研磨装置以及研磨方法

摘要

研磨方法包括：准备包括加工部件及产生吸引力的吸引机构的研磨装置的工序；将工件设置在加工部件的工序；以及利用由吸引机构的动作产生的气流，使朝向工件投入的研磨材料加速至规定的速度，并且使该研磨材料与该工件接触或碰撞从而对该工件进行研磨的工序。