横向耦合多模单片滤波器

摘要

横向耦合多模单片滤波器。一种横向耦合多模单片滤波器包括：衬底；压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；以及多个信号电极，所述多个信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且彼此并联布置，所述第二表面与所述第一表面相反，所述多个信号电极中的每一个包括第一电极指和第二电极指，其中，所述第一电极指和所述第二电极指具有不同的电位；所述多个信号电极中的相邻信号电极彼此相距一定距离，所述距离大于所述第一电极指和所述第二电极指的节距。

权利要求

1.一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：衬底；

压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；

地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；以及多个信号电极，所述多个信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且彼此并联布置，所述第二表面与所述第一表面相反，所述多个信号电极中的每一个包括第一电极指和第二电极指，其中，所述第一电极指和所述第二电极指具有不同的电位，所述多个信号电极中的相邻信号电极彼此相距一定距离，所述距离大于所述第一电极指和所述第二电极指的节距，并且空隙或声反射镜形成在所述地电极或所述多个信号电极与所述衬底之间。

2.根据权利要求1所述的横向耦合多模单片滤波器，其中在所述相邻信号电极中的对应信号电极中各自包括的相邻电极指具有相同的电位。

3.根据权利要求1所述的横向耦合多模单片滤波器，其中反射传播通过所述压电膜的声波的单个空隙形成在所述地电极、所述压电膜和所述多个信号电极下方，使得所述多个信号电极形成在所述单个空隙上方。

4.根据权利要求1所述的横向耦合多模单片滤波器，其中所述信号电极包括第三电极指，该第三电极指具有与所述第一电极指的电位和所述第二电极指的电位不同的电位。

5.根据权利要求1所述的横向耦合多模单片滤波器，其中所述多个信号电极作为电路并联连接。

6.根据权利要求1所述的横向耦合多模单片滤波器，其中所述第一电极指和所述第二电极指的所述节距是平均节距。

7.一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：衬底；

压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；

地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；以及多个信号电极，所述多个信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且彼此并联布置，所述第二表面与所述第一表面相反，所述多个信号电极中的每一个包括第一电极指和第二电极指，其中，所述第一电极指和所述第二电极指具有不同的电位，所述多个信号电极中的相邻信号电极彼此相距一定距离，所述距离大于所述第一电极指和所述第二电极指的节距，并且所述压电膜在所述相邻信号电极之间的至少一部分被去除。

8.一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：衬底；

压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；

地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；以及多个信号电极，所述多个信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且彼此并联布置，所述第二表面与所述第一表面相反，所述多个信号电极中的每一个包括第一电极指和第二电极指，其中，所述第一电极指和所述第二电极指具有不同的电位，所述多个信号电极中的相邻信号电极彼此相距一定距离，所述距离大于所述第一电极指和所述第二电极指的节距，并且该横向耦合多模单片滤波器还包括介电膜，该介电膜形成在所述相邻信号电极之间的所述压电膜中并且与所述压电膜不同。

9.一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：衬底；

压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；

地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；以及信号电极，该信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且包括第一电极指和第二电极指，所述第二表面与所述第一表面相反，所述第二电极指具有与所述第一电极指的电位不同的电位，其中，所述压电膜在所述第一电极指和所述第二电极指的布置方向上在所述信号电极的外侧的至少一部分被去除。

10.根据权利要求9所述的横向耦合多模单片滤波器，其中所述信号电极包括第三电极指，该第三电极指具有与所述第一电极指的电位和所述第二电极指的电位不同的电位。

11.一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：衬底；

压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；

地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；

信号电极，该信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且包括第一电极指和第二电极指，所述第二表面与所述第一表面相反，所述第二电极指具有与所述第一电极指的电位不同的电位；以及介电膜，该介电膜在所述第一电极指和所述第二电极指的布置方向上形成于所述信号电极的外侧的所述压电膜中并且与所述压电膜不同。

12.根据权利要求11所述的横向耦合多模单片滤波器，其中所述信号电极包括第三电极指，该第三电极指具有与所述第一电极指的电位和所述第二电极指的电位不同的电位。

13.一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：衬底；

压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；

地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；

信号电极，该信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且包括第一电极指和第二电极指，所述第二表面与所述第一表面相反，所述第二电极指具有与所述第一电极指的电位不同的电位；以及反相电极，该反相电极在所述第一电极指和所述第二电极指的布置方向上在所述信号电极的外侧包括第三电极指和第四电极指，所述第三电极指具有与所述第一电极指的电位相同的电位，所述第四电极指具有与所述第二电极指的电位相同的电位，其中，彼此相邻的所述第一电极指和所述第三电极指具有相同的电位，或者彼此相邻的所述第二电极指和所述第四电极指具有相同的电位。

14.根据权利要求13所述的横向耦合多模单片滤波器，其中所述信号电极包括第五电极指，该第五电极指具有与所述第一电极指的电位和所述第二电极指的电位不同的电位。

说明书

横向耦合多模单片滤波器

技术领域

[0001] 本发明的特定方面涉及横向耦合多模单片滤波器。

背景技术

[0002] 高频通信系统使用例如2GHz或更大的高频带来执行高速且大容量通信。作为用于高频器件的滤波器，已经知道使用具有高声速的压电膜的横向耦合多模单片滤波器。横向耦合多模单片滤波器具有被设计为具有跨越压电膜形成的地电极和信号电极的结构。信号电极包括如在例如日本专利申请公开号2009-188484和2009-188599中公开的施加有信号的两个或更多个电极。

[0003] 然而，信号电极的纵横比在滤波器的输入阻抗和输出阻抗被调节时可能增加。信号电极的纵横比的增加导致应力集中于压电膜并且可能导致破裂等。另选地，声波可能在信号电极的横向方向上泄露。

发明内容

[0004] 根据本发明的一个方面，提供了一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：衬底；压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；以及多个信号电极，所述多个信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且彼此并联布置，所述第二表面与所述第一表面相反，所述多个信号电极中的每一个包括第一电极指和第二电极指，其中，所述第一电极指和所述第二电极指具有不同的电位；所述多个信号电极中的相邻信号电极彼此相距一定距离，所述距离大于所述第一电极指和所述第二电极指的节距。

[0005] 根据本发明的另一方面，提供了一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：衬底；压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；以及信号电极，该信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且包括第一电极指和第二电极指，所述第二表面与所述第一表面相反，所述第二电极指具有与所述第一电极指的电位不同的电位，其中，所述压电膜在所述第一电极指和所述第二电极指的布置方向上在所述信号电极的外侧的至少一部分被去除。

[0006] 根据本发明的另一方面，提供了一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：衬底；压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；信号电极，该信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且包括第一电极指和第二电极指，所述第二表面与所述第一表面相反，所述第二电极指具有与所述第一电极指的电位不同的电位；以及介电膜，该介电膜在所述第一电极指和所述第二电极指的布置方向上形成在在所述信号电极的外侧的所述压电膜中并且与所述压电膜不同。

[0007] 根据本发明的另一方面，提供了一种横向耦合多模单片滤波器，该横向耦合多模单片滤波器包括：衬底；压电膜，该压电膜形成在所述衬底上；地电极，该地电极形成在所述压电膜的第一表面上；信号电极，该信号电极形成在所述压电膜的第二表面上并且包括第一电极指和第二电极指，所述第二表面与所述第一表面相反，所述第二电极指具有与所述第一电极指的电位不同的电位；以及反相电极，该反相电极在所述第一电极指和所述第二电极指的布置方向上在所述信号电极的外侧包括第三电极指和第四电极指，所述第三电极指具有与所述第一电极指的电位相同的电位，所述第四电极指具有与所述第二电极指的电位相同的电位，其中，彼此相邻的所述第一电极指和所述第三电极指具有相同的电位，或者彼此相邻的所述第二电极指和所述第四电极指具有相同的电位。

附图说明

[0008] 图1A是根据第一比较例的滤波器的平面图，并且图1B是沿着图1A中的线A-A截取的横截面图；

[0009] 图2A和图2B是例示了压电膜相对于位置的位移的图，并且图2C是频率对衰减的图；

[0010] 图3A是根据第二比较例的滤波器的平面图，并且图3B是沿着图3A中的线A-A截取的横截面图；

[0011] 图4A至图4C是例示了压电膜相对于位置的位移的图，并且图4D是频率对衰减的图；

[0012] 图5A是根据第三比较例的滤波器的平面图，并且图5B是沿着图5A中的线A-A截取的横截面图；

[0013] 图6A是根据第四比较例的滤波器的平面图，并且图6B是沿着图6A中的线A-A截取的横截面图；

[0014] 图7A是根据第三比较例的另选的滤波器的平面图，并且图7B是沿着图7A中的线A-A截取的横截面图；

[0015] 图8A是根据第一实施方式的滤波器的平面图，并且图8B是沿着图8A中的线A-A截取的横截面图；

[0016] 图9A是根据第一实施方式的第一变化的滤波器的平面图，并且图9B是沿着图9A中的线A-A截取的横截面图；

[0017] 图10A是根据第一实施方式的第二变化的滤波器的平面图，并且图10B是沿着图10A中的线A-A截取的横截面图；

[0018] 图11A是根据第一实施方式的第三变化的滤波器的平面图，并且图11B是沿着图11A中的线A-A截取的横截面图；

[0019] 图12A是根据第一实施方式的第四变化的滤波器的平面图，并且图12B是沿着图12A中的线A-A截取的横截面图；

[0020] 图13A是根据第二实施方式的滤波器的平面图，并且图13B是沿着图13A中的线A-A截取的横截面图；

[0021] 图14A是根据第二实施方式的第一变化的滤波器的平面图，并且图14B是沿着图14A中的线A-A截取的横截面图；

[0022] 图15A是根据第二实施方式的第二变化的滤波器的平面图，并且图15B是沿着图15A中的线A-A截取的横截面图；以及

[0023] 图16A和图16B分别是根据第三实施方式和第三实施方式的第一变化的滤波器的横截面图。

具体实施方式

[0024] 首先将给出根据比较例的横向耦合多模单片滤波器的描述。图1A是根据第一比较例的滤波器的平面图，并且图1B是沿着图1A中的线A-A截取的横截面图。图1A清楚地例示了压电膜14。图1B是示意性地例示了沿着图1A中的线A-A截取的横截面的横截面图，并且图1A和图1B在细节上可以稍微不同。这适用于下文的附图。如图1A和图1B所例示的，滤波器110包括形成在衬底10上的压电膜14。地电极12形成在压电膜14的第一表面(图1B中的下表面)上。信号电极18形成在压电膜14的第二表面(图1B中的上表面)上，第二表面与第一表面相反。地电极12被提供有地电位。信号电极18包括电极指16a和电极指16b。电极指16a和电极指16b具有不同的电位。空隙30形成在衬底10与地电极12之间。

[0025] 图2A和图2B是例示了压电膜相对于位置的位移的图，并且图2C是频率对衰减的图。在图2A和图2B中，位置表示在图1A中的A-A方向上的位置，并且位移表示压电膜14中的由于声波而导致的位移。在图2C中，衰减表示在电极指16a与电极指16b之间发送的高频信号的衰减。如图2A和图2B所例示的，在压电膜14中，对电极指16a和电极指16b施加高频信号激发压电对称的对称模式S0和压电反对称的反对称模式A0。如图2C所例示的，在衰减特性上，衰减在与对称模式S0和反对称模式A0对应的频率处小，而衰减在其它频率处大。因此，滤波器110作为带通滤波器。

[0026] 图3A是根据第二比较例的滤波器的平面图，并且图3B是沿着图3A中的线A-A截取的横截面图。如图3A和图3B所例示的，在滤波器112中，信号电极18包括具有与电极指16a和电极指16b的那些电位不同的电位的电极指16c。电极指16a至电极指16c被以相等间隔定位。其它结构与第一比较例的那些结构相同，进而省略了描述。

[0027] 图4A至图4C是例示了压电膜相对于位置的位移的图，并且图4D是频率对衰减的图。如图4A至图4C所例示的，当向电极指16c提供地电位并且对电极指16a和电极指16b施加高频信号时，在压电膜14中激发压电对称的两个对称模式S0和对称模式S1以及压电反对称的反对称模式A0。如图4D所例示的，滤波器特性展示了由于两个对称模式S0和对称模式S1以及单个反对称模式A0而导致的带通滤波器特性。

[0028] 图5A是根据第三比较例的滤波器的平面图，并且图5B是沿着图5A中的线A-A截取的横截面图。如图5A和图5B所例示的，滤波器114包括形成在其中的两个或更多个电极指16a以及形成在其中的两个或更多个电极指16b。电极指16a和电极指16b被布置为使得相邻电极指具有不同的电位。如所例示的，电极指16a和电极指16b形成多个对。其它结构与第一比较例的那些结构相同，进而省略了描述。

[0029] 图6A是根据第四比较例的滤波器的平面图，并且图6B是沿着图6A中的线A-A截取的横截面图。如图6A和图6B所例示的，滤波器116包括形成在其中的两个或更多个电极指16a、形成在其中的两个或更多个电极指16b以及形成在其中的两个或更多个电极指16c。如所例示的，电极指16a、电极指16b和电极指16c形成多个组。其它结构与第二比较例的那些结构相同，进而省略了描述。

[0030] 如第三比较例和第四比较例中所描述的，可以以复数形式形成电极指16a至电极指16c中的每一个。与第一比较例和第二比较例相比，这个结构使得能够使相位变化变陡。

[0031] 将给出在以第三比较例为例设计滤波器时的输入阻抗和输出阻抗的设计方法的描述。图7A是根据第三比较例的另选的滤波器的平面图，并且图7B是沿着图7A中的线A-A截取的横截面图。如图7B所例示的，滤波器114的信号电极18的输入阻抗和输出阻抗主要取决于电极指16a及电极指16b与地电极12之间的电容值C。因此，如图7A所例示的，输入阻抗和输出阻抗由电极交叠宽度W控制，所述电极交叠宽度W是电极指16a和电极指16b彼此交叠的宽度。随着电极交叠宽度W增大，电容值C增大，并且输入阻抗和输出阻抗减小。随着电极交叠宽度W减小，电容值C减小，并且输入阻抗和输出阻抗增大。

[0032] 可以考虑增加电极指16a和电极指16b的对数以减小输入阻抗和输出阻抗。然而，当改变对数时，包括通过特性和衰减特性的滤波器特性大大地改变。因此，为了在不改变滤波器特性的情况下设计输入阻抗和输出阻抗，通过电极交叠宽度W来控制输入阻抗和输出阻抗。

[0033] 然而，随着电极交叠宽度W增大，信号电极18的纵横比W/L增大。纵横比的增大导致应力集中于压电膜14，并且可能在压电膜14中导致破裂。例如，在被设计为使电极指16a和电极指16b形成在单个空隙30上方的结构中，当应力集中于压电膜14时，压电膜14容易损坏。

[0034] 第一实施方式

[0035] 图8A是根据第一实施方式的滤波器的平面图，并且图8B是沿着图8A中的线A-A截取的横截面图。如图8A和图8B所例示的，滤波器100包括信号电极18a和信号电极18b，所述信号电极18a包括电极指16a和电极指16b，并且所述信号电极18b包括电极指16a和电极指16b。信号电极18a和信号电极18b形成在单个空隙30上方。其中未形成电极指16a和电极指
16b的间隙区域22形成在信号电极18a与信号电极18b之间。其它结构与第三比较例的那些结构相同，进而省略了描述。

[0036] 衬底10可以是诸如硅衬底或GaAs衬底的半导体衬底，或诸如石英衬底、玻璃衬底或陶瓷衬底的绝缘衬底。地电极12和信号电极18可以由钌(Ru)、铬(Cr)、铝(Al)、钛(Ti)、铜(Cu)、钼(Mo)、钨(W)、钽(Ta)、铂(Pt)、铑(Rh)或铱(Ir)的单层膜或它们的多层膜制成。

[0037] 压电膜14可以由具有在(002)方向上的主轴的氮化铝(AlN)膜、氧化锌(ZnO)膜、锆钛酸铅(PZT)膜或钛酸铅(PbTiO3)膜制成。另外，当压电膜14是AlN膜时，它可以包括其它元素以改进谐振特性或以改进压电性。例如，使用钪(Sc)、二价元素和四价元素的两种元素或二价元素和五价元素的两种元素作为添加元素改进压电膜14的压电性。二价元素例如是钙(Ca)、镁(Mg)、锶(Sr)或锌(Zn)。四价元素例如是Ti、锆(Zr)或铪(Hf)。五价元素例如是Ta、铌(Nb)或钒(V)。

[0038] 第一实施方式形成信号电极18a和信号电极18b。信号电极18a和信号电极18b被并联布置。信号电极18a和信号电极18b在被视为电路时并联连接。这个结构增加如图8B所例示的面对地电极12的电极指16a(第一电极指)和电极指16b(第二电极指)的数量，从而即使当电极交叠宽度W减小时，与第三比较例的结构相比也使得能够增大信号电极18与地电极12之间的电容值。因此，与第三比较例中的纵横比相比，减小了信号电极18的纵横比W/L。因此，减小了应力在压电膜14上的集中，并且防止了压电膜14被损坏。

[0039] 此外，相邻的信号电极18a和信号电极18b彼此相距距离G，该距离G大于电极指16a和电极指16b的节距P。这个结构使得从信号电极18a发射的声波能够在间隙区域22中衰减并且到达信号电极18b。因此，防止了信号电极18a的特性受从信号电极18b发射的声波影响。如上所述，减小了信号电极18a与信号电极18b之间的干扰。因此，在设置有单个信号电极的情况与设置有多个信号电极的情况之间减小了特性的差异。通过将单个信号电极的阻抗乘以信号电极18a和信号电极18b的数量容易地配置输入阻抗和输出阻抗。当节距在电极指16a与电极指16b中变化时，仅要求相邻的信号电极18a和信号电极18b彼此相距比电极指16a和电极指16b的平均节距P大的距离G。

[0040] 当施加到信号电极18a和信号电极18b的高频信号具有2GHz的频率时，压电膜14具有大约1μm的膜厚度，节距P为大约3μm，并且距离G为大约10μm。

[0041] 图9A是根据第一实施方式的第一变化的滤波器的平面图，并且图9B是沿着图9A中的线A-A截取的横截面图。如图9A和图9B所例示的，滤波器101包括通过去除压电膜14形成在间隙区域22中的凹部24。其它结构与第一实施方式的那些结构相同，进而省略了描述。

[0042] 第一实施方式的第一变化去除压电膜14在相邻的信号电极18a与信号电极18b之间的至少一部分。凹部24防止从信号电极18a发射的声波到达信号电极18b。这使得能够即使当间隙区域22的距离G小时也减小信号电极18a与信号电极18b之间的干扰。因此，进一步减小了滤波器的尺寸。

[0043] 凹部24可以垂直地穿透压电膜14，或者压电膜14可以保持在凹部24下方。凹部24可以具有大于电极交叠宽度W的长度，或者具有小于电极交叠宽度W的长度。

[0044] 图10A是根据第一实施方式的第二变化的滤波器的平面图，并且图10B是沿着图10A中的线A-A截取的横截面图。如图10A和图10B所例示的，滤波器102包括在压电膜14中形成在间隙区域22内的介电膜26。其它结构与第一实施方式的那些结构相同，进而省略了描述。

[0045] 第一实施方式的第二变化在相邻的信号电极18a与信号电极18b之间的压电膜14中形成与压电膜14不同的介电膜26。介电膜26防止从信号电极18a发射的声波到达信号电极18b。这使得能够即使在间隙区域22的距离G小时也减小信号电极18a与信号电极18b之间的干扰。因此，进一步减小了滤波器的尺寸。

[0046] 例如，介电膜26可以是氧化硅膜、氮化硅膜或氧化铝膜。要求介电膜26在膜厚度方向上形成在压电膜14的至少一部分中。介电膜26可以具有大于电极交叠宽度W的长度，或者可以具有小于电极交叠宽度W的长度。

[0047] 图11A是根据第一实施方式的第三变化的滤波器的平面图，并且图11B是沿着图11A中的线A-A截取的横截面图。如图11A和图11B所例示的，在滤波器103中，跨越间隙区域
22彼此毗邻的电极指是电极指16b。

[0048] 在第一实施方式的第二变化中，彼此毗邻的信号电极18a的电极指16a和信号电极18b的电极指16a具有相同的电位，或者彼此毗邻的信号电极18a的电极指16b和信号电极
18b的电极指16b具有相同的电位。因此，从信号电极18a向信号电极18b发射的声波的相位与从信号电极18b向信号电极18a发射的声波的相位相反。这防止信号电极18a的特性受从信号电极18b发射的声波影响。因此，即使当间隙区域22的距离G小时，也减小了信号电极
18a与信号电极18b之间的干扰。因此，进一步减小了滤波器的尺寸。

[0049] 图12A是根据第一实施方式的第四变化的滤波器的平面图，并且图12B是沿着图12A中的线A-A截取的横截面图。如图12A和图12B所例示的，在滤波器104中，信号电极18a和信号电极18b中的每一个包括电极指16a至电极指16c。电极指16a至电极指16c具有不同的电位。例如，电极指16c被提供有地电位。

[0050] 在第一实施方式的第四变化中，信号电极18a和信号电极18b中的每一个包括具有与电极指16a和电极指16b的电位不同的电位的电极指16c。如上所述，第四比较例的两个或更多个信号电极18a和信号电极18b在被视为电路时可以并联连接。

[0051] 如第一实施方式的第四变化中所描述的，要求对在第一实施方式及其第一至第三变化中的信号电极18a和信号电极18b中的每一个中包括的电极指施加两个或更多个不同的电位。

[0052] 在第一实施方式及其变化中，三个或更多个信号电极18a和信号电极18b在被视为电路时可以并联连接。如第一比较例中所描述的，信号电极18a可以包括一个电极指16a和一个电极指16b，或者包括两个或更多个电极指16a和两个或更多个电极指16b。如第一比较例中所描述的，信号电极18b可以包括一个电极指16a和一个电极指16b，或者包括两个或更多个电极指16a和两个或更多个电极指16b。

[0053] 第二实施方式

[0054] 图13A是根据第二实施方式的滤波器的平面图，并且图13B是沿着图13A中的线A-A截取的横截面图。如图13A和图13B所例示的，滤波器105包括单个信号电极18。凹部24在信号电极18的电极指16a和电极指16b的布置方向上形成。凹部24具有与第一实施方式的第一变化的结构相同的结构。其它结构与第一实施方式的那些结构相同，进而省略了描述。

[0055] 第二实施方式去除压电膜14在电极指16a和电极指16b的布置方向上在信号电极18的外侧的至少一部分。这个结构防止从信号电极18发射的声波在信号电极18的横向方向上向外传播。因此，例如，减小了和与信号电极18相邻的信号电极之间的干扰。要求凹部24位于信号电极18的两侧中的一侧。在第一实施方式及其变化中，凹部24还可以位于最外侧的信号电极18的外侧。

[0056] 图14A是根据第二实施方式的第一变化的滤波器的平面图，并且图14B是沿着图14A中的线A-A截取的横截面图。如图14A和图14B所例示的，滤波器106包括单个信号电极
18。介电膜26在信号电极18的电极指16a和电极指16b的布置方向上形成。介电膜26具有与第一实施方式的第二变化的结构相同的结构。其它结构与第一实施方式的那些结构相同，进而省略了描述。

[0057] 第二实施方式的第一变化在电极指16a和电极指16b的布置方向上在信号电极18的外侧的压电膜14中形成与压电膜14不同的介电膜26。这个结构防止从信号电极18发射的声波在信号电极18的横向方向上向外传播。因此，例如，减小了和与信号电极18相邻的信号电极之间的干扰。要求介电膜26位于信号电极18的两侧中的一侧。在第一实施方式及其变化中，介电膜26可以形成在最外侧的信号电极18的外侧。

[0058] 图15A是根据第二实施方式的第二变化的滤波器的平面图，并且图15B是沿着图15A中的线A-A截取的横截面图。如图15A和图15B所例示的，滤波器107包括单个信号电极
18。反相电极20在信号电极18的电极指16a和电极指16b的布置方向上形成。反相电极20包括具有与电极指16a相同的电位的电极指21a以及具有与电极指16b相同的电位的电极指
21b。反相电极20在信号电极18的横向方向上发射具有与从信号电极18发射的声波的相位相反的相位的声波。其它结构与第一实施方式的那些结构相同，进而省略了描述。

[0059] 第二实施方式的第二变化在电极指16a和电极指16b的布置方向上在信号电极18的外侧设置反相电极20。反相电极20包括具有与电极指16a相同的电位的电极指21a(第三电极指)以及具有与电极指16b相同的电位的电极指21b(第四电极指)。相邻的电极指16a和电极指21a具有相同的电位，或者相邻的电极指16b和电极指21b具有相同的电位。如上所述，具有相同的电位的电极指16a和电极指21a被连续地定位，并且具有相同的电位的电极指16b和电极指21b被连续地定位。这个结构防止从信号电极18发射的声波抵消从电极指21a或电极指21b发射的声波，并且防止从信号电极18发射的声波在信号电极18的横向方向上向外传播。因此，减小了和与信号电极18相邻的信号电极之间的干扰。相邻的电极指16a与电极指21a之间的距离可以与信号电极18中的电极指16a与电极指16b之间的距离相同或不同。要求反相电极20位于信号电极18的两侧中的一侧。在第一实施方式和该实施方式的变化中，反相电极20可以位于最外侧的信号电极18的外侧。

[0060] 在第二实施方式及其变化中，与在第四比较例中一样，电极指可以包括具有与电极指16a和电极指16b的电位不同的电位的电极指16c。如上所述，要求对在信号电极18中包括的电极指施加两个或更多个不同的电位。与在第一比较例中一样，信号电极18可以包括一个电极指16a和一个电极指16b，或者包括两个或更多个电极指16a和两个或更多个电极指16b。

[0061] 第三实施方式

[0062] 第三实施方式及其变化改变空隙的结构。图16A和图16B分别是根据第三实施方式和第三实施方式的第一变化的滤波器的横截面图。如图16A所例示的，凹部形成在衬底10的上表面中。地电极12平坦地形成在衬底10上。因此，空隙30形成在衬底10的凹部中。空隙30被形成为包括信号电极18a和信号电极18b。其它结构与第一实施方式的那些结构相同，进而省略了描述。可以将空隙30形成为贯穿衬底10。可以将绝缘膜形成为接触地电极12的下表面。也就是说，空隙30可以形成在衬底10与接触地电极12的绝缘膜之间。例如，绝缘膜可以是氮化铝膜。

[0063] 如图16B所例示的，声反射镜31形成在地电极12下方。声反射镜31通过交替地堆叠具有低声阻抗的膜30a和具有高声阻抗的膜30b而形成。膜30a和膜30b具有例如λ/4(λ为声波的波长)的膜厚度。膜30a和膜30b的堆叠层的数量被自由地选择。其它结构与第一实施方式的那些结构相同，进而省略了描述。

[0064] 可以在第一实施方式和第二实施方式及其变化中与在第三实施方式中一样形成空隙30，或者可以与在第三实施方式的第一变化中一样形成声反射镜31代替空隙30。空隙30和声反射镜31用作反射传播通过压电膜14的声波的反射器。

[0065] 在第一至第三实施方式及其变化中，地电极12形成在压电膜14的下表面上，并且信号电极18形成在压电膜14的上表面上。然而，地电极12可以形成在压电膜14的上表面上，并且信号电极18可以形成在压电膜14的下表面上。

[0066] 尽管已经详细地描述了本发明的实施方式，但是应当理解，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，能够对本发明做出各种改变、替换和变更。