防尘薄膜组件收纳容器

摘要

提供一种作为防尘薄膜组件收纳容器的材料使用添加难燃剂的树脂，其在紫外线中不产生难燃剂以及树脂的老化，收纳的防尘薄膜组件可长期保持清洁状态的防尘薄膜组件收纳容器。本发明为一种收纳至少一个的边长超过500mm的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，由载置防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该本体的周缘部嵌合而密闭的盖体构成，至少盖体由真空成形或者冲压成形的树脂制造，该树脂材料含有难燃剂以及黑色化材料，不透明且为黑色。再者，本发明优选难燃剂为溴系化合物，树脂材料为ABS树脂。

权利要求

1.一种防尘薄膜组件收纳容器，其收纳至少一个边长超过５００ｍｍ的防尘薄膜组件，其特征在于：其由载置所述防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该收纳容器本体周缘部嵌合而密闭的盖体构成，至少所述盖体为真空成形或者冲压成形的树脂材料制造，所述树脂材料，通过含有选自四溴代双酚Ａ、十溴二苯醚、六溴环十二烷、氢氧化铝的水合物、氢氧化镁的水合物、三氧化锑、氰尿酸三聚氰胺中的至少一种的难燃剂以及黑色化材料，不透明且为黑色来防止所述难燃剂的老化。

2.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于：所述树脂材料含有０．５重量％～３重量％的所述黑色化材料。

3.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于：所述树脂材料含有５重量％～２５重量％的所述难燃剂。

4.根据权利要求1至3的任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于：所述难燃剂为溴系化合物。

5.根据权利要求1至3的任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于：所述树脂材料为ＡＢＳ树脂。

说明书

防尘薄膜组件收纳容器

技术领域

[0001] 本发明涉及导体装置，IC封装，印刷基板，液晶面板或者有机EL面板等的制造时用的防尘薄膜组件的收纳容器，进一步涉及用于收纳至少一个边的边长超过500mm的大型的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器。

背景技术

[0002] 在LSI，超LSI等的半导体制造或液晶面板等的制造中，要对半导体晶片或者液晶用原板进行光照射，以进行图案的制作，但是，此时，使用的光掩模或者中间掩模(以下，统称“光掩模”)上如有灰尘附着，该灰尘会对光进行吸收，或使光弯曲，由此转印的图案就会变形，尖端部就会模糊，甚至会发生基底脏黑等，从而尺寸，品质，外观等受损。

[0003] 因此，这样的作业通常在无尘室中进行，但是即使如此也难以总是保持光掩模的清洁，由此，要在光掩模表面将作为防尘器的防尘薄膜组件进行贴附后，再进行曝光。在该场合，异物不在光掩模的表面直接附着，而是附着在防尘薄膜组件上，由此光刻时只要将焦点对准光掩模的图案，防尘薄膜组件上的异物就与转印没有关系了。

[0004] 防尘薄膜组件，一般，将由透光良好构成的硝酸纤维素，醋酸纤维素或者氟树脂等构成的透明的防尘膜，在由铝，钢铁，不锈钢，工程塑料等构成的防尘薄膜组件框架的上端面上贴附或进行接着形成。然后，在尘薄膜组件框架的下端，设置为了在光掩模上进行安装的，由聚丁烯树脂，聚醋酸乙烯基树脂，丙烯酸树脂，有机硅树脂等构成的粘着层以及以对该粘着层的保护为目的离型层(分离片)。

[0005] 另一方面，将这样的防尘薄膜组件，特别是边长为超过500mm的大型的防尘薄膜组件进行收纳的防尘薄膜组件收纳容器，由载置所述防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该本体的周缘部嵌合密闭的盖体而构成。这些部件，由厚度2～8mm程度的树脂板真空成形或者冲压成形而制作，使用该制法的场合，大型的也可以一体成形，所以具有内部发尘源少，生产效率高以及成本低的优点。

[0006] 防尘薄膜组件收纳容器本体，为了易于发现附着的异物，以黑色为好，再者盖体，为了易于观察内部收纳的防尘薄膜组件，以透明或者有色半透明为好(专利文献1参照)。从这样的观点，在几乎所有的场合，收纳容器本体为黑色的ABS树脂，盖体为透明或半透明的ABS树脂或者PMMA树脂。

[0007] 但是，这样的树脂具有可燃性，特别是收纳边长超过500mm大型防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器的场合，可燃物的体积以及重量相当大。例如，800x920mm掩模用的防尘薄膜组件收纳容器，其重量为10kg/个，1220x1400mm掩模用的防尘薄膜组件收纳容器，其重量为25kg/个，所以将这些防尘薄膜组件收纳容器放在一处进行大量保管的场合，具有安全性问题。

[0008] 因此，作为这一问题的对策，可以用具有难燃性的材料，例如使用金属以及难燃性树脂。但是，金属的场合，即使盖体使用铝合金等的轻量材料，在用人工进行开闭时，也是很重的，有操作上负担大的问题。

[0009] 另一方面，难燃性的树脂材料的场合，其材料可以例举PAN，PVC等，但是，这些材料，在购买时尺寸制约多，再者，不易加热成形之物多，有难以使用的问题。

[0010] 从这样的观点，为了确保难燃性，在大型的防尘薄膜组件收纳容器的材料常用在PMMA，ABS材料中添加难燃剂一种好的方法。作为添加的难燃剂，可以例举溴系化合物，磷系化合物，锑化合物，金属氢氧化物等，此外也可例举有机硅系化合物等，其中，在PMMA，ABS的树脂中加入溴系化合物优良。

[0011] 但是，在使用添加了难燃剂防尘薄膜组件收纳容器的材料树脂的场合，如果在太阳光，特别紫外线存在的环境中将防尘薄膜组件收纳容器进行保管的话，紫外线会使难燃剂分解，老化，使在收纳容器内部收纳的防尘薄膜组件被污染(浑浊)，原材料树脂的老化也会加快，防尘薄膜组件收纳容器的外观会变差。

[0012] 专利文献

[0013] 【专利文献1】日本特开2001－100394

[0014] 本发明就是鉴于上述的问题而成的，本发明的目的，是提供一种作为防尘薄膜组件收纳容器的材料使用了添加难燃剂的树脂的场合，紫外线不会使难燃剂以及树脂老化，由此可以使收纳的防尘薄膜组件可以长期保持清洁的防尘薄膜组件收纳容器。

发明内容

[0015] 本发明是一种将至少一个边长为超过500mm的防尘薄膜组件进行收纳的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于：该收纳容器由载置防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器本体和在该本体的周缘部嵌合而密闭的盖体构成，至少盖体为由真空成形或者冲压成形的树脂制成，该树脂材料，含有难燃剂以及黑色化材料，不透明且为黑色。

[0016] 再者，本发明中，优选黑色化材料的含量为树脂材料的重量比0.5％～3％，难燃剂的含量为树脂材料的重量比5％～25％。该难燃剂优选溴系化合物，树脂材料优选ABS树脂。

[0017] 根据本发明，可以将防尘薄膜组件收纳容器的材料中添加的难燃剂由于紫外线造成的老化限制在最小限度，由此可以使收纳的防尘薄膜组件的清洁度长期保持。

附图说明

[0018] 图1为本发明的防尘薄膜组件收纳容器的概要平面图。

[0019] 图2为本发明的防尘薄膜组件收纳容器的图1的AA线的截面图。

[0020] 图3为本发明的防尘薄膜组件收纳容器的图1的BB线的截面图。

[0021] 图4为将本发明的防尘薄膜组件收纳容器的盖体卸下后的平面图。

[0022] 图5为本发明的防尘薄膜组件收纳容器的斜视图。

具体实施方式

[0023] 以下，对本发明的一实施方式参照附图进行详细说明，但是本发明并不限于此。

[0024] 本发明的防尘薄膜组件收纳容器10收纳至少一个边长超过500mm的防尘薄膜组件，由防尘薄膜组件收纳容器本体11和盖体12构成。防尘薄膜组件收纳容器本体11载置防尘薄膜组件20，盖体12在防尘薄膜组件收纳容器11的周缘部嵌合，密闭，将防尘薄膜组件20从外部的灰尘保护起来。再者，防尘薄膜组件收纳容器本体11上载置的防尘薄膜组件20，通过由在框架侧面设置的非贯通的孔(未图示)中插入的针13和对该针进行支持的针支持装置14构成的固定装置，被在防尘薄膜组件收纳容器本体11上固定。

[0025] 防尘薄膜组件收纳容器本体11以及盖体12，为厚度2～8mm的含有难燃剂的树脂板进行真空成形或者冲压成形而制作的，其品质，成本以及难燃性良好。再者，优选在所述防尘薄膜组件收纳容器本体11以及盖体12添加导电物质以及进行表面涂布，使其具有带电防止功能，异物附着减少。

[0026] 在本发明的防尘薄膜组件收纳容器10中，至少盖体12其材料树脂中添加难燃剂的同时，为不透明的黑色。通常的盖体为由透明或者半透明的树脂材料构成。盖体12不透明且为黑色，可以防止紫外线侵入树脂材料内部。因此，就可以防止防尘薄膜组件收纳容器10的构成树脂，特别是表面近傍的树脂中的难燃剂老化，难燃剂的老化造成的气体状物质的发生被抑制，由此，防尘薄膜组件收纳容器内部以及收纳的防尘薄膜组件就不会被污染。

[0027] 本发明中，为了使树脂材料为不透明且为黑色，使碳黑等的黑色化材料含在树脂材料中，其含量为树脂的重量比0.5％～3％，如0.5％未满，黑色的程度浅，不充分；但是如超过3％添加效果也不发生变化。作为黑色化材料，除了碳黑之外，还可以例举二氧化钛，四氧化三铁等。

[0028] 作为防尘薄膜组件收纳容器10中使用的树脂材料有各种各样，但是特别以ABS树脂为优选。其原因为，在其刚性以及成形性等均衡性良好之外，由于对紫外线的吸收程度大，由此会使到达材料内部的紫外线进一步减少，从而也会使含有的难燃剂的老化被抑制。再者，黑色，会防止因ABS树脂本身的变黄，退色等的外观上的老化也可以被防止，从而进一步变好。

[0029] 另一方面，在防尘薄膜组件收纳容器中使用的丙烯酸树脂(PMMA)，虽然通过添加难燃剂会使其难燃化，但是由于树脂本身的紫外线透过率高，会促进其内部含有的难燃剂的老化，不好。再者，如果使用树脂材料本身为难燃性的树脂材料的话，没有必要进行添加难燃剂，但是，例如，在氯代乙烯基树脂(PVC)的场合，不仅大尺寸的材料难以得到，还有难以废弃处理的问题。在聚碳酸脂树脂(PC)的场合，成形温度极高，大型品有真空成形或者冲压成形困难的问题，难以采用。

[0030] 在树脂中添加的难燃剂的种类中，作为有机难燃剂，可以例举四溴代双酚A(TBBA)，十溴二苯醚(DBDE)，六溴环十二烷(HBCD)等的溴系化合物以及磷系化合物，氯系化合物等。再者，作为无机难燃剂，可以例举氢氧化铝以及氢氧化镁的水和物，三氧化锑等的锑系以及硼化合物等。作为无卤素有机系化合物，在氰尿酸三聚氰胺之外，还有有机硅系化合物等。

[0031] 本发明中使用的难燃剂，可以单独使用上述列举之物，也可以数种并用，其含量优选为树脂材料的重量比5％～25％程度。如难燃剂的量为5％未满，难燃性的效果不能充分发挥，但是如果超过25％，对树脂材料的物性的影响过大。

[0032] 再者，近年来，从难燃剂对环境的影响的观点，对某些难燃物质有规制，所以优选对该点也加以考虑。进一步，作为难燃性的的目标，可以按防尘薄膜组件收纳容器的保管场所的要求来进行设定，但是，以至少达成UL94规格中V－1为优选。

[0033] 按照本发明，可以使用上述的各种难燃剂，但是以溴系化合物为优选。溴系化合物，难燃化效果高，再者在与其他的难燃剂进行组合的场合，效果也高。特别是，溴系化合物和三氧化锑组合，其难燃效果高，可良好使用。

[0034] 再者，溴系化合物，对紫外线，具有易于老化的缺点，但是，通过使树脂材料不透明且为黑色，可以使老化的领域停留在表面，所以溴系化合物的老化实质上被防止。作为良好使用的溴系化合物的例子，从难燃性能以及环境规制上的理由，可以列举四溴代双酚A(TBBPA)，TBBA低聚物(环氧系，碳酸脂系)，溴化聚苯乙烯(BPS)等。它们的含有量，从难燃性的确保和树脂物性维持的观点，以5～25％的范围为优选。

[0035] 本发明的防尘薄膜组件收纳容器本体11以及盖体12，根据需要，可以设置肋筋等的补强构造，也可设置金属或者树脂制的补强装置，操作用手柄，以及对盖体进行固定的扣环。

[0036] 再者，在收纳防尘薄膜组件边长为超过1500mm的极大型的防尘薄膜组件收纳容器的刚性有特别要求的场合，以及要更进一步提高难燃性的场合，仅将盖体12用上述的树脂制作，防尘薄膜组件收纳容器本体11用金属中制作特别优选。但是，防尘薄膜组件收纳容器本体11用金属制作的场合，与全部用树脂制作的场合相比，在重量的点上，不利，但是由于不象盖体12那样用人工进行开闭，所以实质上没有问题。

[0037] 在使用金属的场合，除了铝合金，镁合金等轻量材料之外，还可以用铁，不锈钢等的高刚性材料。在这样的场合，在使用成形加工，薄板弯曲加工，压缩成模，溶接等造形之外，进行铸造也可以。在其表面上可以进行防锈，防止发生灰尘的涂装为优选，特别是，在赋予带电防止性能之外，为了提高附着异物的可认识性，以黑色为优选。

[0038] 在本发明的防尘薄膜组件收纳容器10中，作为将防尘薄膜组件20固定在防尘薄膜组件收纳容器本体11上的固定装置，可以使用公知的各种各样的方法。在图4中所示的实施方式中，在防尘薄膜组件收纳容器本体11上设置针支持装置14，通过将由该针支持装置14支持的针13插入在防尘薄膜组件框架侧面设置的非贯通的孔(未图示)的方式将防尘薄膜组件20进行固定，但是，使用其他的公知的方法也可。

[0039] 再者，在图4中所示的实施方式中，防尘薄膜组件框架21的下端面，设置掩模粘着层22，在其下面设置保护掩模粘着层22的分离片23，但是，如果特别设置不使掩模粘着层22与防尘薄膜组件收纳容器本体11接触的防尘薄膜组件框架21支持装置等的场合，分离片也可以省略。

[0040] 实施例

[0041] 以下，对本发明的实施例进行详细说明。

[0042] 实施例中，首先，用厚度5mm的ABS树脂板，来进行防尘薄膜组件收纳容器本体11和盖体12的真空成形。该防尘薄膜组件收纳容器10的尺寸为，外尺寸940x1060x高度90mm。

[0043] 该实施例中使用的ABS树脂板中混入溴系难燃剂(商品名；Flamecutting，TOSOH CORPORATION)20wt％，三氧化锑(商品名；PATOX，日本精矿株式会社)2wt％以及碳黑(商品名；SUNBLACK，旭炭株式会社)1wt％。用挤出成形来制造的不透明黑色产品。

[0044] 然后，该防尘薄膜组件收纳容器本体11和盖体12，真空成形后，周围用NC刳刨机切削，完成加工。再者，在该防尘薄膜组件收纳容器本体11上，将针支持装置14从外面用螺栓固定(未图示)，安装。

[0045] 另一方面，将该防尘薄膜组件收纳容器10中收纳的防尘薄膜组件20以如下规格进行制作。即，防尘薄膜组件框架21，用A5052铝合金机械切削加工，得到外尺寸756x940mm，内尺寸740x928mm，高度5.8mm的防尘薄膜组件。表面进行黑色氧化膜处理。再者，在各长边中央附近开直径1.5mm的通气孔4处(未图示)，各边的角部附近设置直径2.5mm的非贯通的夹具孔(未图示)。

[0046] 然后，在该防尘薄膜组件框架21的下端面，作为掩模粘着层22设置厚度1.3mm有机硅粘着剂(商品名；KR－3700，信越化学工业株式会社)，其表面进行离型剂涂布，设置PET薄膜构成的分离片23。再者，在防尘薄膜组件框架21侧面的通气孔上，用丙烯酸粘着剂将PTFE多孔质膜制的过滤器贴附(未图示)。进一步，在防尘薄膜组件框架21的上端面，作为防尘膜接着层24，进行有机硅粘着剂(商品名；KR－3700，信越化学工业株式会社)的涂布，其上，由氟树脂(商品名；CYTOP，旭硝子株式会社)构成的厚度约4.5μm的防尘膜25被绷紧设置。

[0047] 对如此制作的防尘薄膜组件20进行异物检查，然后，用针13和针支持装置14将其在防尘薄膜组件收纳容器本体11上固定，盖体12密闭。其后，将嵌合部周围用PVC制粘着胶带密封，用厚度0.1的带电防止PE制包袋收纳。在进行防尘薄膜组件20的收纳时，防尘薄膜组件收纳容器10在10级无尘室内用界面活性剂和纯水进行良好的洗净处理，干燥。

[0048] 最后，将如此收纳防尘薄膜组件20的防尘薄膜组件收纳容器10搬入室温22～28℃，湿度30～55％的空调室内，1年静置保管。另外，在将该防尘薄膜组件收纳容器10载置后，使之1年之中，处于通过玻璃窗照射的太阳光中。

[0049] 1年后，将在该防尘薄膜组件收纳容器10收纳的防尘薄膜组件20在10级无尘室内取出，进行外观，异物检查，完全没有发现防尘薄膜组件20中附着异物以及损伤，保持了清洁的状态。再者，防尘薄膜组件收纳容器10本身也没有明显的外观上的变化。

[0050] 比较例

[0051] 比较例1

[0052] 比较例1中，首先，与实施例完全同样地制作防尘薄膜组件收纳容器，但是，防尘薄膜组件收纳容器盖体的材料质与上述实施例不同。即，盖体使用的板材料为ABS树脂挤出成形，其材质为，含有溴系难燃剂(商品名；Flame cutting，TOSOH CORPORATION)20wt％和，三氧化锑(商品名；PATOX，日本精矿株式会社)2wt％，但是，没有加入黑色化用的碳黑，外观偏白且透明。

[0053] 然后，将该防尘薄膜组件收纳容器在10级无尘室内中用界面活性剂和纯水良好洗净，干燥之后，对具有实施例相同的规格的防尘薄膜组件进行异物检查，收纳。然后，在与实施例完全同样的环境下进行1年静置保管。

[0054] 然后，1年后，在10级无尘室中，从该防尘薄膜组件收纳容器中将防尘薄膜组件取出，对外观，异物进行检查，发现收纳的防尘薄膜组件的膜面上，有大的异物附着，φ0.5～3μm程度的异物有很多附着。再者，有的地方，可以看到附着异物的密集度高，浑浊以及脏污，这种状态的产品通常是不可以使用的。进一步，防尘薄膜组件收纳容器的盖体，为黄白色不透明，作为商品是不可使用的外观。

[0055] 比较例2

[0056] 比较例2也与实施例以及比较例1完全同样地进行防尘薄膜组件收纳容器的制造，防尘薄膜组件收纳容器的盖体的材质与上述实施例以及比较例1不同。即，盖体使用的板材为ABS树脂挤出，但是其难燃剂不是溴系难燃剂，而是将无机系难燃剂氢氧化镁添加35wt％，没有用将黑色碳黑混入，外观为白色不透明。

[0057] 然后，将该防尘薄膜组件收纳容器在10级无尘室内用界面活性剂和纯水良好洗净，干燥后，对与实施例以及比较例1相同规格的防尘薄膜组件进行异物检查，收纳。然后，与实施例以及比较例1完全同样的环境中进行1年间静置保管。

[0058] 然后，1年后，在10级无尘室中，从该防尘薄膜组件收纳容器中，将防尘薄膜组件取出，进行外观，异物检查，发现收纳的防尘薄膜组件上，无异物的附着，保持了可以使用的状态，但是，防尘薄膜组件收纳容器的盖体为白色不透明，外面有多处变黄，作为商品是不可使用的。

[0059] 符号的说明

[0060] 10  防尘薄膜组件收纳容器

[0061] 11  防尘薄膜组件收纳容器本体

[0062] 12  盖体

[0063] 13  针

[0064] 14  针支持装置

[0065] 20  防尘薄膜组件

[0066] 21  防尘薄膜组件框架

[0067] 22  掩模粘着层

[0068] 23  分离片

[0069] 24  防尘膜接着层

[0070] 25  防尘膜