含氟化物水的处理方法以及处理装置

摘要

对含氟化物水进行RO膜处理，将脱盐水回收时，防止RO膜的闭塞，进行稳定处理，并且降低在RO膜处理的前处理中使用的药品量和产生污泥量。在含氟化物水中添加钙化合物，使得该含氟化物水中的钙浓度与该含氟化物水中的氟化物的反应当量相比，以钙计少5～200mg/L，进行反应后，对反应液进行固液分离，对将分离水进行RO膜处理，得到透过水。

权利要求

1.一种含氟化物水的处理方法，其特征在于，包含：第一工序，在含氟化物水中添加钙化合物，使得该含氟化物水中的钙浓度与该含氟化物水中的氟化物的反应当量相比，以钙计少5～200mg/L，进行反应；

第二工序，对该第一工序的反应液进行固液分离，获得氟化物浓度比所述含氟化物水低的分离水；以及，第三工序，对该分离水进行逆渗透膜处理，分离为透过水和浓缩水。

2.如权利要求1所述的含氟化物水的处理方法，其特征在于，在所述第一工序中，将钙化合物和镁化合物添加在所述含氟化物水中，在pH8～11的条件下反应。

3.如权利要求1所述的含氟化物水的处理方法，其特征在于，在所述第三工序中，将供给至所述逆渗透膜处理的所述分离水调整成pH9～11。

4.如权利要求1所述的含氟化物水的处理方法，其特征在于，包含：第四工序，将所述第三工序的透过水调整成pH5～8，进一步进行逆渗透膜分离，分离为透过水和浓缩水。

5.如权利要求1所述的含氟化物水的处理方法，其特征在于，对所述第一工序的反应液进行凝集处理后，供给于所述固液分离，所述钙化合物与经由该固液分离所获得的分离污泥的一部分的混合后作为混合物添加至所述含氟化物水。

6.如权利要求1至5中任一项所述的含氟化物水的处理方法，其特征在于，在所述第二工序的分离水中添加铁化合物，在pH5～9的条件下进行凝集处理后，进行固液分离，对得到的分离水进行硬度成分除去处理后，供给至所述第三工序的逆渗透膜处理。

7.一种含氟化物水的处理装置，其特征在于，具有：反应槽，在含氟化物水中添加钙化合物，使得该含氟化物水中的钙浓度与该含氟化物水中的氟化物的反应当量相比，以钙计少5～200mg/L，进行反应；

固液分离机构，对来自该反应槽的反应液进行固液分离，获得氟化物浓度比所述含氟化物水低的分离水；以及逆渗透膜分离装置(以下称为“第一逆渗透膜分离装置”)，对该分离水进行逆渗透膜处理，分离为透过水和浓缩水。

8.如权利要求7所述的含氟化物水的处理装置，其特征在于，在所述反应槽中，将钙化合物和镁化合物添加在所述含氟化物水中，在pH8～11的条件下反应。

9.如权利要求7所述的含氟化物水的处理装置，其特征在于，具有：pH调整机构，将供给至所述第一逆渗透膜分离装置的所述分离水调整成pH9～11。

10.如权利要求7所述的含氟化物水的处理装置，其特征在于，具有：pH调整机构，将所述第一逆渗透膜分离装置的透过水调整成pH5～8；以及，第二逆渗透膜分离装置，对经pH调整的水进行逆渗透膜分离，分离为透过水和浓缩水。

11.如权利要求7所述的含氟化物水的处理装置，其特征在于，具有：凝集处理机构，对来自所述反应槽的反应液进行凝集处理后，供给至所述固液分离机构；

混合槽，将由该固液分离机构所获得的分离污泥的一部分与钙化合物混合；以及，添加机构，将该混合槽的混合物作为所述钙化合物添加至所述反应槽。

12.如权利要求7至11中任一项所述的含氟化物水的处理装置，其特征在于，具有：凝集固液分离机构，在由所述固液分离机构所获得的分离水中添加铁化合物，在pH5～

9的条件下进行凝集处理后，进行固液分离，以及，硬度成分除去机构，对由该凝集固液分离机构所获得的分离水进行处理；

该硬度成分除去机构的处理水被供给至所述第一逆渗透膜分离装置。

说明书

含氟化物水的处理方法以及处理装置

技术领域

[0001] 本发明，涉及一种含氟化物水的处理方法以及处理装置，特别地涉及对含氟化物水逆渗透(RO)膜进行处理，将脱盐水回收时，防止RO膜的闭塞，进行稳定处理，并且降低在RO膜处理的前处理所使用的药品量和产生污泥量的含氟化物水的处理方法以及处理装置。

背景技术

[0002] 在电子显示器、半导体等电子工业领域的制造工场中，使用多种类的药品。在蚀刻、洗净等生产工序中使用大量的氟化氢/氟化氢酸(HF)、氟化硼酸(HBF4)、氟化铵(NH4F)等氟化物。因此，从这些的工序，大量产生含有这种氟化物的排水。从硅晶片的蚀刻工序，包含二氧化硅和氟化物的排水也被排出。从使用氟化铵的工序进一步排出包含铵成分的排水。

[0003] 含氟化物水的处理方法中，对含氟化物水进行RO膜处理，将脱盐水回收的方法已众所周知。但是，在含氟化物水含大量二氧化硅的情况下，通过RO膜处理使二氧化硅被浓缩而在RO膜表面析出，存在膜闭塞的问题。

[0004] 将含氟化物水调整成pH10～11后，通过进行RO膜处理，抑制二氧化硅的析出的方法在专利文献1中有所记载。

[0005] 通过在含氟化物水中添加钙化合物，析出氟化钙而固液分离，从而在氟化物浓度降低后进行RO膜处理的方法也一般被众所周知。但是，添加钙化合物，固液分离而获得的处理水钙浓度较高，因此，如果对此直接进行RO膜处理，则在RO膜表面会析出碳酸钙，而发生膜闭塞。

[0006] 在氟化物浓度降低水中添加碳酸盐，析出碳酸钙，减少钙后，通过进行RO膜处理，从而抑制碳酸钙的析出，同时将脱盐水回收的方法在专利文献2中有所记载。

[0007] 现有技术文献

[0008] 专利文献

[0009] 专利文献1：日本专利4910120号公报；

[0010] 专利文献2：日本特开2010-82546号公报。

发明内容

[0011] 发明所要解决的问题

[0012] 在专利文献1中，在酸性的含氟化物水中添加氢氧化钠等碱性剂，调整成pH10～11。因此，盐类浓度变高，在RO膜处理中需要较高的运转压力，使泵等的运转成本变高。在含-
氟化物水中铝与二氧化硅一起共存的情况下，具有负的电荷的Si(OH)3O 和具有正的电荷的Al(OH)3吸附在RO膜，通过堆层而发生膜闭阻塞。

[0013] 在专利文献2中，为了将钙除去而需要大量的碳酸盐，并且来自碳酸钙的污泥会大量产生。

[0014] 本发明的目的在于，解决上述现有的问题点，提供一种含氟化物水的处理方法及处理装置，对含氟化物水进行RO膜处理，将脱盐水回收时，防止RO膜的闭塞，进行稳定处理，并且降低在RO膜处理的前处理所使用的药品量和产生污泥量。

[0015] 解决问题的技术方案

[0016] 本发明人发现，通过使添加至含氟化物水的钙化合物的量比含氟化物水中的氟化物的反应当量少，就可以降低残留的钙浓度，就可以不需要由碳酸盐产生的钙除去工序。并且，发现，通过添加镁化合物和钙化合物，在pH8～11的碱性下反应，就可以将二氧化硅除去，可以防止起因于二氧化硅的RO膜的闭塞。

[0017] 本发明是基于这种见解而完成的，主要内容如下。

[0018] [1]一种含氟化物水的处理方法，包含：第一工序，在含氟化物水中添加钙化合物，使得该含氟化物水中的钙浓度与该含氟化物水中的氟化物的反应当量相比，以钙计少5～200mg/L，进行反应；第二工序，将该第一工序的反应液固液分离，获得氟化物浓度比所述含氟化物水低的分离水；以及，第三工序，对该分离水进行逆渗透膜处理，分离为透过水和浓缩水。

[0019] [2]如[1]所述的含氟化物水的处理方法，其特征在于，在所述第一工序中，将镁化合物和钙化合物添加在所述含氟化物水中，在pH8～11的条件下反应。

[0020] [3]如[1]或者[2]所述的含氟化物水的处理方法，其特征在于，在所述第三工序中，将朝所述逆渗透膜处理供给的所述分离水调整成pH9～11。

[0021] [4]如[1]至[3]中任一项所述的含氟化物水的处理方法，其特征在于，包含：第四工序，将所述第三工序的透过水调整成pH5～8，进一步进行逆渗透膜分离，分离为透过水和浓缩水。

[0022] [5]如[1]至[4]中任一项所述的含氟化物水的处理方法，其特征在于，对所述第一工序的反应液进行凝集处理后，供给至所述固液分离，所述钙化合物与经由该固液分离所获得的分离污泥的一部分的混合后作为混合物添加至所述含氟化物水。

[0023] [6]如[1]至[5]中任一项所述的含氟化物水的处理方法，其特征在于，在所述第二工序的分离水中添加铁化合物，在pH5～9的条件下进行凝集处理后进行固液分离，对所获得的分离水进行硬度成分除去处理后，供给至所述第三工序的逆渗透膜处理。

[0024] [7]一种含氟化物水的处理装置，具有：反应槽，在含氟化物水中添加钙化合物，使得该含氟化物水中的钙浓度与该含氟化物水中的氟化物的反应当量相比，以钙计少5～200mg/L，进行反应；固液分离机构，将来自该反应槽的反应液固液分离，获得氟化物浓度比所述含氟化物水低的分离水；以及，逆渗透膜分离装置(以下，称为“第一逆渗透膜分离装置”)，对该分离水进行逆渗透膜处理，分离为透过水和浓缩水。

[0025] [8]如[7]所述的含氟化物水的处理装置，其特征在于，在所述反应槽中，将镁化合物和钙化合物添加在所述含氟化物水中，在pH8～11的条件下反应。

[0026] [9]如[7]或者[8]所述的含氟化物水的处理装置，其特征在于，具有pH调整机构，将被供给至所述第一逆渗透膜分离装置的所述分离水调整成pH9～11。

[0027] [10]如[7]至[9]中任一项所述的含氟化物水的处理装置，其特征在于，具有：pH调整机构，将所述第一逆渗透膜分离装置的透过水调整成pH5～8；以及，第二逆渗透膜分离装置，对经pH调整的水进行逆渗透膜分离，分离为透过水和浓缩水。

[0028] [11]如[1]至[10]中任一项所述的含氟化物水的处理装置，其中，具有：凝集处理机构，对来自所述反应槽的反应液进行凝集处理后，供给至所述固液分离机构；混合槽，将由该固液分离机构所获得的分离污泥的一部分与钙化合物混合；以及，添加机构，将该混合槽的混合物作为所述钙化合物添加至所述反应槽。

[0029] [12]如[7]至[11]中任一项所述的含氟化物水的处理装置，其特征在于，具有：凝集固液分离机构，在由所述固液分离机构所获得的分离水中添加铁化合物，在pH5～9的条件下进行凝集处理后，进行固液分离，以及硬度成分除去机构，对由该凝集固液分离机构所获得的分离水进行处理；该硬度成分除去机构的处理水被供给至所述第一逆渗透膜分离装置。

[0030] 发明效果

[0031] 根据本发明，对含氟化物水进行RO膜处理，将脱盐水回收时，防止RO膜的闭塞，进行稳定处理，并且能够降低RO膜处理的前处理中使用的药品量和产生污泥量。

附图说明

[0032] 图1是显示本发明的含氟化物水的处理装置的实施方案的一个实例的系统图。

[0033] 图2是显示实施例1所采用的水处理装置的系统图。

[0034] 图3是显示比较例1所采用的水处理装置的系统图。

[0035] 图4是显示比较例2所采用的水处理装置的系统图。

具体实施方式

[0036] 以下，参照图面详细说明本发明的含氟化物水的处理方法及处理装置的实施例。

[0037] 图1是显示本发明的含氟化物水的处理装置的实施方案的系统图。

[0038] 在图1中，1是第一反应槽，2是第一凝集槽，3是第一固液分离机构，4是Ca反应槽(混合槽)，5是第二凝集槽，6是第二固液分离机构，7是硬度成分除去机构，8是pH调整槽，9是第一RO膜分离装置，10是第二RO膜分离装置。

[0039] 在本发明中，作为pH调整所使用的酸、碱，一般可以使用在通常的水处理所使用的酸、碱，例如，可以使用盐酸、硫酸等酸、氢氧化钠、氢氧化钾等碱性金属氢氧化物的碱。

[0040] 原水(含氟化物水)，是通过在第一反应槽1中，添加钙(Ca)化合物(在图1中，来自Ca反应槽4的改性污泥)，并且根据需要添加的镁(Mg)化合物和酸或者碱(通常是碱)，在pH8～11的条件下进行处理，生成氟化钙等不溶物(第一工序)。

[0041] 接着，对于第一反应槽1的处理水，在第一凝集槽2添加高分子凝集剂，进行凝集处理后，通过第一固液分离机构3进行固液分离(第二工序)。经固液分离的分离污泥向体系外排出，但是其一部分被供给至Ca反应槽4，与钙化合物混合。分离污泥和钙化合物的混合物(改性污泥)被供给至第一反应槽1。在第一固液分离槽3中经固液分离的分离水被供给至第二凝集槽5。在第二凝集槽5中，添加铁(Fe)化合物，并且根据需要添加酸或者碱，调整成pH5～9，进行凝集处理，在第二固液分离机构6中对凝集处理水进行固液分离。

[0042] 将由第二固液分离机构6固液分离的分离水导入至硬度成分除去机构7，除去钙、镁等硬度成分。对于由硬度成分除去机构7除去了硬度成分的处理水，在pH调整槽8中添加酸或者碱(通常是碱)，调整成pH9～11。在此，根据需要添加结垢防止剂。对于在pH调整槽8中进行了pH调整的水，在第一RO分离装置9中进行RO膜处理，分离为经脱盐的透过水和浓缩水(第三工序)。

[0043] 对于由第一RO膜分离装置9脱盐的透过水，通过酸或者碱(通常是酸)调整成pH5～8后，由第二RO膜分离装置10进一步地进行脱盐处理，分离为透过水和浓缩水(第四工序)。

[0044] 由第四工序所获得的透过水，能够作为设备用水或者超纯水原水再利用。

[0045] 以下，详细说明各工序。

[0046] <第一工序>

[0047] 在第一工序中，在原水(含氟化物水)中添加钙化合物，通过下式的反应析出氟化钙(第一反应槽1)。

[0048] Ca2++2F-→CaF2

[0049] 对于钙化合物的添加量而言，使钙化合物添加后的原水中的钙量与由下式算出的原水中的氟化物的反应当量相比以钙计少5～200mg-Ca/L，优选为少5～50mg-Ca/L。

[0050] 反应当量的钙量[mg-Ca/L]＝原水的氟浓度[mg-F/L]×(40/38)

[0051] 如果钙化合物的添加量是比上述下限少，则不能充分地进行氟化物的除去，后段的RO膜处理的给水的盐类浓度会变高。另一方面，如果比上述上限多，则在第二工序的分离水残留的钙浓度会变高。在此情况下，成为需要使用碳酸盐的钙除去工序，使用药品量和产生污泥量会变多。

[0052] 通常，从作为本发明中的处理对象的电子显示器、半导体等电子工业领域等排出的含氟化物水的氟浓度是20～1000mg-F/L，也有150～800mg-F/L。在本发明中，对这种原水添加钙化合物，使添加钙化合物后的原水中的钙量为对于原水中的氟化物的反应当量，以钙计少5～200mg-Ca/L，优选为少5～50mg-Ca/L。

[0053] 以这种添加量添加钙化合物后的原水的钙浓度为原水中的氟化物的反应当量的0.65以上小于1.0倍，优选为0.9以上小于1.0倍(以下，将相对于原水中的氟化物的反应当量的钙浓度的比率称为“反应当量比”)。

[0054] 由于存在在原水中也包含钙的情况，所以，以使来自在原水中添加的钙化合物的钙浓度和来自原水的钙(包含于原水的钙)浓度的合计成为上述的钙浓度的方式添加钙化合物。在原水中几乎不含有钙时，可以根据原水的氟浓度决定钙添加量。

[0055] 在第一工序中，通过添加镁化合物和钙化合物，在pH8～11的碱性条件下反应，从而可以通过原水中的二氧化硅与镁化合物的反应，将二氧化硅以硅酸镁的形式除去。在原水中混入磷酸的时，通过下式使磷酸与钙反应，就可以使磷酸以磷酸钙的形式析出而除去。

[0056] 10Ca2++6PO43-+2OH-→Ca10(PO4)6(OH)2

[0057] 第一工序中的反应优选为在pH8～11、更优选为在pH9～10.5进行。

[0058] 作为钙化合物，可以使用氢氧化钙、碳酸钙、氯化钙等，作为镁化合物，可以使用氢氧化镁、氯化镁等。在添加镁化合物的情况下，其添加量优选为与原水Si浓度相对成为Mg/Si比(重量比)＝0.1～1左右的量。在将镁化合物并用添加的情况下，如果使用含有镁的钙系药剂，则可以减少使用药剂的种类，因而优选。作为这种钙系药剂，可举例例如，氢氧化钙、碳酸钙等。特别是优选使用镁/钙含量比(重量比)0.002～0.02的消石灰。

[0059] <第二工序>

[0060] 在第二工序中，对由第一工序析出的不溶物(包含氟化钙、磷酸钙硅酸镁的污泥)进行固液分离，得到分离水(第一固液分离机构3)。在此，为了提高固液分离性，在第一工序和第二工序之间，也可以进行添加高分子凝集剂进行凝集处理的凝集工序(第一凝集槽2)。

[0061] 作为高分子凝集剂，可以使用阴离子系高分子凝集剂、非离子系高分子凝集剂等一种或者两种以上。其添加量根据处理对象原水的水质、使用的高分子凝集剂不同，但是通常为0.1～20mg/L左右。

[0062] 在进行使用高分子凝集剂的凝集处理而得到的固液分离水中残留高分子凝集剂时，如图1所示，在该分离水中添加无机凝集剂进行凝集处理后，也可以进一步进行固液分离的工序(第二凝集槽5、第二固液分离机构6)。在分离水中残留的高分子凝集剂，因为成为发生后段的RO膜的膜闭塞的原因，所以通过使用来自无机凝集剂的金属氢氧化物对残留高分子凝集剂进行吸附、固液分离，从而除去。作为无机凝集剂，优选氯化铁、硫酸铁等铁化合物。这是因为，如果使用氯化合物作为无机凝集剂，则分离水中的氟化物和铝离子形成络合物，所以氢氧化铝难以析出。铁化合物的添加量根据高分子凝集剂的残留量而不同，但是通常，以Fe换算的添加量计为0.5～5mg/L左右。

[0063] 对于使用此铁化合物的凝集处理而言，根据需要添加酸或者碱，在pH5～9的范围内进行，但是优选在提高高分子凝集剂的吸附除去效率方面优选。

[0064] 为了促进第一工序中的不溶物的析出，如图1所示，也可以将通过第一固液分离机构3分离的分离污泥的一部分送回至Ca反应槽4，与添加在原水中的钙化合物混合后，移送至第一反应槽1。在该情况下，分离污泥的送回量优选为以由下式表示的送回比计10～80的范围。

[0065] 送回比＝(污泥送回流量×送回污泥浓度)/(原水流量×来自原水的产生SS浓度)[0066] 作为第二工序中的第一固液分离机构3、第二固液分离机构6，除了使用沉淀槽等固液分离槽以外，可以使用膜分离装置、过滤装置等。

[0067] <第三工序>

[0068] 在第三工序中，对第二工序的分离水进行RO膜处理，分离为透过水和浓缩水，将经脱盐的透过水回收(第一RO膜分离装置9)。对供给至第三工序的RO膜处理的分离水，根据需要添加酸或者碱，优选调整成pH5～12，特别是pH9～11(pH调整槽8)。这是因为，RO膜处理的供给水中的氟化物如下述反应式所示，在pH9以上的条件下，大部分以氟化物离子的形式解离，所以RO膜中的氟化物除去率变高。

[0069]

[0070] 在此，为了抑制RO膜中的结垢生成，也可以将第二工序的处理水导入至软化塔等硬度成分除去机构7，进行除去钙、镁等硬度成分的工序。另外，也可以在第一RO膜分离装置9的供给水中添加螯合剂等结垢防止剂。

[0071] <第四工序>

[0072] 在第四工序中，对第三工序的透过水进行RO膜分离，分离为透过水和浓缩水，进一步将经脱盐的透过水回收(第二RO膜分离装置10)。出于以下的理由，该RO膜处理的供给水的pH优选为pH5～8。在原水中含有氨的情况下，如果第三工序中在pH9～11的碱性条件下进行处理，则RO膜中的氨的除去率较低，有氨残留在透过水中的倾向。在第四工序的供给水中残存的氨，在pH8以下的条件下，大部分以铵离子的形式解离。将此pH过度降低，在用于pH调整的药剂量、后段的处理等方面不优选。因此，通过在第三工序的第一RO膜分离装置9的透过水中，根据需要添加酸或者碱(通常是酸)，调整成pH5～8，从而提高第二RO膜分离装置10中的氨除去率。

[0073] [实施例]

[0074] 在以下举例实施例和比较例，更具体地说明本发明。

[0075] 作为原水，使用下述水质的原水。成为该原水中的氟化物的反应当量的钙浓度是594.7mg-Ca/L，如果减去原水中的钙浓度17.3mg-Ca/L，则用于成为原水中的氟化物的反应当量的钙化合物的添加量为577mg-Ca/L。

[0076] <原水水质>

[0077] [表1]

[0078]项目 单位 数值
pH - 2.5
EC mS/m 334
Ca mg/L 17.3
Mg mg/L 1.1
Al mg/L 0.2
T-P mg/L 15.1
NH4 mg/L 19.1
F mg/L 565
Si mg/L 13.3

[0079]

[0080] 作为钙化合物，使用消石灰(Ca(OH)2、Mg/Ca(重量比)＝0.008)，作为pH调整用的酸，使用盐酸(HCl)，作为碱，使用氢氧化钠(NaOH)。作为铁化合物，使用氯化铁(38％FeCl3)。作为高分子凝集剂，使用栗田工业(株)制造的阴离子系高分子凝集剂“Crifloc PA331”，作为结垢防止剂，使用乙烯二胺四酢酸钠盐(EDTA)。

[0081] [实施例1～3]

[0082] 进行约3周对表1所示的水质的原水通过图2所示的水处理装置进行处理的运转。在图2中，对起到与图1中相同功能的处理部标记相同符号。各处理部的规格和各处理部的流量等处理条件如下所述。

[0083] <第一反应槽1>

[0084] pH：10.5

[0085] HRT：20min

[0086] 消石灰添加量：以钙换算添加量计，如表2所示

[0087] <第一凝集槽2>

[0088] PA331添加量:1mg/L

[0089] HRT:5min

[0090] <第一沉淀槽3A>

[0091] LV:4m/h

[0092] 污泥送回比:20

[0093] <第二凝集槽5>

[0094] 38％FeCl3添加量:15mg/L

[0095] pH:6.5

[0096] HRT:10min

[0097] <砂过滤塔6A>

[0098] LV＝10m/h

[0099] <软化塔(离子交换树脂塔)7A>

[0100] 树脂:三菱化学公司制造强酸性阳离子交换树脂“SK-1B”

[0101] SV:30h-1

[0102]

[0103] pH:10.5

[0104] EDTA添加量:0.0025mmol/L

[0105] <第一RO膜分离装置9>

[0106] RO膜:日东电工公司制造低压芳香族聚酰胺膜“ES-20”

[0107] 供给水量:100L/h

[0108] 回收率:80％

[0109] <第二RO膜分离装置10>

[0110] RO膜:日东电工公司制造低压芳香族聚酰胺膜“ES-20”

[0111] 供给水量:80L/h

[0112] 回收率:90％

[0113] pH:7.5

[0114] [比较例1]

[0115] 进行约3周对表1所示的水质的原水通过图3所示的水处理装置进行处理的运转。在图3中，对起到与图2中相同功能的处理部标记相同符号。各处理部的规格和各处理部的流量等处理条件如下所述。

[0116] 在本比较例中，除了消石灰添加量比实施例1～3多，将第一反应槽的pH设为8.0，设有对第一沉淀槽3A的分离水进行钙除去工序的第二反应槽11、附加凝集槽12以及第二沉淀槽13的点与实施例1～3不同，其他的处理是与实施例1～3同样地进行。

[0117] <第一反应槽1>

[0118] pH:8.0

[0119] HRT:20min

[0120] 消石灰添加量:以钙换算添加量计，如表2所示

[0121] <第一凝集槽2>

[0122] PA331添加量:1mg/L

[0123] HRT:5min

[0124] <第一沉淀槽3A>

[0125] LV:4m/h

[0126] 污泥送回比:20

[0127] <第二反应槽11>

[0128] Na2CO3添加量:1000mg/L

[0129] 38％FeCl3添加量:15mg/L

[0130] pH:9.0

[0131] HRT:10min

[0132] <附加凝集槽12>

[0133] PA331添加量:1mg/L

[0134] HRT:5min

[0135] <第二沉淀槽13>

[0136] LV:4m/h

[0137] <第二凝集槽5>

[0138] 38％FeCl3添加量:15mg/L

[0139] pH:6.5

[0140] HRT:10min

[0141] <砂过滤塔6A>

[0142] LV＝10m/h

[0143] <软化塔(离子交换树脂塔)7A>

[0144] 树脂:三菱化学公司制造强酸性阳离子交换树脂“SK-1B”

[0145] SV:30h-1

[0146]

[0147] pH:10.5

[0148] EDTA添加量:0.0025mmol/L

[0149] <第一RO膜分离装置9>

[0150] RO膜:日东电工公司制低压芳香族聚酰胺膜“ES-20”

[0151] 供给水量:100L/h

[0152] 回收率:80％

[0153] <第二RO膜分离装置10>

[0154] RO膜:日东电工公司制低压芳香族聚酰胺膜“ES-20”

[0155] 供给水量:80L/h

[0156] 回收率:90％

[0157] pH:7.5

[0158] [比较例2]

[0159] 进行对表1所示的水质的原水通过图4所示的水处理装置进行处理的运转。在图4中，对起到与图2中相同功能的处理部标记相同符号。各处理部的规格和各处理部的流量等处理条件如下所述。

[0160] 该比较例2，除了省略第一反应槽1、第一凝集槽2、第一沉淀槽3A、Ca反应槽4以及第二RO膜分离装置10以外，以与实施例1～3同样的条件进行了处理，但是膜通量急剧地下降，从运转开始5天后不能运转。

[0161] <第二凝集槽5>

[0162] 38％FeCl3添加量:15mg/L

[0163] pH:6.5

[0164] HRT:5min

[0165] <砂过滤塔6A>

[0166] LV＝10m/h

[0167] <软化塔(离子交换树脂塔)7A>

[0168] 树脂:三菱化学公司制造强酸性阳离子交换树脂“SK-1B”

[0169] SV:30h-1

[0170]

[0171] pH:10.5

[0172] EDTA添加量:0.0025mmol/L

[0173] <第一RO膜分离装置9>

[0174] RO膜:日东电工公司制造低压芳香族聚酰胺膜“ES-20”

[0175] 供给水量:100L/h

[0176] 回收率:80％

[0177] 以上的实施例1～3和比较例1、2中的砂过滤处理水、第一RO膜分离装置以及第二RO膜分离装置的透过水的水质、第一RO膜分离装置的膜通量的下降率(与运转开始时的膜通量相对的下降率)以及每原水流量的产生污泥量如表2所示。但是，此处，产生污泥量，也考虑了对RO膜分离装置的浓缩水的氟使用钙进行处理时生成的污泥。

[0178] [表2]

[0179]

[0180] ※kg-干燥污泥/m3-原水

[0181] 由表2可知，根据本发明，可以防止RO膜中的膜通量的下降，长期维持较高的膜通量。与此相对，在比较例1中，虽可以抑制膜通量的下降，但是由于钙化合物的添加量较多，所以需要由碳酸盐导致的钙除去工序，药品使用量较多，产生污泥量也多。与该比较例1相对，在实施例1～3中，能够实现药品使用量、产生污泥量的降低。在比较例2中，由具有负的电荷的Si(OH)3O-和具有正的电荷的Al(OH)3吸附、堆层于RO膜而导致的膜闭塞会使膜通量早期下降，使运转不能继续。

[0182] 虽使用特定的方式详细说明本发明，但是本领域技术人员可以明确在不脱离本发明的意图和范围的情况下可进行各种变更。

[0183] 本申请基于2013年4月25日提出申请的日本专利申请2013-092660，援引其全部内容。