掩模板、对位方法、显示面板、显示装置及其对盒方法

摘要

本发明公开了一种掩模板、对位方法、显示面板、显示装置及其对盒方法，该掩模板包括：基板，以及位于基板上的对位区域；其中，对位区域内设有第一对位标记和对位标尺；第一对位标记的图形与将要对位的膜层上的第二对位标记的图形相匹配；对位标尺经过第一对位标记与第二对位标记相对应的区域。本发明实施例提供的掩模板，通过在对位区域内设置对位标尺，且该对位标尺经过第一对位标记与第二对位标记相对应的区域，这样在对位过程中，可以准确的读取第一对位标记和第二对位标记之间的对位数据，避免由于对位标记边缘不清楚，造成对位数据不准确，导致对位失败的情况。

权利要求

1.一种掩模板，其特征在于，包括：基板，以及位于所述基板上的对位区域；其中，所述对位区域内设有第一对位标记和对位标尺；

所述第一对位标记的图形与将要对位的膜层上的第二对位标记的图形相匹配；

所述对位标尺经过所述第一对位标记与所述第二对位标记相对应的区域；

所述第一对位标记的尺寸大于所述第二对位标记的尺寸；

所述对位标尺包括：位于所述第一对位标记的图形内部的水平标尺和竖直标尺；或，所述第一对位标记的尺寸小于所述第二对位标记的尺寸；

所述对位标尺包括：经过所述第一对位标记的图形或位于所述第一对位标记的图形的边缘的水平标尺和竖直标尺；

所述水平标尺的长度大于所述第二对位标记在水平方向上的长度，所述竖直标尺的长度大于所述第二对位标记在竖直方向上的长度。

2.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述水平标尺和所述竖直标尺与所述第一对位标记的几何中心的距离在预设范围内。

3.如权利要求1或2所述的掩模板，其特征在于，所述对位标尺的最小刻度的宽度范围为3μm-7μm。

4.一种对位方法，其特征在于，包括：

采用如权利要求1-3任一项所述的掩模板在衬底基板上制作第一膜层；

在制作所述第一膜层之上的第二膜层时，根据所述第一膜层上的对位标尺得到对位数据；

根据所述对位数据移动制作所述第二膜层的掩模板。

5.一种对位方法，其特征在于，包括：

在衬底基板上制作第一膜层；

采用如权利要求1-3任一项所述的掩模板在所述第一膜层之上制作第二膜层，并根据所述掩模板上的对位标尺得到对位数据；

根据所述对位数据移动所述掩模板。

6.一种显示面板，其特征在于，包括：衬底基板，以及位于所述衬底基板上的对位区域；

其中，

所述对位区域内设有第一对位标记和对位标尺；

所述第一对位标记的图形与将要对位的对向基板上的第二对位标记的图形相匹配；

所述对位标尺经过所述第一对位标记与所述第二对位标记相对应的区域；

所述第一对位标记的尺寸大于所述第二对位标记的尺寸；

所述对位标尺包括：位于所述第一对位标记的图形内部的水平标尺和竖直标尺；或，所述第一对位标记的尺寸小于所述第二对位标记的尺寸；

所述对位标尺包括：经过所述第一对位标记的图形或位于所述第一对位标记的图形的边缘的水平标尺和竖直标尺；

所述水平标尺的长度大于所述第二对位标记在水平方向上的长度，所述竖直标尺的长度大于所述第二对位标记在竖直方向上的长度。

7.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求6所述的显示面板。

8.一种权利要求7所述的显示装置的对盒方法，其特征在于，包括：在对盒过程中，根据显示面板上的对位标尺，确定对位数据；

根据所述对位数据移动所述显示面板和/或所述显示面板的对向基板。

说明书

掩模板、对位方法、显示面板、显示装置及其对盒方法

技术领域

[0001] 本发明涉及显示技术领域，尤指一种掩模板、对位方法、显示面板、显示装置及其对盒方法。

背景技术

[0002] 薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)是目前常用的平板显示器，TFT-LCD显示器以其低电压、低功耗、适宜于电路集成以及轻巧便捷等优点而受到广泛的研究与应用。在阵列基板的制造工艺中，不同膜层之间的对合精度是工艺管控的关键参数，对合精度是否满足要求直接决定着显示器显示的画面质量。

[0003] 现有技术中对位标记的测试方式为：获取两个膜层的对位标记的图形，通过测试设备抓取对位标记图形的边界信号，然后根据边界信号通过计算得到对位数据，再根据对位数据调整膜层的位置。但是，如果对位标记的图形边缘不清楚，测试设备抓取的边界信号容易出错，从而容易导致误测，在实际对合成功的情况下，而对位数据并不达标，因此出现管控数据不能反映真实情况的现象，需要返回重测或手动测试，浪费人力物力。

[0004] 因此，如何更容易且更准确的获得对位数据。

发明内容

[0005] 本发明实施例提供了一种掩模板、对位方法、显示面板、显示装置及其对盒方法，用以解决现有技术中存在的由于对位标记图形边缘不清楚，导致的对位数据容易出现误测的问题。

[0006] 本发明实施例提供了一种掩模板，包括：基板，以及位于所述基板上的对位区域；其中，

[0007] 所述对位区域内设有第一对位标记和对位标尺；

[0008] 所述第一对位标记的图形与将要对位的膜层上的第二对位标记的图形相匹配；

[0009] 所述对位标尺经过所述第一对位标记与所述第二对位标记相对应的区域。

[0010] 在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述掩模板中，所述第一对位标记的尺寸大于所述第二对位标记的尺寸；

[0011] 所述对位标尺包括：位于所述第一对位标记的图形内部的水平标尺和竖直标尺。

[0012] 在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述掩模板中，所述水平标尺和所述竖直标尺与所述第一对位标记的几何中心的距离在预设范围内。

[0013] 在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述掩模板中，所述第一对位标记的尺寸小于所述第二对位标记的尺寸；

[0014] 所述对位标尺包括：经过所述第一对位标记的图形或位于所述第一对位标记的图形的边缘的水平标尺和竖直标尺；

[0015] 所述水平标尺的长度大于所述第二对位标记在水平方向上的长度，所述竖直标尺的长度大于所述第二对位标记在竖直方向上的长度。

[0016] 在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述掩模板中，所述对位标尺的最小刻度的宽度范围为3μm-7μm。

[0017] 本发明实施例还提供了一种对位方法，包括：

[0018] 采用上述掩模板在衬底基板上制作第一膜层；

[0019] 在制作所述第一膜层之上的第二膜层时，根据所述第一膜层上的对位标尺得到对位数据；

[0020] 根据所述对位数据移动制作所述第二膜层的掩模板。

[0021] 本发明实施例还提供了另一种对位方法，包括：

[0022] 在衬底基板上制作第一膜层；

[0023] 采用上述掩模板在所述第一膜层之上制作第二膜层，并根据所述掩模板上的对位标尺得到对位数据；

[0024] 根据所述对位数据移动所述掩模板。

[0025] 本发明实施例还提供了一种显示面板，包括：衬底基板，以及位于所述衬底基板上的对位区域；其中，

[0026] 所述对位区域内设有第一对位标记和对位标尺；

[0027] 所述第一对位标记的图形与将要对位的对向基板上的第二对位标记的图形相匹配；

[0028] 所述对位标尺经过所述第一对位标记与所述第二对位标记相对应的区域。

[0029] 本发明实施例还提供了一种显示装置，包括上述显示面板。

[0030] 本发明实施例还提供了一种上述显示装置的对盒方法，包括：

[0031] 在对盒过程中，根据显示面板上的对位标尺，确定对位数据；

[0032] 根据所述对位数据移动所述显示面板和/或所述显示面板的对向基板。

[0033] 本发明有益效果如下：

[0034] 本发明实施例提供了一种掩模板、对位方法、显示面板、显示装置及其对盒方法，该掩模板包括：基板，以及位于基板上的对位区域；其中，对位区域内设有第一对位标记和对位标尺；第一对位标记的图形与将要对位的膜层上的第二对位标记的图形相匹配；对位标尺经过第一对位标记与第二对位标记相对应的区域。本发明实施例提供的掩模板，通过在对位区域内设置对位标尺，且该对位标尺经过第一对位标记与第二对位标记相对应的区域，这样在对位过程中，可以准确的读取第一对位标记和第二对位标记之间的对位数据，避免由于对位标记边缘不清楚，造成对位数据不准确，导致对位失败的情况。

附图说明

[0035] 图1为本发明实施例提供的一种掩模板的结构示意图之一；

[0036] 图2为本发明实施例提供的一种掩模板的结构示意图之二；

[0037] 图3为本发明实施例的一种对位方法的流程图之一；

[0038] 图4为本发明实施例的一种对位方法的流程图之二；

[0039] 图5为本发明实施例的一种对盒方法的流程图；

[0040] 其中，11表示对位区域；12表示第一对位标记；13表示第二对位标记；14表示对位标尺；141表示水平标尺；142表示竖直标尺。

具体实施方式

[0041] 针对现有技术中存在的由于对位标记图形边缘不清楚，导致的对位数据容易出现误测的问题，本发明实施例提供了一种掩模板、对位方法、显示面板、显示装置及其对盒方法。

[0042] 下面结合附图，对本发明实施例提供的掩模板、对位方法、显示面板、显示装置及其对盒方法的具体实施方式进行详细地说明。附图中各结构的大小和形状不反映真实比例，目的只是示意说明本发明内容。

[0043] 本发明实施例提供了一种掩模板，如图1所示，包括：基板，以及位于基板上的对位区域11；其中，

[0044] 对位区域11内设有第一对位标记12和对位标尺14；

[0045] 第一对位标记12的图形与将要对位的膜层上的第二对位标记13的图形相匹配；

[0046] 对位标尺14经过第一对位标记12与第二对位标记13相对应的区域。

[0047] 本发明实施例提供的上述掩模板，通过在对位区域11内设置对位标尺14，且该对位标尺14经过第一对位标记12与第二对位标记13相对应的区域，这样在对位过程中，可以准确的读取第一对位标记12和第二对位标记13之间的对位数据，避免由于对位标记边缘不清楚，造成对位数据不准确，导致对位失败的情况。

[0048] 参照图1，为了更清楚的示意对位区域11中的图形，省略了基板的图形，在具体实施时，对位区域11可以设置在基板的非显示区域，或对应于黑矩阵的位置，以免对制作出的显示装置的显示画面造成影响。图中虚线框表示第二对位标记13，第二对位标记13为将要与第一对位标记12进行对位的膜层上的对位标记，图1中的三个第二对位标记13可以是同一膜层的对位标记，也可以是不同膜层的对位标记。第一对位标记12与第二对位标记13的图形相匹配，指的是第一对位标记12和第二对位标记13的图形一般形状相同，且各个边长的比例相同，即第二对位标记13的图形为第一对位标记12的图形缩小或扩大一定的倍数得到的图形，例如第一对位标记12的形状为正方形，边长为100μm，则第二对位标记13的形状也应该是正方形，第二对位标记13的边长可以设为50μm、60μm或70μm等数值，在实际应用中，第一对位标记12的边长可以在60μm-140μm之间，优选为100μm。

[0049] 图1中以对位区域11中包括三个第一对位标记12为例进行示意，在实际应用时，可以根据实际工艺的对位次数来决定第一对位标记12的数量，例如，工艺过程中只有一个膜层与该掩模板进行对位，则只需要一个第一对位标记12就可以，若工艺过程中，有四个膜层与掩模板进行对位，则可以设置四个第一对位标记12，以分别对应四个膜层的对位，当然也可以几个膜层共用对位标记，此处只是举例说明，不对第一对位标记12的数量进行限定。

[0050] 在具体实施时，对位标尺14经过第一对位标记12与第二对位标记13相对应的区域，这样设置可以保证通过对位标尺14可以读取到第一对位标记12和第二对位标记13的对位数据。第一对位标记12和第二对位标记13相对应的区域，可以指在对位过程中，第一对位标记12和第二对位标记13的重叠区域，也可以根据第一对位标记12和第二对位标记13的尺寸估算出重叠区域的大小和位置，从而确定对位标尺14的位置。

[0051] 上述对位数据可以指第二对位标记13相对于第一对位标记12需要移动的距离，如图1中左边第一个图形，在水平方向上，第二对位标记13左侧边缘与第一对位标记12的左侧边缘的距离为a，第二对位标记13右侧边缘与第一对位标记12的右侧边缘的距离为b，在竖直方向上，第二对位标记13上侧边缘与第一对位标记12的上侧边缘的距离为c，第二对位标记13下侧边缘与第一对位标记12的下侧边缘的距离为d，水平方向上的对位数据Dx＝(a-b)/2，竖直方向上的对位数据Dy＝(c-d)/2，从图1可以读出Dx＝(0.6-0.4)/2＝0.1，Dy＝(0.6-0.4)/2＝0.1，即只需将第二对位标记13向左移动0.1，向上移动0.1就可以对齐，其中，Dx和Dy的具体数值是以图中十个小刻度表示一个“单位1”得到的，并不代表实际尺寸。

[0052] 具体地，本发明实施例提供的上述掩模板中，对位标尺14的设置可以至少包括以下两种实现方式：

[0053] 方式一：同样参照图1，第一对位标记12的尺寸大于第二对位标记的尺寸；

[0054] 对位标尺14包括：位于第一对位标记12的图形内部的水平标尺141和竖直标尺142。

[0055] 由于第一对位标记12的尺寸大于第二对位标记的尺寸，这样只需在第一标尺内部设置对位标尺14就能够得到对位数据，且将对位标尺14分为水平标尺141和竖直标尺142，更有利于分别读取水平和竖直方向上的对位数据，从而更方便的进行对位，在具体实施时，水平标尺141的长度可以等于或稍大于第一对位标记12在水平方向上的长度，竖直标尺142的长度可以等于或稍大于第二对位标记13在竖直方向上的长度。

[0056] 进一步地，水平标尺141和竖直标尺142与第一对位标记12的几何中心的距离在预设范围内。

[0057] 将水平标尺141和竖直标尺142设置在第一对位标记12的几何中心附近，这样在工艺过程中，第二对位标记13比较容易和对位标尺14有重叠，从而保证对位标记能够测量到第二对位标尺14。水平标尺141和竖直标尺142优选为经过第一对位标记12的几何中心。

[0058] 方式二：如图2所示，第一对位标记12的尺寸小于第二对位标记的尺寸；

[0059] 对位标尺14包括：经过第一对位标记12的图形或位于第一对位标记12的图形的边缘的水平标尺141和竖直标尺142；

[0060] 水平标尺141的长度大于第二对位标记13在水平方向上的长度，竖直标尺142的长度大于第二对位标记13在竖直方向上的长度。

[0061] 参照图2，第一对位标记12的尺寸小于第二对位标记13的尺寸时，为了能够得到对位数据，水平标尺141和竖直标尺142的尺寸至少与第二对位标记13的尺寸相等，但实际工艺过程中，放置膜层时，会有一定的偏差，所以优选为水平标尺141的长度大于第二对位标记13在水平方向上的长度，竖直标尺142的长度大于第二对位标记13在竖直方向上的长度，对位标尺14可以设置在经过第一对位标记12的位置处，如图2中的第一个图形，也可以设置在第一对位标记12的边缘处，如图2中间的图形。

[0062] 在实际应用时，为了保证显示装置的质量，对位标尺14的最小刻度的宽度范围为3μm-7μm，优选为5μm。

[0063] 基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种对位方法，如图3所示，包括：

[0064] S201、采用上述掩模板在衬底基板上制作第一膜层；

[0065] S202、在制作第一膜层之上的第二膜层时，根据第一膜层上的对位标尺得到对位数据；

[0066] S203、根据对位数据移动制作第二膜层的掩模板。

[0067] 步骤S201中，采用上述掩模板在衬底基板上制作第一膜层，则第一膜层中的对位标记中包含了对位标尺，这样在步骤S202中，在制作第二膜层时，可以根据第一膜层上的对位标尺得到对位数据，从而可以根据对位数据移动第二膜层的掩模板，使第二膜层与第一膜层对齐。

[0068] 基于同一发明构思，本发明实施例还提供了另一种对位方法，如图4所示，包括：

[0069] S301、在衬底基板上制作第一膜层；

[0070] S302、采用上述掩模板在第一膜层之上制作第二膜层，并根据掩模板上的对位标尺得到对位数据；

[0071] S303、根据对位数据移动掩模板。

[0072] 步骤S301中，在衬底基板上制作第一膜层，第一膜层可以使用普通的掩模板(即没有对位标尺的掩模板)，也可以使用上述掩模板，在步骤S302中，制作第二膜层时使用上述具有对位标尺的掩模板，从而可以通过对位标尺读取对位数据，根据对位数据移动制作第二膜层的掩模板使第二膜层与第一膜层对齐。

[0073] 基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种显示面板，包括：衬底基板，以及位于衬底基板上的对位区域；其中，

[0074] 对位区域内设有第一对位标记和对位标尺；

[0075] 第一对位标记的图形与将要对位的对向基板上的第二对位标记的图形相匹配；

[0076] 对位标尺经过第一对位标记与第二对位标记相对应的区域。

[0077] 与上述掩模板类似，本发明实施例提供的上述显示面板中的对位标尺的设置也可以至少包括以下两种实现方式：

[0078] 方式一：第一对位标记的尺寸大于第二对位标记的尺寸；

[0079] 对位标尺包括：位于第一对位标记的图形内部的水平标尺和竖直标尺。

[0080] 优选的，水平标尺和竖直标尺与第一对位标记的几何中心的距离在预设范围内。

[0081] 方式二：第一对位标记的尺寸小于第二对位标记的尺寸；

[0082] 对位标尺包括：经过第一对位标记的图形或位于第一对位标记的图形的边缘的水平标尺和竖直标尺；

[0083] 水平标尺的长度大于第二对位标记在水平方向上的长度，竖直标尺的长度大于第二对位标记在竖直方向上的长度。

[0084] 在实际应用时，为了保证显示装置的质量，对位标尺14的最小刻度的宽度范围为3μm-7μm，优选为5μm。

[0085] 由于该显示面板解决问题的原理与上述掩模板相似，该显示面板中的对位标尺的特征与上述掩模板中的对位标尺的特征相同，因此该显示面板的实施可以参见上述掩模板的实施，重复之处不再赘述。

[0086] 基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种显示装置，包括上述显示面板。

[0087] 由于该显示装置解决问题的原理与上述显示面板相似，因此该显示装置的实施可以参见上述显示面板的实施，重复之处不再赘述。

[0088] 基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种上述显示装置的对盒方法，如图5所示，包括：

[0089] S401、在对盒过程中，根据显示面板上的对位标尺，确定对位数据；

[0090] S402、根据对位数据移动显示面板和/或显示面板的对向基板。

[0091] 由于上述显示装置中包括的显示面板的对位区域内设有对位标尺，因此，在对盒过程中，可以根据该显示面板上的对位标尺读取对位数据，根据对位数据移动该显示和/或显示面板的对向基板，从而使显示装置成功对盒。

[0092] 本发明实施例提供的上述掩模板、对位方法、显示面板、显示装置及其对盒方法，通过在对位区域内设置对位标尺，且该对位标尺经过第一对位标记与第二对位标记相对应的区域，这样在对位过程中，可以准确的读取第一对位标记和第二对位标记之间的对位数据，避免由于对位标记边缘不清楚，造成对位数据不准确，导致对位失败的情况。

[0093] 显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。