用于对壁中开口进行真空密封的密封装置

摘要

密封装置包含有密封机构和杆，杆从密封装置的壳体中伸出，并在壳体外部带动该密封机构，并与承载件相刚性连接，密封装置还包含有传输单元，其可以由驱动装置在密封机构处于打开位置时的起始位置、密封机构处于中间位置时的中部位置、以及密封机构处于关闭位置时的末端位置之间平行于纵向调节方向来调节，密封装置还包含有弹簧，该弹簧设置在该传输单元与承载件之间，以及密封装置还包含有止挡装置，止挡装置在传输单元从中间位置调节到末端位置时阻止承载件平行于纵向调节方向继续调节。传输单元由纵向线性导向装置相对于壳体平行于纵向调节方向可移动地来输送，并且承载件由倾斜线性导向装置相对于传输单元平行于倾斜调节方向可移动地来输送。

权利要求

1.一种用于对壁(6)中的开口(4)进行真空密封的密封装置，其包含有：

密封单元(26)，该密封单元具有密封机构(1)和至少一个杆(2)，该密封机构能够平行于纵向调节方向(9)从在该密封装置的打开位置下该密封机构(1)所处于的打开位置调节到中间位置，并能够平行于与该纵向调节方向(9)成直角的横向调节方向(10)从中间位置调节到在该密封装置的关闭状态下该密封机构(1)所处于的关闭位置，所述至少一个杆(2)具有与纵向调节方向(9)相平行的纵轴线(13)，并从该密封装置的壳体(8)中伸出，并在该壳体(8)外部承载该密封机构(1)，并与承载件(14)刚性连接，传输单元(18)，该传输单元能够由驱动装置(15)在该密封机构(1)处于打开位置时的起始位置、该密封机构(1)处于中间位置时的中部位置、以及该密封机构(1)处于关闭位置时的末端位置之间平行于纵向调节方向(9)来调节，至少一个弹簧(25)，所述至少一个弹簧设置在该传输单元(18)与该承载件(14)之间，并且所述至少一个弹簧在该传输单元(18)从起始位置调节到中部位置时带动该承载件(14)，其中该承载件(14)相对于该壳体(8)在该纵向调节方向(9)上来进行调节，以及止挡装置，该止挡装置在该传输单元(18)从中部位置调节到末端位置时阻止该承载件(14)平行于纵向调节方向(9)继续调节，其中该承载件(14)相对于该壳体(8)在横向调节方向(10)上来进行调节，其特征在于，

该密封装置包含有至少一个纵向线性导向装置(19)和至少一个倾斜线性导向装置(20)，其分别具有导轨(22)和沿该导轨(22)线性能移动地布置的滑架(23)，其中该纵向线性导向装置(19)的导轨(22)平行于纵向调节方向(9)来设置，并且该倾斜线性导向装置(20)的导轨(22)平行于倾斜调节方向(21)来设置，该倾斜调节方向在由该纵向调节方向(9)和横向调节方向(10)所确定的平面中与纵向调节方向(9)成角度并与横向调节方向(10)成角度，其中该传输单元(18)由至少一个纵向线性导向装置(19)相对于该壳体(8)平行于纵向调节方向(9)能移动地被导向，该承载件(14)由至少一个倾斜线性导向装置(20)相对于该传输单元(18)平行于倾斜调节方向(21)能移动地被导向。

2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述滑架(23)相对于导轨(22)借助滚动体能移动地被设置。

3.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，该止挡装置具有起动弹簧(28)，所述起动弹簧在该密封机构(1)的打开位置中是不加载的并处于初始位置，并且其为了对在该密封装置关闭时该密封单元(26)进行的制动进行衰减而能够变形为工作位置。

4.根据权利要求3所述的密封装置，其特征在于，该起动弹簧(28)具有弹簧臂(28a)，其中该弹簧臂(28a)为了对在该密封装置关闭时该密封单元(26)进行的制动进行衰减而能够由碰到起动弹簧(28)的止挡部件(29)通过弹簧位移而偏转，并在此在该起动弹簧(28)的初始位置中，至少在如下区段中与刚性的支撑部件(30)相间隔：在该区段中该止挡部件(29)在该密封装置关闭时碰到该弹簧臂(28a)上，并在该起动弹簧(28)的工作位置中，该弹簧臂(28a)在该区段中就靠置到该支撑部件(30)上。

5.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，该倾斜调节方向(21)与该纵向调节方向(9)夹了小于45°的角(24)。

6.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，该倾斜调节方向(21)与该纵向调节方向(9)夹了大于4°的角(24)。

7.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，该倾斜调节方向(21)与该纵向调节方向(9)夹了角(24)，该角处于5°至20°的范围中。

8.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，该杆(2)的纵轴线(13)在两侧分别设置有纵向线性导向装置(19)并分别设置有倾斜线性导向装置(20)。

9.根据权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，该传输单元(18)、该承载件(14)、所述至少一个纵向线性导向装置(19)和所述至少一个倾斜线性导向装置(20)设置在该壳体(8)的内部空间中。

说明书

用于对壁中开口进行真空密封的密封装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种用于对壁中开口进行真空密封的密封装置，其包含有密封单元，该密封单元具有密封机构和至少一个杆，该密封机构可以平行于纵向调节方向从在该密封装置的打开位置下该密封机构所处的打开位置调节到中间位置，并可以平行于与该纵向调节方向成直角的横向调节方向从中间位置调节到在该密封装置的关闭状态下该密封机构所处于的关闭位置，所述至少一个杆具有与纵向调节方向相平行的纵轴线，并从该密封装置的壳体中伸出，并在该壳体外部承载该密封机构，并与承载件相刚性连接，该密封装置还包含有传输单元，该传输单元可以由驱动装置在该密封机构处于打开位置时的起始位置、该密封机构处于中间位置时的中部位置、以及该密封机构处于关闭位置时的末端位置之间平行于纵向调节方向来调节，该密封装置还包含有至少一个弹簧，所述至少一个弹簧设置在该传输单元与该承载件之间，并且所述至少一个弹簧在该传输单元从起始位置调节到中部位置时带动该承载件，其中该承载件相对于该壳体在该纵向调节方向上来进行调节，并且该密封装置包含有止挡装置，该止挡装置在该传输单元从中间位置调节到末端位置时阻止该承载件平行于纵向调节方向继续调节，其中该承载件相对于该壳体在横向调节方向上来进行调节。

背景技术

[0002] 一种用于对壁中开口进行真空密封的密封装置也可以被称作真空阀。如果开口位于真空室的壁中，并且该密封机构位于围绕该真空室的环境空间中室壁的外侧，那么这种真空阀也被称作真空门。以真空门形式的这种密封装置可以针对仅在一个方向上作用的压差来设计。其他种类的真空阀通常针对在两个方向上作用的压差来设计。在这种密封装置中该密封机构一般设置在阀壳体中，其中该阀壳体具有可由该密封机构密封的阀开口。

[0003] 在密封装置中，为了关闭开口，该密封机构首先在与杆平行的纵向调节方向上从打开位置调节到中间位置，在该中间位置中该密封机构覆盖该开口，但还从壁中抬起，并接着在至少基本垂直于纵向调节方向的横向调节方向上被调节，并被压到壁上，该密封装置也被称作L阀。

[0004] 在与L阀不同类的构造方法中，该杆围绕与纵向调节方向垂直的轴线可枢转地布置，以能够使该密封机构从其中间位置调节到其关闭位置并返回。在此采用轴承滚道以使该杆围绕该轴线旋转，这比如在US 6,237,892 B1、US7,066,443 B2或US 2012/0258242 A1中被公开。

[0005] 在L阀中，其中为了在中间位置与关闭位置之间调节该密封机构，该密封机构在与纵向调节方向成角度的、尤其垂直的横向调节方向上进行平行移动，根据一种常规的实施方式，在支撑该密封机构的支撑单元上设置有驱动元件，以在中间位置与该关闭位置之间调节该密封机构，其中该支撑单元设置于杆上。这种L阀、尤其以真空门形式的实施比如参见US 6,056,266 A、US 6,899,316 B2和US 7,611,122 B2。在US 6,056,266 A和US 7,611,122 B2中其中还公开了顺序控制，以保证该活塞-气缸单元操作的正确流程。US 8,177,190 B2公开了L阀的这样的另外一种顺序控制。

[0006] 在WO 2010/034046 A1中公开了一种L阀，其中在与纵向调节方向相垂直的横向调节方向上线性可移动地支撑有一个块，该块在纵向调节方向上可移动地支撑了该杆，在该块上还设置有驱动装置，以在纵向调节方向上调节该杆。借助在该方向上作用的活塞-气缸单元来进行这种线性移动。

[0007] US 7,762,527 B2示出了L阀的一种实施方式，其中用于在纵向调节方向上调节该密封机构的该活塞-气缸单元相对于阀壳体借助线性导向装置在与纵向调节方向相垂直的横向调节方向上可移动地被支撑。

[0008] 由WO 2014/075757 A1公开了一种阀，其中承载该密封机构的该杆在纵向调节方向上线性可移动地被导向。为此，具有一个与该阀杆相连接的承载件，其中该承载件沿着杆状导向部件在纵向调节方向上可移动地被导向。杆状导向部件在与纵向调节方向相垂直的横向调节方向上是可移动的，并可以借助气动活塞-气缸单元在横向调节方向上来移动。为了在纵向调节方向上移动该杆同样使用了气动活塞-气缸单元，其活塞杆与该承载件相连接，其中这种连接实现了该传输件相对于该活塞杆在横向调节方向上的可移动性。

[0009] US 2013/0112906 A1示出了开头所述种类的一种密封装置。该密封机构在此布置在阀壳体中，并在关闭位置中密封了在阀壳体中的开口。为了打开以及关闭该密封装置而使用了活塞-气缸单元，活塞-气缸单元平行于纵向调节方向在起始位置、中部位置和末端位置之间移动传输单元。该传输单元由一个轭来构成，在该轭上固定有在纵向调节方向上突出的左凸轮挺杆和右凸轮挺杆。在相应凸轮挺杆中分别设置有在纵向调节方向上延伸的第一凸轮凹槽以及在斜调节方向上延伸的第二凸轮凹槽。在该第一凸轮凹槽中咬合了在壳体上固定设置的控制凸轮。在第二凸轮凹槽中咬合了设置于承载件上的控制凸轮，其中该承载件与承载该密封机构的杆相刚性连接。在该传输单元的轭与该承载件之间设置有一个弹簧。该弹簧在该传输单元从起始位置调节到中部位置时带动该承载件。在该传输单元继续从该中部位置移动到该末端位置时，该承载件在纵向调节方向上被阻止继续运动，并且该承载件在与纵向调节方向上相垂直的横向调节方向上被调节。由此该杆以及与之一起的该密封机构平行于横向调节方向而被移动，以把该密封机构置于关闭位置。在这种密封装置中，难以不用大的耗费就实现轻便的、具有微小间隙的运动过程。

[0010] 在EP 1 061 301 A2中公开了一种类似的密封装置。但在此在该传输单元从中部位置调节到末端位置时把承载该密封机构的杆围绕与纵向调节方向相垂直的轴线来进行枢转。比如关于在其关闭位置中对该密封机构的密封的均匀压缩方面，这种枢转相对于该密封机构的平行移动是有有缺点的。

[0011] 在US 2015/0014556 A1中公开了另一种与US 2013/0112906 A1的密封装置相类似的密封装置。该文献的密封装置的区别在于，具有第一和第二密封机构，可以由该第一和第二密封机构来变换地密封相对的壁中的开口。

[0012] 在JP H112360 A中公开了一种密封装置，其中同样借助在纵向上作用的一个驱动装置来进行该密封机构从打开位置经过中间位置到关闭位置的调节。在此，通过枢转阀门杆来进行该密封机构从中间位置到关闭位置的调节，其中该密封机构设置在该阀门杆上，其中第一凸轮在平行于纵向延伸的第一长孔中被移动，第二凸轮在与纵向相倾斜延伸的第二长孔中被移动。

发明内容

[0013] 本发明的任务是提供一种开头所述种类的有利的密封装置，其可以以简单的方式来制造。

[0014] 根据本发明，这通过用于对壁中的开口进行真空密封的一种密封装置来实现，该密封装置包含有密封单元，该密封单元具有密封机构和至少一个杆，该密封机构能够平行于纵向调节方向从在该密封装置的打开位置下该密封机构所处于的打开位置调节到中间位置，并可以平行于与该纵向调节方向成直角的横向调节位置从中间位置调节到在该密封装置的关闭状态下该密封机构所处于的关闭位置，所述至少一个杆具有与纵向调节方向相平行的纵轴线，并从该密封装置的壳体中伸出，并在该壳体外部承载该密封机构，并与承载件相刚性连接，该密封装置还包含有传输单元，该传输单元可以由驱动装置在该密封机构处于打开位置时的起始位置、该密封机构处于中间位置时的中部位置、以及该密封机构处于关闭位置时的末端位置之间平行于纵向调节方向来调节，该密封装置还包含有至少一个弹簧，该弹簧设置在该传输单元与该承载件之间，并且该弹簧在该传输单元从起始位置调节到中部位置时带动该承载件，其中该承载件相对于该壳体在该纵向调节方向上来进行调节，并且该密封装置包含有止挡装置，该止挡装置在该传输单元从中部位置调节到末端位置时阻止该承载件平行于纵向调节方向继续调节，其中该承载件相对于该壳体在横向调节方向上来进行调节，其中该密封装置包含有至少一个纵向线性导向装置和至少一个倾斜线性导向装置，其分别具有导轨和沿该导轨可线性移动地布置的滑架，其中该纵向线性导向装置的导轨平行于纵向调节方向来设置，并且该倾斜线性导向装置的导轨平行于倾斜调节方向来设置，该倾斜调节方向在该纵向调节方向和横向调节方向所确定的平面中与纵向调节方向成角度并与横向调节方向成角度，其中该传输单元由至少一个纵向线性导向装置相对于该壳体平行于纵向调节方向可移动地来导向，该承载件由至少一个倾斜线性导向装置相对于该传输单元平行于倾斜调节方向可移动地来导向。

[0015] 在根据本发明的密封装置中，可以有利地针对至少一个纵向线性导向装置和至少一个倾斜线性导向装置来采用常规的线性导向装置，比如其在机械制造中作为标准部件大量被使用。这种线性导向装置是价格合理的、轻便的，并具有微小的间隙或不具有间隙(其中其被预加应力)。这种线性导向装置的滑架相对于导轨尤其装设滚动体，比如借助滚动体围盘或借助装设于运行保持器中的滚动体。滑架也可以相对于导轨进行滑动导向。

[0016] 在该密封装置关闭时，如果该传输单元到达中部位置，那么就通过该止挡装置来进行该密封单元的制动。为了对制动进行衰减，该止挡装置有利地具有起动弹簧，该起动弹簧在该止挡装置作用时，通过在该起动弹簧上要起动的止挡部件而从初始位置变形到工作位置。在此该起动弹簧有利地具有弹簧臂，弹簧臂在该起动弹簧从初始位置变形到工作位置时通过弹簧位移而被偏转，并在此在该起动弹簧的初始位置中至少在一个区段中与刚性支撑部件相间隔，并在该起始弹簧的工作位置中在该区段中靠置于该支撑部件上，其中在所述区段中该止挡部件在该密封装置关闭时碰到所述弹簧臂上。该起动部分比如可以是设置于该杆的区段上的螺栓，其中该杆在该承载件的与该密封机构相对一侧上从该承载件突出。从而能够构造简单地并有效地实现该密封单元的制动衰减。

[0017] 在本发明的一种有利的实施方式中，该密封装置以真空门的形式来构造。这种可以设置在真空室的室壁的外侧，并从而位于围绕该真空室的环境空间中真空室的外部。在该密封装置的关闭状态下，该密封机构被按压在围绕开口的区域中室壁的外侧。这种真空门仅可以构造用于密封从环境空间到真空室内部空间方向上作用的压差。除此之外，该密封装置还可以以一种真空阀的形式来构造，其中该密封机构设置于阀壳体中。该密封装置那么就可以在两个方向上耐压差(直至大气压的大小)。

附图说明

[0018] 本发明的其他优点和细节在下文中借助附图来解释。其中：

[0019] 图1和2示出了根据本发明一个实施例的密封单元的斜视图；

[0020] 图3示出了该密封机构在打开位置中安装在壁上的、壳体盖去除的密封单元的俯视图；

[0021] 图4、5和6示出了沿图3的线AA、BB和CC的剖视图；

[0022] 图7示出了图6的放大的详图N；

[0023] 图8示出了该密封机构在中间位置中与图3类似的俯视图；

[0024] 图9、10和11示出了沿图8的线DD、EE和FF的剖视图；

[0025] 图12示出了图11的放大的详图P；

[0026] 图13示出了该密封机构在关闭位置中与图3类似的俯视图；

[0027] 图14、15和16示出了沿图13的线GG、HH和KK的剖视图；

[0028] 图17示出了图16的放大的详图R；

[0029] 图18示出了该密封机构在打开位置中安装在壁上的密封单元的仰视图；

[0030] 图19示出了沿图18的线LL的剖视图；

[0031] 图20示出了图19的放大的详图M；

[0032] 图21示出了与图19类似的但该密封机构在中间位置中的剖视图；

[0033] 图22示出了图21的放大的详图U；

[0034] 图23示出了与图19类似的但该密封机构在关闭位置中的剖视图；

[0035] 图24示出了图23的放大的详图V；

[0036] 图25、26和27示出了该密封机构在打开位置、中间位置和关闭位置中安装在壁上的、壳体盖去除的密封装置的斜视图；

[0037] 图28和29示出了不同视角的分解图；

[0038] 图30示出了与图28相同视角的分解图，其中一同运动的部分作为单元、也即不分开地来示出(壳体盖例外)；

[0039] 图31示出了滑架部分切开的线性导向装置的一种略微变化的实施方式的区段。

具体实施方式

[0040] 在图1至30中示出了根据本发明的密封装置的一个实施例。

[0041] 该密封装置具有密封机构1，该密封机构尤其构造为板状的，并由杆2来承载。在该实施例中，在杆2与该密封机构1之间通过连接件3来进行连接。也可以考虑并可以把该密封机构1直接固定在该杆2上。

[0042] 借助该密封机构1可以在该密封装置的关闭状态下来密封在壁6中的开口4，并在该密封装置的打开状态下打开该开口。该壁6比如是在附图中没有另外示出的真空室的一部分。该密封装置在此可以固定在壁6的与真空室的内部空间相背离的外侧上，比如借助螺丝钉7，其中该螺丝钉穿过该密封装置的壳体8并拧入壁中具有内螺纹的盲孔中。

[0043] 如下文还要更详细解释的，该密封机构在该密封装置关闭时从该密封机构1的打开位置在纵向调节方向9上直线地被移动，直至到达中间位置，其中该密封机构1在该密封装置的打开状态下处于打开位置，并接着在与该纵向调节方向相垂直的横向调节方向10上直线地被移动，直至该密封机构1到达关闭位置，其中在该关闭位置中该密封装置具有其密封状态。

[0044] 在该中间位置中该密封机构1从而在开口4的轴线5方向上看覆盖了该开口4，但从该壁6上抬起(＝与之分离)。在关闭位置中该密封机构1盖到围绕该开口4的支座11上。该支座11在该实施例中由密封面构成，其中设置在该密封机构1上的弹性密封环12(比如由FKM或FFKM制造)压到该密封面上。原则上该密封环12也可以设置在该支座11上，并且该密封面设置在该密封机构1上。

[0045] 该杆2具有纵轴线13，该纵轴线平行于纵向调节方向9。通过该杆2在其纵轴线13方向上的移动来进行该密封机构1从打开位置到中间位置的移动。

[0046] 在该密封机构1的关闭位置中，该开口4被真空密封。这意味着，在位于该壁6的与该密封机构1相对一侧上并且除开口4之外被密闭地密封的真空区域中，在该密封机构1的关闭状态下超过较长的时间段、尤其多于一小时能够保持真空，尤其小于0.1帕斯卡。

[0047] 该杆2与承载件13刚性连接。该承载件14、杆2、密封机构1和必要时存在的连接件3共同构成了密封单元26(见图30)，其组成部分在该密封装置关闭和打开时被相互移动。

[0048] 为了打开并关闭该密封装置而使用了驱动装置15，其在所示的实施例中由两个气动活塞-气缸单元来构成。该驱动装置15作用于该传输单元18上。该传输单元18相对于该壳体8借助第一和一个第二线性导向装置19平行于纵向调节方向9可移动地导向。平行于该纵向调节方向9可移动地对该传输单元18进行导向的线性导向装置在该文件中被称作纵向线性导向装置19。该传输单元18可以由该驱动装置15在纵向调节方向9上直线地从起始位置通过中部位置调节到末端位置。

[0049] 在该传输单元18的起始位置中，该密封机构1处于其打开位置，在该传输单元18的末端位置中该密封机构1处于其关闭位置。在该传输单元18从起始位置移动到中部位置期间，该密封机构1进行从该密封机构1的打开位置到中间位置的调节。在该传输单元18从中部位置移动到末端位置期间，该密封机构1进行从该密封机构1的中间位置到关闭位置的移动，这在下文中还要更详细地解释。

[0050] 该传输单元18在该实施例中由两个侧部18a、18b和连接部18c构成，其中这两个活塞-气缸单元的活塞杆16咬合到侧部18a和18b上。一种与此相比变化的、比如一体的构造也可以考虑并且是可以的。

[0051] 该承载件14与该传输单元18相比借助第一和第二线性导向装置20平行于倾斜调节方向21(尤其参见图6)可移动地导向。平行于倾斜调节方向21相对于该传输单元18对该承载件14进行导向的线性导向装置在该文件中被称作倾斜线性导向装置20。

[0052] 纵向和倾斜线性导向装置19、20通常作为导轨导向装置来构造，并分别具有直线延伸的导轨22和沿该导轨22的纵向伸展可移动地导向的滑架(＝导向小车)23。该滑架23具有凹陷，其中它利用该凹陷与该导轨22的扩宽的顶部区域22a相咬合。该空隙尤其在与该导轨22的纵向伸展相垂直的横截面上看而具有C形。该滑架23从而在垂直于该导轨22的纵向伸展的全部方向上形状匹配地保证以避免与该导轨22相脱离。在图31中示出了线性导向装置的一个区段，其相对于根据图1至30示出的实施例中的纵向和倾斜线性导向装置19、20有略微变化地来构造，但也可以应用于这些纵向和倾斜线性导向装置19、20，其中滑架23部分地切开来示出。从而在此可以看到以滚珠形式构造的滚动体32。除了滚珠之外，作为用于滚动轴承的滚动体比如也可以设置滚子。优选的是借助滚动体32相对于该导轨22可移动地布置滑架23。比如可以设置滚珠或滚子轴承(Rollenumlauf)，或者可以设置布置于保持器中的滚珠或滚子(＝辊)来作为滚动体。

[0053] 在一种变化的实施方式中，该纵向线性导向装置19和/或倾斜线性导向装置20的滑架23的滑动导向原则上可以考虑并且是可以的。

[0054] 在该纵向线性导向装置19和/或倾斜线性导向装置20的滑架23通过滚动体32进行可移动导向的情况下，相应的滑架23可以与相应的导轨22通过该滚动体32而施加弹性应力。从而可以避免间隙。

[0055] 在该纵向线性导向装置19中，在所示的实施例中该导轨22设置在壳体8上，并且该滑架23设置在该传输单元18上，尤其设置在该传输单元18的相应侧部18a、18b上，这对于该密封装置的紧凑构造是有利的。但原则上该导轨22也可以设置在该传输单元18上，并且该滑架23设置在壳体8上。

[0056] 在倾斜线性导向中，在该实施例中该导轨22设置在该传输单元18上，尤其设置在该传输单元18的两个侧部18a、18b上，并且该滑架23设置在承载件14上。该导轨22原则上也可以设置在该承载件14上，并且该滑架23设置在该传输单元18上。

[0057] 该纵向线性导向装置19的滑架23的开口侧和该倾斜线性导向装置20的滑架23的开口侧在该实施例中指向相互垂直的方向。该纵向线性导向装置19的滑架23的开口侧在此指向壁6的方向，并且该倾斜导向装置的滑架23的开口侧指向与该纵向调节方向9和横向调节方向10所确定平面相垂直的方向。如下构造是可以考虑的并且是可以的，即该纵向线性导向装置19的和倾斜线性导向装置20的滑架23的开口侧指向相同方向和/或指向相反方向。

[0058] 该倾斜调节方向21位于由该纵向调节方向9和横向调节方向10所确定的平面中(＝在该平面中，不仅具有该纵向调节方向9，还具有该横向调节方向10)。该倾斜调节方向21在此与纵向调节方向9成角度，并与横向调节方向10成角度，也即，不仅与纵向调节方向
9，而且与横向调节方向10夹一个不等于0°的角(尤其是参见图6)。该倾斜调节方向21有利地与纵向调节方向9夹一个大于4°并小于45°的角。该角24优选地处于5°至20°的范围中。

[0059] 在该传输单元18与该承载件14之间设置有弹簧25，该弹簧在该密封装置关闭时把该承载件14与该传输单元18相耦合，并从而也可以称作“耦合弹簧”。该弹簧25在该密封装置关闭时承受压力，从而作为压缩弹簧来工作。其中该弹簧25在该密封装置关闭时作为拉伸弹簧来工作的这种构造也是可以考虑的并且是可以的。

[0060] 在该实施例中具有两个弹簧25。也可以仅具有一个弹簧25，或者可以设置多于两个弹簧25。

[0061] 所述至少一个弹簧25优选地如图所示以螺旋弹簧的形式来构造，其纵向伸展平行于倾斜调节方向21来延伸。弹簧的其他构造、比如以弹簧垫圈组的形式是可以考虑的并且是可以的。

[0062] 如图3至6、19和25所示，在该传输单元18的起始位置中，该密封机构1如前所述处于其打开位置。为了关闭该密封装置，该传输单元18借助该驱动装置15平行于纵向调节方向9从起始位置向其末端位置方向被移动。在此，该承载件14首先由至少一个弹簧25来带动，也即该承载件14与该传输单元18一致地平行于纵向调节方向9被移动。如果该传输单元18已经到达该中部位置，那么该密封机构1就处于其中间位置。该传输单元18的状态在图8至11、21和26中被示出。

[0063] 如果该传输单元18由该驱动装置15经过该中部位置继续向其末端位置方向平行于纵向调节方向9被移动，那么就通过下文更详细解释的止挡装置28、29来阻止该承载件14平行于纵向调节方向继续移动。从而现在该传输单元18相对于该承载件14来进行相对移动，其中所述至少一个弹簧25被压缩(如果在另一实施例中所述至少一个弹簧25作为拉伸弹簧来设计，那么它将被拉伸)。该承载件14相对于该传输单元18的相对移动通过该倾斜线性导向装置20来强制导向。在该传输单元18从中部位置移动到末端位置期间，从而导致该倾斜线性导向装置20的滑架23沿着该倾斜线性导向装置20的导轨22来移动。从而导致该承载件14、并从而该密封单元26整体相对于该壳体8在横向调节方向10上移动。该密封机构1由此在朝向壁6的方向上被移动，并被按压在其上，以密封该开口4。在图13至16、23和27中示出了该传输单元18的末端位置。

[0064] 从而通过该传输单元18从该传输单元18的起始位置直至末端位置的直线移动来进行该真空阀的整个关闭。从该传输单元18的起始位置直至中部位置，在此在该承载件14与该传输单元18之间不进行相对移动。从该传输单元18的中部位置直至末端位置，该承载件14相对于该传输单元18沿着由该倾斜线性导向装置20所设定的倾斜调节方向21而被移动。

[0065] 在该密封装置打开时，以相反的方向来进行所述的运动过程。在此设置有止挡，其限制该承载件14相对于该传输单元18的移动，如果该传输单元18从其末端位置开始到达其中部位置，那么该止挡就发挥作用。该止挡在该实施例中通过该传输单元18的突起27来实现，其中该倾斜线性导向装置20的滑架23碰到该突起上。这种止挡也可以以其他方式来构造，比如在该导轨22与相应倾斜线性导向装置20的滑架23之间。原则上也可以考虑并可以的是，省略这种止挡，并通过所述至少一个弹簧25来带动该承载件14，其中该弹簧那么在当前实施例中在该密封装置打开时作为拉伸弹簧来发挥作用。

[0066] 在图30中出于清晰的目的，一同运动的元件以相互连接的状态来示出。从而该密封单元26的组成部分以及该倾斜线性导向装置20的设置在该承载件14上的滑架23作为单元来示出。该传输单元18和该纵向线性导向装置19的设置于其上的滑架23、该倾斜线性导向装置20的设置于其上的导轨22以及与之咬合的活塞杆16同样作为单元来示出。该纵向线性导向装置19的导轨22设置在该壳体8上来示出，如该气缸17一样。

[0067] 为了对该密封单元的制动进行衰减(也即减少延迟以及降低出现的冲击)，该止挡装置具有起动弹簧28。在该密封机构1的打开位置中，该起动弹簧28不加载并处于一个不变形的初始位置。如果该密封装置关闭，那么止挡部件29就撞击到该止挡弹簧28上，并将其变形为工作位置，也即在该传输单元18从起始位置至中部位置的调节过程的最后阶段中发生这种止挡和变形。

[0068] 该起动弹簧28具有弹簧臂28a，其相应地与该止挡部件29相协同作用。相应的弹簧臂28a可以由该止挡部件29通过弹簧位移而偏转。在该起动弹簧28的初始位置中，其在此至少在其伸展的区段中与相应的刚性支撑部件30相间隔，其中在该区段中该止挡部件29在该密封装置关闭时止挡在该弹簧臂上。在该起动弹簧28的工作位置中，如果该弹簧臂28a已经由该止挡部件29而被偏转，那么该弹簧臂28a的该区段就靠置在该支撑部件30上。该弹簧臂28a的偏转从而通过该支撑部件30来限定。

[0069] 在该实施例中，该起动弹簧28具有两个弹簧臂28a，其分别分配有一个支撑部件30。也可以仅设置具有所属支撑部件30的一个弹簧臂28a，或者可以设置具有相应所属支撑部件30的多于两个的弹簧臂28。这些支撑部件在该实施例中由螺栓来构成，其设置在该壳体8的底壳上并从其突出，其中支撑部件30也可以以不同的、与此相比变化的形式来构造，也可以为多于一个的弹簧臂28a来设置一个共同的支撑部件。所述至少一个弹簧臂28a与纵向调节方向9之间夹一个大于45°的角(在该起动弹簧28的初始位置以及工作位置中)。

[0070] 该起动弹簧28的一种符合目的的扩展规定，其具有板状的底座部件28b，其中所述至少一个弹簧臂28a通过一个弯曲与之相连接。该板状底座部件28b可以直接拧到该壳体8上。在该起动弹簧28的初始状态下，该弹簧臂28a与该底座部件28b夹一个角，该角合理地处于45°与80°之间的范围内。在该起动弹簧28的工作位置中，如果该弹簧臂28a支撑在该止挡部件29上，那么该角比如就可以如图所示为90°。

[0071] 在该实施例中，该止挡部件29设置在该杆2上，也即设置在背向该密封机构1一侧上从该承载件14伸出的杆区段中，尤其在该杆2的区段的自由端区域中。该止挡部件29在此由穿过该杆2的螺栓构成，但也可以以其他方式来构造。在一种变化的改进方式中，该止挡部件29也可以设置在该承载件14上，并与一个相应安装在该壳体8上的起动弹簧相协同作用。

[0072] 该壳体8具有一个内部空间，其中该杆2从该内部空间中伸出。所述伸出在该实施例中通过该波纹管31(在中间部分未绘制)来密封。从而避免在该壳体中所产生的微粒通过该杆2的开口从该壳体内部到达该壁6中的开口4的区域。

[0073] 该传输单元18、该承载件14以及线性导向装置19、20设置在该壳体8的内部空间中，优选地该驱动装置15也设置于其中。该壳体8可以相对于环境空间而密封，或者通过过滤器与环境空间相连，该过滤器阻止了微粒从该壳体的内部空间中出来。该密封装置从而尤其可以适于应用于洁净空间环境。

[0074] 本发明的所示实施例的不同变化是可以考虑的并且是可以的，而不脱离本发明的范畴。那么比如可以在一种变化的构造方式中，作为驱动装置而仅仅设置一个单独的活塞-气缸单元，或者可以采用多于两个活塞-气缸单元。可以采用具有与气动活塞-气缸单元不同的其他执行器的驱动装置，比如电驱动装置。

[0075] 如果该驱动装置具有多于一个的驱动元件(＝执行器)，那么其就以相同的运动方向来作用。

[0076] 该传输单元18也可以由两个单独的部分来构造，这两个部分通过该驱动装置而被同步地移动(比如通过同步的执行器)。

[0077] 该密封单元也可以包含有多于一个杆，其中这些杆与一个共同的承载件刚性连接。各一个杆也可以与各一个、分立的承载件刚性连接。

[0078] 原则上也可以仅具有一个纵向线性导向装置以对该传输单元进行线性可移动导向，或者可以设置多于两个纵向线性导向装置。

[0079] 原则上也可以仅具有一个倾斜线性导向装置以相对于该传输单元18来对该承载件14进行可移动导向，或者设置多于两个倾斜线性导向装置。

[0080] 在该实施例中，该密封装置以真空门的形式来构造。以其他种类的真空阀形式的构造同样是可以考虑的并且是可以的。从而其比如可以是能够设置在两个真空室之间的真空阀。该密封装置从而可以具有一个阀壳体，在该阀壳体中设置有该密封机构1，其中该杆2尤其是借助波纹管密封地从该阀壳体中伸出。该开口4那么就设置于该阀壳体的壁中，并且该阀壳体会在对侧的壁中具有一个第二开口。

[0081] 参考数字的说明：

[0082] 1       密封机构

[0083] 2       杆

[0084] 3       连接件

[0085] 4       开口

[0086] 5       轴线

[0087] 6       壁

[0088] 7       螺丝钉

[0089] 8       壳体

[0090] 9       纵向调节方向

[0091] 10      横向调节方向

[0092] 11      支座

[0093] 12      密封环

[0094] 13      纵轴线

[0095] 14      承载件

[0096] 15      驱动装置

[0097] 16      活塞杆

[0098] 17      气缸

[0099] 18      传输单元

[0100] 18a     侧部

[0101] 18b     侧部

[0102] 18c     连接部

[0103] 19      纵向线性导向装置

[0104] 20      倾斜线性导向装置

[0105] 21      倾斜调节方向

[0106] 22      导轨

[0107] 22a     顶部区域

[0108] 23      滑架

[0109] 24      角

[0110] 25      弹簧

[0111] 26      密封单元

[0112] 27      突起

[0113] 28      起动弹簧

[0114] 28a     弹簧臂

[0115] 28b     底座部件

[0116] 29      止挡部件

[0117] 30      支撑部件

[0118] 31      波纹管

[0119] 32      滚动体