一种新型多片衬底喷涂装置

摘要

本发明涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种新型多片衬底喷涂装置。该新型多片衬底喷涂装置，包括工作面板、垫块底座、绝热底板、硅胶加热器、加热板和载片夹具。本发明所涉及的一种新型多片衬底喷涂装置能够同时在多个衬底放置方片上放置衬底，同时完成了多片衬底的喷涂，并且载片夹具更换方便。此外，该新型多片衬底喷涂装置结构设计合理，对衬底的喷涂高效快捷，适合推广使用。

权利要求

1.一种新型多片衬底喷涂装置，包括工作面板（1）、垫块底座（2）、绝热底板（3）、硅胶加热器（4）、加热板（5）和载片夹具（6），其特征在于：所述绝热底板（3）的底部通过垫块底座（2）固定在工作面板（1）上，所述绝热底板（3）上设有硅胶加热器（4），所述硅胶加热器（4）上设有加热板（5），所述加热板（5）上设有多条横行真空吸槽（15）和一条纵向真空吸槽（16），所述横行真空吸槽（15）通过纵向真空吸槽（16）连接在一起，所述加热板（5）的一侧设有真空气管接头（12），所述真空气管接头（12）与一条横行真空吸槽（15）的一端通过主连接吸孔（17）连通，所述加热板（5）上设有两个夹具直角限位块（7）和两个夹具三角限位块（8），所述载片夹具（6）放置在加热板（5）上，所述载片夹具（6）上设有多个封闭真空吸槽（13）， 所述封闭真空吸槽（13）与横行真空吸槽（15）和纵向真空吸槽（16）之间通过多个次连接吸孔（14）连通，所述载片夹具（6）上对应每个封闭真空吸槽（13）设有两个L形状挡块（10），所述L形状挡块（10）内设有衬底放置方片（9）。

2.根据权利要求1所述的一种新型多片衬底喷涂装置，其特征在于，所述载片夹具（6）的两侧分别设有把手（11）。

说明书

一种新型多片衬底喷涂装置

技术领域

[0001] 本发明涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种新型多片衬底喷涂装置。

背景技术

[0002] 在微纳米技术领域，衬底的使用非常常见。单片衬底在喷涂生产过程中效率低下，无法满足多片衬底同时喷涂的需求。

[0003] 为了解决上述技术问题，本发明设计了一种新型多片衬底喷涂装置，该新型多片衬底喷涂装置能够同时在多个衬底放置方片上放置衬底，同时完成了多片衬底的喷涂，并且载片夹具更换方便。此外，该新型多片衬底喷涂装置结构设计合理，对衬底的喷涂高效快捷，适合推广使用。

发明内容

[0004] 为了克服背景技术中存在的缺陷，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种新型多片衬底喷涂装置，包括工作面板、垫块底座、绝热底板、硅胶加热器、加热板和载片夹具，所述绝热底板的底部通过垫块底座固定在工作面板上，所述绝热底板上设有硅胶加热器，所述硅胶加热器上设有加热板，所述加热板上设有多条横行真空吸槽和一条纵向真空吸槽，所述横行真空吸槽通过纵向真空吸槽连接在一起，所述加热板的一侧设有真空气管接头，所述真空气管接头与一条横行真空吸槽的一端通过主连接吸孔连通，所述加热板上设有两个夹具直角限位块和两个夹具三角限位块，所述载片夹具放置在加热板上，所述载片夹具上设有多个封闭真空吸槽， 所述封闭真空吸槽与横行真空吸槽和纵向真空吸槽之间通过多个次连接吸孔连通，所述载片夹具上对应每个封闭真空吸槽设有两个L形状挡块，所述L形状挡块内设有衬底放置方片，所述载片夹具的两侧分别设有把手。

[0005] 本发明所涉及的一种新型多片衬底喷涂装置，该新型多片衬底喷涂装置能够同时在多个衬底放置方片上放置衬底，同时完成了多片衬底的喷涂，并且载片夹具更换方便。此外，该新型多片衬底喷涂装置结构设计合理，对衬底的喷涂高效快捷，适合推广使用。

附图说明

[0006] 下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

[0007] 图1是本发明一种新型多片衬底喷涂装置的结构示意图；

[0008] 图2是本发明一种新型多片衬底喷涂装置的主视图；

[0009] 图3是本发明一种新型多片衬底喷涂装置的内部结构示意图一；

[0010] 图4是图3中A处的局部放大图；

[0011] 图5是本发明一种新型多片衬底喷涂装置的内部结构示意图二；

[0012] 图6是图5的主视图；

[0013] 图7是图6中B处的局部放大图；

[0014] 其中: 1、工作面板；2、垫块底座；3、绝热底板；4、硅胶加热器；5、加热板；6、载片夹具；7、夹具直角限位块；8、夹具三角限位块；9、衬底放置方片；10、L形状挡块；11、把手；12、真空气管接头；13、封闭真空吸槽；14、次连接吸孔；15、横行真空吸槽；16、纵向真空吸槽；17、主连接吸孔。

具体实施方式

[0015] 现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

[0016] 具体实施例，请参阅图1-7，一种新型多片衬底喷涂装置，包括工作面板1、垫块底座2、绝热底板3、硅胶加热器4、加热板5和载片夹具6，所述绝热底板3的底部通过垫块底座2固定在工作面板1上，所述绝热底板3上设有硅胶加热器4，所述硅胶加热器4上设有加热板5，所述加热板5上设有多条横行真空吸槽15和一条纵向真空吸槽16，所述横行真空吸槽15通过纵向真空吸槽16连接在一起，所述加热板5的一侧设有真空气管接头12，所述真空气管接头12与一条横行真空吸槽15的一端通过主连接吸孔17连通，所述加热板5上设有两个夹具直角限位块7和两个夹具三角限位块8，所述载片夹具6放置在加热板5上，所述载片夹具6上设有多个封闭真空吸槽13， 所述封闭真空吸槽13与横行真空吸槽15和纵向真空吸槽16之间通过多个次连接吸孔14连通，所述载片夹具6上对应每个封闭真空吸槽13设有两个L形状挡块10，所述L形状挡块10内设有衬底放置方片9，所述载片夹具6的两侧分别设有把手
11。

[0017] 本发明所涉及的一种新型多片衬底喷涂装置，该新型多片衬底喷涂装置能够同时在多个衬底放置方片上放置衬底，同时完成了多片衬底的喷涂，并且载片夹具更换方便。此外，该新型多片衬底喷涂装置结构设计合理，对衬底的喷涂高效快捷，适合推广使用。

[0018] 显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。