一种针对特殊批次货物进行预排程的系统及其方法

摘要

本发明提供了一种针对特殊批次货物进行预排程的系统，所述系统包括：数据源模块、特殊批次数据模块、处理模块和输出模块；以及，一种针对高优先权新产品批次货物进行预排程的方法，其特征在于，包括下列步骤：S1：计算工序时间，并进行储存；S2：计算预计的生产步骤，并写进编程计划；S3：进行批次排程和探查制程阻碍；S4：进行机台预测和掩膜版预测。依据各种线上的影响因素,准实时计算工序时间/预计的生产步骤数据,预测掩膜版(Reticle)和机台,为特殊批次提供合理的预排程。

权利要求

1.一种针对特殊批次货物进行预排程的方法，其特征在于，包括下列步骤：S1：计算工序时间，将计算得出的数据进行储存；

S2：计算预计的生产步骤，并将预计的生产步骤写进编程计划；

S3：进行批次排程和探查制程阻碍；

S4：进行机台预测和掩膜版预测，以探查未来机台的状况和潜在的异常同时以预估掩膜版的使用时间；

计算预计的生产步骤如下：

S21:查找批次的计划名称和修订计划；

S22:根据计划名称和修订计划查找标准的生产步骤；

S23:根据批次编号查找是否有相关的作业流程生产工单；

S24:根据当前步骤编号判断批次产品是否存在返工流程；

S25:根据用户指定跳过的相关生产步骤。

2.根据权利要求1所述的针对特殊批次货物进行预排程的方法，其特征在于，所述计算工序时间的步骤为：计算历史批次中所有批次步骤所需要的工序时间，然后计算平均值作为工序时间，并生成供排程用的工序时间表。

3.根据权利要求2所述的针对特殊批次货物进行预排程的方法，其特征在于，所述工序时间包括基于工艺的工序时间和基于产品的工序时间。

4.根据权利要求1所述的针对特殊批次货物进行预排程的方法，其特征在于，查找到相关的作业流程生产工单则在相应的步骤后，添加作业流程生产工单步骤。

5.根据权利要求4所述的针对特殊批次货物进行预排程的方法，其特征在于，根据现有步骤编号判断批次存在返工流程，则从返工流程表中查找返工流程的步骤。

6.根据权利要求5所述的针对特殊批次货物进行预排程的方法，其特征在于，所述批次排程和探查制程阻碍包括：进行预计停留时间,等待时间,工序时间,位置预留时间的预估算。

7.根据权利要求6所述的针对特殊批次货物进行预排程的方法，其特征在于，所述预估算包括如下步骤：P1:查找批次状态，判断批次处于步骤的阶段；

P2:根据批次所处的阶段判断批次在当前步骤的剩余时间；

P3:计算后续的所述P1的各个阶段时间。

8.根据权利要求7所述的针对特殊批次货物进行预排程的方法，其特征在于，所述机台预测包括：定义优选/一般机台并查找符合条件的机台，包括如下步骤：S41:查找所有可能用到的机台；

S42:查找每个机台PM信息，并且计算步骤预测时间区间内是否有PM计划；

S43:查找每个机台EM信息，并且计算步骤预测时间区间内是否有EM计划；

S44:查询机台的限制系统检测机台是否可用；

S45:查询RMS系统是否有已存相应设置；

S46:查询机台历史的有效率，并添加到相对应栏位。

9.根据权利要求8所述的针对特殊批次货物进行预排程的方法，其特征在于，在所述掩膜版预测中，系统根据已经预估的未来生产步骤，查找需要用到所述掩膜版的信息，将其整合到批次时序的统计曲线中。

10.一种针对特殊批次货物进行预排程的系统，其特征在于，应用于如权利要求1-9中任一所述的针对特殊批次货物进行预排程的方法，所述系统包括：数据源模块、特殊批次数据模块、处理模块和输出模块；

所述数据源模块包括当前生产制造中与预排程操作相关的数据单元；

所述特殊批次数据模块中存储有所述特殊批次货物的属性信息；

所述处理模块分别与所述数据源模块、所述特殊批次数据模块连接，以根据所述属性信息调取相应所述数据单元中的数据信息，经过处理后通过所述输出模块输出所述特殊批次货物的预排程数据信息。

11.根据权利要求10所述的针对特殊批次货物进行预排程的系统，其特征在于，所述预排程数据信息包括掩膜数据、设备数据和后续操作指令数据，所述后续操作指令数据包括保持指令、更新/清除指令、修订指令和步骤跳过指令。

12.根据权利要求11所述的针对特殊批次货物进行预排程的系统，其特征在于，所述设备数据包括PM设备数据、ECS设备数据、监控设备数据和设备属性数据，所述处理模块包括PM计划模块、监控状态模块、设备状态模块、掩膜状态模块和后续操作模块；所述PM设备数据从所述PM计划模块提取，所述ECS设备数据、所述设备属性数据从所述设备状态模块提取，所述监控设备数据从所述监控状态模块提取，所述掩膜数据从所述掩膜状态模块提取，所述后续操作指令数据从所述后续操作模块提取。

13.根据权利要求12所述的针对特殊批次货物进行预排程的系统，其特征在于，所述特殊批次货物的属性信息包括：批次ID，产品零件ID，工序，容量大小和步骤序列号。

说明书

一种针对特殊批次货物进行预排程的系统及其方法

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体器件制备中的货物排程领域，具体涉及一种针对特殊批次货物进行预排程的系统及其方法。

背景技术

[0002] 在半导体制造行业中,排程是一个非常复杂的课题,需要关注制程、产量、装载、良率、机台状况、光罩、队列、保留批次等多个因素,尤其对于一些特殊的批次，即，高优选权新产品批次(NTO/Bullet Lot),由于制程和优先级的原因,考虑因素会更多。这些信息散落在多个系统中,生产主管需要到各个系统收集数据,并以此判断和排程。由于操作人员的经验、个人判断法则及对于流程本身的熟悉度差异而有可能产生不同的结果。此外，由于所需数据分散于各个系统，查询数据需要耗费制造同仁相当多的时间。

[0003] 目前生产主管需要到Wafer Start系统查询下货安排、在MES系统查询实时批次数据、EAP系统查询机台信息、在RTMS系统查询掩膜(Reticle)信息,在移动装载(Move Loading)系统查询装载(Loading)。然后再对高优先权新产品批次进行预排程。可见,这个过程费时费力,而且严重依赖个人的经验。

发明内容

[0004] 本发明提供了一种针对特殊批次货物进行预排程的系统，其中，所述系统包括：数据源模块、特殊批次数据模块、处理模块和输出模块；

[0005] 所述数据源模块包括当前生产制造中与预排程操作相关的数据单元；

[0006] 所述特殊批次数据模块中存储有所述特殊批次货物的属性信息；

[0007] 所述处理模块分别与所述数据源模块、所述特殊批次数据模块连接，以根据所述属性信息调取相应所述数据单元中的数据信息，经过处理后通过所述输出模块输出所述特殊批次货物的预排程数据信息。

[0008] 上述的针对特殊批次货物进行预排程的系统，其中，所述预排程数据信息包括掩膜数据、设备数据和后续操作指令数据，所述后续操作指令数据包括保持指令、更新/清除指令、修订指令和步骤跳过指令。

[0009] 上述的针对特殊批次货物进行预排程的系统，其中，所述设备数据包括PM设备数据、ECS设备数据、监控设备数据、设备属性数据，

[0010] 所述处理模块包括PM计划模块、监控状态模块、设备状态模块、掩膜状态模块和后续操作模块；所述PM设备数据从所述PM计划模块提取，所述ECS设备数据、所述设备属性数据从所述设备状态模块提取，所述监控设备数据从所述监控状态模块提取，所述掩膜数据从所述掩膜状态模块提取，所述后续操作指令数据从所述后续操作模块提取。

[0011] 上述针对特殊批次货物进行预排程的系统，其中，所述特殊批次货物的属性信息包括：批次ID，产品零件ID，工序，容量大小和步骤序列号。

[0012] 上述针对高优先权新产品批次货物进行预排程的方法，其中，包括下列步骤：

[0013] S1：计算工序时间，将计算得出的数据进行储存；

[0014] S2：计算预计的生产步骤，并将预计的生产步骤写进编程计划；

[0015] S3：进行批次排程和探查制程阻碍；

[0016] S4：进行机台预测和掩膜版预测，以探查未来机台的状况和潜在的异常同时以预估掩膜版的使用时间。

[0017] 上述的针对高优先权新产品批次货物进行预排程的方法，其中，所述计算工序时间的步骤为：计算历史批次中所有批次步骤所需要的工序时间，然后计算平均值作为工序时间，并生成供排程用的工序时间表。

[0018] 上述的针对高优先权新产品批次货物进行预排程的方法，其中，所述工序时间包括基于工艺的工序时间和基于产品的工序时间。

[0019] 上述的针对高优先权新产品批次货物进行预排程的方法，计算预计的生产步骤如下：

[0020] S21:查找批次的计划名称和修订计划；

[0021] S22:根据计划名称和修订计划查找标准的生产步骤；

[0022] S23:根据批次编号查找是否有相关的作业流程生产工单；

[0023] S24:根据当前步骤编号判断批次产品是否存在返工流程；

[0024] S25:根据用户指定跳过的相关生产步骤。

[0025] 上述的针对高优先权新产品批次货物进行预排程的方法，其中，查找到相关的作业流程生产工单则在相应的步骤后，添加作业流程生产工单步骤。

[0026] 上述的针对高优先权新产品批次货物进行预排程的方法，其中，根据现有步骤编号判断批次存在返工流程，则从返工流程表中查找返工流程的步骤。

[0027] 上述的针对高优先权新产品批次货物进行预排程的方法，其中，所述批次排程和探查制程阻碍包括：进行预计停留时间,等待时间,工序时间,位置预留时间的预估算。

[0028] 上述的针对高优先权新产品批次货物进行预排程的方法，其中，所述预估算包括如下步骤：

[0029] P1:查找批次状态，判断批次处于步骤的阶段；

[0030] P2:根据批次所处的阶段判断批次在当前步骤的剩余时间；

[0031] P3:计算后续的所述P1的各个阶段时间。

[0032] 上述的针对高优先权新产品批次货物进行预排程的方法，其中，所述机台预测包括：定义优选(Golden)/一般(Single)机台并查找符合条件的机台，包括如下步骤：

[0033] S41:查找所有可能用到的机台；

[0034] S42:查找每个机台PM信息，并且计算步骤预测时间区间内是否有PM计划；

[0035] S43:查找每个机台EM信息，并且计算步骤预测时间区间内是否有EM计划；

[0036] S44:根据批次ID，产品,工序,工艺,步骤等信息区查询机台的限制系统检测机台是否可用；

[0037] S45:查询RMS系统是否有已存相应设置。

[0038] S46:查询机台历史的有效率，并添加到相对应栏位。

[0039] 上述的针对高优先权新产品批次货物进行预排程的方法，其中，在所述掩膜版(Reticle)预测中，系统根据已经预估的未来生产步骤，查找需要用到所述掩膜版(Reticle)的信息，将其整合到批次时序的统计曲线中。

[0040] 由于本发明采用了以上技术方案，通过计算工序时间。每天计算一次，可以考虑早上或者交接班前后计算产生的数据保存至数据仓库的LDM中。计算预计的生产步骤。在某些特殊情况下，批次在FAB里面生产可能不会严格按照既定流程执行，对于这些特殊情况，系统会定时查找批次流程是否存在变化，并且把正确的流程写进排程计划。批次排程和探查制程阻碍。系统暂时设定为每个小时执行一次。计算产生的数据保存在数据仓库的LDM中。机台预测。利用这些信息，系统可以及时探查未来机台的状况和潜在的异常，帮助线上生产人员提前发现和解决问题。Reticle预测。系统根据已经预估的未来生产步骤，查找需要用到Reticle的信息，将其整合到批次schedule曲线中。这样，生产人员可以预估Reticle的使用时间，及早发现潜在异常。依据各种线上的影响因素,准实时计算工序时间/预计的生产步骤数据,预测Reticle和机台,为高优先权新产品批次提供合理的预排程。并可帮助缩短C/T、确保交期、节省监控人力。

附图说明

[0041] 通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

[0042] 图1为本发明的方法的流程示意图

[0043] 图2为本发明的系统的结构示意图；

[0044] 图3为本发明方法中预计的生产步骤的流程示意图；

[0045] 图4为本发明方法中预计的生产步骤的流程示意图；

[0046] 图5为计算排程的方法的示意图；

[0047] 图6为本发明方法的体系架构的结构示意图。

具体实施方式

[0048] 下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明：

[0049] 本发明提供了一种针对特殊批次货物进行预排程的方法预排程系统整合相关数据，定时自动产生各制程之综合报表，将批次及时信息、异常、机台状况、上下游制程之现况、预计排程，并提供在线直接调阅、追踪细部数据的能力，将节省大量的人力、时间与资源。预排程系统提供48小时及时信息，并提供预测与警讯，操作人员可以及时协助问题的排除或是配合上下游制程的进度，加快或减慢本站的制程。预排程系统可依据机台运转现况或维修安排,对于单一批次可以预测。

[0050] 如图2所示，并参照结合图1和图6所示，本发明提供一种针对特殊批次货物进行预排程的系统，其中，所述系统包括：数据源模块、特殊批次数据模块、处理模块和输出模块；所述数据源模块包括当前生产制造中与预排程操作相关的数据单元；所述特殊批次数据模块中存储有所述特殊批次货物的属性信息；所述处理模块分别与所述数据源模块、所述特殊批次数据模块连接，以根据所述属性信息调取相应所述数据单元中的数据信息，经过处理后通过所述输出模块输出所述特殊批次货物的预排程数据信息。上述的针对特殊批次货物进行预排程的系统，其中，所述预排程数据信息包括掩膜数据、设备数据和后续操作指令数据，所述后续操作指令数据包括保持指令、更新/清除指令、修订指令和步骤跳过指令。上述的针对特殊批次货物进行预排程的系统，其中，所述设备数据包括PM设备数据、ECS设备数据、监控设备数据、设备属性数据(Single设备数据和Down设备数据)，所述处理模块包括PM计划模块、监控状态模块、设备状态模块、掩膜状态模块和后续操作模块；所述PM设备数据从所述PM计划模块提取，所述ECS设备数据、设备属性数据(所述Single设备数据和所述Down设备数据)从所述设备状态模块提取，所述监控设备数据从所述监控状态模块提取，所述掩膜数据从所述掩膜状态模块提取，所述后续操作指令数据从所述后续操作模块提取。
上述针对特殊批次货物进行预排程的系统，其中，所述特殊批次货物的属性信息包括：批次ID，产品零件ID，工序，容量大小和步骤序列号。

[0051] 如图,1所示，并结合图2和图6所示，本发明从架构方面主要包括如下步骤：计算工序时间，可以考虑早上或者交接班前后每天计算一次；计算产生的数据保存至数据仓库的本地数据管理器(LDM)中；计算预计的生产步骤，在某些特殊情况下，批次在FAB里面生产可能不会严格按照既定流程执行，对于这些特殊情况，系统会定时查找批次流程是否存在变化，并且把正确的流程写进排程计划；批次排程和探查制程阻碍，系统暂时设定为每个小时执行一次，计算产生的数据保存在数据仓库的LDM中；机台预测。利用这些信息，系统可以及时探查未来机台的状况和潜在的异常，帮助线上生产人员提前发现和解决问题，由计算机整合相关数据，定时自动产生各制程之综合报表，将批次及时信息、异常、机台状况、上下游制程之现况、未来排程，并提供在线直接调阅、追踪细部数据的能力，将节省大量的人力、时间与资源。由于计算机提供48小时及时信息，并提供预测与警讯，负责的同仁可以及时协助问题的排除或是配合上下游制程的进度，加快或减慢本站的制程。机台运转现况或维修排程对于单一批次可以预估。

[0052] 优选的，计算工序时间是排程的不可或缺因素之一，其代表着批次在生产步骤上真正的制造时间。对于已存在的产品，我们可以从批次历史记录中查找批次在机台上的Track-In和Track-Out时间来计算。对于新投产的一些产品，系统中没有相关的历史记录，所以需要用户在界面手动上传工序时间。不论用户上传还是自动计算，系统都会产生两种标准的工序时间：一种基于工艺的工序时间和另一种基于产品的工序时间，系统可以产生供排程用的工序时间表。其中，系统将在每天的凌晨或者交接班的时间分成两个工作阶段来计算基于工艺和基于产品的平均工序时间，其计算的规则是:计算批次历史记录中所有批次生产步骤工序时间，即，工序导出的时间到导入的时间(TrackOut Time–TrackIn Time)，然后对于基于产品或者基于工艺的工序时间计算平均值。

[0053] 优选的，如图3和图4所示，对于预计的生产步骤，在某些特殊情况下，批次在FAB里面生产可能不会严格按照既定流程执行，例如有Run Card和跳过步骤的情况，这种情况下，如果还是按照既定流程排程，排程结果和实际差异较大，也会对线上生产人员造成困扰。对于这些特殊情况，系统会定时查找批次流程是否存在变化，并且把正确的流程写进排程计划。Step1:查找批次计划名称和修订计划，我们可以得出标准的工序计划；Step2:根据计划名称和修订计划查找标准的生产步骤；Step3:根据批次编号查找是否有相关的作业流程生产工单。如果有，则在相应的步骤后面添加作业流程生产工单(Run Card)步骤。并查找作业流程生产工单结束步骤,计算标准工序中是否有因为作业流程生产工单(Run Card)而省略的步骤。如果有，则去除该段步骤；Step4:根据现有步骤编号判断批次是否存在返工流程的流程中。如果在，则从返工流程表中查找返工流程的步骤。

[0054] 另外，根据上述产生的数据，我们可以得到批次的一个具体排程表。首先如下图所示，一个生产步骤所有可以预估的时间可以分成如四种：HT:预计保留时间(Future Hold Time)，当批次在Step上设定预计保留(Future Hold)后，当批次进入该步骤时，批次会自动被保留(Hold)的时间。QT:队列时间(Queue Time)，当批次在不步骤上传送和等待的时间。PT:工序时间(Process Time)，批次实际在机台上Process的时间。POST_HT:位置预留(Post Future Hold Time)，当批次在步骤上设定Post Future Hold后，当批次准备离开该步骤时，批次自动被保留(Hold)的时间。

[0055] 如图5，是计算排程的方法的示意图，Step 1:查找批次状态，判断批次处于步骤中哪个阶段。假如批次处于非预估的保留(Hold)，则将计算批次处于阶段2。例如，批次处于Step 3，Step 2表示根据批次所处的阶段判断批次在当前步骤的剩余时间。特别说明，假如当前阶段的实际时间已经超出目标(Target)设定，则剩余时间按照零来计算，例如，假如当前阶段的工序时间已经超出目标(Target)设定，但是仍然处在工序中，则剩余时间按照零计算，也就是结束时间按照当前时间。例如，工序结束时间(Process End Time)＝Now+[Current PT Target-(Now-Process Start)]，Post HT Start＝Process End Time，Post HT END＝Post HT Start+Post HT Target；Step 3:计算未来Step 1的各个阶段时间，例如，Future Hold Start＝Post HT END2:Future Hold End＝Future Hold Start+Future Hold Target；Step1Queue Start＝Future Hold End；Step1Queue End＝Step1Queue Start+Step QT Target。再计算Queue Time的时候需要计算是否有Max/Min Step Queue Time；Step1Process Start＝Queue End；Step1Process End＝Step1Engineering Start+Step1PT Target；Step1Post Hold Start＝Step1Process End；Step1Post Hold End＝Step1Post Hold Start+Step1Post Hold Target(If No，Target is 0)。根据如上的计算，我们可以得到排成表如下：

[0056]FAB_NAME S1
LOT_ID BL2482
SEQUENCE 20
TECH 18ULG
PRODUCT 2567C
STAGE AA-PHOTO
STAGEORDER 110
STEP APAAPH3
STEPNO 01250
LOCATION PHOTO
QUEUE_START 7/8/20119:10
QUEUE_TARGET 15
POST_HOLD_START  
POST_HOLD_TARGET  
  7/8/20119:25
  25
  7/8/20119:10
  7/8/20119:50
  002100-115AA-1DA
  Active

[0057] 表格1

[0058] 优选的，进行机台预测系统整合关于机台的各种信息，利用这些信息，系统可以及时探查未来机台的状况和潜在的异常，帮助线上生产人员提前发现和解决问题，确保批次正常工序，减少异常停工时间。同时，系统会统计整理机台历史的可行性，工序时间，是否是Golden等信息，给出可选机台的合理排序。另外，定义Golden/Single机台，Golden tool:FAB中各项性能最好的机台，一般作为高优先权新产品批次的首选机台。Single Tool:由客户或者生产部门指定跑货的机台，这是一个唯一选择。随后查找符合机台，系统会去各个系统查询机台相关信息，及时探查未来机台的状况和潜在的异常，帮助线上生产人员提前发现和解决问题，确保工序，减少异常停工时间。

[0059] 对于Single Tool或者Golden Tool的定义，系统提供界面供用户选择。首先从数据仓库中将已经计算好的排程表显示在界面上，同时在每一步骤上选择可用机台列表。该方法在每个小时执行的计划任务中，其方法步骤包括：Step1:首先根据批次上定义的EQP_TYPE查找所有可能用到的机台；Step2:查找每个机台PM信息，并且计算Step预测时间区间内，是否有PM计划。如果有，则记录该机台PM状态为不可行；Step3:查找每个机台EM信息，并且计算Step预测时间区间内，是否有EM计划。如果有，则记录该机台EM状态为不可行。Step4:根据批次ID，产品,工序,工艺,步骤等信息区查询机台的限制系统(Constraint System)，检测机台是否可用，如果不可用，则将ECS状态(ECS_Status)设置为不可行；
Step5:根据批次上的Recipe定义，去RMS系统里面查询，是否有已经存在相对应的设置，如果没有，则将机台RMS状态设置为False；Step6:查询机台历史的有效率(Available Ratio)，并添加到相对应的栏位。根据如上的计算，我们可以得到如下排程表:

[0060]批次ID H7E934
STEPNO 65950
PROCESS_START 7/8/201210:10
PROCESS_END 7/8/201210:20
EQP_ID HDWSV02
EQPSTATUS Normal
PM_STATUS N
EM_STATUS N
CON_STATUS N
PERFORMANCE 90
SMIF_COUNT 1

[0061] 表格2

[0062] 优选的，进行Reticle预测，系统根据已经预估的未来生产步骤，查找需要用到Reticle的信息，将其整合到批次时间表曲线中。这样，生产人员可以预估Reticle的使用时间，得到具体位置信息，及早发现潜在异常。选择某个批次，系统会去系统查询批次在未来各个站点将要用到的Reticle信息,在批次排成曲线上面标记，不同的状态用不同的颜色表示。用户可以选择系统中存在的批次ID；点击开始按钮，系统会去数据库中查找排程表的相关记录界面的上方有两条曲线，曲线1代表批次排程，点代表Reticle状态。Reticle曲线有一些特殊状态。其中，可以使用不同形状颜色特征分别代表Reticle信息正常，Reticle状态异常，以及Reticle本身，使用次数逼近与Reticle定义目标的定义的临界值(Threshold)，横轴为时间，纵轴为阶段。

[0063] 综上所述，本发明包括：计算工序时间。每天计算一次，可以考虑早上或者交接班前后计算产生的数据保存至数据仓库的LDM中。计算预计的生产步骤。在某些特殊情况下，批次在FAB里面生产可能不会严格按照既定流程执行，对于这些特殊情况，系统会定时查找批次流程是否存在变化，并且把正确的流程写进排程计划。批次排程和探查制程阻碍。系统暂时设定为每个小时执行一次。计算产生的数据保存在数据仓库的LDM中。机台预测。利用这些信息，系统可以及时探查未来机台的状况和潜在的异常，帮助线上生产人员提前发现和解决问题。掩膜版(Reticle)预测。系统根据已经预估的未来生产步骤，查找需要用到Reticle的信息，将其整合到批次schedule曲线中。这样，生产人员可以预估Reticle的使用时间，及早发现潜在异常。依据各种线上的影响因素,准实时计算工序时间/预计的生产步骤数据,预测Reticle和机台,为高优先权新产品批次提供合理的预排程。并可帮助缩短C/T、确保交期、节省监控人力。

[0064] 以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。