晶圆级芯片封装结构及其制作方法

摘要

本发明公开了一种晶圆级芯片封装结构及其制作方法，实现了有效芯片的重组，通过将原始晶圆切割成单颗芯片，并对芯片进行检测，将检测良好的芯片直接与一具有围堰的基板进行重组，可构成8寸或12寸重组晶圆，接着再对其进行晶圆级封装，将芯片基底的功能层焊垫的电性通过金属互连结构引至基底背面，可避免对无效芯片进行封装，浪费时间、封装材料以及人力，既节约了成本又提高了产品的良率。此外,本发明中，在形成单颗芯片封装体之前，不需要在切割道位置蚀刻硅槽和预切割，简化了工艺步骤。

权利要求

1.一种晶圆级芯片封装结构的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：A.提供一具有若干芯片的原始晶圆，将原始晶圆切割成单颗芯片，并挑拣出性能良好的芯片，所述芯片包括基底及其正面的功能层，所述功能层包括功能区和位于所述功能区周边的若干焊垫；

B.提供一基板，所述基板上表面通过微影技术设置与若干所述芯片一一对应的围堰，将挑拣出的多颗芯片的功能层与基板上表面通过围堰键合，且相邻芯片之间具有间隙，形成重组晶圆；

C.在重组晶圆的各相邻芯片之间设置填充层，所述填充层将相邻芯片之间的空隙填满，设置填充层的方式包括压膜、注塑；然后将芯片基底上的填充层除去。

2.根据权利要求1所述晶圆级芯片封装结构的制作方法，其特征在于，步骤C之后，还有：D.通过晶圆级封装方法，在各芯片基底上开设通孔，开设方式包括微影技术和刻蚀，通孔由基底背面向正面延伸，露出焊垫表面；

E.在通孔内壁及基底背面沉积绝缘层，将通孔底部的绝缘层除去，露出焊垫表面；

F.在绝缘层上铺设金属层，所述金属层覆盖焊垫表面；

G.图案化金属层，形成金属重布线层；

H.在金属重布线层上设置阻焊层，并在预设导电体位置设开口；

I.在开口内设置导电体，连接金属重布线层；

J.沿两相邻芯片之间的填充层位置切割重组晶圆，形成单颗的芯片封装体。

3.根据权利要求2所述晶圆级芯片封装结构的制作方法，其特征在于，所述绝缘层或/和阻焊层延伸覆盖在所述填充层上表面上。

4.根据权利要求2所述晶圆级芯片封装结构的制作方法，其特征在于，所述功能层与一基板通过围堰键合后形成一将芯片的功能区收容在内的密封空腔，所述密封空腔内为真空环境。

说明书

晶圆级芯片封装结构及其制作方法

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体芯片封装技术领域，具体涉及一种晶圆级芯片封装结构及其制作方法。

背景技术

[0002] 目前，晶圆代工厂对芯片进行封装时，首先对来料晶圆进行整片封装，然后将其切割成单颗芯片封装体；因为来料晶圆中可能存在受损芯片，在对晶圆进行整片封装的同时，对受损芯片也进行了不必要的封装，封装后再进行可靠性试验的过程中必然要淘汰部分不良品，个别芯片失效会使整个产品作废，从而影响产品的良率，既造成了成本浪费又降低了产品良率。另外，将整片晶圆切割成单颗芯片封装体，在切割道位置会有刻蚀硅槽工艺，为防止晶圆破裂和切割刀片损坏，会有预切割工艺，工艺繁琐，也造成生产成本浪费。

[0003] 目前，存在一种利用晶圆级塑封的封装强化技术，也是将封装好的预封装芯片通过C2W(chip to wafer)技术贴到载板上，然后进行晶圆级塑封，塑封后进行解键合和激光切割，形成最终封装器件，这种技术是将封装好的芯片进行塑封层五面包封，也存在对无效芯片进行封装，浪费时间、封装材料以及人力的问题。

发明内容

[0004] 为了解决上述技术问题，本发明提出一种晶圆级芯片封装结构及其制作方法，极大的降低了成本，提升了封装产品的良率。

[0005] 本发明的技术方案是这样实现的：

[0006] 一种晶圆级芯片封装结构，包括一芯片，所述芯片包括基底及其正面的功能层，所述功能层包括功能区和位于所述功能区周边的若干焊垫，所述功能层与一基板通过围堰键合，所述芯片侧壁包裹有填充层，所述填充层上表面与所述基底背面接近或齐平，所述填充层下表面连接所述围堰表面或者所述基板表面；所述基板背面设置有将焊垫的电性引出外界的金属互连结构。

[0007] 进一步的，所述功能层与一基板通过围堰键合后形成一将芯片的功能区收容在内的密封空腔，所述密封空腔内为真空环境。

[0008] 进一步的，所述芯片为图像传感器芯片。

[0009] 进一步的，所述金属互连结构为：所述基底上具有贯通其正面和背面的通孔,所述通孔与所述焊垫连通；所述通孔内壁及所述基底背面覆盖有暴露焊垫的绝缘层；所述绝缘层上铺设有金属重布线层，所述金属重布线层与所述焊垫电性连接；在所述金属重布线层上设置有阻焊层，所述阻焊层填充通孔，并在预设置导电体的位置具有开孔；所述开孔内设置有导电体，所述导电体通过金属重布线层与所述焊垫电性连接。

[0010] 进一步的，所述绝缘层或/和阻焊层延伸覆盖在所述填充层上表面上。

[0011] 进一步的，所述填充层为可光刻干膜或环氧树脂类塑封料的一种。

[0012] 一种晶圆级芯片封装结构的制作方法，包括以下步骤：

[0013] A.提供一具有若干芯片的原始晶圆，将原始晶圆切割成单颗芯片，并挑拣出性能良好的芯片，所述芯片包括基底及其正面的功能层，所述功能层包括功能区和位于所述功能区周边的若干焊垫；

[0014] B.提供一基板，所述基板上表面通过微影技术设置与若干所述芯片一一对应的围堰，将挑拣出的多颗芯片的功能层与基板上表面通过围堰键合，且相邻芯片之间具有间隙，形成重组晶圆；

[0015] C.在重组晶圆的各相邻芯片之间设置填充层，所述填充层将相邻芯片之间的空隙填满，设置填充层的方式包括压膜、注塑；然后将芯片基底上的填充层除去。

[0016] 进一步的，步骤C之后，还有：

[0017] D.通过晶圆级封装方法，在各芯片基底上开设通孔，开设方式包括微影技术和刻蚀，通孔由基底背面向正面延伸，露出焊垫表面；

[0018] E.在通孔内壁及基底背面沉积绝缘层，将通孔底部的绝缘层除去，露出焊垫表面；

[0019] F.在绝缘层上铺设金属层，所述金属层覆盖焊垫表面；

[0020] G.图案化金属层，形成金属重布线层；

[0021] H.在金属重布线层上设置阻焊层，并在预设导电体位置设开口；

[0022] I.在开口内设置导电体，连接金属重布线层。

[0023] J.沿两相邻芯片之间的填充层位置切割重组晶圆，形成单颗的芯片封装体。

[0024] 进一步的，所述绝缘层或/和阻焊层延伸覆盖在所述填充层上表面上。

[0025] 进一步的，所述功能层与一基板通过围堰键合后形成一将芯片的功能区收容在内的密封空腔，所述密封空腔内为真空环境。

[0026] 本发明的有益效果是：

[0027] 本发明提供了一种晶圆级芯片封装结构及其制作方法，实现了有效芯片的重组，通过将原始晶圆切割成单颗芯片，并对芯片进行检测，将检测良好的芯片直接与一具有围堰的基板进行重组，可构成8寸或12寸重组晶圆，接着再对其进行晶圆级封装，将芯片基底正面的焊垫的电性通过金属互连结构引至基底背面，可避免对无效芯片进行封装，浪费时间、封装材料以及人力，既节约了成本又提高了产品的良率。此外,本发明中，在形成单颗芯片封装体之前，不需要在切割道位置蚀刻硅槽和预切割，简化了工艺步骤。

附图说明

[0028] 图1-1为本发明具有若干芯片的来料原始晶圆截面图；

[0029] 图1-2为本发明减薄后的来料原始晶圆截面图；

[0030] 图2为本发明减薄后的来料原始晶圆切割后的单颗芯片截面图；

[0031] 图3为本发明的基板截面图；

[0032] 图4为本发明具有围堰的基板截面图；

[0033] 图5为本发明多颗芯片与基板通过围堰键合后的重组晶圆截面图；

[0034] 图6为本发明设置填充层的重组晶圆截面图；

[0035] 图7为本发明开设通孔的重组晶圆截面图；

[0036] 图8为本发明铺设绝缘层的重组晶圆截面图；

[0037] 图9为本发明沉积金属层的重组晶圆截面图；

[0038] 图10为本发明图案化金属层后的重组晶圆截面图；

[0039] 图11为本发明铺设阻焊层的重组晶圆截面图；

[0040] 图12为本发明设置导电体的重组晶圆截面图；

[0041] 图13为本发明单颗芯片封装体的截面图；

具体实施方式

[0042] 为了能够更清楚地理解本发明的技术内容，特举以下实施例详细说明，其目的仅在于更好理解本发明的内容而非限制本发明的保护范围。实施例附图的结构中各组成部分未按正常比例缩放，故不代表实施例中各结构的实际相对大小。

[0043] 参见图13，本发明晶圆级芯片封装结构图，该封装结构包括芯片100，所述芯片包括基底及其正面的功能层，所述功能层包括功能区和位于所述功能区周边的若干焊垫101，所述功能层与一基板200通过围堰300键合，所述围堰300覆盖焊垫101，所述功能区与基板200之间通过围堰形成密封空腔，所述芯片侧壁部分围堰上方具有填充层400，所述填充层上表面与芯片基底齐平(优选方式为齐平，也可为接近齐平)，然后，所述芯片基底上设置有通孔500，所述通孔表面及基底背面形成有绝缘层600、绝缘层上形成有金属重布线层700以及阻焊层900；所述填充层400上表面覆盖有阻焊层900或/和绝缘层600。所述阻焊层900填充满通孔500，并在预设导电体的位置具有开孔；开孔内形成有导电体980，所述导电体980通过金属层700与焊垫101电性连接。

[0044] 可选的，所述芯片为图像传感芯片，然其应用不限于此，其他实施例中，该封装结构可应用于各种芯片需要做互连的半导体器件，例如是有源元件(active element)或无源元件(passive element)、数字电路或模拟电路等集成电路的电子元件(electronic components)、微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)、压力感测器(pressure sensors)、射频元件(RF circuits)、加速计(accelerators)、表面声波元件(surface acoustic wave devices)等半导体晶片进行封装。

[0045] 可选的，所述芯片侧壁包裹的填充料厚度H为10～100μm。

[0046] 优选的，所述空腔内为真空环境。

[0047] 优选的，所述填充层400为可光刻干膜或环氧树脂类塑封料的一种。

[0048] 优选的，所述填充层下表面连接围堰表面或者基板表面。

[0049] 优选的，所述基板为透光材质；

[0050] 该晶圆级芯片封装结构的制作方法，包括以下步骤：

[0051] A.参见图1-1，提供一具有若干芯片的来料原始晶圆；参见图1-2，所述芯片包括基底及其正面的功能层，所述功能层包括功能区和位于所述功能区周边的若干焊垫101，对芯片基底背面进行刻蚀减薄；将晶圆切割成单颗芯片，通过检测芯片，挑拣出性能良好的芯片，如图2所示，本实施例中，芯片为图像传感器芯片；

[0052] B.参见图3，提供一基板200，所述基板可以为玻璃材质或蓝宝石；参见图4，在所述基板上表面铺设一层光刻胶，通过曝光显影形成与预封装芯片一一对应的围堰300；参见图5，将挑拣出的多颗预封装芯片的功能层与基板上表面通过围堰300键合,相邻芯片之间具有间隙，所述围堰覆盖芯片焊垫101，形成重组晶圆2000；

[0053] C.参见图6，在重组晶圆的相邻芯片之间设置填充层400，所述填充层400将两相邻芯片100之间的空隙填满，固定基板上芯片100的位置，设置的方式包括压膜、注塑；然后将芯片基底背面的填充层除去，填充层上表面与芯片基底背面齐平；两相邻芯片之间的空隙的填充层不仅能够提高重组晶圆的机械强度，而且能避免水汽由芯片侧面进入芯片内部造成的芯片损坏；所述填充层400为可光刻干膜或环氧树脂类塑封料。

[0054] D.参见图7，在芯片基底开设通孔500，开设方式包括微影技术和刻蚀，通孔由基底背面向正面及功能层延伸，露出焊垫表面；

[0055] E.参见图8，沉积绝缘层600，优选的，采用PECVD技术将所述绝缘层覆盖填充层、芯片基底背面和开口侧壁，所述绝缘层材料为二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或聚酰亚胺；

[0056] F.参见图9，铺设金属层700，所述金属层覆盖芯片基底以及绝缘层，并且覆盖焊垫表面，所述金属层700的材料包括Ti、Cu、Ni、Au、Al、Pd；

[0057] G.参见图10，图案化金属层，方式包括曝光、显影、刻蚀、电镀或化镀形成金属重布线层，在此制程中，填充层上方的绝缘层可以被刻蚀去除也可以留下；

[0058] H.参见图11，在重组晶圆2000上表面设置阻焊层900，当步骤G之后，填充层上方的绝缘层已被刻蚀去除时，所述填充层上方覆盖有阻焊层900；或者，当步骤G之后，填充层上方的绝缘层完整存在时，所述填充层400上方覆盖有绝缘层600和绝缘层上阻焊层900，在预设导电体的位置形成开孔露出金属重布线层表面，所述阻焊层900的材料包括聚酰亚胺树脂、聚酰胺、苯环丁烯；

[0059] I.参见图12，在步骤H设置的开孔内设置导电体980，连接金属重布线层，实现与外界的信号传输，设置方式为丝网印刷或者植球方式。

[0060] J.沿两相邻芯片之间的填充层中心线位置切割重组晶圆2000，形成单颗的芯片封装体，所述单颗芯片侧壁包裹的填充层的厚度H为10～100μm,如图13所示；

[0061] 综上，本发明实现了有效芯片的重组，将原始晶圆切割成单颗芯片，并对芯片进行检测，将检测良好的芯片直接与一具有围堰的基板进行重组，可构成8寸或12寸晶圆，接着再对其进行晶圆级封装，避免对无效芯片进行封装浪费时间、封装材料以及人力，这样既节约成本又提高了产品的良率。

[0062] 以上实施例是参照附图，对本发明的优选实施例进行详细说明。本领域的技术人员通过对上述实施例进行各种形式上的修改或变更，但不背离本发明的实质的情况下，都落在本发明的保护范围之内。