一种硅片边缘保护装置

摘要

本发明公开了一种硅片边缘保护装置，包括：水平运动机构；垂直运动机构；调速装置，用于调节所述垂直运动机构的运行速度；柔性防撞机构，用于连接所述水平运动机构和所述垂直运动机构；控制装置，所述控制装置与所述调速装置信号连接，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动。本发明提供的硅片边缘保护装置可以避免瞬间强烈冲击工件台，避免压碎硅片；当发生碰撞时，可以保护工作台和硅片；并且提高了生产效率。

权利要求

1.一种硅片边缘保护装置，其特征在于，包括：

水平运动机构；

垂直运动机构；

调速装置，用于调节所述垂直运动机构的运行速度；

柔性防撞机构，用于连接所述水平运动机构和所述垂直运动机构；

控制装置，所述控制装置与所述调速装置信号连接，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动；

还包括碰撞信号检测及保护机构，用于检测所述水平运动机构相对于所述垂直运动机构的振动信号，并根据振动信号发出报警信号和保护信号；所述碰撞信号检测及保护机构与所述控制装置信号连接，所述控制装置接收报警信号和保护信号，根据报警信号和保护信号，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动。

2.根据权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述水平运动机构包括：固定盘；

三偏心凸轮盘，所述三偏心凸轮盘通过轴承固定在所述固定盘上方，所述三偏心凸轮盘上均匀设置若干个偏心槽；

水平方向气缸，所述水平方向气缸一端与所述固定盘连接，另一端与所述三偏心凸轮连接；

凸轮随动器，所述凸轮随动器设置在所述三偏心凸轮盘的偏心槽内；

保护爪，所述保护爪嵌在所述固定盘中，所述保护爪一端与所述凸轮随动器固定连接，另一端用于抓取或释放保护环。

3.根据权利要求2所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述水平方向气缸通过第一铰轴与所述固定盘连接，通过第二铰轴与所述三偏心凸轮连接。

4.根据权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述垂直运动机构上端固定连接有垂直方向固定组件，所述垂直运动机构下端通过转接板组件与所述柔性防撞机构连接。

5.根据权利要求4所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述垂直运动机构是垂直方向气缸。

6.根据权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述调速装置是设置在气源上的伺服阀。

7.根据权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述柔性防撞机构包括柔性片和用于对所述柔性片限位的限位机构，所述柔性片与所述垂直运动机构连接，所述柔性片与所述水平运动机构固定连接。

8.根据权利要求7所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述柔性片通过转接板组件与所述垂直运动机构连接。

9.根据权利要求8所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述限位机构包括至少两个限位杆，所述两个限位杆的底部均与所述水平运动机构固定连接，所述限位杆从下至上依次贯穿所述柔性片和所述转接板组件，所述限位杆上端设有锁紧螺母。

10.根据权利要求9所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述限位杆均匀设置在所述柔性片周围。

11.根据权利要求9所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述限位杆上端套有限位垫圈。

12.根据权利要求8至11任意一项所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述柔性片呈圆形，所述柔性片至少一个表面设有围成一圈的若干个筋条；所述筋条围成的圈内侧的柔性片与所述转接板组件固定连接，所述筋条围成的圈外侧的柔性片与所述水平运动机构固定连接。

13.根据权利要求12所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述筋条围成的圈外侧设有一圈外孔，所述筋条围成的圈内侧设有内孔；所述柔性片的外孔处通过螺钉与所述转接板组件固定连接；所述柔性片的内孔处通过螺钉与所述水平运动机构固定连接。

14.根据权利要求12所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述筋条呈伞形状。

15.根据权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述碰撞信号检测及保护机构包括至少一个碰撞检测传感器，所述碰撞检测传感器与所述水平运动机构以及所述垂直运动机构信号连接。

16.根据权利要求15所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述碰撞检测传感器通过传感器支架固定在所述硅片边缘保护装置上。

说明书

一种硅片边缘保护装置

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种硅片边缘保护装置。

背景技术

[0002] 光刻装置主要用于集成电路IC或其他微型器件的制造。通过光刻装置，可将掩膜图形成像于涂覆有光刻胶的硅片。光刻装置通过投影物镜曝光，将设计的掩模图形转移到光刻胶上，而作为光刻装置的核心元件，硅片边缘保护对实现负胶工艺曝光过程硅片边缘保护功能有重要的影响。

[0003] 光刻胶，也称光致抗蚀剂(简称抗蚀剂)或光敏胶，也有地区称光阻或光阻剂，可分为正光刻胶(简称正胶)和负光刻胶(简称负胶)两类。将光刻胶涂覆于硅片上，曝光后，曝光部分被显影剂溶解的光刻胶称为正光刻胶，非曝光部分被显影液溶解的光刻胶称为负光刻胶。硅片边缘保护装置就是为负胶光刻工艺而产生的一种装置。

[0004] 现有技术中的硅片边缘保护装置是利用保护环遮挡硅片边缘，保护硅片边缘在曝光过程中不会被曝光，所述保护环是一种中央部分镂空，边缘为实体的遮光屏蔽物件。这种硅片边缘保护装置包括保护环机械传送机构和控制模块，当光刻设备的工件台携带硅片运动至硅片边缘保护装置正下方交接保护环位置时，控制模块控制保护环机械传送机构将保护环传送到工件台上或者从工件台上取回保护环。请参考图3b和4b，现有技术中这种硅片边缘保护装置不设置调速装置，控制装置直接输出开关信号至气源的开关阀，通过开关阀调控气体压力，然后控制保护环机械传送机构垂直方向气缸运动，保护环机械传送机构向下运动过程中，先加速运动至V1，加速运动至一定程度后一直速度保持V1匀速运动，当保护环机械传送机构与光刻设备中携带硅片的工作台碰撞时，硅片边缘保护装置的运动速度较大，二者之间的冲击力较大，会破坏工作台和硅片。

[0005] 因此，为了防止破坏工作台和硅片，在光刻装置狭窄空间中，硅片边缘保护装置的安全性和可靠性要求很高，特别是在调试过程中时，如果工件台和硅片边缘保护装置的相对位置不正确，硅片边缘保护装置与工件台相撞，硅片边缘保护装置瞬间强烈冲击工件台，请参考图6b，碰撞产生强烈的振动信号，瞬间强烈的冲击会对工件台的结构和性能造成永久性破坏；并振动或者直接压碎硅片。通过减小硅片边缘保护装置垂直方向的速度可以减小硅片边缘保护装置对工件台和硅片的冲击，但是会导致生产效率下降。

[0006] 现有技术中还提供一种硅片边缘保护装置，通过一个动力源来完成多个径向同步力，使一种直线位移转化为多个等分径向位移，从而实现保护环的交换，需要动力源少，同步性高。但是这种硅片边缘保护装置在工作过程中，发生碰撞时，无法对工件台保护，存在安全隐患。

发明内容

[0007] 为了提高安全性能，保护工作台和硅片，本发明提供一种硅片边缘保护装置。

[0008] 为了解决以上技术问题，本发明的技术方案是：一种硅片边缘保护装置，包括：水平运动机构；垂直运动机构；调速装置，用于调节所述垂直运动机构的运行速度；柔性防撞机构，用于连接所述水平运动机构和所述垂直运动机构；控制装置，所述控制装置与所述调速装置信号连接，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动。

[0009] 作为优选，还包括碰撞信号检测及保护机构，用于检测所述水平运动机构相对于所述垂直运动机构的振动信号，并根据振动信号发出报警信号和保护信号；所述碰撞信号检测及保护机构与所述控制装置信号连接，所述控制装置接收报警信号和保护信号，根据报警信号和保护信号，发出控制信号至调速装置，控制所述垂直运动机构的运动。

[0010] 作为优选，所述水平运动机构包括：固定盘；三偏心凸轮盘，所述三偏心凸轮盘通过轴承固定在所述固定盘上方，所述三偏心凸轮盘上均匀设置若干个偏心槽；水平方向气缸，所述水平方向气缸一端与所述固定盘连接，另一端与所述三偏心凸轮连接；凸轮随动器，所述凸轮随动器设置在所述三偏心凸轮盘的偏心槽内；保护爪，所述保护爪嵌在所述固定盘中，所述保护爪一端与所述凸轮随动器固定连接，另一端用于抓取或释放保护环。

[0011] 作为优选，所述水平方向气缸通过第一铰轴与所述固定盘连接，通过第二铰轴与所述三偏心凸轮连接。

[0012] 作为优选，所述垂直运动机构上端固定连接有垂直方向固定组件，所述垂直运动机构下端通过转接板组件与所述柔性防撞机构连接。

[0013] 作为优选，所述垂直运动机构是垂直方向气缸。

[0014] 作为优选，所述调速装置是设置在气源上的伺服阀。

[0015] 作为优选，所述柔性防撞机构包括柔性片和用于对所述柔性片限位的限位机构，所述柔性片与所述垂直运动机构连接，所述柔性片与所述水平运动机构固定连接。

[0016] 作为优选，所述柔性片通过转接板组件与所述垂直运动机构连接。

[0017] 作为优选，所述限位机构包括至少两个限位杆，所述两个限位杆的底部均与所述水平运动机构固定连接，所述限位杆从下至上依次贯穿所述柔性片和所述转接板组件，所述限位杆上端设有锁紧螺母。

[0018] 作为优选，所述限位杆均匀设置在所述柔性片周围。

[0019] 作为优选，所述限位杆上端套有限位垫圈。

[0020] 作为优选，所述柔性片呈圆形，所述柔性片至少一个表面设有围成一圈的若干个筋条；所述筋条围成的圈内侧的柔性片与所述转接板组件固定连接，所述筋条围成的圈外侧的柔性片与所述水平运动机构固定连接。

[0021] 作为优选，所述筋条围成的圈外侧设有一圈外孔，所述筋条围成的圈内侧设有内孔；所述柔性片的外孔处通过螺钉与所述转接板组件固定连接；所述柔性片的内孔处通过螺钉与所述水平运动机构固定连接。

[0022] 作为优选，所述筋条呈伞形状。

[0023] 作为优选，所述防撞信号检测及保护机构包括至少一个碰撞检测传感器，所述碰撞检测传感器与所述水平运动机构以及所述垂直运动机构信号连接。

[0024] 作为优选，所述碰撞检测传感器通过传感器支架固定在所述硅片边缘保护装置上。

[0025] 本发明所提供的硅片边缘保护装置，通过设置调速装置控制垂直运动机构的速度，控制装置通过调速装置控制所述垂直运动机构先加速运动；速度加速至一定程度时，保持匀速运动；当所述垂直运动机构带动所述水平运动机构运动接近工作台时，减速运动，当所述水平运动机构运动至接近工作台上方，所述垂直运动机构运动速度已经大大减小，减小了所述水平运动机构与工件台发生碰撞的几率，并且减小所述水平运动机构与工作台相互碰撞时二者之间的冲击力，避免所述水平运动机构瞬间强烈冲击工件台，减小了硅片边缘保护装置的振动幅度，避免所述水平运动机构压碎硅片。相比不设置调速装置的情况，设置调速装置后，所述垂直运动机构在匀速运动阶段的运动速度大大提高，进而提高了生产效率。因此，设置调速装置可以在保证生产效率的基础上，保护工件台和硅片。

[0026] 通过设置柔性防撞机构减小碰撞时硅片边缘保护装置振动幅度，当硅片边缘保护装置与工作台碰撞时，减小硅片边缘保护装置与工作台碰撞时二者之间的冲击力，避免硅片边缘保护装置瞬间强烈冲击工件台，进而避免硅片边缘保护装置压碎硅片。

[0027] 通过设置所述碰撞信号检测及保护机构，检测所述水平运动机构相对于所述垂直运动机构的振动信号，当振动信号没有超过阈值时，所述硅片边缘保护装置正常运动；当振动信号超过阈值时，则判定为发生碰撞，所述碰撞信号检测及保护机构发出报警信号和保护信号；控制装置接收报警信号后报警。同时控制装置接收保护信号，通过调速装置控制所述硅片边缘保护装置执行保护运动，及时结束碰撞动作，保护工件台，避免压碎硅片。

附图说明

[0028] 图1是本发明一实施例的硅片边缘保护装置的主视图；

[0029] 图2是本发明一实施例的硅片边缘保护装置的立体图；

[0030] 图3a是设置调速装置后硅片边缘保护装置速度控制方法示意图；

[0031] 图3b是不设置调速装置时硅片边缘保护装置速度控制方法示意图；

[0032] 图4a是设置调速装置后硅片边缘保护装置速度变化示意图；

[0033] 图4b是不设置调速装置时硅片边缘保护装置速度变化示意图；

[0034] 图5a是本发明一实施例的硅片边缘保护装置的柔性片的结构示意图；

[0035] 图5b是本发明一实施例的硅片边缘保护装置的柔性片在不同运动状态时的示意图；

[0036] 图6a是本发明一实施例中硅片边缘保护装置与工作台发生碰撞时水平运动机构相对于垂直运动机构的振动信号示意图；

[0037] 图6b是现有技术中硅片边缘保护装置与工作台发生碰撞时的振动信号示意图。

[0038] 图中所示：1、垂直运动机构，2、垂直方向固定组件，3、碰撞检测传感器，4、保护环，5、保护爪，6、传感器支架，7、固定盘，8、柔性片，8-1、外孔，8-2、筋条，8-3、内孔，8a、柔性片稳定状态，8b、柔性片加速度向下运动或者碰撞状态，8c、柔性片加速向上运动状态，9、转接板组件，10、限位杆，11、限位垫圈，12、锁紧螺母，13、水平方向气缸，14、第一铰轴，15、第二铰轴，16、三偏心凸轮，17、凸轮随动器、18、轴承，19、气源，20、调速装置。

具体实施方式

[0039] 下面结合附图对本发明作详细描述。

[0040] 请参考图1和图2，一种硅片边缘保护装置，包括：水平运动机构；垂直运动机构1；调速装置20：用于调节所述垂直运动机构1的运行速度；柔性防撞机构：用于连接所述水平运动机构和所述垂直运动机构1；碰撞信号检测及保护机构3：用于检测所述水平运动机构相对于所述垂直运动机构1的振动信号，并根据振动信号发出报警信号和保护信号；控制装置(图未示出)，所述控制装置与所述调速装置20信号连接，发出控制信号至调速装置20，控制所述垂直运动机构1的运动。

[0041] 所述硅片边缘保护装置还包括碰撞信号检测及保护机构3，用于检测所述水平运动机构相对于所述垂直运动机构1的振动信号，并根据振动信号发出报警信号和保护信号；所述碰撞信号检测及保护机构3与所述控制装置信号连接，所述控制装置接收报警信号和保护信号，根据报警信号和保护信号，发出控制信号至调速装置20，控制所述垂直运动机构
1的运动，所述垂直运动机构1的运动带动所述水平运动机构运动，防止所述水平运动机构与工作台发生强烈撞击。

[0042] 继续参考图1和图2，所述水平运动机构包括：固定盘7、三偏心凸轮盘16、水平方向气缸13、凸轮随动器17、保护环4、保护爪5；所述三偏心凸轮盘16通过轴承18固定在所述固定盘7上，所述三偏心凸轮盘16以所述轴承18的圆柱面为滑动轴作圆周运动，所述三偏心凸轮盘16上均匀设置若干个偏心槽；所述水平方向气缸13一端与所述固定盘7连接，另一端与所述三偏心凸轮16连接；所述凸轮随动器17设置在所述三偏心凸轮盘16的偏心槽内；所述保护爪5嵌在所述固定盘7中，通过直线导轨与所述固定盘7连接；保护爪5可以沿着直线导轨相对于所述固定盘7做径向运动，所述保护爪5一端与所述凸轮随动器17固定连接，另一端与所述保护环4接触连接，凸轮随动器17带动所述保护抓5在固定盘7内进行径向往复运动，从而实现对保护环4的抓取与释放。所述保护爪5还对所述保护环4的过载保护作用。

[0043] 较佳的，所述水平方向气缸13通过第一铰轴14与所述固定盘7连接，通过第二铰轴15与所述三偏心凸轮16连接。

[0044] 水平方向气缸13通气后，所述水平方向气缸13驱动所述三偏心凸轮16做圆周运动，所述三偏心凸轮16通过所述偏心槽带动所述凸轮随动器17作径向运动，所述凸轮随动器17带动所述保护爪5沿着直线导轨相对固定盘7做径向运动，实现所述保护爪5对所述保护环4的夹紧和松开，从而实现所述保护环4的交换，将所述保护环4传送到工件台上或者从工件台上取回所述保护环4。

[0045] 请参考图1和图2，所述垂直运动机构1是垂直方向气缸，所述垂直方向气缸上端固定连接有垂直方向固定组件2，所述垂直方向气缸下端通过转接板组件9与所述柔性防撞机构连接。

[0046] 请参考图3a，结合图1和图2，本实施例中，所述调速装置20是设置在气源19上的伺服阀，所述伺服阀与所述控制装置信号连接。，工作过程中，控制装置向所述伺服阀输出电压控制信号，伺服阀接收控制装置发出的电压控制信号，相应输出调制的流量和压力，调节气源19输入所述垂直方向气缸的气体压力或流量，从而控制所述垂直方向气缸的运动速度，所述垂直方向气缸带动所述水平运动机构运动。

[0047] 请参考图4a、4b，结合图1和图2，V1现有技术中硅片边缘保护装置匀速运动阶段的速度，V2是本实施例中硅片边缘保护装置匀速运动阶段的速度，V3是所述水平运动机构运动至接近工作台上方或处于交接保护环4状态时所述硅片边缘保护装置的速度。控制装置通过调速装置20控制所述垂直方向气缸先加速运动；速度加速至V2时，保持匀速运动；当所述垂直方向气缸带动所述水平运动机构运动接近工作台时，减速运动，当所述水平运动机构运动至接近工作台上方，处于交接保护环4状态时，所述垂直方向气缸运动速度已经减小至V3，因此减小了所述水平运动机构与工件台发生碰撞的几率，并且减小所述水平运动机构与工作台相互碰撞时二者之间的冲击力，避免所述水平运动机构瞬间强烈冲击工件台，减小了硅片边缘保护装置的振动幅度，避免所述水平运动机构压碎硅片。从图4a和图4b可以看出，相比不设置调速装置20的情况，设置调速装置后，所述垂直方向气缸在匀速运动阶段的运动速度大大提高，进而提高了生产效率。因此，设置调速装置20可以在保证生产效率的基础上，保护工件台和硅片。

[0048] 所述柔性防撞机构包括柔性片8和用于对所述柔性片8限位的限位机构，所述柔性片8上方与所述垂直运动机构1连接，所述柔性片8下方与所述水平运动机构固定连接。较佳的，所述柔性片8上方通过转接板组件9与所述垂直运动机构1连接。所述柔性片8下方与所述水平运动机构的固定盘7固定连接。

[0049] 较佳的，所述限位机构包括至少两个限位杆10，所述限位杆10底部与所述水平运动机构固定连接，所述限位杆10从下至上依次贯穿所述柔性片8和所述转接板组件9，所述限位杆10上端设有锁紧螺母12。通过锁紧螺母12锁紧所述限位杆10，防止水平向运动机构和垂直运动机构1相互远离，限制水平向运动机构和垂直运动机构1相对位置。所述限位杆10均匀设置在所述柔性片8周围，便于所述限位机构对所述柔性片均匀限位。所述限位杆10上端套有限位垫圈11，所述限位垫圈11用于缓冲所述锁紧螺母12，防止所述锁紧螺母12固定过紧而转不开。

[0050] 请参考图5a，结合图1和图2，所述柔性片8是圆形，所述柔性片8至少一个表面设有围成一圈的若干个筋条8-2；所述筋条8-2围成的圈内侧的柔性片8与所述转接板组件9固定连接，所述筋条8-2围成的圈外侧的柔性片8与所述水平运动机构的固定盘7固定连接。

[0051] 较佳的，所述筋条8-2是伞形状。所述筋条8-2围成的圈外侧设有一圈外孔8-1，所述筋条8-2围成的圈内侧设有内孔8-3；所述柔性片8的外孔8-1处通过螺钉与所述转接板组件9固定连接；所述柔性片8的内孔8-3处通过螺钉与所述水平运动机构固定连接。所述柔性片8的内孔8-3处通过螺钉与所述水平运动机构的固定盘7固定连接。

[0052] 请参考图5b，结合图1和图2，柔性片8稳定状态下，柔性片8受到水平向运动机构的拉力作用，柔性片8中间部分的筋条8-2发生弯曲变形，整个柔性片8呈伞状。如图5b中的8a是设置限位机构后柔性片8处于稳定状态的情况。

[0053] 如果不设置限位机构，水平向运动机构加速度向下或者受向上的碰撞力时，柔性片8的扇状弯曲程度相比稳定状态时减小，此时柔性片8形状如图5b中的8b，水平向运动机构和垂直运动机构1相互靠近；水平向运动机构加速向上运动时，柔性片8的扇状弯曲程度相比稳定状态时增大，此时柔性片8形状如图5b中的8c，水平向运动机构和垂直运动机构1相互远离。

[0054] 通过设置限位机构，柔性片8的弯曲程度受到限制，避免水平向运动机构和垂直运动机构1相互远离。硅片边缘保护装置向下运动至和工件台处于交接保护环4状态时，水平向运动机构与工件台只有0.4mm高度的间隙。限位机构限制柔性片8变形程度，当所述水平向运动机构和所述垂直运动机构1有远离趋势时，限位机构保证所述水平向运动机构和所述垂直运动机构1二者之间的相对位置，防止水平向运动机构和垂直运动机构1相互远离，防止由于柔性片8变形导致水平向运动机构向下运动，避免水平向运动机构与工件台发生碰撞。保证交接保护环4过程中，所述柔性防撞机构与现有技术中刚性连接具有相同的效果。

[0055] 柔性片8不但要在水平方向上具备足够的刚度保证柔性片不发生扭转，而且在垂直方向上要提供水平向运动机构的重力支撑及一定量的柔性变形；两者之间需要达到合适的平衡点。通过改变柔性片8厚度和筋条8-2的宽度可以调整柔性片8的刚度。较佳的，当柔性片8厚度1mm，筋条8-2是八条，筋条8-2宽7mm，刚度达到：当柔性片8负载100N时，稳定状态时，柔性片8垂直方向位移为1mm，刚度为0.01mm/N，柔性片8水平方向未发生扭转现象。

[0056] 请参考图6a和图6b，结合图1和图2，A代表振幅，单位是Hz，与现有技术中的刚性碰撞相比，采用柔性片8使水平向运动机构与工作台之间的瞬间冲击缓冲为较长时间的柔性碰撞过程，碰撞产生的振动幅度大大减小，为检测碰撞信号的检测提供了充足的时间，便于所述防撞信号检测及保护机构及时发出保护信号，控制装置及时控制垂直运动气缸1做出相应的保护动作，避免硅片边缘保护装置瞬间强烈冲击工件台，减小振动幅度，避免压碎硅片。

[0057] 请参考图1和图2，所述防撞信号检测及保护机构包括至少一个碰撞检测传感器3，所述碰撞检测传感器3与所述水平运动机构以及所述垂直运动机构1信号连接，所述碰撞检测传感器3通过传感器支架6固定在硅片边缘保护装置上。较佳的，所述碰撞检测传感器3通过传感器支架6固定在所述转接板组件9上。碰撞检测传感器3能够检测所述硅片边缘保护装置工作过程中检测所述水平运动机构相对于所述垂直运动机构1的振动信号。

[0058] 碰撞检测传感器3检测所述水平运动机构相对于所述垂直运动机构1的振动信号，当振动信号没有超过阈值时，所述硅片边缘保护装置正常运动；当振动信号超过阈值时，则判定为发生碰撞，所述碰撞检测传感器3发出报警信号和保护信号；控制装置接收报警信号后报警。

[0059] 保护信号分为上升信号和停止信号两种。当所述硅片边缘保护装置垂直向下运动，并且保护环4夹持在所述水平运动机构上时，所述碰撞检测传感器3发出上升信号；控制装置接收碰撞检测传感器3发出的上升信号，通过调速装置20控制所述硅片边缘保护装置向上运动，保护工件台，避免压碎硅片。

[0060] 当所述硅片边缘保护装置处于其他工况时均发出停止信号，控制装置接收碰撞检测传感器3发出的停止信号，通过调速装置20控制所述硅片边缘保护装置停止运动，及时结束碰撞动作。

[0061] 本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。