互补型薄膜晶体管及其制造方法转让专利
申请号 : CN201610113713.8
文献号 : CN105742309B
文献日 : 2019-05-03
发明人 : 曾勉 , 萧祥志 , 张盛东
摘要 :
本发明公开一种互补型薄膜晶体管及其制造方法,所述互补型薄膜晶体管包含一基板、一N型半导体层、一P型半导体层、一第一钝化层、一第一电极金属层及一第二电极金属层,所述N型半导体层设置在所述基板上方,所述N型半导体层包含一金属氧化物材料;所述P型半导体层设置在所述N型半导体层上方,所述P型半导体层包含一有机半导体材料;所述第一钝化层设置在所述N型半导体层及所述P型半导体层之间,且形成有至少一接触过孔;所述第一电极金属层及第二电极金属层通过所述接触过孔电性连接。