一种利用金刚线切割的设备

摘要

本发明提供了一种利用金刚线切割的设备，属于机械技术领域。它解决了现有利用金刚线切割的设备的切割时产生的高温使金刚线断裂和造成硅锭表面损伤等技术问题。一种利用金刚线切割的设备，包括机架，所述机架上设置有升降架，其特征在于，升降架与一能带动其上下升降的升降机构相连，升降架上设置有用于放置硅锭的工作台，工作台与一能带其来回移动的移动机构相连；工作台的一侧设有收卷筒一，工作台的另一侧设有收卷筒二，所述收卷筒一和收卷筒二以周向转动且轴向固定的方式设置在机架上，收卷筒一和收卷筒二的轴方向与重力方向相互垂直。本发明具有有效的防止金刚线切割温度过高而导致金刚线断裂和降低硅锭表面的损伤，降低成本。

权利要求

1.一种利用金刚线切割的设备，包括机架，所述机架上设置有升降架，其特征在于，升降架与一能带动其上下升降的升降机构相连，升降架上设置有用于放置硅锭的工作台，工作台与一能带其来回移动的移动机构相连；工作台的一侧设有收卷筒一，工作台的另一侧设有收卷筒二，所述收卷筒一和收卷筒二以周向转动且轴向固定的方式设置在机架上，收卷筒一和收卷筒二的轴方向与重力方向相互垂直，收卷筒一与一能带其收卷的驱动机构一相连，收卷筒二与一能带其收卷的驱动机构二相连；工作台与收卷筒一之间设有导轮一，工作台与收卷筒二之间设有导轮二，所述导轮一和导轮二均通过周向转动且轴向固定的方式设置在机架上，导轮一和导轮二的轴方向与收卷筒一的轴方向相互平行；收卷筒一和导轮一之间设有用于辅助切割线收卷的辅助移动机构一，收卷筒二和导轮二之间设有用于辅助切割线收卷的辅助移动机构二；所述的导轮一和导轮二之间设有导轮三和导轮四，导轮三和导轮四均通过周向转动且轴向固定的方式设置在机架上，导轮三和导轮四的轴方向与收卷筒一的轴方向相互平行，导轮三和导轮四位于工作台的上方；所述收卷筒一、收卷筒二、导轮一、导轮二、导轮三和导轮四之间设有用于切割硅锭的金刚线，所述导轮三和导轮四之间的金刚线上方设置有切削液供给装置；所述的辅助移动机构一包括转盘一、滑块一、固定杆一和固定架一，所述固定架一固定在收卷筒一与导轮一之间，固定杆一固定在固定架一上，所述的转盘一设置在固定架一上且轴方向与收卷筒一的轴方向相垂直，所述滑块一内部开设有滑动孔一，滑块一中部设有转轴一，所述滑块一通过滑动孔一套设在固定杆一上，所述转盘一上设有一偏心轴一，所述偏心轴一的一端通过一连杆一与转轴一一端相连；辅助移动机构一与驱动机构一之间设有一同步连接机构一；所述的辅助移动机构二包括转盘二、滑块二、固定杆二和固定架二，所述固定架二固定在收卷筒一与导轮一之间，固定杆二固定在固定架二上，所述的转盘二设置在固定架二上且轴方向与收卷筒一的轴方向相垂直，所述滑块二内部开设有滑动孔二，滑块二中部设有转轴二，所述滑块二通过滑动孔二套设在固定杆二上，所述转盘二上设有一偏心轴二，所述偏心轴二的一端通过一连杆二与转轴二端相连；辅助移动机构二与驱动机构二之间设有一同步连接机构二。

2.根据权利要求1所述的一种利用金刚线切割的设备，其特征在于，所述的工作台底部开设有卡接槽，所述升降架上部设有与卡接槽相匹配的卡接部，升降架卡接在工作台的底部。

3.根据权利要求1所述的一种利用金刚线切割的设备，其特征在于，所述的升降机构包括液压缸，液压缸固定在机架上且液压缸的活塞杆竖直向上，液压缸的活塞杆端部和升降架底部相连。

4.根据权利要求3所述的一种利用金刚线切割的设备，其特征在于，所述的移动机构包括丝杠、电机一和螺母，丝杆水平设置在升降架上，丝杆端部与电机一相连，螺母螺纹连接在丝杆上，螺母与固定座相连，工作台固定在固定座上；所述机架上设有控制器，所述电机一上设有转数控制器，所述液压缸、转数控制器和电机一通过控制线路与控制器相连接。

5.根据权利要求1所述的一种利用金刚线切割的设备，其特征在于，所述的驱动机构一包括电机二，所述的电机二固定在机架上，电机二的输出轴水平设置，电机二的输出轴通过一连轴器二连接一转动轴一，所述转动轴一设置在收卷筒一内，转动轴一与收卷筒一同轴固定；电机二通过线路与控制器相连。

6.根据权利要求1或4所述的一种利用金刚线切割的设备，其特征在于，所述的驱动机构二包括电机三，所述的电机三固定在机架上，电机三的输出轴水平设置，电机三的输出轴通过一连轴器三连接一转动轴二，所述转动轴二设置在收卷筒二内，转动轴二与收卷筒二同轴固定；电机三通过线路与控制器相连。

7.根据权利要求1所述的一种利用金刚线切割的设备，其特征在于，所述的滑块一上设有用于助于金刚线收卷的限位卡扣一，滑块二上设有限位卡扣二。

8.根据权利要求1所述的一种利用金刚线切割的设备，其特征在于，所述的同步连接机构一包括伞齿轮一、伞齿轮二、连接杆一，连接杆一与转盘一同轴固定且设置在机架上，所述连接杆的一端设有伞齿轮一，连接杆与伞齿轮同轴固定，所述的伞齿轮二设置在电机二上，伞齿轮二与电机二的输出轴同轴固定，伞齿轮一和伞齿轮二啮合；所述的同步连接机构二包括伞齿轮三、伞齿轮四、连接杆二，连接杆二与转盘二同轴固定且设置在机架上，所述连接杆二的一端设有伞齿轮三，连接杆二与伞齿轮三同轴固定，所述的伞齿轮四设置在电机三上，伞齿轮四与电机三的输出轴同轴固定，伞齿轮三和伞齿轮四啮合。

说明书

一种利用金刚线切割的设备

技术领域

[0001] 本发明属于机械技术领域，特别是一种利用金刚线切割的设备。

背景技术

[0002] 碳化硅作为第三代半导体材料，具有禁带宽度大、热导率高等优点，其中把体块单晶切割成翘曲度小、厚度均匀、刀缝损失小的晶片非常重要，否则将给后续的磨抛工作带来极大的困难。但是由于碳化硅的莫氏硬度为9.2，仅次于金刚石，加工难度特别大，所以必须采用金刚线切割技术来切割。

[0003] 目前，现有的金刚线切割的设备，如中国专利公开了金刚石线锯切割方法及切割设备，申请号：201310242124.6；授权公告号：CN 103302754 A；该发明的金刚石线锯切割方法，是用环形金刚石线锯对晶锭工件进行切割，与现有技术不同的是所述环形金刚石线锯为环形金刚石线环绕于若干水平导轮上并用张紧机构张紧，在导轮之一的主动轮带动下环形金刚石线锯高速运转，环形金刚石线锯在升降机构带动下向下进给切割晶锭工件，切割完毕环形金刚石线锯向上退刀；在环形金刚石线锯的切割过程中，所述晶锭工件由旋转机构带动绕自身轴单向旋转，保证切割时环形金刚石线锯与晶锭工件的点接触，以提高切割效率。

[0004] 由于该专利中使用的金刚线为环形金刚线，金刚线在切割时与硅锭发生摩擦，会产生大量热量，即便是有冷却液的冷却，也会导致切割速率过快而导致金刚线温度难以降低，在过高的温度下工作，金刚线的使用寿命会大大降低以至于断裂，过高的温度也会使切割的硅锭表面造成部分损伤，在金刚线断裂之后也难以修补，需要直接更换金刚线，成本提高。

发明内容

[0005] 本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种利用金刚线切割的设备，该设备要解决的技术问题是：有效的防止金刚线切割温度过高而导致金刚线断裂和降低硅锭表面的损伤，降低成本。

[0006] 本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种利用金刚线切割的设备，包括机架，所述机架上设置有升降架，其特征在于，升降架与一能带动其上下升降的升降机构相连，升降架上设置有用于放置硅锭的工作台，工作台与一能带其来回移动的移动机构相连；工作台的一侧设有收卷筒一，工作台的另一侧设有收卷筒二，所述收卷筒一和收卷筒二以周向转动且轴向固定的方式设置在机架上，收卷筒一和收卷筒二的轴方向与重力方向相互垂直，收卷筒一与一能带其收卷的驱动机构一相连，收卷筒二与一能带其收卷的驱动机构二相连；工作台与收卷筒一之间设有导轮一，工作台与收卷筒二之间设有导轮二，所述导轮一和导轮二均通过周向转动且轴向固定的方式设置在机架上，导轮一和导轮二的轴方向与收卷筒一的轴方向相互平行；收卷筒一和导轮一之间设有用于辅助切割线收卷的辅助移动机构一，收卷筒二和导轮二之间设有用于辅助切割线收卷的辅助移动机构二；所述的导轮一和导轮二之间设有导轮三和导轮四，导轮三和导轮四均通过周向转动且轴向固定的方式设置在机架上，导轮三和导轮四的轴方向与收卷筒一的轴方向相互平行，导轮三和导轮四位于工作台的上方；所述收卷筒一、收卷筒二、导轮一、导轮二、导轮三和导轮四之间设有用于切割硅锭的金刚线，所述导轮三和导轮四之间的金刚线上方设置有切削液供给装置。

[0007] 本发明的工作原理是这样的：将硅锭固定在工作台上后，启动移动机构，通过移动机构将硅锭送到金刚线下方，启动驱动机构一，收卷筒一开始收卷，启动升降机构，工作台上升，金刚线开始切割硅锭，同时切削液供给装置启动，为金刚线与硅锭切割处提供切削液。在运转到预设周期之后，驱动机构一停止运转，驱动机构而启动，收卷筒二开始收卷。切削液的供给，可以保证切削硅锭表面的光滑度，通过收卷筒一和收卷筒二的来回切割，可以保证金刚线一直处于低温状态且减少金刚线的磨损速度，提高切面的光滑度，提高金刚线的使用寿命。

[0008] 所述工作台底部开设有卡接槽，所述升降架上部设有与卡接槽相匹配的卡接部，升降架卡接在工作台的底部。通过卡接的方式可以保证工作台的稳定，在工作是不会有晃动等其他因素的影响。

[0009] 所述的升降机构包括液压缸，液压缸固定在机架上且液压缸的活塞杆竖直向上，液压缸的活塞杆端部和升降架底部相连。液压缸控制工作台的上升或下降。

[0010] 所述的移动机构包括丝杠、电机一和螺母，丝杆水平设置在升降架上，丝杆端部与电机一相连，螺母螺纹连接在丝杆上，螺母与一固定座相连，工作台固定在固定座上。启动电机一，电机一的输出轴转动带动丝杠转动，丝杠和螺母将旋转运动转化为直线运动，螺母做水平运动带动固定座水平运动，固定水平运动带动工作来水平运动。

[0011] 所述机架上设有控制器，所述电机一上设有转数控制器，所述液压缸、转数控制器和电机一通过控制线路与控制器相连接。启动液压缸，升价架开始上升或者下降，启动电机一，电机的输出轴同过联轴器带动丝杠转动，通过滚珠丝杠，将旋转运动转换成水平运动，螺母开始做水平运动，螺母带动工作台做水平运动。通过转数控制器来控制电机一的转数，通过该方法精准的控制工作台的水平移动距离。控制器为PLC可编程控制器。

[0012] 所述的驱动机构一包括电机二，所述的电机二固定在机架上，电机二的输出轴水平设置，电机二的输出轴通过一连轴器二连接一转动轴一，所述转动轴一设置在收卷筒一内，转动轴一与收卷筒一同轴固定；电机二通过线路与控制器相连。启动电机二，电机二的通过联轴器二带动转动轴一，转动轴一转动带动收卷筒一转动，收卷筒一开始对金刚线收卷。

[0013] 所述的驱动机构二包括电机三，所述的电机三固定在机架上，电机三的输出轴水平设置，电机三的输出轴通过一连轴器三连接一转动轴二，所述转动轴二设置在收卷筒二内，转动轴二与收卷筒二同轴固定；电机三通过线路与控制器相连。

[0014] 所述的辅助移动机构一包括转盘一、滑块一、固定杆一和固定架一，所述固定架一固定在收卷筒一与导轮一之间，固定杆一固定在固定架一上，所述的转盘一设置在固定架一上且轴方向与收卷筒一的轴方向相垂直，所述滑块一内部开设有滑动孔一，滑块一中部设有转轴一，所述滑块一通过滑动孔一套设在固定杆一上，所述转盘一上设有一偏心轴一，所述偏心轴一的一端通过一连杆一与转轴一一端相连；辅助移动机构一与驱动机构一之间设有一同步连接机构一。转盘一转动，偏心轴一跟着转盘一转动，偏心轴一转动带动连杆一的一端开始转动，连杆一的另一端固定在滑块一上，滑块一被固定杆一做了上下限位，从而是滑块一只能做水平来回移动。

[0015] 所述的辅助移动机构二包括转盘二、滑块二、固定杆二和固定架二，所述固定架二固定在收卷筒一与导轮一之间，固定杆二固定在固定架二上，所述的转盘二设置在固定架二上且轴方向与收卷筒一的轴方向相垂直，所述滑块二内部开设有滑动孔二，滑块二中部设有转轴二，所述滑块二通过滑动孔二套设在固定杆二上，所述转盘二上设有一偏心轴二，所述偏心轴二的一端通过一连杆二与转轴二端相连；辅助移动机构二与驱动机构二之间设有一同步连接机构二。转盘二转动，偏心轴二跟着转盘二转动，偏心轴二转动带动连杆二的一端开始转动，连杆二的另一端固定在滑块二上，滑块二被固定杆二做了上下限位，从而是滑块二只能做水平来回移动。

[0016] 所述的滑块一上设有用于助于金刚线收卷的限位卡扣一，滑块二上设有限位卡扣二。限位卡扣一和限位卡扣二的设置是为了保证金刚线可以整齐的被收卷。

[0017] 所述的同步连接机构一包括伞齿轮一、伞齿轮二、连接杆一，连接杆一与转盘一同轴固定且设置在机架上，所述连接杆的一端设有伞齿轮一，连接杆与伞齿轮同轴固定，所述的伞齿轮二设置在电机二上，伞齿轮二与电机二的输出轴同轴固定，伞齿轮一和伞齿轮二啮合。启动电机二，电机二的转动带动伞齿轮二的转动，伞齿轮二的转动带动伞齿轮一的转动，伞齿轮一的转动带动连接杆转动，连接杆转动带动转盘一转动。

[0018] 所述的同步连接机构二包括伞齿轮三、伞齿轮四、连接杆二，连接杆二与转盘二同轴固定且设置在机架上，所述连接杆二的一端设有伞齿轮三，连接杆二与伞齿轮三同轴固定，所述的伞齿轮四设置在电机三上，伞齿轮四与电机三的输出轴同轴固定，伞齿轮三和伞齿轮四啮合。启动电机三，电机三的的输出轴转动带动伞齿轮四的转动，伞齿轮四的转动带动伞齿轮三的转动，伞齿轮三的转动带动连接杆转动，连接杆转动带动转盘二转动。

[0019] 所述的切削液供给装置包括若干喷嘴、收集槽、恒流泵和回收箱，所述回收箱分为收集箱和过滤箱，所述收集箱与过滤箱之间设有用于分离切削料和切削液的过滤网；所述收集槽设置在回收箱和液压缸之间，所述收集槽的底部开设有一出液孔，所述出液孔位于收集箱的上方；所述过滤箱通过导管与恒流泵相连，恒流泵通过导管与喷嘴相连，恒流泵与喷嘴相连的导管上设有电磁阀，所述恒流泵和电磁阀通过线路与控制器相连。在切削的过程上，金刚线与硅锭接触时，产生高温，切削液的供给可以降低硅锭的温度和金刚线的温度，同时将切屑冲入收集箱，切屑通过过滤网被留到收集箱内，切削液进入过滤箱，通过恒流泵将切削液重新利用。电磁阀可以控制喷嘴的打开或者关闭。

[0020] 与现有技术相比，本使用新型的具有以下优点：

[0021] 1、金刚线为单向切割，切割过程中金刚线具有较长的冷却时间，保证切割是金刚线温度不会过高而导致断裂，同行保证了切割表面的光滑。

[0022] 2、通过辅助移动机构，可以保证金刚线被整齐的收卷。

[0023] 3、切削液供给装置的设置可以是切削液的循环使用，同时收集切屑，保证切屑液的纯度，保证在供给的切削液不会影响工件的表面光滑度。

附图说明

[0024] 图1是一种利用金刚线切割的设备的示意图。

[0025] 图2是一种利用金刚线切割的设备的示意图。

[0026] 图3是一种利用金刚线切割的设备的侧视图。

[0027] 图4是一种利用金刚线切割的设备的主视图

[0028] 图中，1、机架；1a、升降架；1b、工作台；2、收卷筒一；3、收卷筒二；4、导轮一；5、导轮二；6、导轮三；7、导轮四；8、金刚线；9卡接槽；9a、卡接部；10、液压缸；10a、活塞杆；11、丝杠；12、电机一；13、螺母；13a、固定座；14、控制器；14a、转数控制器；15、电机二；15a、转动轴一；
16、电机三；16a、转动轴二；17、转盘一；18、滑块一；19、固定杆一；20、固定架一；21、滑动孔一；22、转轴一；23、偏心轴一；24、连杆一；25、转盘二；26、滑块二；27、固定杆二；28、固定架二；29、滑动孔二；30、转轴二；31、偏心轴二；32、连杆二；33、限位卡扣一；34、限位卡扣二；
35、伞齿轮一；36、伞齿轮二；37、连接杆一；38、伞齿轮三；39、伞齿轮四；40、连接杆二；41、喷嘴；42、收集槽；43、恒流泵；44、回收箱；44a、收集箱；44b、过滤箱；44c、过滤网；44d、出液孔；
44e、电磁阀。

具体实施方式

[0029] 以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

[0030] 如图1、图2、图3和图4所示，一种利用金刚线切割的设备，包括机架11，机架11上设置有升降架1a，其特征在于，升降架1a与一能带动其上下升降的升降机构相连，升降架1a上设置有用于放置硅锭的工作台1b，工作台1b与一能带其来回移动的移动机构相连；工作台1b的一侧设有收卷筒一2，工作台1b的另一侧设有收卷筒二3，收卷筒一2和收卷筒二3以周向转动且轴向固定的方式设置在机架11上，收卷筒一2和收卷筒二3的轴方向与重力方向相互垂直，收卷筒一2与一能带其收卷的驱动机构一相连，收卷筒二3与一能带其收卷的驱动机构二相连；工作台1b与收卷筒一2之间设有导轮一4，工作台1b与收卷筒二3之间设有导轮二5，导轮一4和导轮二5均通过周向转动且轴向固定的方式设置在机架11上，导轮一4和导轮二5的轴方向与收卷筒一2的轴方向相互平行；收卷筒一2和导轮一4之间设有用于辅助切割线收卷的辅助移动机构一，收卷筒二3和导轮二5之间设有用于辅助切割线收卷的辅助移动机构二；导轮一4和导轮二5之间设有导轮三6和导轮四7，导轮三6和导轮四7均通过周向转动且轴向固定的方式设置在机架11上，导轮三6和导轮四7的轴方向与收卷筒一2的轴方向相互平行，导轮三6和导轮四7位于工作台1b的上方；收卷筒一2、收卷筒二3、导轮一4、导轮二5、导轮三6和导轮四7之间设有用于切割硅锭的金刚线8，导轮三6和导轮四7之间的金刚线8上方设置有切削液供给装置。

[0031] 工作台1b底部开设有卡接槽9，升降架1a上部设有与卡接槽9相匹配的卡接部9a，升降架1a卡接在工作台1b的底部。通过卡接的方式可以保证工作台1b的稳定，在工作是不会有晃动等其他因素的影响。

[0032] 升降机构包括液压缸10，液压缸10固定在机架11上且液压缸10的活塞杆10a竖直向上，液压缸10的活塞杆10a端部和升降架1a底部相连。液压缸10控制工作台1b的上升或下降。

[0033] 移动机构包括丝杠11、电机一12和螺母13，丝杆水平设置在升降架1a上，丝杆端部与电机一12相连，螺母13螺纹连接在丝杆上，螺母13与一固定座13a相连，工作台1b固定在固定座13a上。启动电机一12，电机一12的输出轴转动带动丝杠11转动，丝杠11和螺母13将旋转运动转化为直线运动，螺母13做水平运动带动固定座水平运动，固定水平运动带动工作来水平运动。

[0034] 机架11上设有控制器14，电机一12上设有转数控制器14a，液压缸10、转数控制器14a和电机一12通过控制线路与控制器14相连接。通过转数控制器14a来控制电机一12的转数，通过该方法精准的控制工作台1b的水平移动距离。控制器14为PLC可编程控制器14。

[0035] 驱动机构一包括电机二15，电机二15固定在机架11上，电机二15的输出轴水平设置，电机二15的输出轴通过一连轴器连接一转动轴一15a，转动轴一15a设置在收卷筒一2内，转动轴一15a与收卷筒一2同轴固定；电机二15通过线路与控制器14相连。启动电机二15，电机二15的通过联轴器二带动转动轴一15a，转动轴一15a转动带动收卷筒一2转动，收卷筒一2开始对金刚线8收卷。

[0036] 驱动机构二包括电机三16，电机三16固定在机架11上，电机三16的输出轴水平设置，电机三16的输出轴通过一联轴器连接一转动轴二16a，转动轴二16a设置在收卷筒二3内，转动轴二16a与收卷筒二3同轴固定；电机三16通过线路与控制器14相连。

[0037] 辅助移动机构一包括转盘一17、滑块一18、固定杆一19和固定架一20，固定架一20固定在收卷筒一2与导轮一4之间，固定杆一19固定在固定架一20上，转盘一17设置在固定架一20上且轴方向与收卷筒一2的轴方向相垂直，滑块一18内部开设有滑动孔一21，滑块一18中部设有滑转轴一22，滑块一18通过滑动孔一21套设在固定杆一19上，转盘一17上设有一偏心轴一23，偏心轴一23的一端通过一连杆一24与滑转轴一22一端相连；辅助移动机构一与驱动机构一之间设有一同步连接机构一。转盘一17转动，偏心轴一23跟着转盘一17转动，偏心轴一23转动带动连杆一24的一端开始转动，连杆一24的另一端固定在滑块一18上，滑块一18被固定杆一19做了上下限位，从而是滑块一18只能做水平来回移动。

[0038] 辅助移动机构二包括转盘二25、滑块二26、固定杆二27和固定架二28，固定架二28固定在收卷筒一2与导轮一4之间，固定杆二27固定在固定架二28上，转盘二25设置在固定架二28上且轴方向与收卷筒一2的轴方向相垂直，滑块二26内部开设有滑动孔二29，滑块二26中部设有转轴二30，滑块二26通过滑动孔二29套设在固定杆二27上，转盘二25上设有一偏心轴二31，偏心轴二31的一端通过一连杆二32与转轴二30端相连；辅助移动机构二与驱动机构二之间设有一同步连接机构二。转盘二25转动，偏心轴二31跟着转盘二25转动，偏心轴二31转动带动连杆二32的一端开始转动，连杆二32的另一端固定在滑块二26上，滑块二
26被固定杆二27做了上下限位，从而是滑块二26只能做水平来回移动。

[0039] 滑块一18上设有用于助于金刚线8收卷的限位卡扣一33，滑块二26上设有限位卡扣二34。限位卡扣一33和限位卡扣二34的设置是为了保证金刚线8可以整齐的被收卷。

[0040] 同步连接机构一包括伞齿轮一35、伞齿轮二36、连接杆一37，连接杆一37与转盘一17同轴固定且设置在机架11上，连接杆的一端设有伞齿轮一35，连接杆与伞齿轮同轴固定，伞齿轮二36设置在电机二15上，伞齿轮二36与电机二15的输出轴同轴固定，伞齿轮一35和伞齿轮二36啮合。启动电机二15，电机二15的转动带动伞齿轮二36的转动，伞齿轮二36的转动带动伞齿轮一35的转动，伞齿轮一35的转动带动连接杆转动，连接杆转动带动转盘一17转动。

[0041] 同步连接机构二包括伞齿轮三38、伞齿轮四39、连接杆二40，连接杆二40与转盘二25同轴固定且设置在机架11上，连接杆二40的一端设有伞齿轮三38，连接杆二40与伞齿轮三38同轴固定，伞齿轮四39设置在电机三16上，伞齿轮四39与电机三16的输出轴同轴固定，伞齿轮三38和伞齿轮四39啮合。启动电机三16，电机三16的的输出轴转动带动伞齿轮四39的转动，伞齿轮四39的转动带动伞齿轮三38的转动，伞齿轮三38的转动带动连接杆转动，连接杆转动带动转盘二25转动。

[0042] 切削液供给装置包括喷嘴41、收集槽42、恒流泵43和回收箱44，回收箱44分为收集箱44a和过滤箱44b，收集箱44a与过滤箱44b之间设有用于分离切削料和切削液的过滤网44c；收集槽42设置在回收箱44和液压缸10之间，收集槽42的底部开设有一出液孔44d，出液孔44d位于收集箱44a的上方；过滤箱44b通过导管与恒流泵43相连，恒流泵43通过导管与喷嘴41相连，恒流泵43与喷嘴41相连的导管上设有电磁阀44e，恒流泵43和电磁阀44e通过线路与控制器14相连。在切削的过程上，金刚线8与硅锭接触时，产生高温，切削液的供给可以降低硅锭的温度和金刚线8的温度，同时将切屑冲入收集箱44a，切屑通过过滤网44c被留到收集箱44a内，切削液进入过滤箱44b，通过恒流泵43将切削液重新利用。电磁阀44e可以控制喷嘴41的打开或者关闭。

[0043] 本发明的工作原理是这样的：将硅锭固定在工作台1b上后，启动电机一12，电机一12的输出轴同过联轴器带动丝杠11转动，通过滚珠丝杠11，将旋转运动转换成水平运动，螺母13开始做水平运动，螺母13带动工作台1b做水平运动将硅锭送到金刚线8的下方，启动电机二15，电机二15的输出轴带动收卷筒一2转动，收卷筒一2转动带动金刚线8做水平运动，启动液压缸10，将工作台1b上升至与金刚线8接触位置，金刚线8开始切割硅锭，通过控制器
14打开切削液供给装置，为切割出提供切削液。同时，辅助移动机构随着电机一12的启动而开始工作，滑块开始左右移动，将金刚线8均匀的收卷到收卷筒一2上，切割完成后，电机二
15停止，电机三16启动，电机一12的输出轴带动收卷筒二3转动，收卷筒二3带动金刚线8做水平运动，启动液压缸10，将工作台1b上升至与金刚线8接触位置，金刚线8开始切割硅锭。
反复循环，保持金刚线8一直处于低温状态。

[0044] 本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

[0045] 尽管本文较多地使用了1、机架；1a、升降架；1b、工作台；2、收卷筒一；3、收卷筒二；4、导轮一；5、导轮二；6、导轮三；7、导轮四；8、金刚线；9卡接槽；9a、卡接部；10、液压缸；10a、活塞杆；11、丝杠；12、电机一；13、螺母；13a、固定座；14、控制器；14a、转数控制器；15、电机二；15a、转动轴一；16、电机三；16a、转动轴二；17、转盘一；18、滑块一；19、固定杆一；20、固定架一；21、滑动孔一；22、转轴一；23、偏心轴一；24、连杆一；25、转盘二；26、滑块二；27、固定杆二；28、固定架二；29、滑动孔二；30、转轴二；31、偏心轴二；32、连杆二；33、限位卡扣一；
34、限位卡扣二；35、伞齿轮一；36、伞齿轮二；37、连接杆一；38、伞齿轮三；39、伞齿轮四；40、连接杆二；41、喷嘴；42、收集槽；43、恒流泵；44、回收箱；44a、收集箱；44b、过滤箱；44c、过滤网；44d、出液孔；44e、电磁阀等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的。