检查装置以及检查方法

摘要

检测出在第一缺陷候补区域和第二缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域，第一缺陷候补区域是基于拍摄图像的各像素的值与参照图像的对应的像素的值之差而检测的区域，所述第二缺陷候补区域是基于拍摄图像的各像素的值与参照图像的对应的像素的值之比而检测的区域。由此，能够抑制假缺陷的检测，并能够高精度地检测出缺陷。优选在缺陷检测部(62)中，在摇晃比较部(623)中基于拍摄图像与参照图像之间的像素的值之差来检测出缺陷候补区域，在虚报减少处理部(629)中，将求出上述比的像素限制为该缺陷候补区域所包含的像素。由此，能够有效地检测出缺陷。

权利要求

1.一种检查装置，对在表面具有梨皮状的区域的对象物的所述表面的缺陷进行检测，其特征在于，具有：拍摄部，通过对对象物进行拍摄来获取拍摄图像；

存储部，存储与所述拍摄图像对应的参照图像；

缺陷检测部，检测出在第一缺陷候补区域和第二缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域，所述第一缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的灰度值与所述参照图像的对应的像素的灰度值之差检测出的区域，所述第二缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的灰度值与所述参照图像的对应的像素的灰度值之比检测出的区域，第一照明部，仅从一个方向向所述对象物的表面中的规定的对象区域照射光；

第二照明部，从多个方向向所述对象区域照射光；

检测控制部，使所述缺陷检测部使用从所述第一照明部照射光并由所述拍摄部获取的第一拍摄图像和与所述第一拍摄图像对应的第一参照图像来检测出第一缺陷区域，使所述缺陷检测部使用从所述第二照明部照射光并由所述拍摄部获取的第二拍摄图像和与所述第二拍摄图像对应的第二参照图像来检测出第二缺陷区域；

缺陷更新部，将在所述第一缺陷区域以及所述第二缺陷区域中重复的区域确定为更新后的缺陷区域。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述缺陷检测部在检测出所述第一缺陷候补区域后，在检测所述第二缺陷候补区域时，将在所述拍摄图像和所述参照图像中用于求出所述比的像素限制为所述第一缺陷候补区域所包含的像素，或者，所述缺陷检测部在检测出所述第二缺陷候补区域后，在检测所述第一缺陷候补区域时，将在所述拍摄图像和所述参照图像中用于求出所述差的像素限制为所述第二缺陷候补区域所包含的像素。

3.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述第二缺陷候补区域将所述拍摄图像的像素的灰度值比所述参照图像的对应的像素的灰度值低的缺陷候补区域和所述拍摄图像的像素的灰度值比所述参照图像的对应的像素的灰度值高的缺陷候补区域进行区别而包含。

4.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述缺陷检测部基于所述拍摄图像的各像素的灰度值和对所述拍摄图像实施了膨胀处理或收缩处理的图像的对应的像素的灰度值之差来检测出第三缺陷候补区域，检测出在所述第一缺陷候补区域、所述第二缺陷候补区域以及所述第三缺陷候补区域中重复的区域作为所述缺陷区域。

5.一种检查方法，对在表面具有梨皮状的区域的对象物的所述表面的缺陷进行检测，其特征在于，包括：a)工序，通过拍摄部对对象物进行拍摄来获取拍摄图像；

b)工序，准备与所述拍摄图像对应的参照图像，检测出在第一缺陷候补区域和第二缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域，所述第一缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的灰度值与所述参照图像的对应的像素的灰度值之差检测出的区域，所述第二缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的灰度值与所述参照图像的对应的像素的灰度值之比检测出的区域，在所述a)工序中，仅从一个方向向所述对象物的表面中的规定的对象区域照射光，并且通过所述拍摄部获取第一拍摄图像，在所述b)工序中，使用所述第一拍摄图像和与所述第一拍摄图像对应的第一参照图像来检测出第一缺陷区域，所述检查方法还包括：

从多个方向向所述对象区域照射光，并且由所述拍摄部获取第二拍摄图像的工序；

使用所述第二拍摄图像和与所述第二拍摄图像对应的第二参照图像，通过与所述b)工序同样的处理来检测第二缺陷区域的工序；

将在所述第一缺陷区域以及所述第二缺陷区域中重复的区域确定为更新后的缺陷区域的工序。

6.如权利要求5所述的检查方法，其特征在于，

在所述b)工序中，在检测出所述第一缺陷候补区域后，在检测所述第二缺陷候补区域时，将在所述拍摄图像和所述参照图像中用于求出所述比的像素限制为所述第一缺陷候补区域所包含的像素，或者，在检测出所述第二缺陷候补区域后，在检测所述第一缺陷候补区域时，将在所述拍摄图像和所述参照图像中用于求出所述差的像素限制为所述第二缺陷候补区域所包含的像素。

7.如权利要求5所述的检查方法，其特征在于，

所述第二缺陷候补区域将所述拍摄图像的像素的灰度值比所述参照图像的对应的像素的灰度值低的缺陷候补区域和所述拍摄图像的像素的灰度值比所述参照图像的对应的像素的灰度值高的缺陷候补区域进行区别而包含。

8.如权利要求5所述的检查方法，其特征在于，

在所述b)工序中，基于所述拍摄图像的各像素的灰度值、和对所述拍摄图像实施了膨胀处理或收缩处理的图像的对应的像素的灰度值之差来检测出第三缺陷候补区域，检测出在所述第一缺陷候补区域、所述第二缺陷候补区域以及所述第三缺陷候补区域中重复的区域作为所述缺陷区域。

说明书

检查装置以及检查方法

技术领域

[0001] 本发明涉及对对象物的表面的缺陷进行检测的技术。

背景技术

[0002] 一直以来，采用如下装置，即，向立体的对象物照射光并拍摄，基于拍摄图像来对对象物的外观进行检查。例如，在日本特开2005-17234号公报的外观检查装置中，在对电路板上的圆顶状焊锡的外观进行检查时，在从圆顶状焊锡的左右两侧照射平行光的状态下，获取第一图像，在从圆顶状焊锡的前后两侧照射平行光的状态下，获取第二图像。然后，求出第一图像数据和第二图像数据之差的绝对值即合成图像，在合成图像上呈放射状地存在带状的阴影的情况下，检测出芯片部件在圆顶状焊锡的安装不良。

[0003] 另外，在日本特开2009-162573号公报的形状识别装置中，设置有对被检查物进行拍摄的照相机、以照相机为中心进行旋转的照明部，一边变更照明部的照明角度一边依次进行被检查物的拍摄。在该形状识别装置中，被检查物上的突起(不良形状)的影子根据照明角度的变化而发生变化，所以能够推定突起的形状。

[0004] 另一方面，在通过锻造或铸造形成的金属部件(例如汽车部件)中，通过喷丸等进行表面加工，该表面成为微小的凹凸分布的梨皮状的立体结构。在将这样的金属部件作为对象物的外观检查中，通过作业者的目视，检测出对象物表面的凹痕和损伤等的缺陷。

[0005] 但是，在通过作业者的目视对上述对象物的检查中，即使规定检查基准，检查的精度也因作业者的不同而发生偏差。另外，有可能因人为的失误，而忽略了对象物中的缺陷。在基于对象物的拍摄图像来检测缺陷的情况下，由于入射到梨皮状的表面的光进行扩散反射(漫反射)，所以拍摄图像中的灰度值的偏差(浓淡的局部的变化)变大，导致检测出很多的假缺陷。

发明内容

[0006] 本发明适用于对对象物的表面的缺陷进行检测的检查装置，其目的在于，能够抑制检测出假缺陷，并能够高精度地检测出缺陷。

[0007] 本发明的检查装置具有：

[0008] 拍摄部，通过对对象物进行拍摄来获取拍摄图像；

[0009] 存储部，存储与所述拍摄图像对应的参照图像；

[0010] 缺陷检测部，检测出在第一缺陷候补区域和第二缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域，或者，基于所述拍摄图像与所述参照图像的差分图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之比来检测出缺陷区域，所述第一缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之差检测出的区域，所述第二缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之比检测出的区域。

[0011] 根据本发明，能够抑制检测出假缺陷，并能够高精度地检测出缺陷。

[0012] 在本发明的一个优选的实施方式中，所述缺陷检测部将在所述拍摄图像和所述参照图像中用于求出所述比的像素限制为所述第一缺陷候补区域所包含的像素，或者，将在所述拍摄图像和所述参照图像中用于求出所述差的像素限制为所述第二缺陷候补区域所包含的像素。由此，能够高效地检测出缺陷。

[0013] 在本发明的其他优选的方式中，所述第二缺陷候补区域将所述拍摄图像的像素的值比所述参照图像的对应的像素的值低的缺陷候补区域和所述拍摄图像的像素的值比所述参照图像的对应的像素的值高的缺陷候补区域进行区别而包含。

[0014] 在本发明的又一优选的方式中，所述缺陷检测部基于所述拍摄图像的各像素的值、和对所述拍摄图像实施了膨胀处理或收缩处理的图像的对应的像素的值之差来检测出第三缺陷候补区域，检测出在所述第一缺陷候补区域、所述第二缺陷候补区域以及所述第三缺陷候补区域中重复的区域作为所述缺陷区域。

[0015] 在本发明的一个方式中，所述对象物在表面具有梨皮状的区域。在该情况下，更优选的检查装置还具有：

[0016] 第一照明部，仅从一个方向向所述对象物的表面中的规定的对象区域照射光；

[0017] 第二照明部，从多个方向向所述对象区域照射光；

[0018] 检测控制部，使所述缺陷检测部使用从所述第一照明部照射光并由所述拍摄部获取的第一拍摄图像和与所述第一拍摄图像对应的第一参照图像来检测出第一缺陷区域，使所述缺陷检测部使用从所述第二照明部照射光并由所述拍摄部获取的第二拍摄图像和与所述第二拍摄图像对应的第二参照图像来检测出第二缺陷区域；

[0019] 缺陷更新部，将在所述第一缺陷区域以及所述第二缺陷区域中重复的区域确定为更新后的缺陷区域。

[0020] 本发明也适用于对对象物的表面的缺陷进行检测的检查方法。本发明的检查方法包括：

[0021] a)工序，通过拍摄部对对象物进行拍摄来获取拍摄图像；

[0022] b)工序，准备与所述拍摄图像对应的参照图像，检测出在第一缺陷候补区域和第二缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域，或者，基于所述拍摄图像与所述参照图像的差分图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之比来检测出缺陷区域，所述第一缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之差检测出的区域，所述第二缺陷候补区域是基于所述拍摄图像的各像素的值与所述参照图像的对应的像素的值之比检测出的第二缺陷候补区域。

[0023] 上述的目的以及其他目的、特征、方式以及优点，通过参照附图进行的以下的对本发明的详细的说明就更加清楚。

附图说明

[0024] 图1是表示检查装置的结构的图。

[0025] 图2是表示检查装置的主体的俯视图。

[0026] 图3是表示计算机实现的功能结构的框图。

[0027] 图4是表示对象物的检查的处理的流程的图。

[0028] 图5是表示第一拍摄图像的图。

[0029] 图6是表示第一拍摄图像的图。

[0030] 图7是表示第一拍摄图像的图。

[0031] 图8是表示第二拍摄图像的图。

[0032] 图9是表示缺陷检测部的结构的图。

[0033] 图10是表示对缺陷进行检测的处理的流程的图。

[0034] 图11是表示基于差的缺陷候补图像的图。

[0035] 图12是表示基于自己比较的缺陷候补图像的图。

[0036] 图13是表示重复候补区域图像的图。

[0037] 图14是表示缺陷区域图像的图。

[0038] 图15是表示第一缺陷区域图像的图。

[0039] 图16是表示缺陷更新部的结构的图。

[0040] 图17是表示确定缺陷区域图像的图。

[0041] 图18是表示检查装置的其他例的图。

具体实施方式

[0042] 图1是表示本发明的一个实施方式的检查装置1的结构的图。图2是表示检查装置1的主体11的俯视图。检查装置1是对在表面具有光泽的立体的对象物9的外观进行检查的装置。对象物9例如是通过锻造或铸造形成的金属部件，其表面是具有微小的凹凸的梨皮状。对象物9例如是在万向联轴器中使用的各种部件(圆筒形的轮毂的轴、外圈、轭部等)。

[0043] 如图1所示，检查装置1具有主体11和计算机12。主体11具有工作台2、工作台转动部21、拍摄单元3和光源单元4。对象物9载置在工作台2上。工作台转动部21以朝向上下方向的中心轴J1为中心使对象物9与工作台2一起转动规定的角度。中心轴J1通过工作台2的中央。在主体11上设置有用于防止外部的光到达工作台2上的省略图示的遮光罩，工作台2、拍摄单元3以及光源单元4设置在遮光罩内。

[0044] 如图1以及图2所示，拍摄单元3具有1个上方拍摄部31、4个斜方拍摄部32和4个侧方拍摄部33。在图2中省略上方拍摄部31的图示(在后述的上方光源部41中也同样)。上方拍摄部31位于工作台2的上方并配置于中心轴J1上。通过上方拍摄部31能够获取从正上方对工作台2上的对象物9进行拍摄得到的图像。

[0045] 如图2所示，在从上侧向下方观察主体11的情况下(即，在俯视观察主体11的情况下)，4个斜方拍摄部32配置在工作台2的周围。4个斜方拍摄部32在以中心轴J1为中心的周向上以90°的角度间隔(间距)排列。在包含各斜方拍摄部32的拍摄光轴K2和中心轴J1的面中(参照图1)，拍摄光轴K2和中心轴J1所成的角度θ2约为45°。通过各斜方拍摄部32能够获取从斜上方对工作台2上的对象物9进行拍摄得到的图像。

[0046] 在俯视观察主体11的情况下，4个侧方拍摄部33也与4个斜方拍摄部32同样地配置在工作台2的周围。4个侧方拍摄部33在周向上以90°的角度间隔排列。在包含各侧方拍摄部33的拍摄光轴K3和中心轴J1的面中，拍摄光轴K3和中心轴J1所成的角度θ3约为90°。通过各侧方拍摄部33能够获取从侧方对工作台2上的对象物9进行拍摄得到的图像。上方拍摄部
31、斜方拍摄部32以及侧方拍摄部33例如具有CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合元件)或CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor：互补金属氧化物半导体)等，能够获取多灰度的图像。上方拍摄部31、斜方拍摄部32以及侧方拍摄部33由省略图示的支撑部支撑。

[0047] 光源单元4具有1个上方光源部41、8个斜方光源部42、8个侧方光源部43。上方光源部41是呈以中心轴J1为中心的环状排列多个LED(发光二极管)而成的光源部。环状的上方光源部41以包围上方拍摄部31的周围的方式固定在上方拍摄部31上。通过上方光源部41，能够从正上方沿与中心轴J1平行的方向向工作台2上的对象物9照射光。

[0048] 在俯视观察主体11的情况下，8个斜方光源部42配置在工作台2的周围。8个斜方光源部42在周向以45°的角度间隔排列。各斜方光源部42是呈沿以中心轴J1为中心的圆周的切线方向延伸的杆状排列多个LED而成的光源部。当将连接各斜方光源部42的出射面的中央和对象物9(的中心)的线称为“照明轴”时，在包含该斜方光源部42的照明轴和中心轴J1的面中，该照明轴和中心轴J1所成的角度约为45°。在各斜方光源部42中，能够从斜上方沿该照明轴向工作台2上的对象物9照射光。在检查装置1中，8个斜方光源部42中的4个斜方光源部42分别固定在4个斜方拍摄部32上，剩余的4个斜方光源部42由省略图示的支撑部支撑。

[0049] 在俯视观察主体11的情况下，8个侧方光源部43配置在工作台2的周围。8个侧方光源部43在周向上以45°的角度间隔排列。各侧方光源部43是呈以中心轴J1为中心的圆周的切线方向延伸的杆状排列多个LED而成的光源部。与斜方光源部42同样，当将连接各侧方光源部43的出射面的中央和对象物9的线称为“照明轴”时，在包含该侧方光源部43的照明轴和中心轴J1的面中，该照明轴和中心轴J1所成的角度约为90°。各侧方光源部43能够从侧方沿着该照明轴向工作台2上的对象物9照射光。在检查装置1中，8个侧方光源部43中的4个侧方光源部43分别固定在4个侧方拍摄部33上，剩余4个侧方光源部43由省略图示的支撑部支撑。

[0050] 例如，上方拍摄部31以及上方光源部41与对象物9之间的距离约55cm(厘米)。另外，斜方拍摄部32以及斜方光源部42与对象物9之间的距离约为50cm，侧方拍摄部33以及侧方光源部43与对象物9之间的距离约为40cm。在上方光源部41、斜方光源部42以及侧方光源部43中，可以使用LED以外的种类的光源。

[0051] 图3是表示计算机12实现的功能结构的框图。在图3中，主体11的结构(工作台转动部21、拍摄单元3以及光源单元4)也用方框来表示。计算机12具有控制部60、运算部61、以及存储部69。控制部60承担检查装置1的整体控制。运算部61具有缺陷检测部62、缺陷更新部63、以及检测控制部64。缺陷检测部62基于由拍摄单元3获取的拍摄图像对缺陷区域进行检测。检测控制部64针对拍摄相同区域得到的多个拍摄图像的每一个，使缺陷检测部62对缺陷区域进行检测。缺陷更新部63从多个拍摄图像的缺陷区域中进一步确定最终的缺陷区域。存储部69存储各种图像数据。后面详细说明缺陷检测部62、检测控制部64以及缺陷更新部63。

[0052] 图4是表示检查装置1对对象物9的检查的处理的流程的图。首先，在工作台2上载置检查对象的对象物9(步骤S11)。在工作台2上设置有例如对准用的多个销，通过使对象物9的预先设定的部位与该多个销抵接，在工作台2上的规定位置将对象物9以规定的朝向配置。接着，在控制部60中，基于操作者的输入等，获取针对工作台2上的对象物9的拍摄设定信息(步骤S12)。在此，拍摄设定信息表示在拍摄单元3中使用的拍摄部(以下称为“选择拍摄部”。)和在通过该选择拍摄部获取拍摄图像时在光源单元4中点亮的光源部。

[0053] 本处理例中的拍摄设定信息表示将拍摄单元3中的4个斜方拍摄部32作为选择拍摄部来使用。另外，该拍摄设定信息指示作为选择拍摄部的各斜方拍摄部32获取图像，即，点亮与该斜方拍摄部32相同的位置的斜方光源部42、与该斜方光源部42在顺时针方向上相邻的2个斜方光源部42、以及、在逆时针方向上相邻的2个斜方光源部42(以下将这些斜方光源部42称为“确定光源部组”。)的每一个来获取图像，以及，点亮确定光源部组的所有光源部来获取图像。在从上侧向下方观察主体11的情况下，针对各斜方拍摄部32的确定光源部组所包含的5个斜方光源部42的照明轴相对于该斜方拍摄部32的拍摄光轴K2分别倾斜-90°、-45°、0°、+45°、+90°。即，该5个的斜方光源部42在以中心轴J1为中心的周向上相对于该斜方拍摄部32分别位于-90°、-45°、0°、+45°、+90°的角度位置。

[0054] 当获取针对对象物9的拍摄设定信息时，指定分别是选择拍摄部的多个斜方拍摄部32中的一个斜方拍摄部32为注目拍摄部(步骤S13)。接着，仅点亮针对注目拍摄部32的确定光源部组中的一个斜方光源部42，并通过注目拍摄部32获取拍摄图像。此时，将对象物9的表面中的与注目拍摄部32大致相对的区域作为“对象区域”，从该斜方光源部42沿其照明轴向对象区域照射光。这样，通过确定光源部组所包含的一个斜方光源部42仅从一个方向向对象区域照射光，并由注目拍摄部32拍摄对象区域。在以下的说明中，将仅从一个光源部照射光并由注目拍摄部获取的拍摄图像称为“第一拍摄图像”，将在获取第一拍摄图像时向对象区域照射光的光源部称为“第一照明部”。在仅从一个方向照射光来获取的第一拍摄图像中，因对象区域的微小的凹凸而容易产生影子。

[0055] 在检查装置1中，通过控制部60的控制，依次使用确定光源部组所包含的多个斜方光源部42的每一个作为第一照明部，由此在注目拍摄部32获取多个第一拍摄图像(步骤S14)。如上所述，确定光源部组包括相对于注目拍摄部32位于-90°、-45°、0°、+45°、+90°的角度位置的斜方光源部42。在将相对于注目拍摄部位于N°的角度位置的光源部作为第一照明部来获取的第一拍摄图像被称为“基于N°照明的第一拍摄图像”时，在上述步骤S14中，获取-90°照明的第一拍摄图像、-45°照明的第一拍摄图像、0°照明的第一拍摄图像、+45°照明的第一拍摄图像、以及、+90°照明的第一拍摄图像。确定光源部组所包含的多个斜方光源部42能够用作在获取多个第一拍摄图像中使用的多个第一照明部。此外，确定光源部组所包含的各斜方光源部42未必向整个对象区域照射光，例如，位于-90°的角度位置的斜方光源部42向对象区域的大致一半区域照射光。作为第一照明部使用的光源部只要仅从一个方向向对象区域中的能够照射光的区域的各位置照射光即可。

[0056] 接着，点亮针对注目拍摄部32的确定光源部组所包含的所有斜方光源部42，并由注目拍摄部32获取拍摄图像(步骤S15)。此时，从相对于注目拍摄部32位于-90°、-45°、0°、+45°、+90°的角度位置的多个斜方光源部42，沿着照明轴向对象区域照射光。这样，通过多个斜方光源部42，从相互不同的多个方向向对象区域照射光，并由注目拍摄部32拍摄对象区域。在以下的说明中，将从确定光源部组所包含的所有的光源部照射光并由注目拍摄部获取的拍摄图像称为“第二拍摄图像”，将在获取第二拍摄图像时向对象物9照射光的所有的光源部的集合称为“第二照明部”。

[0057] 如上所述，确定光源部组所包含的各斜方光源部42未必向整个对象区域照射光，但是通过第二照明部，从至少2个斜方光源部42即至少2个方向向对象区域的各位置照射光。在本处理例中，从至少3个斜方光源部向对象区域的各位置照射光。在从多个方向照射光来获取的第二拍摄图像中，难以因对象区域的微小的凹凸而产生影子。在检查装置1中，从确定光源部组所包含的多个斜方光源部42出射的光的强度几乎相同。另外，在获取第二拍摄图像时从各斜方光源部42出射的光的强度，小于在获取第一拍摄图像时从该斜方光源部42出射的光的强度。

[0058] 图5至图7是表示第一拍摄图像的一例的图。图5表示-90°照明的第一拍摄图像，图6表示-45°照明的第一拍摄图像，图7表示0°照明的第一拍摄图像。图8是表示第二拍摄图像的一例的图。如上所述，通过来自第二照明部的光的照射、即、-90°、-45°、0°、+45°、+90°的所有的照明，来获取第二拍摄图像。在图5至图8中，对表示对象物9的背景的区域标注平行斜线。在第一以及第二拍摄图像中，像素的值(灰度值)越高、则表示该像素越明亮。

[0059] 在此，就在拍摄图像中表示对象区域中的凹状或凸状的缺陷(例如比梨皮状的表面中的微小的凹凸足够大的凹状或凸状的缺陷)的缺陷区域而言，通常，通过从某个方向照射的光，相对于周围的区域的亮度的差异变大。另外，因缺陷的形状(凹陷的角度等)不同，通过从其他方向照射的光，相对于周围的区域的缺陷区域的亮度的差异变得微小。在图5至图8的例子中，通过-45°照明，缺陷区域为相对于周围的区域能够区别的亮度，通过其他方向的照明，难以区别出缺陷区域。因此，在基于-45°照明的图6的第一拍摄图像、以及、基于-90°、-45°、0°、+45°、+90°的所有的照明的图8的第二拍摄图像中，缺陷区域(为了和后述的假缺陷区域区别，以下称为“真缺陷区域”。)相对于周围的区域具有能够区别的亮度。在图6的第一拍摄图像以及图8的第二拍摄图像中，将真缺陷区域71涂黑。当然，其他真缺陷区域
71也可能存在于其他第一拍摄图像以及第二拍摄图像中。

[0060] 另外，在多个第一拍摄图像以及第二拍摄图像中，因对象区域的梨皮状的表面，亮度相对于周围的区域有差异的区域不规则地存在。如后面说明那样，在基于拍摄图像的检查中，将拍摄图像与其他图像进行比较，在比较结果中，能够检测出拍摄图像以及该其他图像中的、这样的区域(亮度有差异的区域)作为假缺陷区域。在第二拍摄图像中，由于照明的状态与第一拍摄图像不同，所以假缺陷区域产生的位置不一定与第一拍摄图像一致。基于确定光源部组所包含的各斜方光源部42的照明的多个第一拍摄图像、以及基于确定光源部组所包含的全部斜方光源部42的照明的第二拍摄图像被输入图3的运算部61的缺陷检测部62。

[0061] 另一方面，在存储部69中，预先存储有与各第一拍摄图像对应的第一参照图像、以及、与第二拍摄图像对应的第二参照图像。在此，与各第一拍摄图像对应的第一参照图像是在与该第一拍摄图像同样的条件下获取且示出不包含缺陷的对象区域的图像。第一参照图像例如通过对不包含缺陷的对象物进行与上述步骤S14同样的处理来获取，并作为第一参照图像数据691由存储部69存储。可以通过对各第一拍摄图像进行规定的处理，来生成与该第一拍摄图像对应的第一参照图像。与第二拍摄图像对应的第二参照图像也同样，作为第二参照图像数据692由存储部69存储。第一参照图像以及第二参照图像由缺陷检测部62中的处理加以利用。

[0062] 图9是表示缺陷检测部62的结构的图，图10是表示缺陷检测部62对缺陷进行检测的处理的流程的图。在缺陷检测部62中，对多个第一拍摄图像以及第二拍摄图像进行同样的处理，因此，在以下的说明中，将多个第一拍摄图像以及第二拍摄图像分别仅称为“拍摄图像”，将与该拍摄图像对应的第一或第二参照图像仅称为“参照图像”。

[0063] 在两个滤波处理部621中，对拍摄图像以及参照图像分别进行中值滤波和高斯滤波等的减少噪声的滤波处理，滤波处理完的拍摄图像以及参照图像被输出到预对准部622。在预对准部622中，通过利用了规定的图案的图案匹配，确定(滤波处理完的)参照图像相对于拍摄图像的相对的位置以及角度的偏移量。并且，使参照图像相对于拍摄图像平行移动以及旋转了两图像之间的位置以及角度的偏移量，由此，参照图像的位置以及角度与拍摄图像相符(即进行预对准。)。

[0064] 在摇晃比较部623中，求出使参照图像从相对于拍摄图像的预对准完的位置移动到二维排列的多个位置中的每一个时的移动后的参照图像和拍摄图像的差异的评价值(例如在两图像重叠的区域中的像素的值之差(绝对值)的和)。并且，示出在评价值为最小的位置的两图像的像素的值之差(绝对值)的图像，通过规定的阈值二值化，生成二值的缺陷候补图像。此外，也可以在对示出差的图像实施了规定的处理之后，将该图像二值化(以下同样)。这样，在摇晃比较部623中，基于拍摄图像的各像素的值与参照图像的对应的像素的值之差，生成示出对象区域中的缺陷候补的区域的缺陷候补图像(以下，称为“基于差的缺陷候补图像”。)(步骤S31)。换言之，对基于对象区域中的差的缺陷候补区域进行检测。

[0065] 图11是从图8的第二拍摄图像导出的、表示基于差的缺陷候补图像的图。图11的基于差的缺陷候补图像是表示基于差的缺陷候补区域73的二值图像，基于差的缺陷候补区域73除了图8的真缺陷区域71以外，还包含因拍摄图像或参照图像导致的多个假缺陷区域。

[0066] 另一方面，从预对准部622输出的拍摄图像也被输入膨胀处理部624、收缩处理部625以及两个比较部626。在膨胀处理部624中，通过使规定大小的最大值滤波器对拍摄图像发挥作用，进行在多灰度的拍摄图像中使像素的值比较高的区域实质膨胀的膨胀处理。通过膨胀处理，除去或减少像素的值比较低的区域。膨胀处理完的拍摄图像被输出到一个比较部626。在该比较部626中，生成表示从预对准部622输入的拍摄图像与膨胀处理完的拍摄图像之间的像素的值之差(绝对值)的图像。该图像由规定的阈值二值化而生成表示缺陷候补的区域的二值的图像(以下，称为“第一中间图像”。)。

[0067] 在收缩处理部625中，通过使规定的大小的最小值滤波器对拍摄图像发挥作用，进行在多灰度的拍摄图像中使像素的值比较高的区域实质收缩的收缩处理。通过收缩处理，除去或减少像素的值比较高的区域。收缩处理完的拍摄图像被输出到另一个比较部626。在该比较部626中，生成表示从预对准部622输入的拍摄图像与收缩处理完的拍摄图像之间的像素的值之差(绝对值)的图像。该图像由规定的阈值二值化而生成表示缺陷候补的区域的二值的图像(以下，称为“第二中间图像”。)。

[0068] 从一个比较部626向逻辑或运算部627输入第一中间图像的各像素的值，从另一个比较部626向逻辑或运算部627输入作为与该像素相同的位置的第二中间图像的像素的值。并且，求出第一中间图像的各像素的值与第二中间图像的对应的像素的值的逻辑或。因此，在逻辑或运算部627中，在将第一中间图像和第二中间图像准确重叠的情况下，对于第一中间图像以及第二中间图像的任一个的缺陷候补的区域所包含的像素(的位置)，输出表示缺陷候补区域的值。另外，对于第一中间图像以及第二中间图像的任一个的缺陷候补的区域所没有包含的像素，输出表示非缺陷区域的值。这样，通过膨胀处理部624、收缩处理部625、两个比较部626以及逻辑或运算部627协作，基于拍摄图像的各像素的值与对该拍摄图像实施了膨胀处理或收缩处理得到的图像的对应的像素的值之差，生成示出对象区域中的缺陷候补的区域的缺陷候补图像(以下，称为“基于自己比较的缺陷候补图像”。)(步骤S32)。换言之，检测出对象区域中的基于自己比较的缺陷候补区域。

[0069] 图12是表示从图8的第二拍摄图像导出的基于自己比较的缺陷候补图像的图。图12的基于自己比较的缺陷候补图像是示出基于自己比较的缺陷候补区域74的二值图像，基于自己比较的缺陷候补区域74除了图8的真缺陷区域71以外，还包含因拍摄图像、或者膨胀处理完的拍摄图像或收缩处理完的拍摄图像导致的多个假缺陷区域。在图11的基于差的缺陷候补区域73与图12的基于自己比较的缺陷候补区域74之间，存在彼此不同的部分。

[0070] 从摇晃比较部623向逻辑与运算部628输入基于差的缺陷候补图像的各像素的值，从逻辑或运算部627向逻辑与运算部628输入基于自己比较的缺陷候补图像的对应的像素的值。并且，求出两图像中的相同位置的像素的值的逻辑与，并输出到虚报减少处理部629。因此，在逻辑与运算部628中，在将两图像准确重叠的情况下，对于基于差的缺陷候补区域
73和基于自己比较的缺陷候补区域74重叠的区域的像素，输出表示重复的缺陷候补区域(以下，称为“重复候补区域”。)的值。另外，对于基于差的缺陷候补区域73和基于自己比较的缺陷候补区域74不重叠的区域的像素，输出表示非缺陷区域的值。这样一来，获取将在基于差的缺陷候补区域73、以及、基于自己比较的缺陷候补区域74中重复的区域作为重复候补区域而示出的重复候补区域图像(步骤S33)。

[0071] 图13是表示从图11的基于差的缺陷候补图像、以及、图12的基于自己比较的缺陷候补图像导出的重复候补区域图像的图。图13的重复候补区域图像示出的重复候补区域75的面积比图11中的基于差的缺陷候补区域73的面积、以及、图12中的基于自己比较的缺陷候补区域74的面积的每一个都小。另外，在基于差的缺陷候补图像、以及、基于自己比较的缺陷候补图像这两方存在的与图8的真缺陷区域71对应的区域被检测作为重复候补区域75。

[0072] 在虚报减少处理部629中，通过将重复候补区域75所包含的拍摄图像的各像素的值除以参照图像的对应的像素的值来求出两像素的值之比(比值)。并且，在该比值包含于具有小于1的、下限值以及上限值的规定的第一判定范围的情况下，对该像素(的位置)赋予表示暗缺陷区域的值。在该比值包含于具有大于1的、下限值以及上限值的规定的第二判定范围的情况下，对该像素赋予表示明缺陷区域的值。对于该比值不包含于第一判定范围以及第二判定范围的任一个的像素、以及、重复候补区域75所不包含的像素，赋予表示非缺陷区域的值。这样一来，获取示出第一判定范围所包含的暗缺陷区域、以及、第二判定范围所包含的明缺陷区域的三值图像。例如，第一判定范围R1是(0.1＜R1＜0.8)，第二判定范围R2是(1.2＜R2＜2.5)。也可以对第一判定范围R1以及第二判定范围R2进行适当变更。

[0073] 上述第一判定范围以及第二判定范围是用于基于拍摄图像的各像素的值与参照图像的对应的像素的值之比来检测缺陷候补区域的范围。因此，虚报减少处理部629中的上述处理是将在基于拍摄图像与参照图像之间的上述比而检测出的缺陷候补区域、和重复候补区域75中重复的区域作为缺陷区域来进行检测的处理。

[0074] 在面积过滤部620中，将在该三值图像中具有表示暗缺陷区域的值并且彼此连续的像素的集合确定为暗缺陷区域，在该暗缺陷区域的面积小于规定的面积阈值的情况下，将该暗缺陷区域所包含的像素的值变更为表示非缺陷区域的值(修正)。同样地，将具有表示明缺陷区域的值并且彼此连续的像素的集合确定为明缺陷区域，在该明缺陷区域的面积小于规定的面积阈值的情况下，将该明缺陷区域所包含的像素的值变更为表示非缺陷区域的值。具有面积阈值以上的面积的暗缺陷区域以及明缺陷区域的像素的值保持不变。由此，针对注目拍摄部32的对象区域获取示出面积过滤完的缺陷区域的缺陷区域图像(步骤S34)。在以下的处理中，缺陷区域图像被作为将明缺陷区域以及暗缺陷区域共同作为缺陷区域而示出的二值图像来处理，各缺陷区域表示明缺陷区域或暗缺陷区域中的哪一个的缺陷区域信息被另行制作。

[0075] 图14是表示从图13的重复候补区域图像导出的缺陷区域图像的图。图14的缺陷区域图像示出的缺陷区域76的面积比图13中的重复候补区域75的面积小。实际上，由于将与真缺陷区域71对应的区域维持为缺陷区域76，所以可以说通过虚报减少处理部629的处理，减少假缺陷区域(虚报)。

[0076] 由缺陷检测部62实现的上述处理，通过检测控制部64的控制，针对多个第一拍摄图像以及第二拍摄图像全部进行。因此，在缺陷检测部62中，通过使用各第一拍摄图像和与该第一拍摄图像对应的第一参照图像，生成示出第一缺陷区域的第一缺陷区域图像，检测出第一缺陷区域(图4：步骤S16)。另外，通过使用第二拍摄图像和与该第二拍摄图像对应的第二参照图像，生成示出第二缺陷区域的第二缺陷区域图像，检测出第二缺陷区域(步骤S17)。将从基于N°的照明的第一拍摄图像获取的第一缺陷区域图像称为“基于N°的照明的第一缺陷区域图像”，在上述步骤S16中，获取基于-90°的照明的第一缺陷区域图像、基于-45°的照明的第一缺陷区域图像、基于0°的照明的第一缺陷区域图像、基于+45°的照明的第一缺陷区域图像、以及、基于+90°的照明的第一缺陷区域图像。

[0077] 图15是表示从图6的第一拍摄图像导出的基于-45°的照明的第一缺陷区域图像的图。图15的第一缺陷区域图像示出第一缺陷区域77，第一缺陷区域77包含图6的真缺陷区域71。另一方面，已经叙述的图14表示从图8的第二拍摄图像导出的基于-90°、-45°、0°、+45°、+90°的全部的照明的第二缺陷区域图像。图14的第二缺陷区域图像示出第二缺陷区域76，第二缺陷区域76包含图8的真缺陷区域71。多个第一缺陷区域图像以及第二缺陷区域图像被输出到缺陷更新部63。

[0078] 图16是表示缺陷更新部63的结构的图。缺陷更新部63将从多个拍摄图像导出的缺陷区域的一部分确定为确定缺陷区域。具体而言，向多个逻辑与运算部631依次输入分别基于-90°、-45°、0°、+45°、+90°的照明的多个第一缺陷区域图像的像素的值。另外，也向多个逻辑与运算部631依次输入第二缺陷区域图像的像素的值。并且，在各逻辑与运算部631中，求出第二缺陷区域图像的各像素的值、和第一缺陷区域图像的对应的像素的值的逻辑与，并输出到逻辑或运算部632。因此，在各逻辑与运算部631中，在将第二缺陷区域图像和第一缺陷区域图像准确重叠的情况下，对于第二缺陷区域76和第一缺陷区域77重叠的区域的像素，输出表示确定缺陷区域的值。另外，对于第二缺陷区域76和第一缺陷区域77未重叠的区域的像素(即，剩余的全部像素)，输出表示非缺陷区域的值。这样一来，在第二缺陷区域76以及第一缺陷区域77中重复的区域，作为对象区域中的确定缺陷区域被实质确定。

[0079] 在逻辑或运算部632中，对于第二缺陷区域图像的各像素，求出从多个逻辑与运算部631输入的值的逻辑或，并输出到面积过滤部633。即，对于第二缺陷区域图像的各像素，在从某个逻辑与运算部631输入表示确定缺陷区域的值的情况下，表示确定缺陷区域的值被输出到面积过滤部633，在从所有的逻辑与运算部631输入表示非缺陷区域的值的情况下，表示非缺陷区域的值被输出到面积过滤部633。在面积过滤部633中，对于第二缺陷区域图像的各像素，生成将从逻辑或运算部632输入的值作为该像素的位置的值的图像。并且，在该图像中，将具有表示确定缺陷区域的值并且彼此连续的像素的集合确定为确定缺陷区域，在该确定缺陷区域的面积小于规定的面积阈值的情况下，将该确定缺陷区域所包含的像素的值变更为表示非缺陷区域的值。具有面积阈值以上的面积的确定缺陷区域的像素的值保持不变。由此，如图17所示，针对注目拍摄部32的对象区域，获取示出确定缺陷区域78的确定缺陷区域图像(步骤S18)。确定缺陷区域78是针对图14的第二缺陷区域76以及图15的第一缺陷区域77的每一个进行了更新得到的缺陷区域。确定缺陷区域78的位置与图6以及图8的真缺陷区域71一致。

[0080] 在控制部60中，确认是否所有的选择拍摄部被指定为注目拍摄部。在此，由于作为注目拍摄部，存在未指定的选择拍摄部(步骤S19)，所以另一个斜方拍摄部32被指定为注目拍摄部(步骤S13)。如上所述，在从上侧向下方观察主体11的情况下(参照图2)，4个斜方拍摄部32在周向上以90°的角度间隔排列，因此，未获取确定缺陷区域图像的对象物9的区域，成为针对新的注目拍摄部32的对象区域。

[0081] 当注目拍摄部32被指定时，与上述同样，对于对象区域，获取基于-90°、-45°、0°、+45°、+90°的照明的5个第一拍摄图像(步骤S14)，接着，获取基于-90°、-45°、0°、+45°、+90°的所有照明的第二拍摄图像(步骤S15)。通过使用各第一拍摄图像和与该第一拍摄图像对应的第一参照图像，生成第一缺陷区域图像(步骤S16)，通过使用第二拍摄图像和与该第二拍摄图像对应的第二参照图像，生成第二缺陷区域图像(步骤S17)。然后，从多个第一缺陷区域图像以及第二缺陷区域图像，获取针对对象区域的确定缺陷区域图像(步骤S18)。

[0082] 在检查装置1中，将所有的选择拍摄部作为注目拍摄部，进行与上述确定缺陷区域图像的获取相关的处理(步骤S19)。由此，针对对象物9中的在周向以90°的角度间隔排列的4个对象区域的每一个，获取确定缺陷区域图像。

[0083] 接着，在控制部60中，确认是否使工作台2转动了规定次数。在此，由于未进行工作台2的转动(步骤S20)，所以工作台转动部21使工作台2以中心轴J1为中心转动45°(步骤S21)。由此，在上述4个对象区域中的在周向上彼此相连的两个对象区域的各组合中，该两个对象区域之间的区域与某个斜方拍摄部32相向。并且，与上述同样，反复进行步骤S13～S18(步骤S19)。结果，针对对象物9中的在周向上以45°的角度间隔排列的8个对象区域的每一个，获取确定缺陷区域图像。8个对象区域在整个周向上连续，因此在整个周向上检测对象物9的缺陷。8个对象区域可以彼此局部重叠。在控制部60中，确认工作台2转动了规定次数，完成对对象物9的检查(步骤S20)。

[0084] 在上述处理例中，对如下情况进行了说明，即，将4个斜方拍摄部32指定为选择拍摄部，并利用相对于选择拍摄部即各斜方拍摄部32位于-90°、-45°、0°、+45°、+90°的角度位置的斜方光源部42作为确定光源部组，但是，选择拍摄部以及确定光源部组也可是其他组合。例如，也可以将4个侧方拍摄部33指定为选择拍摄部，并利用相对于选择拍摄部即各侧方拍摄部33位于-90°、-45°、0°、+45°、+90°的角度位置的侧方光源部43作为确定光源部组。另外，也可以针对选择拍摄部即斜方拍摄部32，利用多个侧方光源部43作为确定光源部组，也可以针对选择拍摄部即侧方拍摄部33，利用多个斜方光源部42作为确定光源部组。

[0085] 进而，可以将上方拍摄部31指定为选择拍摄部，可以利用上方光源部41作为确定光源部组中的一个。可以根据对象物9的种类的不同，仅利用相对于选择拍摄部位于-45°、0°、+45°的角度位置的光源部来作为确定光源部组。确定光源部组可以包括上方光源部41、斜方光源部42以及侧方光源部43。优选针对各选择拍摄部而作为确定光源部组利用的光源部的个数在3以上(例如5以下)。在检查装置1中，通过将各种各样的拍摄部指定为选择拍摄部，针对各选择拍摄部利用各种各样的多个光源部作为确定光源部组，由此能够进行高精度的缺陷检测。

[0086] 在此，在由拍摄部获取的拍摄图像中，通过来自光源部的光在对象物9的表面处的正反射成分而主要形成像素的值高的明亮的区域，因此像素的值容易因对象物9的表面的微小的凹凸的影响而发生很大变化。即，在明亮的区域中，容易受到梨皮状的表面的影响，容易产生假缺陷。另一方面，通过来自光源部的光在对象物9表面处的扩散反射成分而主要形成像素的值低的昏暗的区域，因此像素的值难以因对象物9的表面的微小的凹凸的影响而发生变化。即，在昏暗的区域中，难以受到梨皮状的表面的影响，难以产生假缺陷。

[0087] 在检查装置1的缺陷检测部62中，基于拍摄图像的各像素的值与参照图像的对应的像素的值之差来检测缺陷候补区域，基于该缺陷候补区域所包含的拍摄图像的各像素的值与参照图像的对应的像素的值之比来检测缺陷区域。因此，例如，即便是在拍摄图像和参照图像之间像素的值之差相同的缺陷候补区域，成为基准的参照图像的像素的值高的缺陷候补区域与参照图像的像素的值低的缺陷候补区域相比，像素的值的比更接近1(可认定为像素的值之差的影响度小。)，而能够将这样的缺陷候补区域作为表示假缺陷的可能性高的区域而进行排除等。结果，在缺陷检测部62中，能够将因对象物9的梨皮状的表面处的微小的凹凸产生的假缺陷区域适当除去，即，能够抑制检测出假缺陷，并能够高精度地检测出缺陷(真缺陷)。

[0088] 在缺陷检测部62中，进一步检测出基于自己比较的缺陷候补区域，检测在基于差的缺陷候补区域、以及、基于自己比较的缺陷候补区域中重复的区域作为重复候补区域。并且，基于重复候补区域所包含的拍摄图像的各像素的值与参照图像的对应的像素的值之比来检测缺陷区域。由此，能够进一步抑制检测出假缺陷，并能够高精度地检测出缺陷。另外，基于上述比检测出的缺陷区域将拍摄图像的像素的值比参照图像的对应的像素的值低的缺陷候补区域、和比参照图像的对应的像素的值高的缺陷候补区域进行区别而包含，由此能够区别明缺陷以及暗缺陷来进行处理。

[0089] 在检查装置1中，设置有多个光源部，多个光源部分别从多个方向向与拍摄部相向的对象区域照射光，从多个光源部中的一个光源部照射光，并由拍摄部获取第一拍摄图像，从多个光源部照射光，并由拍摄部获取第二拍摄图像。另外，使用第一拍摄图像和与该第一拍摄图像对应的第一参照图像来检测第一缺陷区域，使用第二拍摄图像和与该第二拍摄图像对应的第二参照图像来检测第二缺陷区域。并且，在第一缺陷区域以及第二缺陷区域重复的区域，被确定为对象区域中的更新后的缺陷区域(确定缺陷区域)。由此，能够进一步抑制检测出假缺陷，并能够高精度地检测缺陷。

[0090] 另外，在对象物9的检查中，通过依次使用多个光源部的每一个，由拍摄部获取多个第一拍摄图像。另外，通过对该多个第一拍摄图像和与该多个第一拍摄图像对应的多个第一参照图像分别进行比较，生成分别示出第一缺陷区域的多个第一缺陷区域图像。并且，在各第一缺陷区域图像示出的第一缺陷区域、以及、第二缺陷区域中重复的区域，被确定为对象区域中的更新后的缺陷区域。这样，针对一个对象区域(一个拍摄部的拍摄位置)，使用多个光源部获取多个第一拍摄图像，基于该多个第一拍摄图像检测该对象区域的缺陷区域，由此能够更稳定(更可靠)地检测对象物9的表面中的缺陷。

[0091] 在检查装置1中，通过设置上方拍摄部31、多个斜方拍摄部32、以及多个侧方拍摄部33，能够减少对象物9中的死角，提高对象物9的检查的可靠性。

[0092] 在上述处理例中，仅针对基于差的缺陷候补区域、和基于自己比较的缺陷候补区域重复的区域(重复候补区域)，求出拍摄图像和参照图像之间的像素的值之比，但是像素的值的比也可以针对图像整体求出。该情况下，生成表示拍摄图像和参照图像之间的像素的值之比的图像，在该图像中检测出第一判定范围以及第二判定范围所包含的区域作为缺陷候补区域(以下，称为“基于比的缺陷候补区域”。)。并且，检测出在基于差的缺陷候补区域、基于自己比较的缺陷候补区域、以及、基于比的缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域。另外，根据对象物9的种类和/或图像的拍摄条件等的不同，也可以省略基于自己比较的缺陷候补区域的检测。

[0093] 如以上所述，在检查装置1中，在基于拍摄图像的各像素的值和参照图像的对应的像素的值之差检测出的第一缺陷候补区域、和拍摄图像的各像素的值和参照图像的对应的像素的值之比检测出的第二缺陷候补区域中重复的区域被检测为缺陷区域很重要。由此，能够抑制检测出假缺陷，并能够高精度地检测出缺陷。

[0094] 优选，基于表示拍摄图像与参照图像之差的图像求出第一缺陷候补区域，接着，基于第一缺陷候补区域所包含的拍摄图像的各像素的值与参照图像的对应的像素的值之比检测缺陷区域。这样，将在拍摄图像和参照图像中求出上述比的像素限制为第一缺陷候补区域所包含的像素，由此能够不针对不必要的像素求出上述比而高效率地检测出缺陷。同样地，基于表示拍摄图像与参照图像之比的图像求出第二缺陷候补区域，接着，也可以基于第二缺陷候补区域所包含的拍摄图像的各像素的值与参照图像的对应的像素的值之差检测缺陷区域。即，在将在拍摄图像和参照图像中求出上述差的像素限制为第二缺陷候补区域所包含的像素的情况下，也能够高效率地检测出缺陷而不针对不必要的像素求出上述差。

[0095] 从进一步抑制检测出假缺陷这一观点来看，优选进行基于自己比较的缺陷候补区域的检测。在该情况下，根据应检测的缺陷的种类的不同，基于自己比较的缺陷候补区域可以是将表示拍摄图像和实施了膨胀处理的拍摄图像之差的图像二值化得到的区域(即，第一中间图像表示的区域)、或、将表示拍摄图像和实施了收缩处理的拍摄图像之差的图像二值化得到的区域(即，第二中间图像表示的区域)中的一个。这样，基于拍摄图像的各像素的值、和对拍摄图像实施了膨胀处理或收缩处理的图像的对应的像素的值之差来检测第三缺陷候补区域，检测出在第一缺陷候补区域、第二缺陷候补区域以及第三缺陷候补区域中重复的区域作为缺陷区域，由此，能够进一步抑制检测出假缺陷。此外，在图9的缺陷检测部62中，通过将在拍摄图像和参照图像中求出比的像素限制为第一缺陷候补区域以及第三缺陷候补区域的双方所包含的像素，能够实现高效地检测出缺陷。

[0096] 在上述检查装置1中能够进行各种变形。

[0097] 在上述实施方式中，在拍摄图像和参照图像之间求出像素的值之差来检测缺陷候补区域的处理、和求出像素的值之比来检测缺陷候补区域的(或限定)处理分别单独进行，但是根据对象物9的种类和/或图像的拍摄条件等的不同，也可以同时进行所述处理。该情况下，获取表示在拍摄图像和参照图像之间像素的值之差(的绝对值)的差分图像，将差分图像的各像素的值除以参照图像的对应的像素的值由此求出比。并且，在各像素之比例如包含于具有上限值以及下限值的判定范围的情况下，对该像素的位置赋予表示缺陷区域的值。在像素之比未包含于该判定范围的情况下，对该像素的位置赋予表示非缺陷区域的值。即使在该情况下，在拍摄图像与参照图像之间，例如，当存在像素的值之差相同的多个区域时，根据参照图像的像素的值(考虑该差相对于参照图像的像素的值的影响度)，也能够将该多个区域区别为假缺陷区域和真缺陷区域。如以上所述，在缺陷检测部62中，通过基于拍摄图像和参照图像之间的差分图像的各像素的值、和参照图像的对应的像素的值之比来检测缺陷区域，能够抑制检测出假缺陷，并能够高精度地检测出真缺陷。

[0098] 根据对象物9的种类的不同，可以针对一个选择拍摄部仅产生第一缺陷区域图像或第二缺陷区域图像中的一个，将该缺陷区域图像示出的缺陷区域作为最终的缺陷区域处理。

[0099] 在上述检查装置1中，从多个方向向对象区域分别照射光的多个光源部作为第二照明部来设置，该多个光源部中的一个光源部作为第一照明部，但是，如图18所示，也可以将第一照明部51和第二照明部52设置为不同的照明部。第一照明部51能够仅从一个方向向对象物9的表面中的对象区域照射光，第二照明部52能够从多个方向向对象区域照射光。在图18的例子中，第一照明部51固定在拍摄部30的上表面上，第二照明部52固定在拍摄部30的下表面上。在第二照明部52中，呈沿周向的圆弧状排列有多个LED。为了更稳定地检测缺陷，优选如在图18中以双点划线所示那样，设置有从相互不同的多个方向向对象区域照射光的多个第一照明部51，使用多个第一照明部51获取表示对象区域的多个第一拍摄图像。另外，也能够省略第一照明部51，仅将第二照明部52中相互连续的数个LED作为第一照明部点亮，来仅从一个方向向对象区域照射光。在该情况下，在第二照明部52中，分别相互连续的数个LED即多个光源部在周向上排列。

[0100] 如果第一照明部能够实质上仅从一个方向向对象区域照射光，则例如也可以从稍微离开(分离)的多个光源向对象区域照射光。从使用第二照明部获取的第二拍摄图像和使用第一照明部获取的第一拍摄图像中使拍摄条件(产生假缺陷区域的位置)不同的观点考虑，优选第二照明部向对象区域的各位置照明的光的照明方向包括分离45度以上的两个方向，更优选包括分离60度以上的两个方向。

[0101] 在图4的处理的流程中，为了便于理解，说明了利用一个注目拍摄部获取第一拍摄图像、利用该注目拍摄部获取第二拍摄图像、基于该第一拍摄图像生成第一缺陷区域图像、基于该第二拍摄图像生成第二缺陷区域图像依次进行的情况，但是，例如也可以在获取第一拍摄图像后，获取第二拍摄图像、以及生成第一缺陷区域图像并行进行。另外，也可以通过多个选择拍摄部依次获取多个对象区域的第一拍摄图像，接着，获取该多个对象区域的第二拍摄图像。这样，图4的处理的流程能够适当变更。

[0102] 检查装置1可以利用于形成有图案的各种基板或薄膜等、其他对象物的表面中的缺陷的检测。然而，能够抑制检测出假缺陷的检查装置1特别适合于由于表面具有梨皮状的区域(并不限定于金属的表面。)而容易产生假缺陷的对象物的检查。

[0103] 上述实施方式以及各变形例中的结构只要不相互矛盾就可以适当组合。

[0104] 对发明进行了详细描述说明，但上述的说明仅是例示而不是限定。因此，只要不脱离本发明的范围，能够有各种变形和方式。

[0105] 附图标记的说明

[0106] 1  检查装置

[0107] 9  对象物

[0108] 30～33  拍摄部

[0109] 41～43  光源部

[0110] 51  第一照明部

[0111] 52  第二照明部

[0112] 62  缺陷检测部

[0113] 63  缺陷更新部

[0114] 64  检测控制部

[0115] 69  存储部

[0116] 73，74  缺陷候补区域

[0117] 75  重复候补区域

[0118] 76  第二缺陷区域

[0119] 77  第一缺陷区域

[0120] 78  确定缺陷区域

[0121] 691  第一参照图像数据

[0122] 692  第二参照图像数据

[0123] S11～S21，S31～S34  步骤