一种过滤器

摘要

本发明公开了一种过滤器，包括壳体、滤芯和隔板；隔板安装在壳体内，且将壳体分隔成上游腔和下游腔，隔板上开有通孔，滤芯安装在隔板上，且滤芯设置在上游腔内，滤芯的入口与上游腔导通，滤芯出口与通孔导通；壳体的底端开设进液孔，进液孔与上游腔导通；壳体的顶端开设有出液孔和排气孔，出液孔与下游腔导通。本发明提供的过滤器，由于隔板将壳体分成上下两个腔体，上游腔位于壳体的底端，下游腔位于壳体的顶端，排气孔与下游腔导通，因此，随着壳体内液体的增多，实现了从下往上将空气从排气孔排出，即实现了上下两个腔体的空气的排出，减少了过滤器内的空气。

权利要求

1.一种过滤器，其特征在于，包括壳体(1)、滤芯(2)和隔板(9)；

所述隔板(9)安装在所述壳体(1)内，且将所述壳体(1)分隔成上游腔和下游腔，所述隔板(9)上开有通孔(902)，所述滤芯(2)安装在所述隔板(9)上，且所述滤芯(2)设置在所述上游腔内，所述滤芯(2)的入口与所述上游腔导通，所述滤芯(2)的滤芯出口(203)与所述通孔(902)导通；

所述壳体(1)的底端开设进液孔(3)，所述进液孔(3)与所述上游腔导通；

所述壳体(1)的顶端开设有出液孔(4)和排气孔(5)，所述出液孔(4)与所述下游腔导通。

2.根据权利要求1所述的过滤器，其特征在于，还包括：安装在所述进液孔(3)上的进液管(6)；

安装在所述出液孔(4)上的出液管(7)；

安装在所述排气孔(5)上的排气管(8)。

3.根据权利要求1所述的过滤器，其特征在于，所述壳体(1)包括筒体(101)、上接头(102)和下接头(103)；

所述上接头(102)安装在所述筒体(101)的顶端，且所述出液孔(4)和所述排气孔(5)均开设在所述上接头(102)上；

所述下接头(103)安装在所述筒体(101)的底端，且所述进液孔(3)开设在所述下接头(103)上。

4.根据权利要求3所述的过滤器，其特征在于，所述隔板(9)上设置有凸台(901)，所述筒体(101)内设置有卡槽(10101)，所述凸台(901)卡接在所述卡槽(10101)内。

5.根据权利要求4所述的过滤器，其特征在于，所述隔板(9)与所述筒体(101)在所述凸台(901)和所述卡槽(10101)的卡接处通过热熔连接。

6.根据权利要求4所述的过滤器，其特征在于，所述滤芯(2)与所述隔板(9)通过热熔连接。

7.根据权利要求3所述的过滤器，其特征在于，下接头(103)上还开设有排液孔(10)。

8.根据权利要求7所述的过滤器，其特征在于，还包括安装在所述排液孔(10)上的排液管(11)。

9.根据权利要求3-7中所述的过滤器，其特征在于，所述上接头(102)和所述下接头(103)均与所述筒体(101)通过热熔连接。

10.根据权利要求1-8中任意一项所述的过滤器，其特征在于，所述过滤器为FPA材料的过滤器。

说明书

一种过滤器

技术领域

[0001] 本发明涉及过滤装置技术领域，尤其涉及一种过滤器。

背景技术

[0002] 过滤器作为一种液体分离装置来控制工业过程中的杂质，已广泛应用在药物、食品和饮料等行业。过滤器的腔体内常常会存留空气，当过滤流体进入腔体时，由于腔体空间被空气占据，只能流入少量流体，从而过滤流速受到影响。严重时，可能导致腔体受压过大，进而影响过滤器的滤膜功能。此外，过滤器内存在的部分空气会进入产品，进而影响产品性能。例如，在光刻工艺中会将一个或多个喷嘴喷洒显影液在硅片表面，如果显影液存在气泡，则容易造成显影不均匀，从而出现产品缺陷。

[0003] 因此，如何减少过滤器腔体内的空气是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

[0004] 本发明的目的是提供一种过滤器，减少过滤器腔体内的空气。

[0005] 为了实现上述目的，本发明提供了如下方案：

[0006] 一种过滤器，包括壳体、滤芯和隔板；

[0007] 所述隔板安装在所述壳体内，且将所述壳体分隔成上游腔和下游腔，所述隔板上开有通孔，所述滤芯安装在所述隔板上，且所述滤芯设置在所述上游腔内，所述滤芯的入口与所述上游腔导通，所述滤芯的滤芯出口与所述通孔导通；

[0008] 所述壳体的底端开设进液孔，所述进液孔与所述上游腔导通；

[0009] 所述壳体的顶端开设有出液孔和排气孔，所述出液孔与所述下游腔导通。

[0010] 优选地，在上述过滤器中，还包括：

[0011] 安装在所述进液孔上的进液管；

[0012] 安装在所述出液孔上的出液管；

[0013] 安装在所述排气孔上的排气管。

[0014] 优选地，在上述过滤器中，所述壳体包括筒体、上接头和下接头；

[0015] 所述上接头安装在所述筒体的顶端，且所述出液孔和所述排气孔均开设在所述上接头上；

[0016] 所述下接头安装在所述筒体的底端，且所述进液孔开设在所述下接头上。

[0017] 优选地，在上述过滤器中，所述隔板上设置有凸台，所述筒体内设置有卡槽，所述凸台卡接在所述卡槽内。

[0018] 优选地，在上述过滤器中，所述隔板与所述筒体在所述凸台和所述卡槽的卡接处通过热熔连接。

[0019] 优选地，在上述过滤器中，所述滤芯与所述隔板通过热熔连接。

[0020] 优选地，在上述过滤器中，下接头上还开设有排液孔。

[0021] 优选地，在上述过滤器中，还包括安装在所述排液孔上的排液管。

[0022] 优选地，在上述过滤器中，所述上接头和所述下接头均与所述筒体通过热熔连接。

[0023] 优选地，在上述过滤器中，所述过滤器为FPA材料的过滤器。

[0024] 从上述的技术方案可以看出，本发明提供的过滤器，使用时，将待过滤液体来源处与进液孔连通，将出液孔与过滤系统的出口连通，待过滤液体从进液孔进入壳体的上游腔，接着通过滤芯的入口进入滤芯，杂质被附着在滤芯上，使得待过滤液体被过滤成干净的过滤液体，过滤液体从滤芯的滤芯出口出来，通过隔板的通孔进入壳体的下游腔，随着过滤液体的增多，下游腔被过滤液体充满，将气体从壳体内通过排气孔排出，过滤液体从出液孔出来，紧接着，把排气孔堵上，洁净的过滤液体从出液孔流出。本发明提供的过滤器，由于隔板将壳体分成上下两个腔体，上游腔位于壳体的底端，下游腔位于壳体的顶端，排气孔与下游腔导通，因此，随着壳体内液体的增多，实现了从下往上将空气从排气孔排出，即实现了上下两个腔体的空气的排出，减少了过滤器内的空气。

附图说明

[0025] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0026] 图1为本发明提供的过滤器的结构示意图；

[0027] 图2为本发明提供的过滤器的剖视结构示意图；

[0028] 图3为本发明提供的过滤器的滤芯的结构示意图；

[0029] 图4为本发明提供的过滤器的隔板的结构示意图。

[0030] 其中，图1-4中：

[0031] 壳体1、滤芯2、上接口201、下平头202、滤芯出口203、进液孔3、出液孔4、排气孔5、进液管6、出液管7、排气管8、筒体101、卡槽10101、上接头102、下接头103、隔板9、凸台901、通孔902、排液孔10、排液管11。

具体实施方式

[0032] 为了使本领域的技术人员更好的理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。

[0033] 实施例一

[0034] 请参阅图1-4，本发明公开了一种过滤器，其中，过滤器包括壳体1、滤芯2和隔板9，隔板9安装在壳体1内，且将壳体1分隔成上游腔和下游腔，隔板上9开有通孔902。

[0035] 滤芯2安装在壳体1的内部，其顶端和底端分别设有上接口201和下平头202，在上接口201上开有滤芯出口203，滤芯2的入口是指滤芯2的整个外壁，壳体1为封闭的，仅在壳体1的底端开设进液孔3，具体地，滤芯2的上接口201安装在隔板9上，且滤芯2的滤芯出口203与通孔902导通，且滤芯2设置在上游腔内，下游腔与通孔902导通；壳体1的底端开设进液孔3，进液孔3与上游腔导通；壳体1的顶端开设有出液孔4和排气孔5，出液孔4与下游腔导通。

[0036] 在使用该过滤器过滤液体时，将待过滤液体来源处与进液孔3连通，将出液孔4与过滤系统的出口连通，待过滤液体从进液孔3进入壳体1的上游腔，接着通过滤芯2的入口进入滤芯2，杂质被附着在滤芯2上，使得待过滤液体被过滤成干净的过滤液体，过滤液体从滤芯出口203出来，通过隔板9的通孔901进入壳体1的下游腔，随着过滤液体的增多，下游腔被过滤液体充满，将气体从壳体1内通过排气孔5排出，过滤液体也从出液孔4出来，紧接着，把排气孔5堵上，洁净的过滤液体从出液孔4流出。本发明提供的过滤器，由于隔板9将壳体1分成上游腔和下游腔下两个腔体，上游腔位于壳体1的底端，下游腔位于壳体1的顶端，排气孔5与下游腔导通，因此，随着壳体1内液体的增多，实现了从下往上将空气从排气孔5排出，即实现了上下两个腔体的空气的排出，减少了过滤器内的空气。

[0037] 实施例二

[0038] 在本发明提供又一实施例中，本实施例中的过滤器和实施例一中的过滤器的结构类似，对相同之处就不再赘述了，仅介绍不同之处。

[0039] 本实施例具体公开了过滤器还包括进液管6、出液管7和排气管8，进液管6安装在进液孔3上，且与进液孔3导通；出液管7安装在出液孔4上，且与出液孔4导通；排气管8安装在排气孔5上。且与排气孔5导通。设置进液管6、出液管7和排气管8方便了待过滤液体进入壳体1内、过滤干净的过滤液体从壳体1流出及壳体1内的气体排出。

[0040] 其中，进液管6、出液管7和排气管8可以是与壳体1通过螺纹等可拆卸连接，也可以是一体式连接。为了方便更换进液管6、出液管7和排气管8，优选，进液管6、出液管7和排气管8均与壳体1可拆卸连接。

[0041] 进一步地，本发明公开了过滤器中，壳体1分为三部分，包括筒体101、上接头102和下接头103。其中，上接头102安装在筒体101的顶端，且出液孔4和排气孔5均开设在上接头102上，下接头103安装在筒体101的底端，且进液孔3开设在下接头103上。

[0042] 更进一步地，本发明公开了上接头102和下接头103均与筒体101通过热熔连接，需要说明的是，上接头102和下接头103也可以与筒体101通过其他的方式连接，不仅仅限于本发明公开的热熔的方式，只要满足可以实现上、下接头103与筒体101的密封性连接均属于本发明保护的范围。

[0043] 为了便于滤芯2的安装及将待过滤液体与已过滤液体分开，本发明公开了隔板9上设置有凸台901，筒体101内设置有卡槽10101，凸台901卡接在卡槽10101内，上接头102与隔板9之间形成下游腔，下接头103与隔板9之间形成上游腔。具体地，凸台901为环形凸台901，卡槽10101为环形卡槽10101。

[0044] 本发明公开了滤芯2与隔板9通过热熔连接，隔板9与筒体101在凸台901和卡槽10101的卡接处通过热熔连接。具体为：当筒体101与上接头102热熔连接时，部分融液能进入卡槽10101和凸台901的间隙，冷却后即可形成密封，使得过滤液体只能从通孔902流出。

[0045] 在半导体行业中，过滤液体常常为腐蚀性的液体，如酸(HF、HCL、H2SO4)、碱(NaOH、NH4OH、TMAH)、溶剂(二甲苯、丙酮、三氯乙烯)等，所以筒体101、上接头102、下接头103和隔板9的材质为PFA材料，即过滤器为FPA材料的过滤器，耐酸耐碱。

[0046] 实施例三

[0047] 在本发明提供第三实施例中，本实施例中的过滤器和实施例二中的过滤器的结构类似，对相同之处就不再赘述了，仅介绍不同之处。

[0048] 本实施例中，具体公开了下接头103上还开设有排液孔10，用于排出壳体1内剩余的液体。

[0049] 为了便于壳体1内剩余的液体排出，本发明公开了过滤器还包括安装在排液孔10上的排液管11。当不使用过滤器时，将壳体1内的剩余的液体从排液管11排出。

[0050] 在本发明中的“第一”、“第二”等均为描述上进行区别，没有其他的特殊含义。

[0051] 对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和创造性特点相一致的最宽的范围。