一种异形阳极结构及其加工工艺

摘要

本发明公开了一种应用于太赫兹器件电子枪制造所用的异形阳极结构，其采用真空熔炼钼加工获得，整个阳极设计成一个整体，阳极通孔成矩形结构，对矩形电子束具有控制加速作用。

权利要求

1.一种异形阳极结构，其特征在于：其包括阳极片，所述阳极片的厚度为0.5 2mm；所述~阳极片的的中心加工有用于电子束通过的矩形阳极通孔（101）；所述阳极片左右两端对称加工有四个圆形通孔，其中，两个所述圆形通孔(102)用于阳极与电子枪连接固定，另两个所述圆形通孔(103)用于阳极与太赫兹器件腔体组装时通过定位销定位，所述阳极片采用的是钼圆盘。

2.一种异形阳极结构的加工工艺，其特征在于，其工艺步骤如下：将真空熔炼钼毛坯放入900～950℃氢炉内退火，保温3～5分钟，目的在于去除材料内部应力，便于车削加工;b) 将真空熔炼钼毛坯车削加工，加工成直径ФD1，厚度0.5 2mm的钼圆盘；

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c) 将车削好的钼圆盘采用电火花加工技术，加工矩形阳极通孔和四个圆形通孔；

d) 将经过电火花加工后的毛坯，采用慢丝切割加工技术，精密加工异形阳极外形结构；

e) 将加工好的异形阳极进行化学去油清洗；

f) 将清洗好的异形阳极进行电解抛光处理，目的去除毛刺，防止其在电子枪内产生高压打火。

说明书

一种异形阳极结构及其加工工艺

技术领域

[0001] 本发明涉及太赫兹器件电子枪制造领域，具体涉及一种异形阳极结构及其加工工艺。

背景技术

[0002] 为了适应新的国际战略格局和世界军事技术发展趋势，战场环境中的密集的电磁信号，复杂的信号特征都对军用电子技术和信息技术的发展提出了极高的要求，仅靠某一频段的微波器件已经无法满足军事设备发展的需求，这就促使人们去探索、开发新的频谱资源。太赫兹频率介于微波与红外之间，其系统兼顾电子学系统和光学系统的优势，被誉为继微波、光波后人类进一步认知世界、自然的“第三只眼睛”。居于此太赫兹波引起了人们的重视，太赫兹器件技术得到世界各国相关科研机构许多专家的关注和研究，本发明就是在开发太赫兹器件的背景下发明的适用于太赫兹电子枪制造。

发明内容

[0003] 有鉴于现有技术的上述缺陷，本发明提供一种异形阳极结构及其加工工艺，该阳极不同O型真空器件电子枪所用圆形阳极结构，其阳极通孔成矩形结构，该阳极给电子提供能量，起到加速电子的作用，对矩形电子束起到控制加速作用。

[0004] 为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种异形阳极结构，其包括阳极片，阳极片中心设有矩形阳极通孔，阳极片上还设有两两对称的4个圆形通孔。

[0005] 进一步的，所述阳极片直径ФD1，厚度0.5 2mm；所述阳极片采用的是钼圆盘，所述~矩形阳极通孔用于电子束通过；所述其中两个圆形通孔用于阳极与电子枪连接固定；所述另两个圆形通孔用于阳极与太赫兹器件腔体组装时通过定位销定位。

[0006] 该异形阳极结构的加工工艺步骤如下：

[0007] a）将真空熔炼钼毛坯放入900～950℃氢炉内退火，保温3～5分钟，[0008] 目的在于去除材料内部应力，便于车削加工;

[0009] b) 将真空熔炼钼毛坯车削加工，加工成直径ФD1，厚度0.5 2mm的钼圆盘；~

[0010] c) 将车削好的钼圆盘采用电火花加工技术，加工矩形阳极通孔和四个圆形通孔；

[0011] d) 将经过电火花加工后的毛坯，采用慢丝切割加工技术，精密加工异形阳极外形结构；

[0012] e) 将加工好的异形阳极进行化学去油清洗；

[0013] f) 将清洗好的异形阳极进行电解抛光处理，目的去除毛刺，防止其在电子枪内产生高压打火。

[0014] 本发明的有益效果是，该阳极不同O型真空器件电子枪所用圆形阳极结构，其阳极通孔成矩形结构，该阳极给电子提供能量，起到加速电子的作用，对矩形电子束起到控制加速作用，可获得理想的电子束形状。

附图说明

[0015] 图1是本发明一种异形阳极结构示意图；

[0016] 图2是本发明应用实例结构示意图。

具体实施方式

[0017] 为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

[0018] 如图2所示，一种异形阳极结构，包括其包括阳极片，阳极片中心设有矩形阳极通孔，阳极片上还设有两两对称的4个圆形通孔。

[0019] 进一步的，所述阳极片直径ФD1，厚度0.5 2mm，所述阳极片采用的是钼圆盘，所述~矩形阳极通孔用于电子束通过，所述两个圆形通孔用于阳极与电子枪连接固定，所述另两个圆形通孔用于阳极与太赫兹器件腔体组装时通过定位销定位。

[0020] 该异形阳极结构的加工工艺步骤叙述如下：

[0021] a）将真空熔炼钼毛坯放入900～950℃氢炉内退火，保温3～5分钟，目的在于去除材料内部应力，便于车削加工。

[0022] b) 将真空熔炼钼毛坯车削加工，加工成直径Ф60mm，厚度1mm的钼圆盘；

[0023] c) 将车削好的钼圆盘采用电火花加工技术，加工矩形阳极通孔，矩形通孔尺寸为宽边0.6mm，长边7mm，加工四个圆形通孔，两个圆形通孔尺寸为直径Ф2mm，孔心距为36mm，另两个圆形通孔尺寸为直径Ф1mm，孔心距为14.6mm；

[0024] d) 将经过电火花加工后的毛坯，采用慢丝切割加工技术，精密加工异形阳极外形结构，具体尺寸见图2；

[0025] e) 将加工好的异形阳极进行化学去油清洗；

[0026] f) 将清洗好的异形阳极进行电解抛光处理，目的去除毛刺，防止其在电子枪内产生高压打火。

[0027] 本实施例的制作成的阳极不同于O型真空器件电子枪所用圆形阳极结构，其阳极通孔成矩形结构，该阳极给电子提供能量，起到加速电子的作用，对矩形电子束起到控制加速作用，可获得理想的电子束形状。

[0028] 以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。