一种电子轰击电离源

摘要

本发明提供了一种电子轰击电离源，包括：馈通法兰组件以及电子轰击电离源组件；馈通法兰组件包括：一个标准法兰和多个馈通电极，标准法兰上包含有若干个用于固定电子轰击电离源组件的螺纹孔；馈通电极为圆柱形的金属杆，馈通电极沿轴向穿过标准法兰；馈通法兰组件上的馈通电极布局与电子轰击电离源组件的引线电极出线布局一一对应，且馈通法兰组件上的馈通电极与电子轰击电离源组件的引线电极出线通过直接对插的方式实现电气连通；电子轰击电离源组件包括：离子源基座、电离室、两个灯丝部件、推斥极、透镜组、加热器、温度传感器、温度控制器和一对磁铁。本发明提供的电子轰击电离源体积较小，功能较全，可以很方便地集成到便携式质谱仪中。

权利要求

1.一种电子轰击电离源，其特征在于，包括：馈通法兰组件以及电子轰击电离源组件；

所述馈通法兰组件包括：一个标准法兰和多个馈通电极，所述标准法兰上包含有若干个用于固定所述电子轰击电离源组件的螺纹孔；所述馈通电极为圆柱形的金属杆，所述馈通电极沿轴向穿过所述标准法兰，且与标准法兰之间电气绝缘；所述馈通法兰组件上的馈通电极布局与所述电子轰击电离源组件的引线电极出线布局一一对应，且所述馈通法兰组件上的馈通电极与所述电子轰击电离源组件的引线电极出线通过直接对插的方式实现电气连通；

所述电子轰击电离源组件包括：离子源基座、电离室、两个灯丝部件、推斥极、透镜组、加热器、温度传感器、温度控制器和一对磁铁；

其中，所述离子源基座用于承载所述电子轰击电离源组件；

所述电离室为一端敞开的空腔结构，所述两个灯丝部件相对设置在所述电离室的外侧侧壁，用于产生具有预设能量的电子，产生的电子通过设置在所述电离室侧壁上的电子入射孔进入所述电离室内部，对通过设置在所述电离室侧壁上的进样小孔进入所述电离室内部的样品进行轰击，将样品转变成带电荷的离子，产生的离子在所述推斥极和所述透镜组的作用下从所述电离室敞开的一端逐出；其中，所述推斥极设置在所述电离室未敞开的一端，所述透镜组设置在所述电离室敞开的一端，所述推斥极与所述透镜组相对设置，且与所述两个灯丝部件相对设置的方向垂直；其中，所述电子入射孔与所述进样小孔呈90度的方位关系；

所述加热器，设置在所述电离室未敞开的一端，用于对所述电离室进行加热；

所述温度传感器，设置在所述电离室的侧壁外侧，用于测量所述电离室的温度；

所述温度控制器，用于根据所述温度传感器测量的温度对所述加热器进行温度控制；

所述一对磁铁，相对设置在所述电离室的侧壁外侧，用于在所述电离室内部产生磁场。

2.根据权利要求1所述的电子轰击电离源，其特征在于，所述灯丝部件包括：灯丝底座、灯丝、两根灯丝电极、灯丝挡片和陶瓷小管；

其中，两根灯丝电极通过封接的工艺固定在所述灯丝底座上，且与所述灯丝底座保持绝缘；

所述灯丝的两端分别点焊在两根灯丝电极上，所述灯丝挡片置于灯丝的背侧，且一端焊接在其中一根灯丝电极上；其中，另一根灯丝电极外包裹有陶瓷小管，用于防止该灯丝电极与所述灯丝挡片接触。

3.根据权利要求2所述的电子轰击电离源，其特征在于，所述灯丝的形状为直径为1mm，螺旋间距为0.5mm的螺旋形状。

4.根据权利要求1所述的电子轰击电离源，其特征在于，所述推斥极和所述电离室之间通过推斥极绝缘垫实现电气绝缘。

5.根据权利要求1所述的电子轰击电离源，其特征在于，所述透镜组包括三片离子透镜，分别为拉出电极透镜、聚焦电极透镜和逐出电极透镜，这三片电极透镜的中间均为圆桶形结构，且保持同轴心，彼此之间通过陶瓷垫实现同心定位和绝缘，所述透镜组通过螺钉固定在所述离子源基座上。

6.根据权利要求1所述的电子轰击电离源，其特征在于，所述一对磁铁为一对圆柱形NS磁铁，第一磁铁设置在一个灯丝部件的外侧，第二磁铁设置在另一个灯丝部件的外侧，第一磁铁的N极与第二磁铁的S极相对设置。

7.根据权利要求1所述的电子轰击电离源，其特征在于，所述加热器为陶瓷加热片；所述陶瓷加热片采用中间开孔的正方形结构，中间开孔部分用于使得所述推斥极的引线电极部分穿过。

8.根据权利要求1所述的电子轰击电离源，其特征在于，所述温度传感器为片状结构的陶瓷型铂电阻，采用螺母和弹簧垫片固定于所述电离室的侧壁上。

9.根据权利要求1所述的电子轰击电离源，其特征在于，所述标准法兰上用于固定所述电子轰击电离源组件的螺纹孔的数量为2～4个。

10.根据权利要求1所述的电子轰击电离源，其特征在于，所述电离室的外侧还设置有供进样用的锥形口，所述锥形口与所述进样小孔相通，实现样品的进样。

说明书

一种电子轰击电离源

技术领域

[0001] 本发明涉及质谱仪技术领域，具体涉及一种电子轰击电离源。

背景技术

[0002] 质谱仪是研究物质基本组成、结构特征、物理和化学性质最基本的仪器之一，是生命科学、材料科学、食品安全、环境保护等领域的必备仪器，是现代分析仪器的核心。它本质是利用电场和/或磁场将运动的离子按它们的质荷比分离后进行检测的一种波谱方法。通过测量离子的准确质量即可确定离子的化合物组成。它主要用于化合物的结构鉴定，它能提供化合物的分子量、元素组成以及官能团等结构信息。它分析范围广泛，适用于气体、液体和固体；它分析速度快、灵敏度高、样品用量小；它可以直接定性分析；借助各种分离手段，还可以对复杂化合物进行准确的定量分析。因为质谱仪的这些特点，它广泛用于有机化学、生物学、地球化学、核工业、材料科学、环境科学、医学卫生、食品化学、石油化工等领域以及空间技术和公安工作等特种分析领域。质谱仪根据质量分析器的不同，而分为磁质谱仪、飞行时间质谱仪、四极质谱仪(包括四极杆质谱仪和离子阱质谱仪)、傅立叶回旋共振质谱仪、轨道离子阱质谱仪，以及各种杂交质谱仪等等。

[0003] 大多数质谱仪属于大型精密仪器设备，一般安装在实验室里进行操作和使用。而军事行动、工业生产、事故救援等现场检测领域对质谱仪提出了小型化的旺盛需求，便携式质谱仪的研发成为研究热点。四极质谱仪因为体积小、结构简单、技术相对成熟、成本低廉而成为应用最广泛的一种质谱仪之一，这也使其成为便携式质谱仪发展的首选。

[0004] 一台四极质谱仪通常由进样系统、离子源、四极杆质量分析器、检测器、真空系统和数据处理等系统组成。如图1和图2所示。离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置，它是质谱仪必不可少的一个部件。其中，用于四极质谱仪的离子源，常见的有电子轰击电离(EI)源、化学电离源、紫外光电离离子源、辉光放电源、电喷雾离子源、大气压化学离子源等等。虽然各种大气压离子源的应用越来越多，但是使用最广泛、也是最基础的仍然是电子轰击电离源，商用的标准谱图就是采用标准电离条件，即70eV的电子轰击电离源电离得到。

[0005] 电子轰击电离(EI)源通常由电离室、灯丝、接收极、推斥极、拉出透镜、聚焦透镜、逐出透镜组成，如图3所示。灯丝通电发热产生电子，电子在电场作用下形成高速(高能)电子束，电子束穿过电离室并被接收极接收，在电子穿过电离室的过程中，电子束冲击电离室中的样品，从而产生电子和分子离子M+，M+继续受到电子轰击而引起化学键的断裂或分子重排，瞬间产生多种离子。离子在推斥极、拉出透镜、聚焦透镜和逐出透镜的作用下被从电离室拉出、聚焦和逐出，从而供下一步分析用。

[0006] 但是目前的电子轰击电离(EI)源一般体积较大，不太适用于小型便携式质谱仪。

发明内容

[0007] 针对现有技术中的缺陷，本发明提供一种电子轰击电离源，本发明提供的电子轰击电离源体积较小，功能较全，可以很方便地集成到便携式质谱仪中。

[0008] 为解决上述问题，本发明提供了以下技术方案：

[0009] 一种电子轰击电离源，包括：馈通法兰组件以及电子轰击电离源组件；

[0010] 所述馈通法兰组件包括：一个标准法兰和多个馈通电极，所述标准法兰上包含有若干个用于固定所述电子轰击电离源组件的螺纹孔；所述馈通电极为圆柱形的金属杆，所述馈通电极沿轴向穿过所述标准法兰，且与标准法兰之间电气绝缘；所述馈通法兰组件上的馈通电极布局与所述电子轰击电离源组件的引线电极出线布局一一对应，且所述馈通法兰组件上的馈通电极与所述电子轰击电离源组件的引线电极出线通过直接对插的方式实现电气连通；

[0011] 所述电子轰击电离源组件包括：离子源基座、电离室、两个灯丝部件、推斥极、透镜组、加热器、温度传感器、温度控制器和一对磁铁；

[0012] 其中，所述离子源基座用于承载所述电子轰击电离源组件；

[0013] 所述电离室为一端敞开的空腔结构，所述两个灯丝部件相对设置在所述电离室的外侧侧壁，用于产生具有预设能量的电子，产生的电子通过设置在所述电离室侧壁上的电子入射孔进入所述电离室内部，对通过设置在所述电离室侧壁上的进样小孔进入所述电离室内部的样品进行轰击，将样品转变成带电荷的离子，产生的离子在所述推斥极和所述透镜组的作用下从所述电离室敞开的一端逐出；其中，所述推斥极设置在所述电离室未敞开的一端，所述透镜组设置在所述电离室敞开的一端，所述推斥极与所述透镜组相对设置，且与所述两个灯丝部件相对设置的方向垂直；其中，所述电子入射孔与所述进样小孔呈90度的方位关系；

[0014] 所述加热器，设置在所述电离室未敞开的一端，用于对所述电离室进行加热；

[0015] 所述温度传感器，设置在所述电离室的侧壁外侧，用于测量所述电离室的温度；

[0016] 所述温度控制器，用于根据所述温度传感器测量的温度对所述加热器进行温度控制；

[0017] 所述一对磁铁，相对设置在所述电离室的侧壁外侧，用于在所述电离室内部产生磁场。

[0018] 进一步地，所述灯丝部件包括：灯丝底座、灯丝、两根灯丝电极、灯丝挡片和陶瓷小管；

[0019] 其中，两根灯丝电极通过封接的工艺固定在所述灯丝底座上，且与所述灯丝底座保持绝缘；

[0020] 所述灯丝的两端分别点焊在两根灯丝电极上，所述灯丝挡片置于灯丝的背侧，且一端焊接在其中一根灯丝电极上；其中，另一根灯丝电极外包裹有陶瓷小管，用于防止该灯丝电极与所述灯丝挡片接触。

[0021] 进一步地，所述灯丝的形状为直径为1mm，螺旋间距为0.5mm的螺旋形状。

[0022] 进一步地，所述推斥极和所述电离室之间通过推斥极绝缘垫实现电气绝缘。

[0023] 进一步地，所述透镜组包括三片离子透镜，分别为拉出电极透镜、聚焦电极透镜和逐出电极透镜，这三片电极透镜的中间均为圆桶形结构，且保持同轴心，彼此之间通过陶瓷垫实现同心定位和绝缘，所述透镜组通过螺钉固定在所述离子源基座上。

[0024] 进一步地，所述一对磁铁为一对圆柱形NS磁铁，第一磁铁设置在一个灯丝部件的外侧，第二磁铁设置在另一个灯丝部件的外侧，第一磁铁的N极与第二磁铁的S极相对设置。

[0025] 进一步地，所述加热器为陶瓷加热片；所述陶瓷加热片采用中间开孔的正方形结构，中间开孔部分用于使得所述推斥极的引线电极部分穿过。

[0026] 进一步地，所述温度传感器为片状结构的陶瓷型铂电阻，采用螺母和弹簧垫片固定于所述电离室的侧壁上。

[0027] 进一步地，所述标准法兰上用于固定所述电子轰击电离源组件的螺纹孔的数量为2～4个。

[0028] 进一步地，所述电离室的外侧还设置有供进样用的锥形口，所述锥形口与所述进样小孔相通，实现样品的进样。

[0029] 由上述技术方案可知，本发明提供的电子轰击电离源，以标准法兰为载体，扩大了电子轰击电离源的使用范围。此外，由于电子轰击电离源组件中包含了磁铁元件、加热元件和测温元件，因此同时具有增加电离效率以及保证离子源干净和提高抗污染能力的优势，且磁铁元件、加热元件和测温元件的布置方式简单可靠，同时较为节省体积。进一步地，在本发明提供的电子轰击电离源中，馈通法兰组件的馈通电极与所述电子轰击电离源组件的引线电极出线通过插针直接对插的方式实现电气连通，从而尽可能地减少了线缆的使用，也避免了电缆之间的焊接或螺纹连接方式，既方便又可靠，同时也节省了体积。由上面分析可知，本发明提供的电子轰击电离源，体积较小，功能较全，可以作为一个离子源独立标准件，具有很好的兼容性，可以很方便的集成到便携式质谱系统中。

附图说明

[0030] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0031] 图1是现有技术中四极质谱仪的结构组成框图；

[0032] 图2是现有技术中四极质谱仪的结构示意图；

[0033] 图3是现有技术中电子轰击电离源的结构示意图；

[0034] 图4是本发明一实施例提供的电子轰击电离源的结构示意图；

[0035] 图5a和图5b是本发明一实施例提供的馈通法兰组件401的结构示意图；其中，图5b是图5a的侧视图；

[0036] 图6a和图6b是本发明一实施例提供的子轰击电离源组件402的结构示意图；其中，图6a是图6b的侧视图；

[0037] 图7是本发明一实施例提供的透镜组605的结构示意图；

[0038] 图8是本发明一实施例提供的灯丝部件603的结构示意图；

[0039] 图9是本发明一实施例提供的馈通法兰组件401上的馈通电极与电子轰击电离源组件402的引线电极出线通过车针901进行直接对插实现电气连通的结构示意图。

具体实施方式

[0040] 为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0041] 本发明一实施例提供了一种电子轰击电离源，参见图4，本发明实施例提供的电子轰击电离源，包括：馈通法兰组件401以及电子轰击电离源组件402；

[0042] 参见图5a和图5b，所述馈通法兰组件401包括：一个标准法兰501和多个馈通电极502，所述标准法兰501上包含有若干个用于固定所述电子轰击电离源组件402的螺纹孔
503；所述馈通电极502为圆柱形的金属杆，所述馈通电极502沿轴向穿过所述标准法兰501，且与标准法兰501之间电气绝缘；所述馈通法兰组件401上的馈通电极布局与所述电子轰击电离源组件402的引线电极出线布局一一对应，且参见图9，所述馈通法兰组件401上的馈通电极与所述电子轰击电离源组件402的引线电极出线通过车针901直接对插的方式实现电气连通，这样尽可能地减少了线缆的使用，也避免了电缆之间的焊接或螺纹连接方式，即方便又可靠，同时也节省了体积。优选地，所述车针901为2通对插车针。

[0043] 在本实施例中，馈通法兰组件401既可以作为电子轰击电离源组件402的安装固定用法兰，同时，又可以作为电子轰击电离源组件402上电信号的馈通接头，从而使得图4所示的电子轰击电离源可以作为一个离子源独立标准件。其中，501采用标准法兰制作，增加该离子源的适用范围。它既可以采用橡胶密封形式，也可以使用金属密封形式，如KF40、DN63ISO-K、DN40CF等等。馈通电极502是用于实现离子源上电信号馈通用的电极，它穿过标准法兰501，以真空封接的形式固定在标准法兰501上，它与标准法兰501之间为电气绝缘，耐压1KV以上，同时又保证真空密封，其漏率应低于1.0×10-10Pa·m3/s。馈通电极502为圆柱形电极，数量视离子源上电信号的要求而定，在本实施例中，数量为12，这12根电极按照一定的规则分布在标准法兰501的中间。馈通电极502的直径通常取1-3mm，视上面流过的电流的大小，以及标准法兰501的尺寸和所需的数目而定，在本实例中直径为1mm。其材质为金属，可以为铜、304无磁不锈钢、316无磁不锈钢、可伐合金等等。标准法兰501上有用于固定电子轰击电离源组件402用的螺纹孔503，数量2-4个，本实例中为2个M3螺纹孔。

[0044] 参见图6a和图6b，所述电子轰击电离源组件402包括：离子源基座601、电离室602、两个灯丝部件603、推斥极604、透镜组605、加热器606、温度传感器607、温度控制器(图中未示出)和一对磁铁608；

[0045] 其中，所述离子源基座601用于承载所述电子轰击电离源组件402；

[0046] 所述电离室602为一端敞开的空腔结构，所述两个灯丝部件603相对设置在所述电离室的外侧侧壁，用于产生具有预设能量的电子，产生的电子通过设置在所述电离室602侧壁上的电子入射孔611进入所述电离室602内部，用于对通过设置在所述电离室602侧壁上的进样小孔610进入所述电离室602内部的样品进行轰击，将样品转变成带电荷的离子，产生的离子在所述推斥极604和所述透镜组605的作用下从所述电离室602敞开的一端逐出；其中，所述推斥极604设置在所述电离室602未敞开的一端，所述透镜组605设置在所述电离室602敞开的一端，所述推斥极604与所述透镜组605相对设置，且与所述两个灯丝部件603相对设置的方向垂直；其中，所述电子入射孔611与所述进样小孔610呈90度的方位关系；

[0047] 所述加热器606，设置在所述电离室602未敞开的一端，用于对所述电离室602进行加热；

[0048] 所述温度传感器607，设置在所述电离室602的侧壁外侧，用于测量所述电离室602的温度；

[0049] 所述温度控制器，用于根据所述温度传感器607测量的温度对所述加热器606进行温度控制；

[0050] 所述一对磁铁608，相对设置在所述电离室602的侧壁外侧，用于在所述电离室602内部产生磁场。

[0051] 由上面记载的方案可知，本发明实施例提供的电子轰击电离源，以标准法兰为载体，扩大了电子轰击电离源的使用范围。此外，由于电子轰击电离源组件中包含了磁铁元件、加热元件和测温元件，因此同时具有增加电离效率以及保证离子源干净和提高抗污染能力的优势，且磁铁元件、加热元件和测温元件的布置方式简单可靠，同时较为节省体积。进一步地，在本发明实施例提供的电子轰击电离源中，馈通法兰组件的馈通电极与所述电子轰击电离源组件的引线电极出线通过插针直接对插的方式实现电气连通，从而尽可能地减少了线缆的使用，也避免了电缆之间的焊接或螺纹连接方式，即方便又可靠，同时也节省了体积。由上面分析可知，本发明实施例提供的电子轰击电离源，体积较小，功能较全，可以作为一个离子源独立标准件，具有很好的兼容性，可以很方便的集成到便携式质谱系统中。

[0052] 在一种可选实施方式中，参见图8，所述灯丝部件603包括：灯丝底座801、灯丝802、两根灯丝电极803和804、灯丝挡片805和陶瓷小管806；

[0053] 其中，两根灯丝电极803和804通过封接的工艺固定在所述灯丝底座801上，且与所述灯丝底座801保持绝缘；

[0054] 例如，灯丝底座801可以使用304不锈钢、316L不锈钢或者可伐合金等金属材料制成，也可以由陶瓷材料制成。灯丝电极803和804通过封接的工艺固定在灯丝底座801上，如果灯丝底座801是由金属材料制成，则灯丝电极803和804与灯丝底座801之间须采用玻璃封接或者陶瓷封接形式，须保证803和804与801之间电气绝缘。如果灯丝底座801是由陶瓷材料制成，则灯丝电极803和804只需和灯丝底座801之间采用任意形式的封接即可，但须保证803和804之间为电气绝缘。

[0055] 参见图8，进一步地，所述灯丝802的两端分别点焊在两根灯丝电极803和804上，所述灯丝挡片805置于灯丝802的背侧，且一端焊接在其中一根灯丝电极(如灯丝电极803)上；其中，另一根灯丝电极(如灯丝电极804)外包裹有陶瓷小管806，用于防止该灯丝电极804与所述灯丝挡片805接触。

[0056] 这里，灯丝802的材质通常选择钨丝、铼丝、铱丝或者铼钨丝灯材料制成，其外形可以是丝状，也可以是片状，其可以为直线式也可以是螺旋式。在本实施例中选用丝状，并且为了增加电子的产率，将灯丝绕制成直径1mm，螺旋间距0.5mm的螺旋形状。其中，灯丝802的两端分别点焊在灯丝电极803和804上。灯丝挡片805置于灯丝802的后部，并且一端点焊在灯丝电极803上。为了防止灯丝挡片805与另一灯丝电极804接触，在另一灯丝电极804上套上一个陶瓷小管806。可以理解的是，灯丝部件603在安装的时候，须保证灯丝802正好置于电子入射孔611的中心，且与电子入射孔611的外壁保持一定的距离，通常间隔在1-2mm左右。在本实施例中，由于采用了双灯丝结构，因此，在电离室602的圆柱形壁上开了两个小孔，小孔直径1-3mm之间，可以为圆孔，可以是椭圆孔，也可以是矩形孔，视灯丝的结构而定。

[0057] 在一种可选实施方式中，参见图6a，所述推斥极604和所述电离室602之间通过推斥极绝缘垫609来实现电气绝缘。

[0058] 在一种可选实施方式中，参见图7，所述透镜组605包括三片离子透镜，分别为拉出电极透镜701、聚焦电极透镜702和逐出电极透镜703，这三片电极透镜的中间均为圆桶形结构，且保持同轴心，彼此之间通过陶瓷垫704实现同心定位和绝缘，所述透镜组605通过螺钉705固定在所述离子源基座601上。

[0059] 在一种可选实施方式中，为了增加电子的运动路径，从而提高电离效率，在电离室的侧壁外侧，更为具体地，在紧靠着灯丝部件603的外侧，参见图6a，在灯丝部件603的外侧)分别放置了1个圆柱形磁铁608。这两个磁铁相对的一侧分别为不同的极性，即N极对S极。

[0060] 在一种可选实施方式中，所述加热器606采用陶瓷加热片，即通过陶瓷加热片606对电离室602进行加热，陶瓷加热片可以采用中间开孔的正方形结构。中间开孔部分正好可以让推斥极604的引线电极部分穿过，这样既能起到对电离室602的加热，又能实现推斥极604与电离室602之间的电气绝缘作用。

[0061] 在一种可选实施方式中，所述温度传感器607采用片状结构的陶瓷型铂电阻，片状结构的电阻便于安装在电离室外侧，例如可以使用螺母和弹簧垫片进行锁定。

[0062] 在一种可选实施方式中，所述电离室的外侧还设置有供进样用的锥形口612，所述锥形口612与所述进样小孔610相通，实现样品的进样。

[0063] 参见图5a、图5b、图6a和图6b，在本实施例中，一共有12路电气信号，分别是3路电子透镜、2组共4路灯丝、2路加热、2路测温、1路离子推斥。这12路电气信号通过线缆与馈通法兰组件401上的馈通电极502相连。由于整个离子源工作在高真空环境，应尽量避免线缆带来的诸如放气等不利于真空的因素，因此，所用线缆应选用低放气率的材质组成，杜绝锡焊等工艺。在本实施例中，优选采用车针的方式。同时，为了尽可能的减少线缆的使用，在离子源的引线和馈通法兰组件401中馈通电极502的布局上，采用直接对插的方式，从而避免了线缆的使用，而直接采用车针一次性实现电气连通。如图9所示，车针901为2通对插车针，避免了所有的焊接和螺纹连接，即方便又可靠，同时节省了体积。

[0064] 具体地，电子轰击离子源在工作的时候，在灯丝802上接通1-3A的电流，灯丝通电后发热，产生电子。电子在灯丝挡片805和离子源电离室602之间形成的电场，以及两个磁铁608所形成的磁场作用下螺旋前进。电子进入电离室602之后，与通过锥形口612以及进样小孔610进入电离室的气体分子之间碰撞，从而将气体分子电离。被解离的离子在电离室602、推斥极604、透镜组605的共同电场作用下。被拉出、聚焦和逐出。为了保证离子源的干净和提高抗污染能力，在陶瓷加热片上通电对电离室602进行加热，与此同时，通过温度传感器
607对离子源温度进行监控，并通过外接的温度控制器实现对陶瓷加热片的控制，从而实现对离子源温度的测温和控温。

[0065] 在本发明的描述中，需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

[0066] 以上实施例仅用于说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。