柔性双驱动运动平台

摘要

本发明涉及一种柔性双驱动运动平台，包括机架、第一直线电机、第二直线电机及横梁，第一直线电机和第二直线电机相对设置于所述机架上；所述第一直线电机包括第一电机定子及可在所述第一电机定子上沿Y轴方向运动的第一电机动子；所述第二直线电机包括第二电机定子及可在所述第二电机定子上沿Y轴方向运动的第二电机动子；横梁沿X轴方向延伸，且所述横梁的一端通过一第一弹性连接座与所述第一电机动子相连，所述横梁的另一端通过一第二弹性连接座与所述第二电机动子相连。根据本发明实施例提供的柔性双驱动运动平台，可以防止运动平台出现卡滞等问题，提高运动平台使用的可靠性。

权利要求

1.一种柔性双驱动运动平台，其特征在于，包括：

机架；

第一直线电机和第二直线电机，所述第一直线电机和第二直线电机相对设置于所述机架上；所述第一直线电机包括第一电机定子及可在所述第一电机定子上沿Y轴方向运动的第一电机动子；所述第二直线电机包括第二电机定子及可在所述第二电机定子上沿Y轴方向运动的第二电机动子；

横梁，所述横梁沿X轴方向延伸，且所述横梁的一端通过一第一弹性连接座与所述第一电机动子相连，所述横梁的另一端通过一第二弹性连接座与所述第二电机动子相连；

第一导向机构，设置于所述机架上，所述第一导向机构包括沿Y轴延伸的第一导轨及设置于所述第一导轨上可沿所述Y轴滑动的第一滑块，所述第一弹性连接座与所述第一电机动子及所述第一滑块相对固定；

第二导向机构，与所述第一导向机构相对设置于所述机架上，所述第二导向机构与所述包括沿Y轴延伸的第二导轨及设置于所述第二导轨上可沿所述Y轴滑动的第二滑块，所述第二弹性连接座与所述第二电机动子及所述第二滑块相对固定。

2.根据权利要求1所述的柔性双驱动运动平台，其特征在于，所述第一弹性连接座包括：第一基座，所述第一基座具有一第一底面及一第一侧面，所述第一底面与所述第一电机定子和所述第一滑块相对固定，所述第一侧面形成有一沿竖向贯穿所述第一基座的第一避让槽；

第一连接块，所述第一连接块与所述第一避让槽在X轴方向上相对设置且与所述横梁的所述一端固定，所述第一连接块在Y轴方向上的宽度小于所述第一避让槽的宽度；

第一弹性板，所述第一弹性板位于所述第一基座和所述第一连接块之间且与所述第一基座和所述第一连接块固定，所述第一弹性板与所述第一侧面平行并遮盖所述第一避让槽。

3.根据权利要求1所述的柔性双驱动运动平台，其特征在于，所述第二弹性连接座包括：第二基座，所述第二基座具有一第二底面及一第二侧面，所述第二底面与所述第二电机定子和所述第二滑块相对固定，所述第二侧面形成有一沿竖向贯穿所述第二基座的第二避让槽；

第二连接块，所述第二连接块与所述第二避让槽在X轴方向上相对设置且与所述横梁的所述另一端固定，所述第二连接块在Y轴方向上的宽度小于所述第二避让槽的宽度；

第二弹性板，所述第二弹性板位于所述第二基座和所述第二连接块之间且与所述第二基座和所述第二连接块固定，所述第二弹性板与所述第二侧面平行并遮盖所述第二避让槽。

4.根据权利要求2所述的柔性双驱动运动平台，其特征在于，所述第一避让槽内形成有一沿竖向延伸且抵持于所述第一弹性板和所述第一基座之间的筋条，所述筋条与所述第一连接块位于与所述X轴平行的同一竖向平面内，所述筋条在Y轴方向上的宽度小于所述第一连接块的宽度。

5.根据权利要求4所述的柔性双驱动运动平台，其特征在于，所述筋条位于所述第一避让槽在Y轴方向上的中间位置。

6.根据权利要求1所述的柔性双驱动运动平台，其特征在于，还包括：

第一位移传感器，用以检测第一电机动子的移动距离；

第二位移传感器，用以检测第二电机动子的移动距离；

控制器，所述控制器用以根据所述第一位移传感器和第二位移传感器检测的移动距离计算所述第一电机动子和第二电机动子的相对位置误差，并根据所述相对位置误差控制所述第一直线电机和/或第二直线电机进行移动距离补偿，以使所述第一直线电机和第二直线电机保持同步。

7.根据权利要求6所述的柔性双驱动运动平台，其特征在于，所述第一位移传感器包括第一光栅及第一读数头，所述第一光栅与所述第一导轨相对固定且沿Y轴方向延伸，所述第一读数头安装于所述第一滑块上；

所述第二位移传感器包括第二光栅及第二读数头，所述第二光栅与所述第二导轨相对固定且沿Y轴方向延伸，所述第二读数头安装于所述第二滑块上。

8.根据权利要求1所述的柔性双驱动运动平台，其特征在于，还包括：

第三直线电机，所述第三直线电机设置于所述横梁上，所述第三直线电机包括第三电机定子及可在所述第三电机定子上沿X轴方向运动的第三电机动子。

9.根据权利要求8所述的柔性双驱动运动平台，其特征在于，还包括：

第三导向机构，所述第三导向机构包括沿X轴延伸的两个平行设置的第三导轨及设置于两所述第三导轨上可沿所述X轴滑动的第三滑块，所述第三电机定子平行设置于两个所述第三导轨之间，所述第三电机动子与所述第三滑块相对固定。

说明书

柔性双驱动运动平台

技术领域

[0001] 本发明涉及运动平台，特别涉及一种柔性双驱动运动平台。

背景技术

[0002] 直线电机是一种将电能直接转换成直线运动机械能，不需要任何中间传动机构，因此，直线电机被应用于运动平台中用以驱动运动平台运动。然而，对于大跨距运动平台的
双驱动是运动平台的一个难点，也即是采用两台直线电机驱动运动平台运动，相关技术中，
双驱动的运动平台采用电机串联等方法，容易出现卡滞等问题。

发明内容

[0003] 本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的目的在于提出一种柔性双驱动运动平台。

[0004] 为实现上述目的，根据本发明实施例的柔性双驱动运动平台，包括：

[0005] 机架；

[0006] 第一直线电机和第二直线电机，所述第一直线电机和第二直线电机相对设置于所述机架上；所述第一直线电机包括第一电机定子及可在所述第一电机定子上沿Y轴方向运
动的第一电机动子；所述第二直线电机包括第二电机定子及可在所述第二电机定子上沿Y
轴方向运动的第二电机动子；

[0007] 横梁，所述横梁沿X轴方向延伸，且所述横梁的一端通过一第一弹性连接座与所述第一电机动子相连，所述横梁的另一端通过一第二弹性连接座与所述第二电机动子相连。

[0008] 根据本发明实施例提供的柔性双驱动运动平台，横梁的一端通过一第一弹性连接座与第一电机动子相连，横梁的另一端通过一第二弹性连接座与第二电机动子相连，如此，
在第一直线电机和第二直线电机不同步(即存在同步误差)时，第一弹性连接座和/或第二
弹性连接座发生变形，进而防止运动平台出现卡滞等问题，提高运动平台使用的可靠性。

[0009] 另外，根据本发明上述实施例的柔性双驱动运动平台还可以具有如下附加的技术特征：

[0010] 根据本发明的一个实施例，还包括：

[0011] 第一导向机构，设置于所述机架上，所述第一导向机构包括沿Y轴延伸的第一导轨及设置于所述第一导轨上可沿所述Y轴滑动的第一滑块，所述第一弹性连接座与所述第一
电机动子及所述第一滑块相对固定；

[0012] 第二导向机构，与所述第一导向机构相对设置于所述机架上，所述第二导向机构与所述包括沿Y轴延伸的第二导轨及设置于所述第二导轨上可沿所述Y轴滑动的第二滑块，
所述第二弹性连接座与所述第二电机动子及所述第二滑块相对固定。

[0013] 根据本发明的一个实施例，所述第一弹性连接座包括：

[0014] 第一基座，所述第一基座具有一第一底面及一第一侧面，所述第一底面与所述第一电机定子和所述第一滑块相对固定，所述第一侧面形成有一沿竖向贯穿所述第一基座的
第一避让槽；

[0015] 第一连接块，所述第一连接块与所述第一避让槽在X轴方向上相对设置且与所述横梁的所述一端固定，所述第一连接块在Y轴方向上的宽度小于所述第一避让槽的宽度；

[0016] 第一弹性板，所述第一弹性板位于所述第一基座和所述第一连接块之间且与所述第一基座和所述第一连接块固定，所述第一弹性板与所述第一侧面平行并遮盖所述第一避
让槽。

[0017] 根据本发明的一个实施例，所述第二弹性连接座包括：

[0018] 第二基座，所述第二基座具有一第二底面及一第二侧面，所述第二底面与所述第二电机定子和所述第二滑块相对固定，所述第二侧面形成有一沿竖向贯穿所述第二基座的
第二避让槽；

[0019] 第二连接块，所述第二连接块与所述第二避让槽在X轴方向上相对设置且与所述横梁的所述另一端固定，所述第二连接块在Y轴方向上的宽度小于所述第二避让槽的宽度；

[0020] 第二弹性板，所述第二弹性板位于所述第二基座和所述第二连接块之间且与所述第二基座和所述第二连接块固定，所述第二弹性板与所述第二侧面平行并遮盖所述第二避
让槽。

[0021] 根据本发明的一个实施例，所述第一避让槽内形成有一沿竖向延伸且抵持于所述第一弹性板和所述第一基座之间的筋条，所述筋条与所述第一连接块位于与所述X轴平行
的同一竖向平面内，所述筋条在Y轴方向上的宽度小于所述第一连接块的宽度。

[0022] 根据本发明的一个实施例，所述筋条位于所述第一避让槽在Y轴方向上的中间位置。

[0023] 根据本发明的一个实施例，还包括：

[0024] 第一位移传感器，用以检测第一电机动子的移动距离；

[0025] 第二位移传感器，用以检测第二电机动子的移动距离；

[0026] 控制器，所述控制器用以根据所述第一位移传感器和第二位移传感器检测的移动距离计算所述第一电机动子和第二电机动子的相对位置误差，并根据所述相对位置误差控
制所述第一直线电机和/或第二直线电机进行移动距离补偿，以使所述第一直线电机和第
二直线电机保持同步。

[0027] 根据本发明的一个实施例，所述第一位移传感器包括第一光栅及第一读数头，所述第一光栅与所述第一导轨相对固定且沿Y轴方向延伸，所述第一读数头安装于所述第一
滑块上；

[0028] 所述第二位移传感器包括第二光栅及第二读数头，所述第二光栅与所述第二导轨相对固定且沿Y轴方向延伸，所述第二读数头安装于所述第二滑块上。

[0029] 根据本发明的一个实施例，还包括：

[0030] 第三直线电机，所述第三直线电机设置于所述横梁上，所述第三直线电机包括第三电机定子及可在所述第三电机定子上沿X轴方向运动的第三电机动子。

[0031] 根据本发明的一个实施例，还包括：

[0032] 第三导向机构，所述第三导向机构包括沿X轴延伸的两个平行设置的第三导轨及设置于两所述第三导轨上可沿所述X轴滑动的第三滑块，所述第三电机定子平行设置于两
个所述第三导轨之间，所述第三电机动子与所述第三滑块相对固定。

[0033] 本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

[0034] 图1是本发明实施例柔性双驱动运动平台一个视角的结构示意图；

[0035] 图2是本发明实施例柔性双驱动运动平台中第一弹性连接座的结构示意图；

[0036] 图3是本发明实施例柔性双驱动运动平台中第二弹性连接座的结构示意图；

[0037] 图4是本发明实施例柔性双驱动运动平台另一个视角的结构示意图。

[0038] 附图标记：

[0039] 机架10；

[0040] 机柜101；

[0041] 支撑架102；

[0042] 第一直线电机20；

[0043] 第一电机定子201；

[0044] 第一电机动子202；

[0045] 第二直线电机21；

[0046] 第二电机定子211；

[0047] 第二电机动子212；

[0048] 横梁30；

[0049] 第一弹性连接座31；

[0050] 第一基座311；

[0051] 第一底面3111；

[0052] 第一侧面3112；

[0053] 第一避让槽3113；

[0054] 筋条3114；

[0055] 第一连接块312；

[0056] 第一弹性板313；

[0057] 第一连接板314；

[0058] 第二弹性连接座32；

[0059] 第二基座321；

[0060] 第二底面3211；

[0061] 第二侧面3212；

[0062] 第二避让槽3213；

[0063] 第二连接块322；

[0064] 第二弹性板323；

[0065] 第二连接板324；

[0066] 第一导向机构40；

[0067] 第一导轨401；

[0068] 第一滑块402；

[0069] 第二导向机构41；

[0070] 第二导轨411；

[0071] 第二滑块412；

[0072] 第三直线电机50；

[0073] 第三电机定子501；

[0074] 第三电机动子502；

[0075] 第一位移传感器60；

[0076] 第一读数头601；

[0077] 第一光栅602；

[0078] 第三导轨70；

[0079] 第三滑块71。

[0080] 本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

[0081] 下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附
图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

[0082] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特
定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

[0083] 此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者
隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，
除非另有明确具体的限定。

[0084] 在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元
件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发
明中的具体含义。

[0085] 参照图1所示，本发明实施例提供了一种柔性双驱动运动平台，包括机架10、第一直线电机20、第二直线电机21及横梁30。

[0086] 具体而言，第一直线电机20和第二直线电机21相对设置于所述机架10上，在图1示例中，机架10包括机柜101及相对设置于机柜101顶部的两个支撑架102，第一直线电机20设
置于两个支撑架102之一上，第二直线电机21设置于两个支撑架102中的另一个上。

[0087] 第一直线电机20包括第一电机定子201及可在所述第一电机定子201上沿Y轴方向运动的第一电机动子202；所述第二直线电机21包括第二电机定子211及可在所述第二电机
定子211上沿Y轴方向运动的第二电机动子212，在图1示例中，第一电机定子201和第二电机
定子211相互平行且均沿Y轴方向延伸。

[0088] 横梁30沿X轴方向延伸，且横梁30的一端通过一第一弹性连接座31与所述第一电机动子202相连，所述横梁30的另一端通过一第二弹性连接座32与所述第二电机动子212相
连。当第一直线电机20和第二直线电机21工作时，第一电机动子202和第二电机动子212沿Y
轴方向运动进而通过驱动横向沿Y方向来回运动。

[0089] 由于第一弹性连接座31连接在横梁30的一端和第一电机动子202之间，而第二弹性连接座32连接于横梁30的另一端和第二电机动子212之间，同时，第一弹性连接座31和第
二弹性连接座32具有一定的弹性，所以，当第一直线电机20和第二直线电机21运动不同步
时，也即是，相同时间内第一电机动子202和第二电机动子212移动的距离不同进而造成相
对位置误差，此时，第一弹性连接座31和第二弹性连接座32产生一定的变形量，使得横梁30
相对于X轴具有一定的倾斜，进而防止第一直线电机20和第二直线电机21被卡滞，确保其仍
然能够驱动横梁30沿Y轴运动。

[0090] 相关技术中，横梁30的两端采用刚性连接方式连接至两个直线电机，进而使得当第一直线电机20和第二直线电机21出现不同步的情况时，由于横梁30的两端没有一定的变
形量，进而导致第一直线电机20和第二直线电机21卡滞甚至损坏等问题。而本发明中，通过
第一弹性连接座31和第二弹性连接座32分别与横梁30的两端连接的方式，由于第一弹性连
接座31和第二弹性连接座32具有一定的弹性，因此，可称为“柔性连接”。

[0091] 根据本发明实施例提供的柔性双驱动运动平台，横梁30的一端通过一第一弹性连接座31与第一电机动子202相连，横梁30的另一端通过一第二弹性连接座32与第二电机动
子212相连，如此，在第一直线电机20和第二直线电机21不同步(即存在同步误差)时，第一
弹性连接座31和/或第二弹性连接座32发生变形，进而防止运动平台出现卡滞等问题，提高
运动平台使用的可靠性。

[0092] 参照图1所示，在本发明的一些实施例中，还包括第一导向机构40及第二导向机构41，第一导向机构40设置于所述机架10上，所述第一导向机构40包括沿Y轴延伸的第一导轨
401及设置于所述第一导轨401上可沿所述Y轴滑动的第一滑块402，所述第一弹性连接座31
与所述第一电机动子202及所述第一滑块402相对固定。

[0093] 第二导向机构41与所述第一导向机构40相对设置于所述机架10上，所述第二导向机构41与所述包括沿Y轴延伸的第二导轨411及设置于所述第二导轨411上可沿所述Y轴滑
动的第二滑块412，所述第二弹性连接座32与所述第二电机动子212及所述第二滑块412相
对固定。

[0094] 由此，当第一直线电机20的第一电机动子202运动时，可以利用第一导轨401与第一滑块402之间的滑动配合实现Y轴方向的导向，进而确保第一直线电机20线性运动更加可
靠；当第二直线电机21的第二电机动子212运动时，可以利用第二导轨411与第二滑块412之
间的滑动配合实现Y轴方向的导向，进而确保第二直线电机21线性运动更加可靠。而当第一
直线电机20和第二直线电机21都各个可靠的运动时，可以减小第一直线电机20和第二直线
电机21运动中产生的相对位置误差，进而进一步减少卡滞问题。

[0095] 参照图2至图3所示，在本发明的一个实施例中，第一弹性连接座31包括第一基座311、第一连接块312及第一弹性板313。其中，第一基座311具有一第一底面3111及一第一侧
面3112，所述第一底面3111与所述第一电机定子201和所述第一滑块402相对固定，例如通
过螺钉、螺栓等紧固件与第一电机定子201和第一滑块402固定，所述第一侧面3112形成有
一沿竖向贯穿所述第一基座311的第一避让槽3113。

[0096] 第一连接块312与所述第一避让槽3113在X轴方向上相对设置且与所述横梁30的所述一端固定，所述第一连接块312在Y轴方向上的宽度小于所述第一避让槽3113的宽度。
在图2示例中，该第一连接块312的一侧固定一第一连接板314，该第一连接板314通过螺钉、
螺栓等紧固件与横梁30的所述一端固定，如此，实现第一连接块312与横梁30的所述一端之
间的固定。

[0097] 第一弹性板313位于所述第一基座311和所述第一连接块312之间且与所述第一基座311和所述第一连接块312固定，所述第一弹性板313与所述第一侧面3112平行并遮盖所
述第一避让槽3113。在图2示例中，第一弹性板313沿Y轴方向的两侧通过螺钉、螺栓等紧固
件固定在于第一基座311的第一侧面3112，而第一弹性板313的中间位置通过螺钉、螺栓等
紧固件固定至第一连接块312的另一侧。

[0098] 第二弹性连接座32包括第二基座321、第二连接块322及第二弹性板323，其中，第二基座321具有一第二底面3211及一第二侧面3212，所述第二底面3211与所述第二电机定
子211和所述第二滑块412相对固定，例如通过螺钉、螺栓等紧固件与第二电机定子211和第
二滑块412固定，所述第二侧面3212形成有一沿竖向贯穿所述第二基座321的第二避让槽
3213。

[0099] 第二连接块322与所述第二避让槽3213在X轴方向上相对设置，且所述第二连接块322在Y轴方向上的宽度小于所述第二避让槽3213的宽度。在图3示例中，该第二连接块322
的一侧固定一第二连接板324，该第二连接板324通过螺钉、螺栓等紧固件与横梁30的所述
另一端固定，如此，实现第二连接块322与横梁30的所述另一端之间的固定。

[0100] 第二弹性板323位于所述第二基座321和所述第二连接块322之间且与所述第二基座321和所述第二连接块322固定，所述第二弹性板323与所述第二侧面3212平行并遮盖所
述第二避让槽3213。在图3示例中，第一弹性板313沿Y轴方向的两侧通过螺钉、螺栓等紧固
件固定在于第二基座321的第一侧面3112，而第二弹性板323的中间位置通过螺钉、螺栓等
紧固件固定至第二连接块322的另一侧。

[0101] 当第一直线电机20和第二直线电机21不同步而导致第一电机动子202和第二电机动子212存在相对位置误差时，横梁30倾斜进而使得第一连接块312和第二连接块322受到Y
轴方向的作用力，在受到作用力时，第一连接块312和第二连接块322将该作用力分别传递
至第一弹性板313和第二弹性板323，使得第一弹性板313和第二弹性板323产生一定的变
形，第一避让槽3113和第二避让槽3213是分别为第一弹性板313和第二弹性板323提供变形
的空间。如此，即可确保第一直线电机20和第二直线电机21在不同步时不容易出现卡滞问
题。

[0102] 本实施例中，采用上述结构的第一弹性连接座31和第二弹性连接座32，其结构简单，装配方便，同时，连接可靠，而且，利用第一弹性板313和第二弹性板323作为弹性部分，
可以使得弹性变形量相对处于合理范围而不至于过大，如果变形量过大，则允许第一直线
电机20和第二直线电机21相对位置误差过大，对应的，运动平台的运动精度低，无法满足控
制要求。

[0103] 可以理解的是，第一弹性板313和第二弹性板323可以采用弹性钢板等。

[0104] 参照图2所示，在本发明的一个实施例中，第一避让槽3113内形成有一沿竖向延伸且抵持于所述第一弹性板313和所述第一基座311之间的筋条3114，所述筋条3114与所述第
一连接块312位于与所述X轴平行的同一竖向平面内，所述筋条3114在Y轴方向上的宽度小
于所述第一连接块312的宽度。较佳的，第一连接块312的宽度为筋条3114的宽度的1至10
倍，优选为3-6倍。

[0105] 作为优选地，筋条3114位于所述第一避让槽3113在Y轴方向上的中间位置。

[0106] 当第一电机动子202和第二电机动子212存在相对位置误差而导致横梁30倾斜时，则第一弹性板313以筋条3114为中心线而变形，而且变形量相对于第二弹性板323的变形量
小，也就是是，采用上述结构，可以使得在第一电机动子202和第二电机动子212存在相对位
置误差时，第一弹性板313变形小，而第二弹性板323变形大，如此，可以使得横梁30与第一
弹性连接座31之间可以保持接近90°的夹角，进而防止第一直线电机20与第一弹性连接座
31卡滞，进而，以第一直线电机20作为主动力部分驱动该横梁30沿Y轴继续运动。也即是，可
以进一步提高防卡滞效果。

[0107] 参照图4所示，在本发明的一些实施例中，还包括第一位移传感器60及第二位移传感器，第一位移传感器60用以检测第一电机动子202的移动距离，第二位移传感器用以检测
第二电机动子212的移动距离。

[0108] 控制器用以根据所述第一位移传感器60和第二位移传感器检测的移动距离计算所述第一电机动子202和第二电机动子212的相对位置误差，并根据所述相对位置误差控制
所述第一直线电机20和/或第二直线电机21进行移动距离补偿，以使所述第一直线电机20
和第二直线电机21保持同步。

[0109] 也就是说，当第一直线电机20和第二直线电机21出现不同步的情况时，第一弹性连接座31和第二弹性连接座32发生弹性形变来挡止第一直线电机20和第二直线电机21卡
滞的同时，还通过第一位移传感器60和第二传感器检测检测第一电机动子202和第二电机
动子212的位置，再通过控制器计算两者之间的相对位置误差，最后根据相对位置误差控制
第一直线电机20和第二直线电机21进行调节，例如在下一个时间段内，第二直线电机21的
第二电机定子211多移动一定距离，进而和第一直线电机20保持相对位置，如此，可以使得
第一直线电机20和第二直线电机21恢复同步状态，确保运动平台的性能更加稳定可靠。

[0110] 参照图4所示，在本发明的一个实施例中，第一位移传感器60包括第一光栅602及第一读数头601，所述第一光栅602与所述第一导轨401相对固定且沿Y轴方向延伸，所述第
一读数头601安装于所述第一滑块402上。第二位移传感器包括第二光栅及第二读数头，所
述第二光栅与所述第二导轨411相对固定且沿Y轴方向延伸，所述第二读数头安装于所述第
二滑块412上。如此，在第一电机动子202和第二电机动子212运动时，带动第一滑块402和第
二滑动滑动，第一滑块402及第二滑块412进一步带动第一读数头601和第二读数头运动，利
用第一读数头601和第二读书头即可精确地读取第一电机动子202和第二电机动子212的位
置。

[0111] 参照图1所示，在本发明的一些实施例中，还包括第三直线电机50，所述第三直线电机50设置于所述横梁30上，所述第三直线电机50包括第三电机定子501及可在所述第三
电机定子501上沿X轴方向运动的第三电机动子502。如此，利用第三直线电机50中的第三电
机动子502沿X轴方向运动，使得该运动平台实现X轴、Y轴运动。

[0112] 在本发明的一个实施例中，还包括第三导向机构，第三导向机构包括沿X轴延伸的两个平行设置的第三导轨70及设置于两所述第三导轨70上可沿所述X轴滑动的第三滑块
71，所述第三电机定子501平行设置于两个所述第三导轨70之间，所述第三电机动子502与
所述第三滑块71相对固定。

[0113] 也就是说，本实施例中，利用两个第三导轨70实现第三电机动子502的导向，如此，确保可第三电机动子502在X轴方向上的线性运动更急稳定可靠。

[0114] 在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特
点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不
一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何
的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

[0115] 尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨
的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。