加热设备以及电子元件的拆卸方法

摘要

本发明公开一种加热设备，使用于固定电子元件的接合材料熔融，拆卸所述电子元件。加热设备包括：保持机构，具备用于保持所述电子元件的保持部；以及外壳体，部分地包围所述保持机构。所述保持机构具备对所述保持部施加朝向上方的力的施力部、以及与所述接合材料的熔融带来的所述施力部的恢复相配合地位移的指标部。所述外壳体包含能够看到所述指标部的位移的透明区域。据此，能够向作业人员通知电子元件被卸下的时机。

权利要求

1.一种加热设备，其特征在于，使用于固定电子元件的接合材料熔融，拆卸所述电子元件，并包括：保持机构，具备用于保持所述电子元件的保持部；

把手筒，部分地包围所述保持机构；以及加热器总成，从所述把手筒突出，其中，所述保持机构具备对所述保持部施加朝向上方的力的施力部、与所述接合材料的熔融带来的所述施力部的恢复相配合地位移的指标部、以及在所述把手筒以及所述加热器总成内延伸设置以传递用于吸引所述电子元件的吸引力的吸引管，所述保持部是所述吸引管的顶端，

所述把手筒包含能够看到所述指标部的位移的透明区域。

2.根据权利要求1所述的加热设备，其特征在于：在所述把手筒和所述吸引管之间形成有使向所述接合材料喷出的空气通过的流路，该空气用于熔融所述接合材料。

3.根据权利要求2所述的加热设备，其特征在于：所述透明区域设置在所述流路中的比加热器总成靠向上游一侧。

4.根据权利要求1所述的加热设备，其特征在于：所述施力部是卷绕在所述吸引管的螺旋弹簧。

5.根据权利要求4所述的加热设备，其特征在于还包括：第1插通部，使所述吸引管插通；以及第2插通部，在所述第1插通部和所述顶端之间使所述吸引管插通，其中，所述螺旋弹簧包含第1端部，该第1端部配置在所述第1插通部和所述第2插通部之间，并且，与所述第1插通部及所述第2插通部中的任一方相抵接。

6.根据权利要求5所述的加热设备，其特征在于：所述指标部包含指标片，该指标片在所述第1插通部和所述第2插通部之间固定于所述吸引管，并向所述透明区域突出。

7.根据权利要求6所述的加热设备，其特征在于：所述螺旋弹簧配置于所述指标片和所述第2插通部之间。

8.根据权利要求6所述的加热设备，其特征在于：所述螺旋弹簧包含与所述第1端部相反一侧的第2端部，所述第1端部与所述第1插通部相连接，所述第2端部与所述指标片相连接。

9.根据权利要求6至8中的任意一项所述的加热设备，其特征在于还包括：滑动片，具备所述第1插通部和所述第2插通部；以及调整部，使所述滑动片相对于所述把手筒及所述吸引管相对地位移，其中，所述滑动片通过所述调整部沿着所述吸引管的延伸设置方向位移，伴随着所述滑动片相对于所述吸引管相对地位移，所述螺旋弹簧发生弹性变形。

10.根据权利要求6所述的加热设备，其特征在于：所述把手筒包含用于形成所述透明区域的窗片、用于支撑所述窗片的支撑筒、以及用于将所述窗片和所述支撑筒之间的边界保持为气密状态的密封圈。

11.根据权利要求9所述的加热设备，其特征在于：所述滑动片包含突出设置有所述第1插通部及所述第2插通部的基座，所述指标片包含向所述透明区域突出的一侧的顶端部、以及与所述顶端部相反的一侧的末端部，所述末端部插通于沟部，该沟部以沿着所述吸引管的所述延伸设置方向延伸的方式形成在所述基座。

12.根据权利要求9所述的加热设备，其特征在于：所述滑动片包含沿着所述吸引管的所述延伸设置方向延伸的齿条，所述调整部包含在所述把手筒内与所述齿条相啮合的小齿轮、以及在所述把手筒的外部旋转的把手，所述小齿轮伴随着所述把手的旋转而旋转。

13.一种电子元件的拆卸方法，其用于使用权利要求1至12中的任一项所述的加热设备来拆卸电子元件，所述电子元件的拆卸方法的特征在于包含：弹性变形步骤，使所述施力部发生弹性变形，以对保持部施加朝向上方的力；以及恢复步骤，通过所述接合材料的熔融使所述施力部恢复，其中，所述恢复步骤在所述透明区域内使所述指标部位移。

说明书

加热设备以及电子元件的拆卸方法

技术领域

[0001] 本发明涉及用于拆卸利用接合材料接合的电子元件的技术。

背景技术

[0002] 已知各种用于拆卸利用接合材料(例如焊料)固定的电子元件的技术。美国专利第6131791号在其说明书中公开一种加热设备，其具备被螺旋弹簧施力的吸引管。吸引管连接于真空装置。当吸引管的顶端与电子元件的表面相抵接，并启动真空装置时，电子元件被吸附到吸引管的顶端。

[0003] 美国专利第6131791号的说明书中的加热设备具备对吸引管施加朝向上方的力的螺旋弹簧。在用于将电子元件固定于基板上的焊料熔融之后，电子元件可与吸引管一起向上方位移，从基板脱离。

[0004] 在很多情况下，大量的电子元件密集在基板上。因此，通过加热设备被举起的电子元件周围的其它电子元件(以下，称为“周围的电子元件”)会挡住作业人员的视线，作业人员有时没法发现电子元件已从基板脱离而向上方位移。如果作业人员没有发现电子元件向上方的位移，作业人员就会继续对基板和周围的电子元件提供热能，使得基板及周围的电子元件受到热损伤。或者，为了确认焊料是否已充分熔融，作业人员也有时将加热设备向上方举起，这给工作带来麻烦。当进行该确认工作时，在焊料还没有充分熔融的情况下，基板的焊盘(land)会受到损伤。

发明内容

[0005] 本发明的目的在于提供一种能够向作业人员通知电子元件被卸下的适当时机的技术。

[0006] 本发明的一个方面所涉及的加热设备使用于固定电子元件的接合材料熔融，拆卸所述电子元件。加热设备包括：保持机构，具备用于保持所述电子元件的保持部；以及外壳体，部分地包围所述保持机构。所述保持机构具备对所述保持部施加朝向上方的力的施力部、以及与所述接合材料的熔融带来的所述施力部的恢复相配合地位移的指标部。所述外壳体包含能够看到所述指标部的位移的透明区域。

[0007] 本发明的另一个方面所涉及的电子元件的拆卸方法包含：弹性变形步骤，使弹性部件发生弹性变形，以对保持部施加朝向上方的力，其中，该保持部用于保持利用接合材料固定的电子元件；以及恢复步骤，通过所述接合材料的熔融使所述弹性部件恢复。所述恢复步骤包含如下子步骤：在包围所述弹性部件的外壳体上所设置的透明区域内，使与所述弹性部件的恢复相配合地位移的指标部位移。

[0008] 根据本发明，能够向作业人员通知电子元件被卸下的时机。

[0009] 通过以下的详细说明和说明书附图，澄清上述技术的目的、特征及优点。

附图说明

[0010] 图1是第1实施方式的加热设备的示意性剖视图。

[0011] 图2是图1所示的加热设备的示意性剖视图，表示电子元件通过加热设备被卸下的情况。

[0012] 图3是第2实施方式的加热设备的示意性剖视图。

[0013] 图4A是图3所示的加热设备的示意性剖视图，表示加热设备对电子元件施力的情况。

[0014] 图4B是图3所示的加热设备的示意性剖视图，表示电子元件通过加热设备被卸下的情况。

[0015] 图5是第3实施方式的加热设备的示意性剖视图。

[0016] 图6A是图5所示的加热设备的示意性剖视图，表示加热设备对电子元件施力的情况。

[0017] 图6B是图5所示的加热设备的示意性剖视图，表示电子元件通过加热设备被卸下的情况。

[0018] 图7是第4实施方式的加热设备的概略性立体图。

[0019] 图8是图7所示的加热设备的把手筒的概略性剖视图。

[0020] 图9是图8所示的把手筒的概略性侧视图。

[0021] 图10是图9所示的把手筒的窗片及中间部的概略性立体图。

[0022] 图11是图7所示的加热设备的保持机构的概略性剖视图。

[0023] 图12是图9所示的把手筒的概略性仰视图。

[0024] 图13是图7所示的加热设备的滑动片的概略性立体图。

[0025] 图14A是图7所示的加热设备的概略性剖视图。

[0026] 图14B是图7所示的加热设备的概略性剖视图，表示加热设备对电子元件施力的情况。

[0027] 图14C是图7所示的加热设备的概略性剖视图，表示电子元件通过加热设备被卸下的情况。

具体实施方式

[0028] ＜第1实施方式＞

[0029] 本发明人开发了一种加热设备，其不会受到配置于所分离的电子元件周围的其它元件的阻碍，能够用眼睛确认电子元件从基板的分离。在第1实施方式中，对示例性的加热设备进行说明。

[0030] 图1是第1实施方式的加热设备100的示意性剖视图。参照图1，对加热设备100进行说明。

[0031] 加热设备100用于使焊料等接合材料SDR熔融，去除固定于基板CTB上的电子元件ECT。电子元件ECT既可以是BGA(Ball Grid Array)，又可以是其它电子元件。本实施方式的原理并不限定于电子元件ECT的特定的种类。

[0032] 作业人员也可以通过加热设备100喷出热风，使接合材料SDR熔融。取而代之地，作业人员也可以将被加热到高温的部件抵接于接合材料SDR，使接合材料SDR熔融。本实施方式的原理并不限定于使接合材料SDR熔融的特定的技术。

[0033] 加热设备100具备保持机构200和外壳体300。保持机构200用于保持电子元件ECT。外壳体300部分地包围保持机构200。外壳体300也可以是由作业人员握持的把手。取而代之地，外壳体300也可以是与定位装置(图中未示出)相连接的筒状部件，该定位装置被设计为能够保持加热设备100，并能调整加热设备100的位置。

[0034] 保持机构200包含保持部210、施力部220和指标部230。保持部210用于保持电子元件ECT。保持部210也可以利用由真空装置(图中未示出)生成的吸引力吸附电子元件ECT。取而代之地，保持部210也可以是涂敷了粘着剂的部件。在此情况下，保持部210可以利用粘着剂的粘着力来保持电子元件ECT。进一步，取而代之地，保持部210也可以是吸盘部件。进一步，取而代之地，保持部210也可以被设计为机械性地与电子元件ECT相卡合。当允许损坏电子元件ECT时，保持部210也可以是被拧进电子元件ECT中的螺丝部件。本实施方式的原理并不限定于保持部210的特定的结构。

[0035] 施力部220对保持部210施加朝向上方(即，使电子元件ECT离开基板CTB的方向)的力。施力部220也可以直接连接于保持部210。取而代之地，施力部220也可以通过其它部件间接地连接于保持部210。本实施方式的原理并不限定于将施力部220施加的力传递到保持部210的特定的结构。

[0036] 施力部220也可以是螺旋弹簧。取而代之地，施力部220也可以是板簧。进一步，取而代之地，施力部220也可以是被设计为弹性变形的波纹管。本实施方式的原理并不限定于作为施力部220被使用的特定的弹性部件。

[0037] 图2是加热设备100的示意性剖视图。参照图1和图2，进一步说明加热设备100。

[0038] 图1表示接合材料SDR熔融之前的加热设备100。图2表示接合材料SDR熔融之后的加热设备100。

[0039] 如图1所示，作业人员将保持部210与电子元件ECT相连接。然后，作业人员以使施力部220弹性伸长(或压缩)的方式在电子元件ECT上保持加热设备100。由于电子元件ECT接合在基板CTB而固定不动，因此朝向上方的力作用于电子元件ECT及保持部210。

[0040] 在接合材料SDR熔融之后，电子元件ECT和基板CTB之间的结合力变得非常弱。另一方面，保持部210和电子元件ECT之间的结合力仍然维持在较高水平。因此，通过施力部220的恢复力(即，施力部220接近自然长度)，电子元件ECT从基板CTB分离，与保持部210一起向上方被拉起。

[0041] 如图2所示，指标部230与施力部220的恢复相配合地向上方位移。指标部230也可以直接连接于施力部220。取而代之地，指标部230也可以通过其它部件与施力部220的恢复相配合地位移。本实施方式的原理并不限定于使指标部230与施力部220的恢复相配合地位移的特定结构。

[0042] 外壳体300包含透明区域310。透明区域310与指标部230相向。因此，作业人员可以通过透明区域310确认指标部230的位移。由于透明区域310形成于离开基板CTB的位置，因此作业人员不会受到存在于基板CTB周围的元件的阻碍，就能够确认电子元件ECT从基板CTB的分离。

[0043] 其中，“透明”一词是指作业人员能够透过外壳体300看到配置于外壳体300内的指标部230的情况。因此，透明区域310既可以由无色的透明部件形成，又可以由浅色的透明部件形成。取而代之地，透明区域310也可以是形成于外壳体300的通孔。

[0044] 透明区域310的大小也可以被设定为可覆盖指标部230的最大位移范围。根据实际需要，包含透明区域310的外壳体300也可以整体上由透明的部件形成。

[0045] ＜第2实施方式＞

[0046] 保持机构也可以具备吸引管，用于将由真空装置生成的真空力传递到电子元件来吸引电子元件。当将卷绕在吸引管上的螺旋弹簧用作施力部时，由螺旋弹簧包围的空间有效地被用作吸引管的配置空间。因此，设计人员可以设计小型的保持机构。在第2实施方式中，对具备吸引管和螺旋弹簧的示例性的加热设备进行说明。

[0047] 图3是第2实施方式的加热设备100A的示意性剖视图。参照图1和图3，对加热设备100A进行说明。对于附有与第1实施方式相同的附图标记的要素，可以沿用第1实施方式的说明。

[0048] 加热设备100A具备保持机构200A和外壳体300A。保持机构200A用于保持电子元件ECT。外壳体300A部分地包围保持机构200A。

[0049] 外壳体300A包含上壁320、周壁330、上突出壁341和下突出壁342。上壁320与基板CTB大致平行。周壁330从上壁320向基板CTB延伸，部分地包围保持机构200A。因此，外壳体300A整体呈筒状。与第1实施方式相关联地说明的透明区域310形成于周壁330。对于透明区域310可以沿用第1实施方式的说明。

[0050] 在外壳体300A的内部，上突出壁341与基板CTB大致平行地从周壁330突出。如同上突出壁341一样，在外壳体300A的内部，下突出壁342与基板CTB大致平行地从周壁330突出。下突出壁342位于上突出壁341和基板CTB之间。

[0051] 保持机构200A包含吸引管211、螺旋弹簧220A和指标片230A。吸引管211包含下端212，该下端212与利用接合材料SDR固定在基板CTB上的电子元件ECT的上面相抵接。吸引管
211从下端212向上方延伸，以可上下移动的方式插通于分别在下突出壁342、上突出壁341及上壁320所形成的通孔。吸引管211与配置在外壳体300A外部的真空装置相连接。由真空装置生成的吸引力(即，真空力)经由吸引管211传递到电子元件ECT。由此，电子元件ECT的上面被吸附到吸引管211的下端212。在吸引管211的下端212(即，吸引管211的顶端)也可以形成有特别大的开口部。这样，在电子元件ECT和吸引管211的下端212之间产生的吸附力增大。吸引管211的下端212相当于参照图1说明的保持部210。在本实施方式中，上突出壁341是第1插通部的例子。下突出壁342是第2插通部的例子。

[0052] 螺旋弹簧220A在上突出壁341和下突出壁342之间卷绕在吸引管211。螺旋弹簧220A的外径大于下突出壁342的通孔的直径，由下突出壁342支撑螺旋弹簧220A。螺旋弹簧
220A相当于参照图1说明的施力部220。由于吸引管211贯穿由螺旋弹簧220A包围的空间，因此螺旋弹簧220A内的空间有效地被用作吸引管211的配置空间。这样，保持机构200A不会在水平面内占据大区域。因此，也可以将外壳体300A设为较细。

[0053] 指标片230A在上突出壁341和下突出壁342之间固定于吸引管211。指标片230A从吸引管211向透明区域310突出。因此，作业人员可以通过透明区域310方便地看到指标片230A的顶端。根据实际需要，也可以将荧光涂料涂敷在指标片230A的顶端。取而代之地，也可以将荧光涂料涂敷在整个指标片230A。指标片230A对应于参照图1说明的指标部230。

[0054] 图4A及图4B是加热设备100A的示意性剖视图。参照图3至图4B，进一步说明加热设备100A。

[0055] 如图3所示，螺旋弹簧220A的下端与下突出壁342相抵接，螺旋弹簧220A的上端与固定在吸引管211的指标片230A相抵接。图3所示的螺旋弹簧220A的长度接近自然长度。之后，如果作业人员使外壳体300A向上方位移(参照图4A)，下突出壁342向上方位移。据此，螺旋弹簧220A被下突出壁342和指标片230A弹性压缩。此时，由于接合材料SDR还没有熔融，因此，固定在基板CTB的电子元件ECT、吸引电子元件ECT的吸引管211及固定在吸引管211的指标片230A不会位移。所以，下突出壁342与指标片230A之间的距离变短。据此，螺旋弹簧220A被下突出壁342和指标片230A弹性压缩。此时，作业人员可以掌握指标片230A在透明区域310的可视范围内的相对位置关系。在本实施方式中，螺旋弹簧220A的下端是第1端部的例子。

[0056] 由于螺旋弹簧220A被压缩，朝向上方的力经由指标片230A传递到吸引管211及电子元件ECT，并对它们施力。之后，当接合材料SDR熔融时，电子元件ECT和基板CTB之间的结合力变弱。据此，通过作用于吸引管211及电子元件ECT的朝向上方的力(即，螺旋弹簧220A的恢复力)，电子元件ECT及指标片230A向上方位移(参照图4B)。指标片230A被夹在恢复的螺旋弹簧220A的上端和上突出壁341之间。指标片230A与螺旋弹簧220A的恢复相配合地相对于外壳体300A位移，因而在接合材料SDR熔融之前的指标片230A与透明区域310的相对位置关系不同于接合材料SDR熔融之后的指标片230A与透明区域310的相对位置关系。因此，作业人员可以通过透明区域310确认指标片230A的位移。

[0057] ＜第3实施方式＞

[0058] 与第2实施方式相关联地说明的保持机构利用螺旋弹簧的弹性压缩，对吸引管和由吸引管吸引的电子元件施加朝向上方的力。取而代之地，保持机构也可以利用螺旋弹簧的弹性伸长，对吸引管和由吸引管吸引的电子元件施加朝向上方的力。在第3实施方式中，对于在螺旋弹簧弹性伸长的情况下对吸引管及电子元件施加朝向上方的力的示例性加热设备进行说明。

[0059] 图5是第3实施方式的加热设备100B的示意性剖视图。参照图1和图5，对加热设备100B进行说明。对于附有与第2实施方式相同的附图标记的要素，可以沿用第2实施方式的说明。

[0060] 如同第2实施方式一样，加热设备100B具备外壳体300A。对于外壳体300A可以沿用第2实施方式的说明。

[0061] 加热设备100B还具备保持机构200B。如同第2实施方式一样，保持机构200B包含吸引管211和指标片230A。对于这些要素，可以沿用第2实施方式的说明。

[0062] 保持机构200B还包含螺旋弹簧220B。螺旋弹簧220B对应于参照图1说明的施力部220。

[0063] 与第2实施方式不同，螺旋弹簧220B在指标片230A和上突出壁341之间卷绕在吸引管211。螺旋弹簧220B的上端固定于上突出壁341。螺旋弹簧220B的下端固定于指标片230A。在本实施方式中，螺旋弹簧220B的上端是第1端部的例子。

[0064] 图5所示的螺旋弹簧220B是大致自然长度。此时，指标片230A从下突出壁342离开。

[0065] 图6A及图6B是加热设备100B的示意性剖视图。参照图5至图6B，进一步说明加热设备100B。

[0066] 作业人员将图5所示的外壳体300A向上方位移，使指标片230A接近下突出壁342(参照图6A)。此时，由于接合材料SDR还没有熔融，因此，固定在基板CTB的电子元件ECT、吸引电子元件ECT的吸引管211及固定在吸引管211的指标片230A不会位移。所以，上突出壁341和指标片230A之间的距离变长。如上所述，螺旋弹簧220B固定于上突出壁341和指标片
230A，因此上突出壁341和指标片230A之间的距离的增加带来螺旋弹簧220B的弹性伸长。此时，作业人员可以掌握指标片230A在透明区域310的可视范围内的相对位置关系。

[0067] 由于螺旋弹簧220B伸长，朝向上方的力经由指标片230A传递到吸引管211及电子元件ECT，并对它们施力。之后，当接合材料SDR熔融时，电子元件ECT与基板CTB之间的结合力变弱。据此，通过作用于吸引管211及电子元件ECT的朝向上方的力(即，螺旋弹簧220B的恢复力)，电子元件ECT及指标片230A向上方位移(参照图6B)。指标片230A与螺旋弹簧220B的恢复相配合地相对于外壳体300A位移，因而在接合材料SDR熔融之前的指标片230A与透明区域310的相对位置关系不同于接合材料SDR熔融之后的指标片230A与透明区域310的相对位置关系。因此，作业人员可以通过透明区域310确认指标片230A的位移。

[0068] ＜第4实施方式＞

[0069] 设计人员可以根据与上述实施方式相关联地说明的设计原理来设计各种加热设备。例如，设计人员可以设计喷出用于熔融接合材料的热风的加热设备。在第4实施方式中，对喷出热风的示例性加热设备进行说明。

[0070] 图7是第4实施方式的加热设备100C的概略性立体图。参照图3和图7，对加热设备100C进行说明。

[0071] 加热设备100C具备保持机构200C、把手筒300C、管线400、加热器总成500和喷嘴600。图7表示作为保持机构200C的吸引管211C。吸引管211C对应于参照图3说明的吸引管
211。把手筒300C对应于参照图3说明的外壳体300。

[0072] 把手筒300C整体呈圆筒形状。把手筒300C也可以供作业人员握持。取而代之地，把手筒300C也可以由定位装置(图中未示出)来保持，该定位装置被设计为可以调整加热设备100C的位置。

[0073] 把手筒300C包含末端部351以及与末端部351相反的一侧的顶端部352。把手筒300C从末端部351向顶端部352逐渐变粗。管线400安装于末端部351。加热器总成500安装于顶端部352。加热器总成500从把手筒300C的顶端部352突出。喷嘴600嵌入加热器总成500的顶端。

[0074] 管线400形成用于传递吸引电子元件ECT(参照图3)的吸引力的真空流路、让用于熔融接合材料SDR(参照图3)的空气流动的空气流路以及其它的供电线和信号线等。吸引管211C从真空流路起沿着把手筒300C、加热器总成500及喷嘴600的各个中心轴延伸。如同算2实施方式一样，吸引管211C包含下端212。吸引管211C的下端212从喷嘴600突出。对于吸引管211C的下端212，可以沿用第2实施方式的说明。

[0075] 经过由管线400形成的空气流路对把手筒300C提供的空气从把手筒300C的末端部351向顶端部352流动。之后，空气流入加热器总成500。加热器总成500将空气加热到用于熔融接合材料SDR的充分的温度，生成热风。热风从加热器总成500向喷嘴600的内部空间喷出，热风使存在于喷嘴600的下方或内部的接合材料SDR熔融。

[0076] 图8是把手筒300C的概略性剖视图。参照图7及图8，对把手筒300C进行说明。

[0077] 把手筒300C的末端部351是细小的圆筒。管线400包含外管410和内管420。外管410及内管420分别是软管(flexible tube)。把手筒300C的末端部351嵌入外管410。内管420经由末端部351的内部插入把手筒300C，并与吸引管211C相连接。内管420与配置在把手筒300C的外部的真空装置(图中未示出)相连接。因此，由真空装置生成的吸引力通过内管420及吸引管211C传递到在电子元件(图中未示出)。

[0078] 外管410与配置在把手筒300C的外部的送风装置(图中未示出)相连接。由送风装置送出的空气经过形成于内管420和外管410之间的空间(即，所述空气流路)，流入把手筒300C的内部。

[0079] 把手筒300C包含位于末端部351和顶端部352之间的中间部353。中间部353是从末端部351起逐渐变粗的圆筒。流入把手筒300C的末端部的空气经过中间部353和吸引管211C之间的空间，流入安装于顶端部352的加热器总成500(参照图7)。

[0080] 除了吸引管211C之外，还可以将其它各种部件(例如，向加热器总成500提供电力的电力线、检测加热器总成500的温度的温度传感器(图中未示出)及/或传递来自温度传感器的信号的信号线(图中未示出))配置在中间部353内。设计加热设备100C(参照图7)的设计人员也可以在把手筒300C内形成用于保持这些部件的各种结构。这些部件及结构不会完全堵塞中间部353和吸引管211C之间的空间。中间部353和吸引管211C之间的空间使末端部351与顶端部352相连通，因此，流入的空气可以从末端部351传递到安装在顶端部352的加热器总成500。通过将位于中间部353的透明区域设置在流路中的比加热器总成500靠向上游一侧，即使透明区域不具有耐热性，在任何温度之下都可以使用。在本实施方式中，中间部353和吸引管211C之间的空间是流路的例子。

[0081] ＜其它特征＞

[0082] 设计人员可以让加热设备100C具有各种特征。以下的特征不会限定上述实施方式的原理。但是，以下的特征可以让加热设备100C具有有利的功能。

[0083] ＜用于防止空气泄露的结构＞

[0084] 也可以采用全透明的把手筒。然而，在此情况下，作业人员不必要地看得到配置在把手筒内部的各种部件。结果导致作业人员难以看到指标部。如果只有把手筒上的对应于指标部的位置为透明，则作业人员容易辨认指标部。如果将透明的部件嵌入在与指标部对应的位置，则在把手筒内流动的空气有可能从透明的部件的周围漏出。以下，对于在空气从把手筒漏出的风险较低的情况下，利用透明的部件形成透明区域的示例性技术进行说明。

[0085] 图9是把手筒300C的概略性侧视图。参照图3及图9，对把手筒300C进行说明。

[0086] 把手筒300C包含透明的窗片310C和密封圈360。作业人员可以通过窗片310C看到配置在把手筒300C内的保持机构200C的一部分。窗片310C对应于图3所示的透明区域310。

[0087] 保持机构200C不仅包含吸引管211C，还包含螺旋弹簧220C和指标片230C。螺旋弹簧220C在中间部353内卷绕于吸引管211C。指标片230C在中间部353内固定于吸引管211C。指标片230C与螺旋弹簧220C的上端相邻接。螺旋弹簧220C对应于参照图3说明的螺旋弹簧
220A。指标片230C对应于参照图3说明的指标片230A。

[0088] 椭圆形状的通孔在与指标片230C的位移范围相对应的位置形成于中间部353。窗片310C覆盖形成于中间部353的通孔，并被中间部353支撑。因此，作业人员通过窗片310C可以看到指标片230C和螺旋弹簧220C的至少一部分。在本实施方式中，中间部353是支撑筒的例子。

[0089] 密封圈360在通孔的周围将窗片310C和中间部353之间的边界保持为气密状态。因此，向把手筒300C的顶端部352流过中间部353的空气几乎不会流出。

[0090] 图10是窗片310C及中间部353的概略性立体图。参照图9及图10，对窗片310C及中间部353进行说明。

[0091] 图10表示形成于中间部353的椭圆形状的通孔354、密封圈360及窗片310C。窗片310C包含透明板311、四个卡合爪312、313、314、315。透明板311覆盖形成于中间部353的通孔。透明板311包含外面316、内面317和周缘面318。卡合爪312、313、314、315从内面317突出，被插入到中间部353的通孔。卡合爪312、313位于由内面317形成的椭圆的长轴上，并在周缘面318的附近从内面317突出。卡合爪314、315位于由内面317形成的椭圆的短轴上，并在周缘面318的附近从内面317突出。

[0092] 中间部353包含周缘355和沟面356。周缘355形成通孔354的边界。沟面356与周缘355相邻接，包围通孔354。沟面356形成从中间部353的外面略微凹陷的沟部。密封圈360被嵌入到由沟面356形成的沟部。之后，作业人员用窗片310C覆盖通孔354及密封圈360。此时，卡合爪312、313、314、315与周缘355相卡合。由此，窗片310C固定在中间部353。

[0093] 在透明板311的周缘面318附近，密封圈360的内周部分与透明板311的内面317相重叠，密封圈360的内周部分被压缩在沟面356和内面317之间。密封圈360的外周部分与透明板311的周缘面318相重叠，密封圈360的外周部分被压缩在周缘面318和沟面356之间。由于密封圈360在两个方向上被压缩，因此空气难以从通孔354漏出。

[0094] ＜用于调整滑动片的位置的结构＞

[0095] 与第2实施方式及第3实施方式相关联地说明的加热设备的吸引管被直接保持在外壳体上。取而代之地，吸引管也可以被保持在滑动片上，该滑动片可相对于吸引管和外壳体相对地位移。在此情况下，设计人员也可以将用于调整滑动片的位置的调整部组装在加热设备。这样，作业人员能够通过操作调整部来使滑动片位移。滑动片的位移引起螺旋弹簧的弹性变形。如第2实施方式及第3实施方式所示，为了对电子元件施力而使把手筒(外壳体)向上方位移时，在基板和喷嘴之间产生间隙，但是通过调整部使滑动片位移，就可以减小或消除基板和喷嘴之间的间隙。即使没有基板和喷嘴之间的间隙，也能通过指标部(指标片)的位移向作业人员通知电子元件已被卸下。以下，对用于调整滑动片的位置的示例性结构进行说明。

[0096] 图11是保持机构200C的概略性立体图。参照图7、图9及图11，对保持机构200C进行说明。

[0097] 加热设备100C(参照图7)还具备滑动片700。滑动片700包含基座710、上连接爪741和下连接爪742。上连接爪741及下连接爪742从基座710突出。下连接爪742位于上连接爪741和吸引管211C的下端212之间。俯视时，上连接爪741及下连接爪742分别呈大致C型。吸引管211C以扣合方式与上连接爪741及下连接爪742相连接。由此，吸引管211C插通于上连接爪741及下连接爪742中。吸引管211C在垂直方向(即，吸引管211C的延伸设置方向)上可相对于滑动片700相对地位移。在本实施方式中，上连接爪741是第1插通部的例子。下连接爪742是第2插通部的例子。

[0098] 螺旋弹簧220C在上连接爪741和下连接爪742之间卷绕在吸引管211C。指标片230C在上连接爪741和下连接爪742之间固定于吸引管211C，向窗片310C(参照图9)突出。螺旋弹簧220C位于指标片230C和下连接爪742之间。螺旋弹簧220C的下端与下连接爪742相抵接。螺旋弹簧220C的上端与指标片230C相抵接。指标片230C被夹在上连接爪741和螺旋弹簧
220C的上端之间。在本实施方式中，螺旋弹簧220C的下端是第1端部的例子。

[0099] 也可以采用配置于指标片230C和上连接爪741之间的其它螺旋弹簧来替代螺旋弹簧220C。此时，根据与第3实施方式相关联地说明的设计原理，螺旋弹簧的下端与指标片230C相连接。螺旋弹簧的上端与上连接爪741相连接。在此情况下，螺旋弹簧的上端是第1端部的例子。螺旋弹簧的下端是第2端部的例子。

[0100] 基座710包含第1面711、第2面712、两个侧面713和两个突条714(图11仅示出两个突条714中的一个)。上连接爪741及下连接爪742从第1面711向吸引管211C突出。第2面712位于与第1面711相反的一侧。两个侧面713分别是在第1面711和第2面712之间沿着垂直方向延伸的细长的面。两个突条714分别从侧面713突出，并且沿着垂直方向延伸。

[0101] 图12是把手筒300C的概略性仰视图。图11所示的保持机构200C组装在把手筒300C。图13是滑动片700的概略性立体图。参照图7至图9以及图11至图13，对滑动片700及把手筒300C进行说明。

[0102] 在基座710的第2面712形成有沿着垂直方向延伸的凹沟721。滑动片700包含齿条面722，该齿条面722形成凹沟721向深度方向的面。在齿条面722形成有多个齿，该多个齿分别具有向凹沟721的深度方向延伸的齿线。多个齿在垂直方向(即，吸引管211C的延伸设置方向)排列。因此，齿条面722可以作为使滑动片700沿着垂直方向位移的齿条发挥功能。

[0103] 加热设备100C(参照图7)还具备转盘800。转盘800作为调整部发挥功能，用于使滑动片700相对于中间部353及吸引管211C相对地位移。

[0104] 转盘800包含把手810、小齿轮820和中间轴830。把手810部分地从中间部353向外侧突出。作业人员可以使把手810旋转。小齿轮820配置于滑动片700的凹沟721中，并与齿条面722的多个齿相啮合，其中，所述滑动片700配置于中间部353。中间轴830将把手810和小齿轮820同轴连接，并以能够旋转的方式支撑于中间部353。当作业人员使把手810旋转时，小齿轮820也随之旋转。据此，滑动片700可以相对于中间部353相对地位移。

[0105] 如图12所示，把手筒300C的中间部353(参照图9)包含第1突壁357及第2突壁358，该第1突壁357及第2突壁358向把手筒300C的内部突出，并沿着垂直方向延伸。在第1突壁357及第2突壁358形成有卡合沟373、374，该卡合沟373、374相互面对，沿着垂直方向延伸。

[0106] 基座710的两个突条714分别嵌入第1突壁357的卡合沟373及第2突壁358的卡合沟374。由此，滑动片700被安装到中间部353。滑动片700可以在中间部353的内部沿着垂直方向相对于中间部353相对地位移。

[0107] 如图11及图13所示，在滑动片700形成有沿着垂直方向延伸的两个沟部723。固定于吸引管211C的指标片230C包含末端部231及与末端部231相反的一例的顶端部232。末端部231插通于两个沟部723中的一方(参照图11)。指标片230C以包围吸引管211C的方式弯曲，并向窗片310C(参照图9)突出。顶端部232是向窗片310C突出的一侧的自由端。指标片230C中卷绕在吸引管211C的部位被焊接在吸引管211C。因此，指标片230C与吸引管211C相配合地上下移动，并防止吸引管211C的扭转和回转，保持能够在透明区域看到指标片230C的状态，其中，所述吸引管211C以可上下移动的方式插通于滑动片700的上连接爪741和下连接爪742。

[0108] ＜加热设备的操作方法＞

[0109] 作业人员可以根据第2实施方式中说明的操作方法对所述加热设备进行操作。在此情况下，作业人员可以用手或通过定位装置调整把手筒和基板之间的距离，并压缩螺旋弹簧。在接合材料熔融后，螺旋弹簧恢复。吸引管及电子元件伴随螺旋弹簧的恢复而上升。据此，电子元件从基板分离。取而代之地，作业人员可以利用转盘来压缩螺旋弹簧。以下，对加热设备的示例性的操作方法进行说明。

[0110] 图14A至图14C是加热设备100C的概略性剖视图。参照图14A至图14C，对加热设备100C进行说明。图14A至图14C均在从图7至图13所示的位置起绕吸引管211C偏移约90°的位置描绘了指标片230C及窗片310C，明确示出把手810、小齿轮820及齿条722的动作与指标片
230的位移之间的关系。

[0111] 如图14A所示，作业人员用手或通过定位装置(图中未示出)将把手筒300C大致垂直地竖立在基板CTB上，并使其向电子元件ECT下降。由于小齿轮820与齿条面722相啮合，因此滑动片700、螺旋弹簧220C及指标片230C与把手筒300C一起下降。在窗片310C的大致中央可以看到图14A所示的指标片230C。此时，螺旋弹簧220C是大致自然长度。

[0112] 通过使把手筒300C下降，喷嘴600与基板CTB的上面相抵接，包围电子元件ECT。作业人员使吸引管211C的下端212与电子元件ECT的上面相抵接，并启动连接于加热设备100C的真空装置及送风装置。据此，电子元件ECT被吸附到吸引管211C的下端212。

[0113] 之后，如图14B所示，作业人员使把手810旋转。小齿轮820与把手810一起旋转，使齿条面722上升。由此，上连接爪741及下连接爪742相对于吸引管211C相对地上升。在此期间，螺旋弹簧220C被下连接爪742和指标片230C弹性压缩。此时，由于把手筒300C及吸引管211C都不会移动，因此指标片230C在窗片310C(即，透明区域)的可视范围内的相对位置不会变化。

[0114] 在向由喷嘴600及基板CTB包围的空间喷出的热风熔融了接合材料SDR后，基板CTB和电子元件ECT之间的结合力下降。据此，螺旋弹簧220C的恢复力变得比基板CTB和电子元件ECT之间的结合力更大，螺旋弹簧220C伸长(恢复)。由于齿条面722与小齿轮820相啮合，因此下连接爪742在螺旋弹簧220C伸长期间静止不动。如图14B所示，在指标片230C和上连接爪741之间存在空间。由于吸引管211C可相对于上连接爪741及下连接爪742相对地位移，因此，在指标片230C抵接到上连接爪741之前，指标片230C及吸引管211C可以一直向上方位移(参照图14C)。电子元件ECT利用真空装置所生成的吸附力被吸附在吸引管211C的下端212，因此电子元件ECT与吸引管211C的下端212一起上升，从基板CTB分离。

[0115] 与图14B所示的指标片230C不同，图14C所示的指标片230C(卸下了电子元件ECT之后的指标片230C)位于窗片310C的上部。因此，作业人员可以通过窗片310C的大致中央看到指标片230C向窗片310C的上缘附近位移，知道电子元件ECT已从基板CTB分离。

[0116] 与上述的各种实施方式相关联地说明的设计原理可适用于各种加热设备。也可以将与上述的各种实施方式中的一个相关联地说明的各种特征中的一部分适用于与另一实施方式相关联地说明的加热设备。

[0117] 上述实施方式主要包含具有以下结构的技术。通过以下的技术，能够向作业人员通知电子元件被卸下的适当时机。

[0118] 上述实施方式的一个方面所涉及的加热设备使用于固定电子元件的接合材料熔融，拆卸所述电子元件。加热设备包括：保持机构，具备用于保持所述电子元件的保持部；以及外壳体，部分地包围所述保持机构。所述保持机构具备对所述保持部施加朝向上方的力的施力部、以及与所述接合材料的熔融带来的所述施力部的恢复相配合地位移的指标部。所述外壳体包含能够看到所述指标部的位移的透明区域。

[0119] 根据上述结构，由于外壳体包含透明区域，因此作业人员能够看到与接合材料的熔融带来的施力部的恢复相配合的指标部的位移。施力部的恢复意味着接合材料充分熔融，解除了电子元件的固定，因此加热设备能够向作业人员通知电子元件被卸下的适当的时机。

[0120] 关于上述结构，所述保持机构也可以包含吸引管，该吸引管传递用于吸引所述电子元件的吸引力。所述保持部也可以是所述吸引管的顶端。

[0121] 根据上述结构，由于吸引管传递用于吸引电子元件的吸引力，因此电子元件被吸附到吸引管的顶端，该吸引管的顶端是保持部。由于施力部对吸引管的顶端施加朝向上方的力，因此在接合材料充分熔融之后，电子元件的固定被解除，电子元件与吸引管的顶端一起向上方位移。由于指标部与施力部的恢复相配合地位移，因此作业人员能够通过透明区域确认指标部的位移，并在适当的时机知道电子元件已从基板卸下。

[0122] 关于上述结构，在所述外壳体和所述吸引管之间也可以形成有使向所述接合材料喷出的空气通过的流路，该空气用于熔融所述接合材料。

[0123] 根据上述结构，由于在外壳体和吸引管之间形成有使向接合材料喷出的空气通过的流路，并且，该空气用于熔融接合材料，因此接合材料利用从加热设备喷出的空气而熔融。由于将与吸引电子元件的吸引管相邻接的空间用作使接合材料熔融的空气的流路，因此，为了电子元件的吸引及接合材料的熔融，设计人员可以有效利用外壳体的内部空间。

[0124] 关于上述结构，所述施力部也可以是卷绕在所述吸引管的螺旋弹簧。

[0125] 根据上述结构，由于施力部是卷绕在吸引管的螺旋弹簧，因此，可以将由螺旋弹簧包围的空间用于吸引管的配置。因此，设计加热设备的设计人员可以让保持机构具有小尺寸。

[0126] 关于上述结构，加热设备也可以包括：第1插通部，使所述吸引管插通；以及第2插通部，在所述第1插通部和所述顶端之间使所述吸引管插通。所述螺旋弹簧也可以包含第1端部，该第1端部配置在所述第1插通部和所述第2插通部之间，并且，与所述第1插通部及所述第2插通部中的任一方相抵接。

[0127] 根据上述结构，由于吸引管插通于第1插通部及第2插通部，因此吸引管可以在插通于第1插通部及第2插通部的插通方向上位移，另一方面，在与插通方向正交的半径方向上，吸引管的位置通过第1插通部及第2插通部得以稳定。由于螺旋弹簧的第1端部与第1插通部及第2插通部中的任一方相抵接，因此第1插通部及第2插通部中的任一方可用于使螺旋弹簧发生弹性变形。

[0128] 关于上述结构，所述指标部也可以包含指标片，该指标片在所述第1插通部和所述第2插通部之间固定于所述吸引管，并向所述透明区域突出。

[0129] 根据上述结构，由于指标片在第1插通部和第2插通部之间固定于吸引管，并向透明区域突出，因此指标部能够与第1插通部及第2插通部中的任一方相配合地使螺旋弹簧发生弹性变形。再加上，由于指标部固定在吸引管，因此螺旋弹簧的恢复力通过指标部被传递到吸引管。因此，通过螺旋弹簧的恢复，指标部及吸引管向上方位移。由于指标部向窗片突出，作业人员可以通过窗片容易地确认指标部的位移。

[0130] 关于上述结构，所述螺旋弹簧也可以配置于所述指标片和所述第2插通部之间。

[0131] 根据上述结构，由于螺旋弹簧配置于指标片和第2插通部之间，因此螺旋弹簧被指标片和第2插通部弹性地压缩。之后，如果熔融了接合材料，螺旋弹簧恢复。此时，指标片被螺旋弹簧向上方推压，因此吸引管与电子元件一起向上方位移。由于指标片固定于吸引管，因此指标片也与吸引管一起向上方位移。作业人员可以通过窗片确认指标片向上方的位移。

[0132] 关于上述结构，所述螺旋弹簧也可以包含与所述第1端部相反一侧的第2端部。所述第1端部也可以与所述第1插通部相连接。所述第2端部也可以与所述指标片相连接。

[0133] 根据上述结构，第1端部连接于第1插通部，而第2端部连接于指标片，因此螺旋弹簧通过指标片和第1插通部被弹性地伸长。之后，如果熔融了接合材料，螺旋弹簧恢复。此时，指标片被螺旋弹簧向上方拉起，因此吸引管与电子元件一起向上方位移。由于指标片固定于吸引管，因此指标片也与吸引管一起向上方位移。作业人员可以通过窗片确认指标片向上方的位移。

[0134] 关于上述结构，加热设备还可以包括：滑动片，具备所述第1插通部和所述第2插通部；以及调整部，使所述滑动片相对于所述外壳体及所述吸引管相对地位移。所述滑动片也可以通过所述调整部沿着所述吸引管的延伸设置方向位移。伴随着所述滑动片相对于所述吸引管相对地位移，所述螺旋弹簧也可以发生弹性变形。

[0135] 根据上述结构，安装于吸引管的滑动片通过调整部沿着吸引管的延伸设置方向位移，并使螺旋弹簧发生弹性变形。因此，作业人员能够使滑动片及吸引管中的一方相对于滑动片及吸引管中的另一方相对地位移，从而使螺旋弹簧发生弹性变形。在螺旋弹簧弹性变形的情况下，当吸引管的顶端与电子元件相抵接时，电子元件被吸附到吸引管的顶端，接受朝向上方的力。之后，如果熔融了接合材料，螺旋弹簧恢复，电子元件与吸引管的顶端一起向上方位移。由于指标部与螺旋弹簧的恢复相配合地位移，因此作业人员能够通过透明区域确认指标部的位移，知道电子元件已从基板卸下。

[0136] 关于上述结构，所述外壳体也可以包含用于形成所述透明区域的窗片、用于支撑所述窗片的支撑筒、以及用于将所述窗片和所述支撑筒之间的边界保持为气密状态的密封圈。

[0137] 根据上述结构，由窗片形成透明区域，并且，由窗片封闭用于熔融接合材料的空气的流路。因此，能够有效利用空气来熔融接合材料。由于密封圈将窗片和支撑筒之间的边界保持为气密状态，因此空气难以从窗片和支撑筒之间的边界露出。

[0138] 关于上述结构，所述滑动片也可以包含突出设置有所述第1插通部及所述第2插通部的基座。所述指标片也可以包含向所述透明区域突出的一侧的顶端部、以及与所述顶端部相反的一侧的末端部。所述末端部也可以插通于沟部，该沟部以沿着所述吸引管的所述延伸设置方向延伸的方式形成在所述基座。

[0139] 根据上述结构，指标片的末端部插通于形成在基座上的沟部，因此指标片不会相对于基座部相对地旋转。

[0140] 关于上述结构，所述滑动片也可以包含沿着所述吸引管的所述延伸设置方向延伸的齿条。所述调整部也可以包含在所述外壳体内与所述齿条相啮合的小齿轮、以及在所述外壳体的外部旋转的把手。所述小齿轮也可以伴随着所述把手的旋转而旋转。

[0141] 根据上述结构，当作业人员使把手旋转时，与齿条相啮合的小齿轮也旋转，因此滑动片能够相对于吸引管及/或外壳体相对地位移。

[0142] 上述实施方式的另一个方面所涉及的电子元件的拆卸方法包含：弹性变形步骤，使弹性部件发生弹性变形，以对保持部施加朝向上方的力，其中，该保持部用于保持利用接合材料固定的电子元件；以及恢复步骤，通过所述接合材料的熔融使所述弹性部件恢复。用于使所述弹性部件恢复的所述恢复步骤包含：“在包围所述弹性部件的外壳体上所设置的透明区域内，使与所述弹性部件的恢复相配合地位移的指标部位移”的子步骤。

[0143] 根据上述结构，在使弹性部件恢复的所述恢复步骤中，指标部与弹性部件的恢复相配合地在包围弹性部件的外壳体上所设置的透明区域内位移，因此，作业人员能够确认指标部在透明区域内的位移，并知道电子元件能够卸下的适当时机。

[0144] 产业上的可利用性

[0145] 上述实施方式的原理可良好地适用于利用加热设备的各种技术领域。