蒸镀图案检测系统及蒸镀图案检测方法

摘要

本发明提供一种蒸镀图案检测系统及蒸镀图案检测方法。本发明的蒸镀图案检测系统在现有的蒸镀图案检测系统上集成白光干涉显微镜，使用该蒸镀图案检测系统对基板上的蒸镀图案进行检测时，能够利用白光干涉显微镜获得基板上的蒸镀图案的二维及三维图像，根据二维及三维图像可以得到蒸镀图案膜厚不均匀区域的宽度范围，以用于评估基板上蒸镀阴影效应的严重程度，为减小阴影效应提供数据支持。