一种光阻涂布装置及喷嘴

摘要

本发明提供一种光阻涂布装置及喷嘴，所述喷嘴包括内部形成有一空腔的喷嘴本体，所述空腔设置有注入孔、排气孔以及排出孔；所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部，其中所述排气孔位于所述空腔的顶部，用于将所述空腔内的气体排出，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，或者所述注入孔位于所述空腔的底部，用于注入光阻液。通过上述方式，本发明能够将喷嘴内的空气尽可能地排出，能够减少因喷嘴内的气泡而造成产品不良的现象，提高产品良率。

权利要求

1.一种用于光阻涂布的喷嘴，其特征在于，包括内部形成有一空腔的喷嘴本体，所述空腔设置有注入孔和排气孔；

所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部，其中所述排气孔位于所述空腔的顶部，用于将所述空腔内的气体排出，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，用于注入光阻液；

其中所述注入孔的数量为二，两个所述注入孔相对设置；

所述喷嘴还包括控制模块、开关和光阻液供给管路；

所述光阻液供给管路的一端与其中一个所述注入孔连接，另一端连接至光阻液供给装置，所述开关设置在所述光阻液供给管路中，所述控制模块与所述开关连接，用于间隔预定时间控制所述开关打开，以导通所述光阻液供给管路。

2.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述空腔呈锥形，所述空腔的锥顶为所述空腔的顶部，所述空腔的锥底面为所述空腔的底部。

3.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述空腔呈圆柱形。

4.一种光阻涂布装置，其特征在于，包括喷嘴和光阻液供给装置，所述喷嘴包括内部形成有一空腔的喷嘴本体，所述空腔设置有注入孔和排气孔；

所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部，其中所述排气孔位于所述空腔的顶部，用于将所述空腔内的气体排出，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，所述光阻液供给装置与所述注入孔连接，用于提供光阻液；

其中所述注入孔的数量为二，两个所述注入孔相对设置；

所述喷嘴还包括控制模块、开关和光阻液供给管路；

所述光阻液供给管路的一端与其中一个所述注入孔连接，另一端连接至所述光阻液供给装置，所述开关设置在所述光阻液供给管路中，所述控制模块与所述开关连接，用于间隔预定时间控制所述开关打开，以导通所述光阻液供给管路。

5.根据权利要求4所述的光阻涂布装置，其特征在于，所述空腔呈锥形，所述空腔的锥顶为所述空腔的顶部，所述空腔的锥底面为所述空腔的底部。

6.根据权利要求4所述的光阻涂布装置，其特征在于，所述空腔呈圆柱形。

说明书

一种光阻涂布装置及喷嘴

技术领域

[0001] 本发明涉及光阻涂布技术，特别是涉及一种光阻涂布装置及喷嘴。

背景技术

[0002] 黄光制程是制造显示面板的重要过程，而光阻涂布又是黄光制程中的关键步骤，该步骤主要是通过涂布机(Slit Coater)在玻璃基板上涂布一定厚度的光阻层，以在后续
制程中将电路图案刻印在光阻层上。

[0003] 然而，现有的涂布机在涂布光阻时，常常会因为喷嘴内的气泡而导致光阻涂布破膜，影响光阻层的质量，容易导致产品不良甚至报废。

发明内容

[0004] 本发明的目的在于提供一种光阻涂布装置及喷嘴，能够有效地将喷嘴内的气体排出，以减少喷嘴内的气泡，从而可以提高光阻层的质量，有利于提升产品良率。

[0005] 本发明实施例提供的一种用于光阻涂布的喷嘴，包括内部形成有一空腔的喷嘴本体，所述空腔设置有注入孔和排气孔；

[0006] 所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部，其中所述排气孔位于所述空腔的顶部，用于将所述空腔内的气体排出，所述注入孔位于所述空腔的侧
部且靠近所述空腔的底部，或者所述注入孔位于所述空腔的底部，用于注入光阻液。

[0007] 在本发明所述的喷嘴中，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，其中所述注入孔的数量为二，两个所述注入孔相对设置。

[0008] 在本发明所述的喷嘴中，还包括控制模块、开关和光阻液供给管路；

[0009] 所述光阻液供给管路的一端与其中一个所述注入孔连接，另一端连接至光阻液供给装置，所述开关设置在所述光阻液供给管路中，所述控制模块与所述开关连接，用于间隔
预定时间控制所述开关打开，以导通所述光阻液供给管路。

[0010] 在本发明所述的喷嘴中，所述空腔呈锥形，所述空腔的锥顶为所述空腔的顶部，所述空腔的锥底面为所述空腔的底部。

[0011] 在本发明所述的喷嘴中，所述空腔呈圆柱形。

[0012] 本发明实施例还提供一种光阻涂布装置，包括喷嘴和光阻液供给装置，所述喷嘴包括内部形成有一空腔的喷嘴本体，所述空腔设置有注入孔和排气孔；

[0013] 所述空腔包括顶部、底部以及位于所述顶部和所述底部之间的侧部，其中所述排气孔位于所述空腔的顶部，用于将所述空腔内的气体排出，所述注入孔位于所述空腔的侧
部且靠近所述空腔的底部，或者所述注入孔位于所述空腔的底部，所述光阻液供给装置与
所述注入孔连接，用于提供光阻液。

[0014] 在本发明所述的光阻涂布装置中，所述注入孔位于所述空腔的侧部且靠近所述空腔的底部，其中所述注入孔的数量为二，两个所述注入孔相对设置。

[0015] 在本发明所述的光阻涂布装置中，还包括控制模块、开关和光阻液供给管路；

[0016] 所述光阻液供给管路的一端与其中一个所述注入孔连接，另一端连接至所述光阻液供给装置，所述开关设置在所述光阻液供给管路中，所述控制模块与所述开关连接，用于
间隔预定时间控制所述开关打开，以导通所述光阻液供给管路。

[0017] 在本发明所述的光阻涂布装置中，所述空腔呈锥形，所述空腔的锥顶为所述空腔的顶部，所述空腔的锥底面为所述空腔的底部。

[0018] 在本发明所述的光阻涂布装置中，所述空腔呈圆柱形。

[0019] 相较于现有的涂布机，本发明的用于光阻涂布的喷嘴，用于存储光阻液的空腔设置有注入孔和排气孔，通过将排气孔设置在空腔的顶部，注入孔设置在空腔的侧部且靠近
空腔的底部，或者注入孔设置在空腔的底部，由此使得光阻液从空腔的底部或靠近底部的
侧部注入，从而可以减小光阻液对气体流动的阻碍影响，有利于气体升上顶部并从顶部的
排气孔排出，从而可以减小喷嘴内的气泡，提高产品良率。

[0020] 为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：

附图说明

[0021] 图1是本发明用于光阻涂布的喷嘴一实施方式的结构示意图；

[0022] 图2是本发明用于光阻涂布的喷嘴另一实施方式的结构示意图；

[0023] 图3是本发明光阻涂布装置一实施方式的结构示意图。

具体实施方式

[0024] 以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以
限制本发明。

[0025] 在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。

[0026] 参阅图1，本发明用于光阻涂布的喷嘴一实施方式中，喷嘴包括喷嘴本体10。喷嘴本体10的内部形成有一空腔101，用于储存光阻液。

[0027] 空腔101设置有注入孔21、排气孔22以及排出孔23。光阻液自注入孔21注入空腔101内，排气孔22用于将空腔101内的气体排出，排出孔23用于输出光阻液，以实现光阻涂
布。

[0028] 其中，空腔101包括顶部1011、底部1012以及位于顶部1011和底部1012之间的侧部1013。排气孔22位于顶部1011。本实施方式中。注入孔21位于侧部1013，并且靠近底部1012
设置。

[0029] 进一步地，注入孔21的数量为二，两个注入孔21相对设置。

[0030] 通过本实施方式，光阻液从空腔101的靠近底部1012的侧部注入，以向空腔101的顶部1011逐渐填满，由此可以减小光阻液对气体流动的阻碍影响，有利于气体升上顶部并
从顶部的排气孔22排出，能够减少空腔内气体的存在，并且能够借助光阻液的流向推动气
体向顶部1011的排气孔22排出，可以进一步将空腔101内的气体排除干净，进而可以提高光
阻涂布的质量。

[0031] 并且，本实施例通过设置两个相对的注入孔21，更有利于将空腔101内的气体向顶部1011推动，以尽可能地将气体排净。

[0032] 其中，两个注入孔21可以通过一管路相互连通，例如，利用一Y型管路，该Y型管路的两个端口各自连接一个注入孔21，Y型管路的另一个端口连接光阻液供给装置，从而光阻
液供给装置可以通过Y型管路同时从两个注入孔21注入光阻液。

[0033] 可选地，喷嘴还包括控制模块11、开关12和光阻液供给管路13。光阻液供给管路13的一端与其中一个注入孔21连接，例如以图1所示视图为例，光阻液供给管路13的一端与右
侧的注入孔21连接，另一端则连接至光阻液供给装置，光阻液供给装置用于通过光阻液供
给管路13将光阻液从右边的注入孔21注入空腔101中。开关12设置在光阻液供给管路13中，
控制模块11与开关12连接，用于控制开关12的打开和关闭，进而控制光阻液供给管路13的
导通和断开。光阻液提供装置还与左边的注入孔21连接。

[0034] 在喷嘴进行光阻涂布的作业中，光阻液供给装置与左边的注入孔21之间的连接处于常导通状态，以不断将光阻液从注入孔21中注入。开关12则处于常闭状态，当需要排气泡
时，控制模块11控制开关12打开，以导通光阻液供给管路13，从而光阻液供给装置通过光阻
液供给管路13对空腔101注入光阻，以进行排泡。

[0035] 具体而言，光阻液从左边的注入孔21不断注入空腔101中，以对喷嘴提供涂布所需的光阻液。而光阻液中可能会存在气泡，当左边的注入孔21注入一定量的光阻液时，为了更
好地气泡从空腔101排出，本实施例设计为使控制模块11每间隔预定时间控制开关12打开，
从而使得光阻液从右边的注入孔21注入空腔101内，由此通过左右两侧的注入孔21同时注
入光阻液，以利用光阻液的流速将空腔101内的气泡尽可能推至空腔101的顶部1011，进而
从排气孔22排出。

[0036] 其中，预定时间可以根据实际需要进行设定，例如可以是0.5小时、1小时或1.5小时等。

[0037] 开关12导通一定的时间后，例如10分钟、20分钟或30分钟等，控制模块11控制开关12关闭，以关闭光阻液供给管路13，进行下一轮循环。

[0038] 本实施方式中，通过控制开关12每隔预定时间才打开，有助于排泡，同时还可以避免左右两个注入孔21处于长时间持续同时打开的状态，从而可以降低光阻液同时从两个注
入孔注入而对涂布效果产生的不良影响。

[0039] 其中，本实施方式的空腔101呈锥形。空腔101的锥顶为空腔101的顶部1011，空腔101的锥底面为空腔101的底部1012。当然，空腔101还可以是其他形状，例如圆柱形、方形或者不规则形等，对此不做限定。

[0040] 当然，在其他实施方式中，注入孔还可以位于其他位置，例如，如图2所示，注入孔21还可以设置在空腔101的底部1012，排气孔22设置在空腔101的顶部。当然，还可以同时在
空腔101的侧部1013和底部1012均设置注入孔。

[0041] 参阅图3，本发明光阻涂布装置一实施方式中，光阻涂布装置包括喷嘴31和光阻液供给装置32。其中，喷嘴31为上述任一实施方式所述的喷嘴，喷嘴31和光阻液供给装置32之
间的连接关系可参考图1所示实施例进行，出于简洁的目的，在此不经心一一赘述。

[0042] 综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润
饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。