检查装置

摘要

本发明提供一种检查装置，提高元件的电特性的测定精度。检查装置包括保持台(32)、把持保持于该保持台(32)的元件(s)而能够测定电特性的一对测定件(37)及与主体(29)的表面(29f)连接的接地线(132)。保持台(32)在初始位置处于与主体(29)导通的状态，因此处于经由接地线(132)而接地的状态。因此，在初始位置，能够快速且可靠地进行载置于保持台(32)的元件(s)的除电，能够提高元件(s)的电特性的测定精度。

权利要求

1.一种检查装置，安装于拾取由元件供给装置供给的元件而向电路基板装配的装配机，所述检查装置包括：

壳体；

保持台，能够相对于该壳体进行移动，且保持所述元件；

一对测定件，能够彼此接近/远离，把持被保持于该保持台的元件，并测定该元件的电特性；及接地线，与所述壳体的表面电连接，所述壳体包括：第一壳体，能够与所述保持台电导通；及第二壳体，是与所述第一壳体不同的部件，且比所述第一壳体远离所述保持台，所述接地线的一端部与所述第一壳体的表面连接，另一端部与所述第二壳体的表面连接。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述保持台能够在能够保持所述元件的初始位置和从所述初始位置退避的退避位置之间进行移动，所述保持台在所述初始位置处于与所述第一壳体电导通的状态。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述第一壳体与所述第二壳体通过由导电材料构成的连接部而相互连结。

4.根据权利要求2所述的检查装置，其中，所述第一壳体与所述第二壳体通过由导电材料构成的连接部而相互连结。

5.根据权利要求3所述的检查装置，其中，以相同的材料对所述第一壳体、所述第二壳体及所述连接部各自的表面进行处理。

6.根据权利要求4所述的检查装置，其中，以相同的材料对所述第一壳体、所述第二壳体及所述连接部各自的表面进行处理。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的检查装置，其中，所述保持台包括载置所述元件的元件载置部，所述接地线连接于所述壳体的从所述元件载置部流动的电流的路径为第一设定长度以下的部分。

8.根据权利要求1～6中任一项所述的检查装置，其中，所述壳体具有将所述一对测定件与电路连接的电路连接部，所述接地线连接于所述壳体的从所述电路连接部流动的电流的路径为第二设定长度以下的部分。

9.根据权利要求7所述的检查装置，其中，所述壳体具有将所述一对测定件与电路连接的电路连接部，所述接地线连接于所述壳体的从所述电路连接部流动的电流的路径为第二设定长度以下的部分。

10.根据权利要求1～6中任一项所述的检查装置，其中，所述接地线的长度为接地线用设定长度以下。

11.根据权利要求7所述的检查装置，其中，所述接地线的长度为接地线用设定长度以下。

12.根据权利要求8所述的检查装置，其中，所述接地线的长度为接地线用设定长度以下。

13.根据权利要求9所述的检查装置，其中，所述接地线的长度为接地线用设定长度以下。

说明书

检查装置

技术领域

[0001] 本发明涉及对装配于电路基板的元件进行检查的检查装置。

背景技术

[0002] 在专利文献2、3中记载有具备探头并通过该探头的接触来测定元件的电特性的检查装置。在专利文献1中记载有从两端夹持载置于保持台的元件来测定电特性的检查装置。在该检查装置中，从送风口部28沿着保持台的V槽供给空气，将处于该V槽上的测定后的元件向导入口部7′传送。并且，将不合格品废弃，合格品使用于向电路基板的装配。

[0003] 而且，在专利文献4记载的检查装置中，连接有接地线的接地用探针122经由插口123、换言之被绝缘而设于壳体120。当电路基板与接地用探针122的前端接触时，电路基板被接地。

[0004] 专利文献1：日本特公昭52-30703号公报

[0005] 专利文献2：日本实开平1-76100号公报

[0006] 专利文献3：国际公开第2014/155657小册子

[0007] 专利文献4：日本特开平11-242064号公报

发明内容

[0008] 本发明的课题是在能够自动地测定元件的电特性的检查装置中实现电特性的测定精度的提高。

[0009] 本发明的检查装置包括：壳体；保持台，能够相对于壳体移动；一对测定件，把持被保持于该保持台的元件，并能够测定电特性；及 接地线，与壳体的表面连接。由于在壳体上连接接地线，因此能良好地进行检测装置的接地，能良好地进行元件s的除电。其结果是，能够实现元件的电特性的测定精度的提高。

附图说明

[0010] 图1是包含本发明的一实施方式的检查装置的装配机的立体图。

[0011] 图2是上述检查装置的主要部分的立体图。

[0012] 图3是上述检查装置的主要部分的剖视图。

[0013] 图4(a)是上述检查装置的局部俯视图。图4(b)是概念性地表示接地线的连接状态的图。

[0014] 图5是上述检查装置包含的空气回路图。

[0015] 图6是概念性地表示上述装配机的控制装置的图。

[0016] 图7(a)是表示上述控制装置的存储部中存储的LCR测定程序的流程图。图7(b)是在上述检查装置中测定LCR的情况下的时间图。

[0017] 图8是表示上述控制装置的存储部中存储的元件适当判定程序的流程图。

[0018] 图9是表示上述检查装置的工作的图。图9(a)是表示初始状态的图，图9(b)是表示夹紧状态的图，图9(c)是表示测定状态的图，图9(d)是表示废弃状态的图。

[0019] 图10是从与图2不同的角度观察上述检查装置的立体图。

具体实施方式

[0020] 以下，基于附图，详细说明包含本发明的一实施方式的检查装置的装配机。

[0021] 图1所示的装配机是将元件向电路基板装配的结构，包括装置主体2、电路基板搬运保持装置4、元件供给装置6、头移动装置8等。

[0022] 电路基板搬运保持装置4是将电路基板P(以下，简称为基板P)以水平的姿势搬运并保持的结构，在图1中，将基板P的搬运方向设 为x方向，将基板P的宽度方向设为y方向，将基板P的厚度方向设为z方向。y方向、z方向分别是装配机的前后方向、上下方向。上述x方向、y方向、z方向相互正交。元件供给装置6是供给向基板P装配的电子元件(以下，简称为元件)s的结构，包括多个带式供料器14等。头移动装置8是保持装配头16并使装配头16在x、y、z方向上移动的结构，装配头16具有吸附并保持元件s的吸嘴18。

[0023] 而且，附图标记20表示相机。相机20是拍摄由吸嘴18保持的元件s的结构，基于由相机20拍摄到的图像，来判定元件s是否为装配于电路基板P的预定的元件。附图标记22表示检查装置。检查装置22是测定并检查元件s的电特性的结构。测定元件s的电特性，并判定测定出的电特性与JOB信息包含的与元件s相关的信息(电特性)是否一致，即，与下面的作业使用的预定的元件s具备的电特性是否一致。

[0024] 作为元件s的电特性，L(电感)、C(电容)、R(电阻)、Z′(阻抗)等相当于此，通过检查装置22来测定它们中的1个以上。

[0025] 检查装置22经由废物箱26而设于电路基板搬运保持装置4的主体。废物箱26与检查装置22由废弃通路28连接，但是测定了电特性的元件s经由废弃通路28而收容于废物箱26。检查装置22以能够进行高度调整的方式设于废物箱26。如图2、10所示，底座部30以能够升降的方式与废物箱26卡合，主体29通过包含螺栓及螺母的连接部31(参照图3、4(a)、10)而固定于底座部30，这些底座部30及主体29被保持为能够一体升降。而且，在主体29、底座部30分别设有能够与废弃通路28连通的开口29a、30a(参照图3、4)。

[0026] 如图2～4(a)、10所示，检查装置22包括：(i)上述主体29及底座部30；(ii)能够保持元件s的保持台32；(iii)由定子34及动子36构成的一对测定件37；(iv)使保持台32移动的保持台移动装置40；(v)使动子36相对于定子34接近/远离的动子移动装置41； (vi)作为电特性检测部的LCR检测部42等。在本实施例中，元件s在两端部具有电极，能够通过一对测定件37来把持。作为元件s，例如，被称为方形芯片的结构相当于此。

[0027] 保持台32包括元件载置部44和保持元件载置部44的载置部保持体46。在元件载置部44的上表面形成V槽44c，来载放元件s。由于设为V形状，因此能高精度地决定元件s的位置。

[0028] 元件载置部44可以设为由具有导电性、耐磨损性且氧化难以进展的材料制造的结构。元件载置部44经由多个具有导电性的部件而与底座部30电连接，但是通过将底座部30接地而元件载置部44也接地。在本实施例中，元件载置部44与载置部保持体46抵接，且通过连接部47进行固定，并且，载置部保持体46经由止动件80(参照图3)而与主体29抵接，主体29通过连接部31而固定于底座部30。并且，载置部保持体46、止动件80、主体29、底座部30、连接部31、47等具有导电性。因此，元件载置部44被接地。

[0029] 这样，元件载置部44由具有导电性的材料制造且被接地，由此能够进行元件载置部44载置的元件s的除电。而且，元件载置部44由具有耐磨损性的材料制造，由此能够抑制元件载置部44的磨损，并提高耐久性。此外，由氧化难以进展的材料、即作为金属的氧化覆膜的非动态皮膜形成的材料来制造，由此能够使元件载置部44难以生锈。能够使锈难以附着于元件s等，能够抑制元件s的电特性的测定精度的下降。例如，元件载置部44可以通过铝合金或不锈钢材料等来制造。

[0030] 定子34、动子36分别具有彼此相向的相向面34f、36f，通过这一对相向面34f、36f来把持元件s。定子34经由定子保持体55而固定于主体29。动子36以能够一体移动的方式保持于动子保持体56，能够相对于定子34接近/远离。在本实施例中，相向面36f的截面呈三角形形状，相向面36f能够沿V槽44c移动。换言之，动子36的相向面36f 的形状设为大致与V槽44c对应的形状，动子36的相向面36f、定子34的相向面34f及保持台32的V槽44c位于大致同一高度。因此，无论元件s处于V槽44c内的何处，通过一对相向面34f、36f都能够把持元件s。

[0031] 而且，在本实施例中，动子36是沿y方向(移动方向)伸长的长度部件，在后退端处保持于动子保持体56。而且，与包含相向面36f的前端部相比，后部成为不具有比前端部沿x方向露出的部分的形状。其结果是，保持台32与动子36彼此能够相对移动，保持台32能够向动子36的相向面36f的前方移动或向后方移动。

[0032] 此外，形成包括由动子36和定子34构成的一对测定件37、LCR检测部42、省略图示的电源装置等的电路58。向上述定子34与动子36之间供给电流并检测流动的电流，基于上述的关系通过LCR检测部42来测定元件s的电特性。LCR检测部42并不局限于检测L、C、R的检测部，可以设为检测L、C、R、Z′等表示电特性的物理量中的1个以上的结构。另外，图2～4的附图标记58a、b是一对测定件37向电路58的连接部。

[0033] 在保持台32安装罩部50。罩部50包括相互沿x方向分隔而在V槽44c的两侧分别设置的一对罩用板部52、54。罩用板部52、54是分别设置在保持台32的定子34侧且沿y方向及z方向、即保持台32、动子36的移动方向及上下方向延伸的结构，呈板状部件弯曲的形状。罩用板部52在俯视观察下呈槽形，包括底板部52a和沿x方向分隔而设置在底板部52a的两侧的侧板部52b、52c。底板部52a呈下部弯曲的形状，在侧视观察下呈L字形，在上部安装于元件载置部44的定子34侧的侧面。而且，在保持台32的前进端位置，底板部52的下部位于定子保持体55的上方，侧板部52b位于定子34的外侧且定子保持体55的上方，侧板部52c位于比侧板部52b靠外侧的位置且定子保持体55的外侧。侧板部52c的上下方向的尺寸比侧板部52b的上下方向 的尺寸大，下端部延伸至主体29的开口29a附近。罩用板部54相对于V槽44c而安装在罩用板部52的相反侧的载置部保持体46。罩用板部54在保持台32的前进端位置处，位于定子保持体55的外侧。罩用板部54呈沿上下方向弯曲的形状，下端部延伸至主体29的开口29a附近。

[0034] 而且，侧板部52c、罩用板部54的y方向的尺寸设为在定子34与动子36相互远离的情况下的至少一时期从x方向能覆盖一对相向面34f、36f之间的空间的大致整体的大小。

[0035] 另外，如后所述，罩部50发挥防止空气的扩散并防止由于空气的喷出而落下的元件s的飞散的功能。

[0036] 在定子侧的部件{例如，定子34的上部或定子保持体55的定子34的上方的部分或主体29}形成有与动子36的相向面36f相向的空气通路60的开口60a。空气通路60包括如图3所示大致沿y方向延伸的空气喷出通路60s、形成于主体29的内部通路60h等。空气喷出通路60s随着接近动子36而向下方倾斜地延伸，在动子36处于远离定子34的位置的情况下，延长线k以到达动子36的相向面36f的部分R的上方或部分R内的状态延伸。部分R是把持动子36的相向面36f的元件s的频度高的部分，可以称为把持部。空气从斜上方与相向面36f的延长线k交叉的部分接触。

[0037] 在空气通路60连接有气缸64、70。而且，在空气通路60的气缸64、70的下游侧的部分设有电离器62。电离器62是产生电晕放电而使空气离子化的结构，能向相向面36f供给离子化的空气。

[0038] 保持台移动装置40包括固定地设于主体29或底座部30的作为驱动源的气缸64。在气缸64的活塞杆66(参照图5)连结有载置部保持体46。气缸64在缸壳体的内部包含由活塞分隔而成的2个空气室64a、 64b，在2个空气室64a、64b与空气源68、空气通路60、过滤器(大气)之间设有电磁阀装置69。电磁阀装置69可以包括1个以上的电磁阀，例如如图5所示，包括方向切换阀、可变节流部。通过方向切换阀来控制载置部保持体46的移动方向，通过可变节流部来控制载置部保持体46的移动/停止。通过电磁阀装置69，使空气室64b与空气源68连通并使空气室64a与空气通路60连通，由此使保持台32前进(图3的箭头F方向的移动)，空气室64b向大气敞开且空气室64a与空气源68连通，由此使保持台32后退(图3的箭头B方向的移动)。

[0039] 动子移动装置41包括固定地设于主体29的作为驱动源的气缸70。在气缸70的活塞杆71连结有能够与动子一体移动的动子保持体56。在气缸70的壳体的内部由活塞分隔而成的2个空气室70a、70b，经由电磁阀装置72而连接于空气源68、空气通路60、过滤器(大气)。电磁阀装置72是包含1个以上的电磁阀的结构，例如，可以设为包含方向切换阀、可变节流部等的结构。通过电磁阀装置72，使空气室70b与空气通路60连通并使空气室70a与空气源
68连通，由此使动子36后退，空气室70a向大气敞开并使空气室70b与空气源68连通，由此使动子36前进。

[0040] 在本实施例中，由气缸64、70、空气通路60(包括空气喷出通路60s)、开口60a、罩部50、电离器62等构成空气供给装置73。空气供给装置73也是动子供给部、驱动源连动型供给部。而且，相向面36f与供给对象面相对应。

[0041] 另外，电磁阀装置69、72的构造并不局限于本实施例的情况。例如，可以设为包含1个三位阀的结构或包含多个开闭阀的结构等。而且，设置电离器62的情况并非不可或缺。

[0042] 在动子保持体56与主体29之间设有沿y方向延伸的一对引导杆74、75，在保持台32与动子保持体56之间设有沿y方向延伸的一对 引导杆76、77。引导杆74、75的一端部连结于动子保持体56，另一端部以能够滑动的方式与主体29卡合。引导杆76、77在一端部连结于载置部保持体46，并且以能够滑动的方式与动子保持体56卡合。通过上述引导杆74、75、76、77，保持台32与动子36相对于主体29能够沿y方向彼此相对移动，并且保持台32与动子36能够沿y方向彼此相对移动。

[0043] 而且，如图3所示，在动子保持体56的定子侧设有止动件82，在主体29的保持定子保持体55的部分设有止动件80。止动件82是规定动子保持体56与保持台32(载置部保持体46)的接近限度的结构，止动件80是规定定子34(主体29)与保持台32(载置部保持体46)的接近限度的结构。

[0044] 在本实施例中，引导杆74～77由保持台移动装置40、动子移动装置41共有，止动件80、82可认为是保持台移动装置40的构成要素。

[0045] 另外，如图3所示，动子36处于后退端位置的情况下的止动件82的前端部与保持台32处于前进端位置的情况下的载置部保持体46之间的间隙Ld是容许动子36与保持台32的相对移动的距离。

[0046] 该装配机包括控制装置100。如图6所示，控制装置100包括以计算机为主体的控制器102和多个驱动电路104。控制器102包括执行部110、存储部112、输入输出部114等，在输入输出部114，分别经由驱动电路104而连接有基板搬运保持装置4、元件供给装置6、头移动装置8，并且连接有动子移动装置41、保持台移动装置40的电磁阀装置69、72等。而且，连接有LCR检测部42、显示器116、动子位置传感器118、保持台位置传感器120、检测吸嘴18的高度的吸嘴高度传感器122等。在存储部112存储有由图7(a)的流程图表示的LCR检测程序等多个程序、表。而且，通过设于控制器102的计时器124进行时间的计测。

[0047] 另外，在本实施例中，说明了通过控制装置100控制装配机整体的情况，但是基板搬运保持装置4、元件供给装置6、头移动装置8等也可以分别由相互独立的控制装置控制。

[0048] 而且，如图4(a)、4(b)、10所示，主体29的表面29f与底座部30的表面30f由接地线132连接。其结果是，主体29与底座部30通过基于连接部31的内部导通和基于接地线132的表面导通这两方来导通。

[0049] 接地线132的一端部132h设置在主体29的安装有止动件80的部分的附近的上表面29f。该部分是距电路58的连接部58a近的部分。换言之，一端部132h被设置成来自元件载置部44的V槽44c的电力流动的路径{44c→44→46→80→29→132h(29f)}的长度Lc(例如，可以设为路径内的沿着部件的表面的长度。以下同样)和来自连接部58a的电力流动的路径{58a→55→29→132h(29f)}的长度La都为设定长度Lth(＝第一设定长度＝第二设定长度)以下的部分。

[0050] 而且，接地线132的另一端部132b安装于底座部30的上表面30f。与主体29的安装一端部132h的部分相比，底座部30的连接另一端部132b的部分是来自元件载置部的V槽44c、连接部58a的电力流动的路径Lcb{44c→44→46→80→29→30→132b(30f)}、Lab{58a→55→29→30→132b(30f)}较长的部分。

[0051] Lcb>Lc

[0052] Lab>La

[0053] 而且，由于接地线132的长度Le设为接地线设定长度Ls以下，因此能够快速地使电力从主体29向底座部30流动。

[0054] 而且，在底座部30的下端部30d也连接有接地线136。由此，大气中的离子等逃散，实现检查装置22的整体的除电。

[0055] 而且，为了使电流从保持台32朝向底座部30顺畅地流动，优选利用具有导电性的相同材料，对元件载置部44、载置部保持体46、止动件80、主体29、底座部30进行表面处理，或者利用相同材料对它们和连接部31进行表面处理。通过利用具有导电性的相同材料进行表面处理，能够减小电位差，并使直至接地为止的期间的电力的流动良好。例如，可以通过无电解镍进行表面处理。

[0056] 另外，但是不一定必须对夹设于元件载置部44与底座部30之间的多个部件全部利用相同材料进行表面处理。例如，可以对于夹设在元件载置部44与底座部30之间的多个部件实施表面处理，以使电位从元件载置部44朝向底座部30降低。在这种情况下，能够使元件s带有的电力快速逃散。另一方面，当电位从元件载置部44朝向底座部30降低或升高时，电力难以流动，因此不优选。相对于此，若电位差减小，则能够使电流顺畅地流动。

[0057] 以下，对装配机的工作进行说明。

[0058] 在进行换产调整的情况下等进行新的带式供料器14的安设、带式供料器14的更换等的情况下等，测定该带式供料器14保持的元件s的电特性，检查该带式供料器14(或元件s)是否适当。而且，其检查结果显示于显示器116。在不适当的情况下，更换带式供料器14。

[0059] 元件s的电特性通过图7(a)的流程图表示的LCR测定程序的执行来测定。而且，保持台32、动子36的动作、保持台位置传感器118、动子位置传感器120的状态如图7(b)所示。

[0060] 检查装置22始终处于图9(a)所示的初始状态。动子36处于后 退端位置，保持台32处于前进端位置、即与止动件80抵接的位置。在此状态下，保持台32处于通过内部导通等而接地的状态。通过内部导通和基于接地线132等的表面导通而处于被接地的状态。在保持台32的V槽44c的上方不存在动子36，处于能够载置元件s的状态。而且，罩部50(沿x方向分隔地)位于定子34的两侧。动子位置传感器120、保持台位置传感器118都处于接通状态。

[0061] 在步骤1(以下，简称为S1。关于其他的步骤也同样)中，判定是否作出了元件s的电特性的测定指令。在进行换产调整的情况下等，作出LCR等的电特性的测定指令。当作出测定指令时，在S2中，使装配头16移动，例如，新安装的带式供料器14保持的元件s由吸嘴18拾取，载放在保持台32的V槽44c上。可知通过使吸嘴18下降并将元件s释放，从而将元件s载置于V槽44c。

[0062] 并且，当通过吸嘴高度传感器122检测到吸嘴18将元件s载置在V槽44c上而到达上升端的情况时，在S3中，通过电磁阀装置72的控制，使动子36前进。动子36的前端的相向面36f沿着元件载置部44的V槽44c前进，通过相向面36f和定子34的相向面34f将元件s夹紧{图9(b)}。在本实施例中，从后退端位置至夹紧元件s为止的动子36的行程L1(参照图3)根据夹紧的元件s的大小等来决定，并预先决定。从动子36的前进开始时经过了动子36前进行程L1所需的时间即前进时间之后，通过可变节流部的控制等，使动子36的前进停止。前进时间由计时器124计测。通过动子36的前进而动子位置传感器120断开。该保持台32处于前进端位置，使动子36前进，通过一对相向面34f、36f将元件s夹紧的状态为夹紧状态。

[0063] 在S4中，通过电磁阀装置69的控制，保持台32后退至与止动件82抵接为止{图9(c)}。保持台32后退行程L2(参照图3)，将保持台位置传感器118从接通切换成断开(L2＝Ld-L1)。通过电磁阀装置69的控制，使保持台32的后退停止。在本实施例中，行程L2设为设 定值Lx以上的大小(L2≥Lx)，使元件载置部44与元件s分离设定值Lx以上。具有导电性的部件(元件载置部44)在电特性的测定时若位于元件s的附近，则发生静电感应，或者产生涡电流等，无法准确地检测电特性。相对于此，若使元件载置部44与元件s分离设定值Lx以上(若元件载置部44与元件s的最短距离为设定值Lx以上)，则能够减小以元件载置部44位于元件s的附近的情况为起因而产生的电特性的测定误差。这样，设定值Lx是元件载置部44难以对元件s的电特性的测定造成影响的距离，是预先通过实验等而取得的值。该状态是测定状态。

[0064] 在S5中，从通过吸嘴18释放元件s并载放于V槽44c时开始，等待作为设定时间的除电时间的经过。带式供料器14保持的元件s分别通过以伴随着带式供料器14的搬运的振动、与物体的接触等为起因而产生的静电从而处于带电的状态。该带电的元件s由具有导电性的材料制造，且通过载置于接地的元件载置部44而被除电，或者通过向空气中的放电而被除电。除电时间是将推定为具有元件s的容量的静电除去所需的时间，可以预先通过实验等求出，或者基于元件s的大小、特性等而理论性地求出等。当元件s载放于元件保持台44起的经过时间达到除电时间时，S5的判定成为“是”，在S6中测定元件s的电特性。

[0065] 并且，当经过电特性的测定所需的时间即测定时间时，执行S7，但是测定时间可以设为根据元件s的种类等而决定的时间，也可以设为恒定的时间。无论如何都预先取得而存储。

[0066] 当测定时间经过而元件s的电特性的测定结束时，在S7中，通过电磁阀装置72的控制使动子36后退。当到达后退端时，动子位置传感器120接通。在S8中，通过电磁阀装置69的控制，使保持台32后退{图9(d)}。保持台32从测定状态至与处于后退端位置的动子36的止动件82抵接为止的行程为L1。因此，可知保持台32在经过了后退行程L1所需的时间即后退时间之后，与止动件82抵接。该状态是废 弃状态。

[0067] 当保持台32后退至与止动件82抵接时，在S9中，通过电磁阀装置69的控制，使气缸64中的空气室64b与空气源68连通，使空气室64a与空气通路60连通。当保持台32前进而抵碰于止动件80时，保持台位置传感器118接通。保持台32位于一对相向面34f、36f之间且上方为空间。因此，能够载置元件s。该状态为初始状态。

[0068] 通过动子36的相向面36f远离定子34的相向面34f，在它们之间把持的元件s落下，经由开口29a、30a、废弃通路28而收容于废物箱26。而且，在动子36后退时，使气缸70的空气室70a与空气通路60连通，罩用板部52、54分别位于一对相向面34f、36f之间的空间的x方向的两侧。

[0069] 伴随着动子36的后退，从空气室70a流出的空气从开口60a朝向动子36的相向面36f而从斜上方供给，但是被供给空气的空间、换言之一对相向面34f、36f之间的空间由罩部50从x方向覆盖。空气主要抵碰于相向面36f之后，沿着相向面36f向下方流动。因此，假设元件s未从相向面36f落下，即使附着于部分R，也能够使其良好地落下。而且，空气在罩部50的内部呈涡状地流动，因此即使假设元件s附着于定子34的相向面34f，在保持台32上存在元件s的情况下，也能够使元件s良好地向废弃通路38落下。另外，在保持台32后退时，使动子36的相向面36f相对前进，由此处于V槽44c上的元件s从保持台32落下。通过以上所述，废弃状态可以认为是使元件良好地落下的状态。

[0070] 而且，通过设置罩部50，也能够避免落下的元件s飞散。罩用板部52的侧板部52c、罩用板部54的下端部伸长至主体29的开口29a的附近，因此能够将元件s良好地从开口29a经由废弃通路28向废物箱收容。另一方面，在供给离子化的空气的情况下，动子36、定子34 的相向面36f、34f能够电中和，能够提高如下的元件s的电特性的测定精度。

[0071] 此外，在气缸64中，在保持台32前进时(S9)，使空气室64a与空气喷出通路60s连通。即使在从废弃状态向初始状态转变的情况下，也能够向动子36的相向面36f供给空气。其结果是，能够良好地进行动子36的相向面36f的除电。

[0072] 另一方面，将测定出的电特性与JOB信息包含的电特性进行比较，判定该元件s是否为应使用于从此开始进行的作业(JOB)的元件，其判定结果显示于显示器116。

[0073] 在S21中，取得该元件s的电特性的测定值，在S22中，从如下的JOB的JOB信息读入对应的信息。在S23中，将它们进行比较，判定是否一致。无论是一致的情况还是不一致的情况，判定结果都显示于显示器116。假设在不一致的情况下，进行与适当的带式供料器更换等的作业。

[0074] 如以上所述，在本实施例中，元件载置部44由具有导电性的材料制造并被接地。其结果是，在电特性的测定前，能够良好地进行元件载置部44载放的元件s的除电。另一方面，当元件s带电时，难以测定元件s的阻抗。相对于此，在本实施例中，由于良好地进行元件s的除电，因此能够良好地测定元件s的阻抗。

[0075] 而且，主体29与底座部30由接地线132连接，因此在保持台32处于初始位置的期间，元件载置部44通过内部导通和表面导通这两方而成为始终被接地的状态。其结果是，能够将元件载置部44保持的元件s快速且可靠地除电。而且，在底座部30的下端部30d连接有接地线136。其结果是，能够使大气中的离子等良好地逃散，能够实现检查装置22整体的除电。其结果是，能够进一步提高元件s的电特性的测 定精度。具体而言，得到即使是低阻抗元件也能够高精度地测定元件s的阻抗等的效果。而且，若对于夹设在元件载置部44与底座部30之间的部件、连接部等通过具有导电性的相同材料实施表面处理，则能够快速地进行元件s的除电。

[0076] 此外，能够与动子36的后退并行地使元件s向废弃通路38落下，与通过不同的工序进行动子的后退和元件s的送出的情况相比，能够缩短电特性的测定所需的时间。

[0077] 如以上所述，在本实施例中，主体29对应于第一壳体，底座部30对应于第二壳体，由上述主体29、底座部30等构成壳体。而且，检查装置22的初始状态下的保持台32的位置(前进端位置)是初始位置，保持台32与止动件80分离的位置是退避位置。

[0078] 另外，也可以使一对测定件的两方能够移动，将保持台固定于主体。即使在这种情况下，也是一对测定件把持保持台上载放的元件s，通过使一对测定件移动，能够使保持台与元件s分离设定值以上。

[0079] 而且，保持台也可以在上下方向上能够移动。即使在这种情况下，在元件s由一对测定件夹紧的状态下，也能够使保持台与元件s分离设定值以上。

[0080] 此外，可以将空气喷出通路以具有大致沿x方向开设的开口的状态设于检查装置22的主体29的侧部。换言之，可以去除罩用板部52、54中的任一方(例如，去除罩用板部54)，在该去除的一侧可以设置沿x方向具有开口的空气喷出通路。其结果是，空气沿着相向面
34f、36f(沿xz方向延伸的面)朝向罩用板部52供给，由此，能够使附着于一对相向面34f、
36f的元件s落下。

[0081] 而且，也可以将与主体29的表面连接的接地线132直接接地。

[0082] 此外，在元件s的电特性的测定后，也可以使动子36及保持台32同时后退。

[0083] 而且，动子位置传感器120、保持台位置传感器118并非不可或缺。例如，通过基于计时器124的计测而能够控制电磁阀装置69、72等，本发明除了前述实施方式记载的形态之外，能够基于本领域技术人员的知识以实施了各种变更、改良的方式实施。

[0084] (1)一种检查装置，包含于拾取由元件供给装置供给的元件而向电路基板装配的装配机，其特征在于，包括：能够保持元件的保持台；能够彼此接近/远离并且夹持上述元件而能够测定该元件的电特性的一对测定件；使上述保持台移动的保持台移动装置；及控制该保持台移动装置的保持台移动控制装置，并且，上述保持台移动控制装置包括测定时控制部，该测定时控制部从上述一对测定件把持由上述保持台保持的上述元件的夹紧状态开始，使上述保持台与上述元件分离设定值以上，形成为能够测定上述元件的电特性的测定状态。

[0085] 保持台既能够沿着与一对测定件的接近/远离方向平行的方向移动，也能够沿着交叉的方向移动。例如，在保持台是具有导电性的结构的情况下，设定值可以设为保持台难以对元件的电特性的测定造成影响的距离。

[0086] (2)根据(1)项记载的检查装置，其中，上述保持台具有导电性。

[0087] (3)根据(1)项或(2)项记载的检查装置，其中，上述一对测定件包括彼此相向且能够与上述元件接触的一对相向面，通过使上述一对相向面彼此接近来保持上述元件，通过彼此远离而放开上述元件，上述保持台移动装置包括废弃时控制部，该废弃时控制部从上述测定 状态开始，使上述保持台移动，由此形成为在上述彼此远离的一对相向面之间的下方区域不存在上述保持台的废弃状态。

[0088] (4)根据(3)项记载的检查装置，其中，上述保持台移动控制装置包括准备时控制部，该准备时控制部从上述废弃状态开始，使上述保持台向上述下方区域内移动，形成为上述保持台能够保持上述元件的初始状态。

[0089] (5)根据(3)项或(4)项记载的检查装置，其中，上述装配机包括与上述检查装置连接的废弃通路，该检查装置的主体具有能够与上述废弃通路连通的开口。

[0090] 开口的位置、大小至少能够以在废弃状态下在一对相向面之间的下方处于开口状态的方式决定。

[0091] (6)根据(1)项至(5)项中任一项记载的检查装置，其中，该检查装置包括电特性取得装置，该电特性取得装置向上述一对测定件之间供给电流并检测流过上述一对测定件之间的电流，取得上述元件的上述电特性，该电特性取得装置包括延迟型测定部，在从上述保持台载置有上述元件的时刻开始经过了设定时间以上的情况下，该延迟型测定部开始上述元件的上述电特性的测定。

[0092] 设定时间例如可以设为元件的除电所需的时间即除电时间。除电时间可以是通过元件决定的时间，也可以是与元件无关地预先确定的时间。

[0093] 另外，也可以将保持台上载置元件的时间作为除电时间。

[0094] (7)根据(1)项至(6)项中任一项记载的检查装置，其中，上述一对测定件在主体包括固定的定子和相对于上述定子能够相对移动 的动子，该检查装置包括使上述动子相对于上述定子移动的动子移动装置和通过控制该动子移动装置而使上述一对测定件彼此接近/远离的动子移动控制部。

[0095] (8)根据(7)项记载的检查装置，其中，该检查装置包括连结机构，该连结机构将上述动子与上述保持台连结成能够彼此相对移动。

[0096] 例如，动子可以设为呈与该动子的移动方向平行地伸长的长度形状。而且，保持台包括位于动子的前端的前方的情况和位于后方的情况。

[0097] (9)根据(1)项至(8)项中任一项记载的检查装置，其中，上述保持台具有横截面呈V字状的槽即V槽，上述一对测定件的至少一方的前端部的横截面呈与上述V槽对应的三角形形状。

[0098] (10)一种检查装置，包含于拾取由元件供给装置供给的元件而向电路基板装配的装配机，其特征在于，包括：能够保持元件的保持台；能够彼此接近/远离并且夹持上述元件而能够测定该元件的电特性的一对测定件；使上述一对测定件与上述保持台彼此相对移动的相对移动装置；及控制该相对移动装置的相对移动控制装置，并且，上述相对移动控制装置包括测定时控制部，该测定时控制部从上述一对测定件把持由上述保持台保持的上述元件的夹紧状态开始，使上述元件与上述保持台分离设定值以上，形成为能够测定上述元件的电特性的测定状态。

[0099] 本项记载的检查装置可以采用(1)项至(9)项中任一项记载的技术特征。

[0100] 相对移动装置可以设为(a)将保持台固定并使一对测定件移动的装置、或者(b)将一对测定件中的一方固定并使一对测定件的另一方 和保持台移动的装置等。作为(a)的情况，相当于例如在通过一对测定件将由保持台保持的元件夹紧的状态下，使一对测定件相对于保持台相对移动，使元件与保持台分离设定值以上的情况。

[0101] (11)一种检查方法，在检查装置中进行与元件的电特性相关的检查，上述检查装置设于拾取由元件供给装置供给的上述元件而向电路基板装配的装配机，并包括(i)能够保持元件的保持台和(ii)能够彼此接近/远离且夹持上述元件而能够测定该元件的电特性的一对测定件，其特征在于，包括：夹紧工序，使一对测定件把持由上述保持台保持的元件；及测定工序，使上述保持台与由上述一对测定件把持的上述元件分离设定值以上，来测定上述元件的电特性。

[0102] 本项记载的检查方法在(1)项至(10)项中任一项记载的检查装置中执行。

[0103] (12)根据(11)项记载的检查方法，其中，包括：废弃工序，在上述测定工序执行后，使上述一对测定件彼此远离，使上述保持台从上述一对测定件的彼此相向的相向面之间的下方区域退避，使上述元件向下方落下；及准备工序，使上述保持台侵入到上述一对测定件的彼此相向的相向面之间的间隔的下方区域，形成为能够保持上述元件的初始状态。

[0104] 在废弃工序中，一对测定件的远离和保持台的退避可以依次进行，也可以并行进行。

[0105] (13)一种检查装置，包含于拾取由元件供给装置供给的元件而向电路基板装配的装配机，其特征在于，包括：具有导电性并保持元件的保持台；及电特性取得装置，把持由上述保持台保持的上述元件，并且在上述元件与上述保持台分离的状态下取得上述元件的电特性。

[0106] 本项记载的检查装置可以采用(1)项至(12)项中任一项记载的技术特征。

[0107] (14)根据(1)项至(13)项中任一项记载的检查装置，其中，通过使上述一对测定件彼此接近而一对相向面夹持上述元件，测定该元件的电特性，通过使上述一对测定件彼此远离而从上述一对相向面放开上述元件，该检查装置包括空气供给装置，在上述一对测定件远离的情况下，该空气供给装置向上述一对相向面中的至少一方的供给对象面供给空气。

[0108] 使一对测定件远离的情况相当于彼此远离的期间、远离期间的一部分或全部行程、远离开始时、远离结束时等。

[0109] (15)根据(14)项记载的检查装置，其中，上述空气供给装置包括使上述空气离子化的电离器，将上述离子化的空气向上述供给对象面供给。

[0110] (16)根据(14)项或(15)项记载的检查装置，其中，上述空气供给装置包括具有与上述供给对象面相向的开口的空气通路。

[0111] (17)根据(16)项记载的检查装置，其中，上述空气通路包括随着接近上述供给对象面而向下方倾斜的空气喷出通路。

[0112] (18)根据(17)项记载的检查装置，其中，上述空气喷出通路的倾斜角度设为上述空气与上述供给对象面的把持上述元件的部分的上方接触的角度。

[0113] (19)根据(14)项至(18)项中任一项记载的检查装置，其中，上述一对测定件在主体包括固定的定子和与该定子能够接近/远离的动子，上述空气供给装置包括动子供给部，在上述动子远离上述定子的 情况下，该动子供给部向上述供给对象面即上述动子的相向面供给上述空气。

[0114] (20)根据(19)项记载的检查装置，其中，该检查装置包括动子移动装置，该动子移动装置具备动子用缸，通过该动子用缸的工作而使上述动子相对于上述定子接近/远离，上述空气供给装置包括驱动源连动型供给部，该驱动源连动型供给部将伴随着上述动子远离上述定子而从上述动子用缸流出的空气向上述动子的相向面供给。

[0115] (21)根据(1)项至(20)项中任一项记载的检查装置，其中，该检查装置包括罩部，在上述一对相向面远离的状态下该罩部将上述一对相向面之间覆盖。

[0116] 罩部是覆盖一对相向面之间的大部分的结构，未必非要覆盖一对相向面之间的整体，可以是以具有些许的间隙的状态覆盖的结构。优选在一对相向面彼此远离的情况下的至少一时期从两侧覆盖一对相向面之间的整体。

[0117] (22)根据(1)项至(21)项中任一项记载的检查装置，其中，上述罩部安装于上述保持台，在上述保持台处于后退端位置的状态下，从侧方覆盖上述一对相向面之间的大部分。

[0118] (23)根据(1)项至(22)项中任一项记载的检查装置，其中，该检查装置包括壳体和与该壳体的表面电连接的接地线。

[0119] (24)根据(23)项记载的检查装置，其中，上述壳体包括：第一壳体，能够与上述保持台电导通；及第二壳体，是与上述第一壳体不同的部件，且比上述第一壳体远离上述保持台，上述接地线的一端部与上述第一壳体的表面连接，另一端部与上述第二壳体的表面连接。

[0120] (25)根据(24)项记载的检查装置，其中，上述保持台能够移动在能够保持上述元件的初始位置和从上述初始位置退避的退避位置之间进行移动，上述保持台在上述初始位置处于与上述第一壳体电导通的状态。

[0121] 保持台的初始位置是指检查装置处于初始状态的情况下的保持台的位置。退避位置是未处于与第一壳体电导通的状态的位置，例如，检查装置处于测定状态、废弃状态的情况下的保持台的位置等相当于此。

[0122] (26)根据(24)项或(25)项记载的检查装置，其中，上述第一壳体与上述第二壳体通过由导电材料构成的连接部而相互连结。

[0123] (27)根据(26)项记载的检查装置，其中，利用相同的材料，对上述第一壳体、上述第二壳体及上述连接部各自的表面进行处理。

[0124] (28)根据(23)项至(27)项中任一项记载的检查装置，其中，上述保持台包括载置上述元件的元件载置部，上述接地线连接于上述壳体的从上述元件载置部流动的电流的路径为第一设定长度以下的部分。

[0125] (29)根据(23)项至(28)项中任一项记载的检查装置，其中，上述壳体具有将上述一对测定件与电路连接的电路连接部，上述接地线连接于上述壳体的从上述电路连接部流动的电流的路径为第二设定长度以下的部分。

[0126] 第一设定长度与第二设定长度可以设为相同长度。

[0127] (30)根据(23)项至(29)项中任一项记载的检查装置，其中，上述接地线的长度设为接地线用设定长度以下。

[0128] 附图标记说明

[0129] 22：检查装置

[0130] 26：废物箱

[0131] 28：废弃通路

[0132] 29：主体

[0133] 29a：开口

[0134] 30：底座部

[0135] 30a：开口

[0136] 31：连接部

[0137] 32：保持台

[0138] 34：定子

[0139] 36：动子

[0140] 34f、36f：相向面

[0141] 40：保持台移动装置

[0142] 41：动子移动装置

[0143] 42：LCR检测部

[0144] 44：元件载置部

[0145] 44c：V槽

[0146] 50：罩部

[0147] 72：空气供给装置

[0148] 100：控制装置

[0149] 118：动子位置传感器

[0150] 120：保持台位置传感器

[0151] 124：计时器。