72从连结刚体部51a2的端部沿高度方向朝向下方延伸，并在途中折返，而沿高度方向朝上方延伸到连结平移部71。各个连结可挠部72具有折返部72a，该折返部72a因自重而沿高度方向挠曲至连结平移部71的下方。在根据连结刚体部51a2的端部与连结平移部71之间的距离而变形的连结可挠部72上形成的折返部72a的长度、即在高度方向上位于连结平移部71下方的折返部72a的长度相当于折返部72a的挠曲量。各个连结可挠部72例如由具有可挠性的平编铜线构成。连结可挠部72为顶端可挠线路的一个例子。

[0139] 如图12所示，在摆动臂23的长度L成为最小时，第1电力线51A的折返部72a的挠曲量与第2电力线51B的折返部72a的挠曲量相等。

[0140] 如图13所示，在摆动臂23的长度L成为最大时，连结轴部23b以旋转轴A为中心而相对于平移台22a旋转。例如，连结轴部23b在纸面上向右摆动时，在第1电力线51A中的连结刚体部51a2的端部沿连结轴部23b的圆周方向朝下方移动，在第2电力线51B中的连结刚体部51a2的端部沿连结轴部23b的圆周方向朝上方移动。由此，在第1电力线51A中，连结刚体部
51a2的端部与连结平移部71之间的距离变小，另一方面，在第2电力线51B中，连结刚体部
51a2的端部与连结平移部71之间的距离变大。由此，在第1电力线51A中，连结可挠部72的挠曲量变大，另一方面，在第2电力线51B中，连结可挠部72的挠曲量变小。

[0141] 如此，由于抑制电力线51因连结轴部23b的旋转而扭曲，所以能够减少电力线51所承受的机械性负载。

[0142] 如以上说明，根据第3实施方式的溅射装置能够得到以下列举的效果。

[0143] (4)由于分别抑制第1电力线51A以及第2电力线51B因摆动中心轴部23a的旋转而扭曲，所以能够减少第1电力线51A以及第2电力线51B分别承受的机械性负载。

[0144] (5)由于分别抑制第1电力线51A以及第2电力线51B因连结轴部23b的旋转而扭曲，所以能够减少第1电力线51A以及第2电力线51B分别承受的机械性负载。

[0145] 另外，第3实施方式也可以以如下的方式适当地进行变更而实施。

[0146] ·第1电力线51A以及第2电力线51B也可以分别为不具备连结可挠部72的构成，连结刚体部51a2也可以为分别与连结平移部71连接的构成。即使是这样的构成，只要第1电力线51A以及第2电力线51B分别是具备摆动可挠部62的构成，就能够得到等同于上述(4)的效果。

[0147] ·第1电力线51A以及第2电力线51B也可以分别为不具备摆动可挠部62的构成，摆动刚体部51a1也可以为分别与摆动固定部61连接的构成。即使是这样的构成，只要第1电力线51A以及第2电力线51B分别为具备连结可挠部72的构成，就能够得到等同于上述(5)的效果。

[0148] ·形成为以摆动轴P为中心的环状并与共用设备连接的端子(以下，称为共用设备连接端子)也可以通过绝缘物而被安装在摆动臂23的摆动中心轴部23a的端面上。并且，在该构成中，只要采用连接线路50上的2个端部中接近摆动中心轴部23a的端部以能够沿共用设备连接端子的圆周方向移动的状态与共用设备连接端子连结的构成即可。根据这样的构成，能够抑制连接在共用设备连接端子上的连接线路50的端部随着摆动臂23的摆动而产生变形。

[0149] ·形成为以旋转轴A为中心的环状并与配置在框体21内部的阴极单元22连接的端子(以下，称为阴极单元连接端子)也可以是通过绝缘物而被安装在摆动臂23的连结轴部23b的端面上。并且，在该构成中，只要采用连接线路50上的2个端部中接近连结轴部23b的端部以能够沿阴极单元连接端子的圆周方向移动的状态与阴极单元连接端子连结的构成即可。根据这样的构成，能够抑制连接在阴极单元连接端子上的连接线路50的端部随着摆动臂23的摆动而产生变形。

[0150] ·第1电力线51A以及第2电力线51B的各自除了导体之外，也可以包括位于2个导体之间的绝缘体、即端子台作为构成元件。或是，第1电力线51A以及第2电力线51B也可以是分别包括位于构成元件所包含的1个导体与位于框体21外部的电源之间的绝缘体、即端子台。

[0151] ·第1电力线51A以及第2电力线51B的构成也可以不适用于电力线51，而是适用于连接线路50所包含的其他线路、即气体配管52或冷却水配管53。

[0152] ·溅射装置也可以具体化为将第1实施方式所述的构成和第3实施方式所述的构成组合的构成，根据这样的构成，也能够将溅射装置具体化为具有第1实施方式的效果和第3实施方式的效果的构成。

[0153] ·溅射装置也可以具体化为将在第1实施方式所述的构成、第2实施方式所述的构成以及第3实施方式所记载的构成组合的构成。根据这样的构成，能够将溅射装置具体化为具有第1实施方式、第2实施方式以及第3实施方式的效果的构成。