一种单台面直写式曝光机

摘要

本发明提供了一种单台面直写式曝光机，属于曝光机领域，其包括底座，底座上设有龙门立柱，龙门立柱上设有X轴向排列的曝光镜头，还包括工作台，工作台上设有底架、处于底架上的用于标定曝光镜头的标定模块以及用于驱动标定模块X轴方向滑动的标定模组，工作台下方设有用于驱动工作台X轴方向滑动的第一驱动模组，底座上设有用于驱动工作台Y轴方向滑动的第二驱动模组，第一驱动模组设置在第二驱动模组上方。与现有技术相比，该单台面直写式曝光机采用一套标定模块完成标定，标定流程简单，标定位置准确，第一驱动模组和第二驱动模组协同作用并结合标定模组使标定模块的行程能够一次性完成整个曝光镜头的能量标定。

权利要求

1.一种单台面直写式曝光机，包括底座，底座上设有龙门立柱，龙门立柱上设有X轴向排列的曝光镜头，其特征在于：还包括工作台，工作台上设有底架、处于底架上的用于标定曝光镜头的标定模块以及用于驱动标定模块X轴方向滑动的标定模组，工作台下方设有用于驱动工作台X轴方向滑动的第一驱动模组，底座上设有用于驱动工作台Y轴方向滑动的第二驱动模组，第一驱动模组设置在第二驱动模组上方；标定模组包括X轴方向设置在底架上的丝杆、驱动丝杆转动的丝杆电机以及连接丝杆和丝杆电机的联轴器，标定模块套在丝杆上；

标定模组还包括设置在底架上用于限制标定模块移动位置的限位开关；

第一驱动模组包括X轴方向设置的第一基板、X轴方向设置在第一基板上的第一滑轨和沿着第一滑轨滑动的第一滑板，第一基板上设有第一定子组，第一滑板内设有用于驱动第一滑板滑动的第一动子组，第一动子组与第一定子组配合，工作台设置在第一滑板上；第二驱动模组包括Y轴方向固定在底座上的第二基板、Y轴方向设置在第二基板上的第二滑轨和沿着第二滑轨滑动的第二滑板，第二基板上设有第二定子组，第二滑板内设有用于驱动第二滑板滑动的第二动子组，第二动子组与第二定子组配合，第二基板穿过龙门立柱，第一基板设置在第二滑板上。

2.根据权利要求1所述的单台面直写式曝光机，其特征在于：第一基板上还设有用于限制第一滑板的滑动位置的第一限位开关。

3.根据权利要求1所述的单台面直写式曝光机，其特征在于：第一基板上还设有用于防止第一滑板自第一滑轨上脱落的第一限位块。

4.根据权利要求1所述的单台面直写式曝光机，其特征在于：第二基板上还设有用于限制第二滑板的滑动位置的第二限位开关。

5.根据权利要求1所述的单台面直写式曝光机，其特征在于：第二基板上还设有用于防止第二滑板自第二滑轨上脱落的第二限位块。

说明书

一种单台面直写式曝光机

技术领域

[0001] 本发明涉及曝光机领域，特别是一种单台面直写式曝光机。

背景技术

[0002] 目前单台面直写光刻装置的能量标定系统在布局上受限于整机设备不能太宽，水平横向行程窄，工艺过程要求过于精密，无法低成本做到大行程等，必须使用两个能量监测模块，左边模块标定左半部分镜头，右边模块标定右半部分镜头，这样来完成整个曝光镜头的能量标定，这样在能量标定过程中，水平横向轴就需要来回重复移动，既浪费了时间，又造成标定流程相对复杂，同时浪费了一套标定模块，增加了成本。

发明内容

[0003] 针对上述问题，本发明提供了一种单台面直写式曝光机，该曝光机采用一套标定模块完成标定，标定流程简单，标定准确。

[0004] 本发明采用的技术方案为：

[0005] 一种单台面直写式曝光机，包括底座，底座上设有龙门立柱，龙门立柱上设有X轴向排列的曝光镜头，还包括工作台，工作台上设有底架、处于底架上的用于标定曝光镜头的标定模块以及用于驱动标定模块X轴方向滑动的标定模组，工作台下方设有用于驱动工作台X轴方向滑动的第一驱动模组，底座上设有用于驱动工作台Y轴方向滑动的第二驱动模组，第一驱动模组设置在第二驱动模组上方；标定模组包括X轴方向设置在底架上的丝杆、驱动丝杆转动的丝杆电机以及连接丝杆和丝杆电机的联轴器，标定模块套在丝杆上。优选地，标定模组还包括设置在底架上用于限制标定模块移动位置的限位开关。

[0006] 优选地，第一驱动模组包括X轴方向设置的第一基板、X轴方向设置在第一基板上的第一滑轨和沿着第一滑轨滑动的第一滑板，第一基板上设有第一定子组，第一滑板内设有用于驱动第一滑板滑动的第一动子组，第一动子组与第一定子组配合，工作台设置在第一滑板上。

[0007] 更优选地，第一基板上还设有用于限制第一滑板的滑动位置的第一限位开关。

[0008] 更优选地，第一基板上还设有用于防止第一滑板自第一滑轨上脱落的第一限位块。

[0009] 优选地，第二驱动模组包括Y轴方向固定在底座上的第二基板、Y轴方向设置在第二基板上的第二滑轨和沿着第二滑轨滑动的第二滑板，第二基板上设有第二定子组，第二滑板内设有用于驱动第二滑板滑动的第二动子组，第二动子组与第二定子组配合，第二基板穿过龙门立柱，第一基板设置在第二滑板上。

[0010] 更优选地，第二基板上还设有用于限制第二滑板的滑动位置的第二限位开关。

[0011] 更优选地，第二基板上还设有用于防止第二滑板自第二滑轨上脱落的第二限位块。

[0012] 与现有技术相比，本发明的有益效果在于：本发明提供一种单台面直写式曝光机，该曝光机采用一套标定模块完成标定，标定流程简单，标定位置准确，第一驱动模组和第二驱动模组协同作用并结合标定模组使标定模块的行程能够一次性完成整个曝光镜头的能量标定。

附图说明

[0013] 图1为本发明提供的一种单台面直写式曝光机的立体图；

[0014] 图2为本发明提供的一种单台面直写式曝光机中标定模组的示意图；

[0015] 图3为本发明提供的一种单台面直写式曝光机中第一驱动模组的示意图；

[0016] 图4为本发明提供的一种单台面直写式曝光机中第二驱动模组的示意图。

具体实施方式

[0017] 根据附图对本发明提供的优选实施方式做具体说明。

[0018] 图1至图4，为本发明提供的一种单台面直写式曝光机的优选实施方式。如图1至图4所示，该单台面直写式曝光机包括底座10，底座10上设有龙门立柱11，龙门立柱11上设有X轴向排列的曝光镜头12，还包括工作台20，工作台20上设有底架21、处于底架21上的用于标定曝光镜头12的标定模块22以及用于驱动标定模块22X轴方向滑动的标定模组23，工作台
20下方设有用于驱动工作台20X轴方向滑动的第一驱动模组30，底座10上设有用于驱动工作台20Y轴方向滑动的第二驱动模组40，第一驱动模组30设置在第二驱动模组40上方，这样结合第一驱动模组30、第二驱动模组40和驱动模组23使标定模块22的行程足以一次完成整个曝光镜头12的能量标定。

[0019] 如图2所示，标定模组23包括X轴方向设置在底架21上的丝杆231、驱动丝杆231转动的丝杆电机232以及连接丝杆231和丝杆电机232的联轴器233，标定模块22套在丝杆231上，丝杆电机232通过联轴器233驱动丝杆231转动，丝杆231转动带动丝杆231上的标定模块22移动，这样标定模块22在工作台20上的移动对曝光镜头12进行能量标定。

[0020] 标定模组23还包括设置在底架21上用于限制标定模块22移动位置的限位开关234。具体说，在底架21上分别与丝杆231的左右两端部对应的位置设有限位开关234，这样在标定模块22在丝杆231的驱动下移动至丝杆231的左右两端部时限位。底架21上还设有用于对线路收纳的标定托链211。

[0021] 如图3所示，第一驱动模组30包括X轴方向设置的第一基板31、X轴方向设置在第一基板31上的第一滑轨32和沿着第一滑轨32滑动的第一滑板33，第一基板31上设有第一定子组311，第一滑板33内设有用于驱动第一滑板33滑动的第一动子组331，第一动子组331与第一定子组311配合，工作台20设置在第一滑板33上，在第一滑板33带动工作台20X轴向滑动时，工作台20上标定模块22同时X轴向滑动，在这里，第一滑板33带动通过工作台20带动标定模块22在X轴向滑动，是在大行程上调整标定模块22的X轴向距离，而驱动模组23驱动标定模块22在X轴向滑动，是在小行程上调整标定模块22的X轴向距离，这样利用第一驱动模组30的大行程调整和驱动模组23的小行程调整可以准确对龙门立柱11上的曝光镜头12标定，一次完成整个曝光镜头12标定。

[0022] 第一基板31上还设有用于限制第一滑板33的滑动位置的第一限位开关312。具体说，在第一基板31分别与第一滑轨32的左右两端部对应的位置设有第一限位开关312，这样在第一滑板33在第一滑轨32上滑动至第一滑轨32的左右两端部时限位。第一基板31上还设有用于防止第一滑板33自第一滑轨32上脱落的第一限位块313，在第一滑板33滑动至第一滑轨32的左右两端部时防止第一滑板33从第一滑轨32上脱落。第一基板31上还设有用于收纳线路的第一托链314，防止线路缠绕损坏。

[0023] 如图4所示，第二驱动模组40包括Y轴方向固定在底座10上的第二基板41、Y轴方向设置在第二基板41上的第二滑轨42和沿着第二滑轨42滑动的第二滑板43，第二基板41上设有第二定子组411，第二滑板43内设有用于驱动第二滑板43滑动的第二动子组431，第二动子组431与第二定子组411配合，第二基板41穿过龙门立柱11，第一基板31设置在第二滑板43上，在第二滑板43在第二滑轨42上滑动时，处于第二滑板43上的第一基板31沿第二滑轨
42Y向滑动，以使工作台20Y向滑动，带动工作台20上的标定模块22处于曝光镜头12的正下方。

[0024] 第二基板41上还设有用于限制第二滑板43的滑动位置的第二限位开关412。具体说，在第二基板41分别与第二滑轨42的左右两端部对应的位置设有第二限位开关412，这样在第二滑板43在第二滑轨42上滑动至第二滑轨42的左右两端部时限位。第二基板41上还设有用于防止第二滑板43自第二滑轨42上脱落的第二限位块413，在第二滑板43滑动至第二滑轨42的左右两端部时防止第二滑板43从第二滑轨42上脱落。第二基板41上还设有用于收纳线路的第二托链414，防止线路缠绕损坏。

[0025] 该单台面直写式曝光机的工作过程：第二滑板43内的第二动子组431与第二基板41上第二定子组411配合，带动第二滑板43在第二滑轨42上滑动，这样处于第二滑板43上的第一基板31沿第二滑轨Y向滑动，以使工作台20Y向滑动，带动工作台20上的标定模块22处于曝光镜头12的正下方；第一滑板33内的第一动子组331与第一基板31上的第一定子组311配合，带动第一滑板33沿第一滑轨32滑动，第一滑板33上的工作台20X向滑动，工作台20上的标定模块22X向滑动；丝杆电机232通过联轴器233驱动丝杆231转动，丝杆231转动带动丝杆231上的标定模块22移动，这时标定模块22本身沿着丝杆231移动，以对龙门立柱11上曝光镜头12进行标定；该曝光机采用一套标定模块完成标定，标定流程简单，标定位置准确，第一驱动模组30和第二驱动模组40协同作用并结合标定模组23使标定模块22的行程能够一次性完成整个曝光镜头的能量标定。

[0026] 综上所述，本发明的技术方案可以充分有效的实现上述发明目的，且本发明的结构及功能原理都已经在实施例中得到充分的验证，能达到预期的功效及目的，在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对发明的实施例做出多种变更或修改。因此，本发明包括一切在专利申请范围中所提到范围内的所有替换内容，任何在本发明申请专利范围内所作的等效变化，皆属本案申请的专利范围之内。