修整器进气系统以及抛光机

摘要

本发明公开了一种修整器进气系统以及抛光机，修整器进气系统包括：真空源；真空管路，所述真空管路与所述真空源相连；压缩空气源；压缩空气管路，所述压缩空气管路与所述压缩空气源相连；修整器，所述修整器形成有加载腔室，所述加载腔室选择性地与所述真空管路、所述压缩空气管路和大气相连。通过合理控制修整器和真空源、压缩空气源和大气源之间的通断状态，可以改变修整器内的加载腔室的状态，而且在初始状态时，大气源可以向加载腔室内供入大气，从而可以避免加载腔室长时间收缩导致的破损和寿命减少，以及可以避免消耗能源。

权利要求

1.一种修整器进气系统，其特征在于，包括：

真空源；

真空管路，所述真空管路与所述真空源相连；

压缩空气源；

压缩空气管路，所述压缩空气管路与所述压缩空气源相连；

修整器，所述修整器形成有加载腔室，所述加载腔室选择性地与所述真空管路、所述压缩空气管路和大气相连，所述真空管路上设置有减压阀和过滤器，所述减压阀靠近所述真空源，所述压缩空气管路上设置有减压阀，所述修整器包括修整头，所述修整头形成有加载腔室，所述修整头内的加载腔室具有三个进气口，所述三个进气口分别供真空、压缩气体和大气进入，其中，在所述加载腔室处于初始状态时，所述加载腔室与大气相通。

2.根据权利要求1所述的修整器进气系统，其特征在于，还包括：第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和总管路，所述总管路连接在所述第一控制阀和所述修整器之间，所述第一控制阀选择性地将所述总管路与所述真空管路和所述压缩空气管路相连，所述第二控制阀设置在所述总管路上且与所述第一控制阀串联并选择性地将所述总管路与所述第一控制阀和所述大气相连，所述第三控制阀选择性地通断所述总管路。

3.根据权利要求2所述的修整器进气系统，其特征在于，所述第一控制阀和所述第二控制阀为两位三通阀，所述第三控制阀为两通阀。

4.根据权利要求1所述的修整器进气系统，其特征在于，还包括：第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和总管路，所述总管路连接在所述第一控制阀和所述修整器之间，所述第一控制阀选择性地将所述总管路与所述真空管路和所述压缩空气管路相连，所述第二控制阀与所述总管路相连且与所述第一控制阀并联并选择性地通断所述总管路和所述大气，所述第三控制阀选择性地通断所述总管路。

5.根据权利要求4所述的修整器进气系统，其特征在于，所述第一控制阀为两位三通阀且所述第二控制阀和所述第三控制阀分别为两通阀。

6.根据权利要求1所述的修整器进气系统，其特征在于，还包括：第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和总管路，所述第一控制阀设置在所述真空管路上并选择性地通断所述真空管路，所述第二控制阀设置在所述压缩空气管路并选择性地通断所述压缩空气管路，所述第三控制阀与所述总管路相连且与所述第一控制阀和所述第二控制阀并联并选择性地通断所述大气和所述总管路。

7.根据权利要求6所述的修整器进气系统，其特征在于，所述第一控制阀、所述第二控制阀和所述第三控制阀分别为两通阀。

8.根据权利要求1所述的修整器进气系统，其特征在于，还包括：压力传感器，所述压力传感器用于检测所述加载腔室的压力。

9.一种抛光机，其特征在于，包括根据权利要求1-8中任一项所述的修整器进气系统。

说明书

修整器进气系统以及抛光机

技术领域

[0001] 本发明涉及抛光设备技术领域，尤其涉及一种修整器进气系统以及具有该修整器进气系统的抛光机。

背景技术

[0002] 在化学机械抛光中，随着抛光过程的进行，抛光垫的物理及化学性能会发生变化，导致抛光速率和抛光质量降低。因此，在抛光过程中必须对抛光垫进行适当的修整，修整器可以对抛光垫进行修整，这样可以改善抛光效果，提高抛光垫的使用寿命，降低抛光成本。但是，修整器在初始状态下，利用负压将修整头与抛光垫脱离接触，此时修整器中加载腔室处于收缩状态，修整器中加载腔室柔性件长时间处于受力状态会减少使用寿命；并且需要持续地提供负压，故在初始状态下仍需要消耗能源。而且，修整器在检测检修状态下，进行气密性检测通常需要人工切断进口气管阻断通气，实现保压功能，不便于操作。

发明内容

[0003] 本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明提出一种修整器进气系统，该修整器进气系统可以在加载腔室处于初始状态时供入大气，从而可以避免加载腔室长时间收缩导致的寿命减少，以及可以避免消耗能源。

[0004] 本发明进一步地提出了一种抛光机。

[0005] 根据本发明的修整器进气系统，包括：真空源；真空管路，所述真空管路与所述真空源相连；压缩空气源；压缩空气管路，所述压缩空气管路与所述压缩空气源相连；修整器，所述修整器形成有加载腔室，所述加载腔室选择性地与所述真空管路、所述压缩空气管路和大气相连。

[0006] 根据本发明的修整器进气系统，通过合理控制修整器和真空源、压缩空气源和大气源之间的通断状态，可以改变修整器内的加载腔室的状态，而且在初始状态时，大气源可以向加载腔室内供入大气，从而可以避免加载腔室的破损和寿命减少，以及可以避免消耗能源。

[0007] 另外，根据本发明的修整器进气系统还可以具有以下附加技术特征：

[0008] 在本发明的一些示例中，所述修整器进气系统还包括：第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和总管路，所述总管路连接在所述第一控制阀和所述修整器之间，所述第一控制阀选择性地将所述总管路与所述真空管路和所述压缩空气管路相连，所述第二控制阀设置在所述总管路上且与所述第一控制阀串联并选择性地将所述总管路与所述第一控制阀和所述大气相连，所述第三控制阀选择性地通断所述总管路。

[0009] 在本发明的一些示例中，所述第一控制阀和所述第二控制阀为两位三通阀，所述第三控制阀为两通阀。

[0010] 在本发明的一些示例中，所述修整器进气系统还包括：第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和总管路，所述总管路连接在所述第一控制阀和所述修整器之间，所述第一控制阀选择性地将所述总管路与所述真空管路和所述压缩空气管路相连，所述第二控制阀与所述总管路相连且与所述第一控制阀并联并选择性地通断所述总管路和所述大气，所述第三控制阀选择性地通断所述总管路。

[0011] 在本发明的一些示例中，所述第一控制阀为两位三通阀且所述第二控制阀和所述第三控制阀分别为两通阀。

[0012] 在本发明的一些示例中，所述修整器进气系统还包括：第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和总管路，所述第一控制阀设置在所述真空管路上并选择性地通断所述真空管路，所述第二控制阀设置在所述压缩空气管路并选择性地通断所述压缩空气管路，所述第三控制阀与所述总管路相连且与所述第一控制阀和所述第二控制阀并联并选择性地通断所述大气和所述总管路。

[0013] 在本发明的一些示例中，所述第一控制阀、所述第二控制阀和所述第三控制阀分别为两通阀。

[0014] 在本发明的一些示例中，所述真空管路上设置有减压阀和过滤器，所述减压阀靠近所述真空源，所述压缩空气管路上设置有减压阀。

[0015] 在本发明的一些示例中，所述修整器进气系统还包括：压力传感器，所述压力传感器用于检测所述加载腔室的压力。

[0016] 根据本发明抛光机，包括上述的修整器进气系统。

[0017] 所述抛光机与所述修整器进气系统的有益效果相同，在此不再详述。

附图说明

[0018] 图1是根据本发明第一实施例的修整器进气系统的结构示意图；

[0019] 图2是根据本发明第二实施例的修整器进气系统的结构示意图；

[0020] 图3是根据本发明第三实施例的修整器进气系统的结构示意图。

[0021] 附图标记：

[0022] 修整器进气系统100；

[0023] 真空管路10；真空管路的减压阀11；过滤器12；

[0024] 压缩空气管路20；压缩空气管路的减压阀21；

[0025] 修整器30；修整头31；加载腔室32；

[0026] 第一控制阀40；第二控制阀50；第三控制阀60；总管路70；压力传感器80。

具体实施方式

[0027] 下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

[0028] 下面参考附图详细描述根据本发明实施例的修整器进气系统100，该修整器进气系统100可以应用在抛光机上。

[0029] 根据本发明实施例的修整器进气系统100可以包括：真空源、真空管路10、压缩空气源、压缩空气管路20、修整器30、压力传感器80、总管路70、第一控制阀40、第二控制阀50和第三控制阀60。

[0030] 如图1-图3所示，真空管路10与真空源相连，压缩空气管路20与压缩空气源相连，其中，真空源可以为容纳真空的容器或者产生真空的设备，压缩空气源可以为产生压缩空气的设备或者容纳压缩空气的容器。优选地，如1图-图3所示，真空管路10上还可以设置有减压阀11和过滤器12，减压阀11靠近真空源设置。也就是说，从真空源进入真空管路10内的真空会先经过减压阀11的减压之后流动至过滤器12，过滤器12再过滤吸入的气体。如1图-图3所示，压缩空气管路20上也可以设置有减压阀21。

[0031] 如图1-图3所示，修整器30形成有加载腔室32，加载腔室32选择性地与真空管路10和压缩空气管路20和大气相连，也就是说，真空源可以通过真空管路10向加载腔室32供入真空，压缩空气源可以通过压缩空气管路20向加载腔室32供入压缩空气，大气源可以向加载腔室32供入大气，大气源可以直接为外界大气环境，或者，大气源可以为相应的大气输出设备。

[0032] 对于修整器30与真空管路10、压缩空气管路20和大气源之间的连接结构将在后面的内容中结合多个实施例详细描述。

[0033] 根据本发明的第一优选实施例，如图1所示，总管路70连接在第一控制阀40和修整器30之间，第一控制阀40选择性地将总管路70与真空管路10和压缩空气管路20相连，第二控制阀50设置在总管路70上，而且第二控制阀50与第一控制阀40串联，并且第二控制阀50选择性地将总管路70与第一控制阀40和大气相连，第三控制阀60选择性地通断总管路70。

[0034] 需要说明的是，上述的总管路70与第一控制阀40相连指的是，第一控制阀40处于连通状态，真空或者压缩气体进入总管路70，第二控制阀50处于连通总管路70和第一控制阀40状态时，真空或者压缩气体可以通过第二控制阀50，如果第三控制阀60处于连通状态，这样真空或者压缩气体可以进入到加载腔室32内。也就是说，真空或者压缩气体在流向加载腔室32时，需要经过第一控制阀40、第二控制阀50和第三控制阀60的控制，如果其中一个处于断开状态，真空或者压缩气体均无法流动至加载腔室32。

[0035] 大气在流向加载腔室32的过程中需要经过第二控制阀50和第三控制阀60，当第二控制阀50处于连通大气和总管路70状态且第三控制阀60处于连通总管路70状态时，大气可以流向加载腔室32。当第二控制阀50和第三控制阀60中的一个处于断开状态时，大气均无法流动至加载腔室32。

[0036] 第三控制阀60控制总管路70自身的通断，当第三控制阀60处于断开状态时，加载腔室32可以进入密闭保压状态。

[0037] 其中，如图1所示，第一控制阀40和第二控制阀50可以分别为两位三通阀，第三控制阀60可以为两通阀。通过合理设置第一控制阀40、第二控制阀50和第三控制阀60的类型，可以使得修整器进气系统100结构简单，控制逻辑简单。

[0038] 根据本发明的第二优选实施例，如图2所示，总管路70连接在第一控制阀40和修整器30之间，第一控制阀40选择性地将总管路70与真空管路10和压缩空气管路20相连，第二控制阀50与总管路70相连，而且第二控制阀50与第一控制阀40并联，并且第二控制阀50选择性地通断总管路70和大气，第三控制阀60选择性地通断总管路70。结合图1和图2所示，可以看出图2所示的修整器进气系统100与图1所示的修整器进气系统100主要区别在于第二控制阀50的布置，在图2中，第二控制阀50直接控制大气源和总管路70之间的通断，并不参与第一控制阀40和总管路70之间的通断，而是由第三控制阀60控制第一控制阀40和加载腔室32之间的通断，当然，第三控制阀60还控制第二控制阀50和加载腔室32之间的通断。由此，第一控制阀40可以为两位三通阀，而且第二控制阀50和第三控制阀60分别为两通阀。这样可以使得修整器进气系统100结构简单，控制逻辑更加简单。

[0039] 根据本发明的第三优选实施例，如图3所示，第一控制阀40设置在真空管路10上并选择性地通断真空管路10，第二控制阀50设置在压缩空气管路20并选择性地通断压缩空气管路20，第三控制阀60与总管路70相连，而且第三控制阀60与第一控制阀40和第二控制阀50并联，并且第三控制阀60选择性地通断大气和总管路70。也就是说，真空管路10上设置有自己的通断阀，压缩空气管路20上设置有自己的通断阀，大气源和总管路70之间也设置有自己的通断阀，这样可以使得修整器进气系统100结构更加简单，控制逻辑更加简单。其中，第一控制阀40、第二控制阀50和第三控制阀60可以分别为两通阀。

[0040] 如图1-图3所示，压力传感器80可以用于检测加载腔室32的压力。由此，可以根据压力传感器80的检测结果可以判断加载腔室32的密封效果，以及可以判断加载腔室32所加载的压力值是否与设定的压力值一样。

[0041] 下面以图1所示的修整器进气系统100为例对加载腔室32的状态进行详细说明。

[0042] 如图1所示，修整器30可以包括修整头31，修整头31处形成有加载腔室32。修整头31内的加载腔室32可以具有三个进气口，三个进气口分别供真空、压缩气体和大气进入，所以加载腔室32至少对应以下三个状态：与压缩空气相通状态、与真空相通状态和与大气相通状态。当然，通过控制第一控制阀40、第二控制阀50和第三控制阀60的通断，加载腔室32还可以具有密闭保压状态。

[0043] 在加载腔室32处于初始状态时，加载腔室32与大气相通，第二控制阀50连通大气和总管路70，第三控制阀60处于连通状态。这样可以避免加载腔室32处于长时间的收缩状态，从而可以避免修整头31的破损和寿命减少，以及可以避免消耗能源。

[0044] 然后，第三控制阀60断开，这样可以使得加载腔室32可以从初始状态切换到密闭保压状态，压力传感器80可以检测加载腔室32内的压力值，以判断加载腔室32的密封性是否良好。

[0045] 第一控制阀40可以控制真空管路10和总管路70之间的通断，以及可以控制压缩空气管路20和总管路70之间的通断，当第一控制阀40与真空管路10连通时且第二控制阀50和第三控制阀60不影响真空管路10和总管路70之间的真空流动时，真空进入到加载腔室32内。当第一控制阀40与压缩空气管路20连通时且第二控制阀50和第三控制阀60不影响压缩空气管路20和总管路70之间的压缩空气流动时，压缩空气进入到加载腔室32内。上述的第二控制阀50和第三控制阀60不影响真空或者压缩气体流动指的是第二控制阀50连通第一控制阀40和总管路70，第三控制阀60处于连通状态。第一控制阀40还可以将真空管路10和压缩空气管路20同时断开。

[0046] 图2和图3所示的修整器进气系统100中的加载腔室32的状态与图1所示的修整器进气系统100的加载腔室32的状态相同，区别主要在于多个控制阀的通断状态的不同，本领域的技术人员通过对照图2和图3可以清楚获取加载腔室32不同状态对应的多个控制阀的通断状态，在此不再详述。

[0047] 根据本发明实施例的修整器进气系统100，通过合理控制修整器30和真空源、压缩空气源和大气源之间的通断状态，可以改变修整器30内的加载腔室32的状态，而且在初始状态时，大气源可以向加载腔室32内供入大气，从而可以避免加载腔室32的破损和寿命减少，以及可以避免消耗能源。

[0048] 根据本发明实施例的抛光机，包括上述实施例的修整器进气系统100。

[0049] 在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

[0050] 尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。