偏振元件单元以及偏振光照射装置

摘要

提供一种即使不进行单独的偏振片的角度调整也能够实现均匀性高的偏振轴的偏振元件单元以及偏振光照射装置。偏振元件单元(13)具备沿第一方向(Y方向)排列配置的多个偏振片(13a)、沿第一方向(Y方向)延伸的基准部件(132)、以及在第二方向(X方向)上与基准部件(132)对置地配置并分别保持多个偏振片(13a)的多个保持部件(133)。多个保持部件(133)分别向第二方向(X方向)将多个偏振片(13a)的侧面按压于基准部件(132)具有的相同的基准面(132a)来进行保持。

权利要求

1.一种偏振元件单元，其特征在于，具备：排列配置的多个偏振片；

沿第一方向延伸的基准部件；以及

多个保持部件，隔着所述多个偏振片在正交于所述第一方向的第二方向上与所述基准部件相对置地配置，分别对所述多个偏振片进行保持，所述多个保持部件分别向所述第二方向将所述多个偏振片的侧面按压于所述基准部件所具有的相同的基准面来进行保持。

2.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，所述保持部件经由弹性部件按压所述偏振片。

3.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，所述偏振元件单元还具备将所述基准部件与所述保持部件连结的连结部件。

4.如权利要求1至3中任一项所述的偏振元件单元，其特征在于，所述多个偏振片分别使所述第一方向的端部相互重合地配置。

5.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，所述多个偏振片分别相对于与所述第一方向以及所述第二方向平行的面倾斜地配置。

6.一种偏振光照射装置，其特征在于，具备：光源；以及

权利要求1至5中任一项所述的偏振元件单元，对来自所述光源的光进行偏振，所述光源沿所述第一方向配置。

7.一种偏振光照射方法，其特征在于，照射通过多个偏振片将来自沿第一方向配置的光源的光偏振而得的偏振光，所述多个偏振片被排列配置，且分别被保持部件向正交于所述第一方向的第二方向按压于沿所述第一方向延伸的基准部件所具有的相同的基准面来被保持。

说明书

偏振元件单元以及偏振光照射装置

技术领域

[0001] 本发明涉及用于照射偏振光的偏振元件单元以及偏振光照射装置。

背景技术

[0002] 近年，关于以液晶面板为首的液晶显示元件的取向膜及视角补偿膜的取向层等的取向处理，采用照射规定的波长的偏振光来进行取向的、被称作光取向的技术。

[0003] 在液晶面板中使用的光取向膜与液晶面板共同大型化，为了对这种宽度较宽且带状的长工件进行光取向，使用将棒状的灯与线栅偏振元件组合而成的偏振光照射装置。

[0004] 线栅偏振元件在供光透过的玻璃基板上具有沿一定的方向延伸的导电性或半导电性的线与间隔(line and space)图案。在入射的光中，与栅格的长度方向平行的偏振成分的大部分被反射或被吸收，与栅格的长度方向正交的偏振成分则透过。

[0005] 在专利文献1中公开了一种偏振元件单元，具备多个线栅偏振元件，以及分别单独地对该偏振元件进行保持的框架。在该偏振元件单元中，各偏振元件与灯等的线状光源配合地排列成一列，在保持偏振元件的各框架设有用于分别调整偏振元件的朝向的调节机构。

[0006] 先行技术文献

[0007] 专利文献

[0008] 专利文献1：专利第5652424号公报

发明内容

[0009] 发明所要解决的课题

[0010] 在上述专利文献1所记载的技术中，为了使全部的偏振元件的偏振轴的角度一致，需要通过调节机构分别对各偏振元件的角度进行调整。然而，上述作业耗费时间，且作业上的负担较大。

[0011] 因此，本发明的课题在于，提供一种不进行单个的偏振片的角度调整就能够实现均匀性较高的偏振轴的偏振元件单元以及偏振光照射装置。

[0012] 用于解决课题的手段

[0013] 为了解决上述课题，本发明涉及的偏振元件单元的一方式具备排列配置的多个偏振片；沿第一方向延伸的基准部件；以及隔着所述多个偏振片在正交于所述第一方向的第二方向上与所述基准部件相对置地配置，分别对所述多个偏振片进行保持的多个保持部件；所述多个保持部件分别向所述第二方向将所述多个偏振片的侧面按压于所述基准部件所具有的相同的基准面来进行保持。像这样，由于使多个偏振片抵接并固定于共同的基准面，因此即使不单独地调整偏振片的角度也能够提高偏振片彼此的偏振轴的均匀性。

[0014] 另外，在上述的偏振元件单元中，所述保持部件也可以经由弹性部件按压所述偏振片。在这种情况下，偏振片也可以由机械强度较低的玻璃等构成，并能够防止偏振片的歪斜或破损，且不对偏振片的功能产生影响。

[0015] 并且，在上述的偏振元件单元中，还可以具备连结所述基准部件与所述保持部件的连结部件。在这种情况下，能够抑制由于来自线状光源的热而因热膨胀引起的基准部件与保持部件之间的间隔发生变化，能够抑制偏振片的角度偏离。

[0016] 另外，在上述的偏振元件单元中，所述多个偏振片也可以分别使所述第一方向的端部相互重合地配置。在这种情况下，能够防止未偏振的光(非偏振光)被从偏振片的连接部分照射。另外，由于无需在偏振片的连接部分设置遮挡光的部件，因此能够提高偏振片的排列方向上的偏振光的放射照度(以下，称作“照度”。)的均匀性，作为整体也能够提高偏振光的照度。

[0017] 并且，在上述的偏振元件单元中，所述多个偏振片也可以分别相对于与所述第一方向以及所述第二方向平行的面倾斜地配置。在这种情况下，只要相对于第一方向朝向相同方向倾斜地配置多个偏振片，便能够在更换多个偏振片中的某1个时不拆卸更换对象的偏振片以外的偏振片地、拆卸更换对象的偏振片。像这样，能够容易地进行偏振片的更换作业。

[0018] 另外，本发明涉及的偏振光照射装置的一方式具备光源以及对来自所述光源的光进行偏振的上述任一偏振元件单元，所述光源沿所述第一方向配置。由此，能够实现不单独地进行偏振片的角度调整地提高偏振轴的均匀性的偏振光照射装置。

[0019] 并且，本发明涉及的偏振光照射方法的一方式，照射通过多个偏振片将来自沿第一方向配置的光源的光偏振而得的偏振光，所述多个偏振片被排列配置，且分别被保持部件向正交于所述第一方向的第二方向按压于沿所述第一方向延伸的基准部件所具有的相同的基准面来被保持。由此，即使不单独进行偏振片的角度调整也能够照射提高了偏振轴的均匀性的偏振光。

[0020] 根据本发明，由于使多个偏振片抵接于1个基准面而固定，因此能够实现不单独进行偏振片的角度调整的均匀性较高的偏振轴。

附图说明

[0021] 图1为表示本实施方式的偏振光照射装置的概略构成图。

[0022] 图2为表示偏振元件单元的结构的图。

[0023] 图3为表示偏振元件单元的具体的结构的立体图。

[0024] 图4为表示偏振片的固定方法的图。

[0025] 图5为表示拆卸了偏振元件单元的偏振片后的状态的图。

[0026] 图6为表示台座部件的结构的图。

[0027] 图7为表示偏振片与罩部件的位置关系的图。

[0028] 图8为偏振片的其他配置例。

[0029] 图9为偏振片的其他配置例。

[0030] 图10为表示偏振元件单元的组装步骤的图。

[0031] 图11为灯长度方向上的累积曝光量的变化的图。

[0032] 图12为表示基准部件的调整机构的图。

[0033] 符号说明

[0034] 10…光照射部，11…灯，12…反射镜，13…偏振元件单元，13a…偏振片，13b…框架部件，14…灯室，20…输送部，21…工作台，100…偏振光照射装置，131a、131b…单元基体，132…基准部件，132a…基准面，133…保持部件，133a…弹性部件，134…罩部件，135…罩部件，136…台座部件，136a…倾斜面，136b…保护部，138…连结部件，W…工件。

具体实施方式

[0035] 以下，基于附图说明本发明的实施方式。

[0036] (第一实施方式)

[0037] 图1为表示本实施方式的偏振光照射装置100的概略构成图。

[0038] 偏振光照射装置100具备光照射部10，以及输送工件W的输送部20。在这里，工件W例如是形成有光取向膜的矩形形状的基板。偏振光照射装置100从光照射部10照射偏振光(偏振后的光)，同时通过输送部20使工件W直线移动，对工件W的光取向膜照射上述偏振光来进行光取向处理。

[0039] 光照射部10具备作为线状的光源的灯11，以及反射灯11的光的反射镜12。另外，光照射部10具备配置于该光出射侧的偏振元件单元13。进而，光出射部10具备收容灯11、反射镜12以及偏振元件单元13的灯室14。光照射部10被以灯11的长度方向与正交于工件W的输送路延伸的方向即输送方向的方向一致的状态而设置。在本说明书中，设工件W的输送方向为X方向(第二方向)，与X方向正交的水平方向为Y方向(第一方向)，铅垂方向为Z方向(第三方向)。

[0040] 此外，在图1中，设灯具(光照射部)为1个灯，但也可以是2个灯以上。灯具为2个灯以上时，各灯具在X方向排列设置。灯具的数量可根据光取向处理所需的光量或生产节拍时间等来确定。

[0041] 以下，说明光照射部10的具体的结构。

[0042] 灯11为长条状的所谓的长弧放电灯，其发光部具有对应于与工件W的输送方向正交的方向的宽度的长度。该灯11例如是高压水银灯、或向水银加入其他金属和卤而成的金属卤化物灯、封入水银以外的金属和卤而成的金属卤化物灯等的放电灯，根据封入的发光种类放射波长200nm～400nm的紫外光。

[0043] 作为光取向膜的材料，已知有由波长254nm的光进行取向的材料、以波长313nm的光进行取向的材料、以波长365nm的光进行取向的材料等，光源的种类根据所需的波长来适当选择。

[0044] 此外，作为光源，也可以使用在Y方向直线状地排列并配置放射紫外光的LED或LD而成的线状光源。此时，排列LED或LD的方向相当于灯11的长度方向。

[0045] 另外，也可以在Y方向上排列配置短弧放电灯或长度较短的长弧放电灯。此外，在长度较短的长弧放电灯的情况下，灯的长度方向既可以是Y方向也可以是X方向。

[0046] 反射镜12使来自灯11的放射光向规定的方向反射，其为截面呈椭圆形或抛物线状的筒状会聚镜。反射镜12被配置为其长度方向与灯11的长度方向一致。

[0047] 灯室14在其底面具有供来自灯11的放射光以及由反射镜12反射的反射光通过的光出射口。偏振元件单元13安装于灯室14的光出射口，使通过该光出射口的光偏振。

[0048] 如图2所示，偏振元件单元13具有沿Y方向、即本实施方式中的灯11的长度方向排列配置多个偏振器(偏振片)13a的结构。这些多个偏振片13a例如由框架部件13b进行支承。偏振片13a例如是线栅型偏振元件，偏振片13a的个数配合对偏振光进行照射的区域的大小而适当选择。此外，构成1个偏振元件单元13的各偏振片13a被配置为各自的透光轴朝向相同方向。后述偏振元件单元13的具体的结构。

[0049] 输送部20具备载置工件W的工作台21。工作台21是能够通过真空吸附等的方法对工件W进行吸附保持的平板状的工作台。此外，在本实施方式中，将工作台21以及工件W设为矩形形状，但不限于此，能够设为任意的形状。另外，不限定于用平板状的工作台吸附保持工件W的结构，也可以通过多个销对工件W进行吸附保持的结构。

[0050] 另外，输送部20具备用于使工作台21在X方向上移动的X方向驱动机构22。X方向驱动机构22例如是线性马达驱动机构，具备沿X方向延伸的2根导轨22A、在2根导轨22A之间配置的磁性板22B、以及线圈模块22C。2根导轨22A与磁性板22B配置于未图示的设置台的上表面。磁性板22B由交替改变相邻的磁极的极性地、沿X方向等间隔排列的多个磁铁构成。另外，线圈模块22C在工作台21的背面的中央部被安装为与磁性板22B相对置。此外，作为X方向驱动机构22也能够采用例如利用滚珠螺杆的机构。

[0051] 像这样，工作台21构成为能够沿作为输送轴的导轨22A在X方向上往返移动。此外，X方向驱动机构22的结构不限于图1所示的结构，只要是使工作台21能够在X方向上移动的结构则可以采用任意的构成。

[0052] 并且，输送部20也可以具备构成使工作台21能够沿θ方向(绕Z轴)旋转的旋转控制部的θ移动机构24。本实施方式中，工作台21被安装为能够在固定基体25上向θ方向旋转，θ移动机构24能够调整工作台21的θ方向的旋转角度。

[0053] 工作台21的移动路径被设计成通过光照射部10的下方。输送部20构成为，将工件W输送至由光照射部10照射偏振光的照射区域，且使工件W通过该照射区域。另外，输送部20也可以构成为，在工件W完全通过照射区域后，使该工件W折返而再次通过该照射区域。

[0054] 以下，说明偏振元件单元13的具体的结构。

[0055] 图3为表示偏振元件单元13的具体结构的立体图。保持偏振片13a的框架部件13b具备沿Y方向延伸的2根纵长状的单元空间131a以及131b。在一方的单元基体(第一基体)131a设有基准部件132，在另一方的单元基体(第二基体)131b设有保持部件133。第一基体
131a以及第二基体131b通过螺纹紧固等固定于灯室14(图1)。

[0056] 偏振片13a被基准部件132与保持部件133夹持，从保持部件133朝向基准部件132地向X方向按压从而被保持。保持部件133被设为与偏振片13a的数量相同的数量。例如，偏振元件单元13具有20张偏振片13a的情况下，该偏振元件单元13具有分别与20张偏振片13a对应的20个保持部件132。另外，在基准部件132、保持部件133安装有分别与各偏振片13a对应的罩部件134、135，限制偏振片13a在Z方向上的移动。此外，在图3中，为方便说明，示出将罩部件134、135拆卸了一部分的状态。

[0057] 如图4所示，基准部件132具有供多个偏振片13a抵接的基准面132a。在本实施方式中，将该基准面132a设为与Z方向及Y方向平行的平面。偏振片13a是矩形形状的板材，将形成有线栅的面朝向上方(灯11侧)，侧面与基准部件132的基准面132a抵接而被固定。此外，在本实施方式中，说明了将基准部件132的基准面132a设成与Y方向及Z方向平行的面的情况，但基准面132a也可以是相对于YZ平面而倾斜的面。

[0058] 另外，保持部件133具有弹性部件133a，并经由弹性部件133a向X方向按压偏振片13a的与向基准面132a的抵接侧相反的一侧的侧面，在这里，弹性部件133a例如是弹簧部件，更具体地是板簧。例如如图4所示，板簧133a通过螺钉133b而固定于保持部件133。

[0059] 此外，按压偏振片13a的部件不限于弹性部件133a，例如也可以是螺钉部件。但是，偏振片13a多为将玻璃部件作为母材而制造，其厚度为1.0mm以下，因此若以较强的力向基准面132a按压，有可能歪斜或破损。为此，为了不影响偏振片13a的功能，优选使用弹簧部件等的弹性部件133a来弹性地保持偏振片13a。

[0060] 并且，在本实施方式中，偏振片13a分别相对于水平面(XY平面)倾斜地被配置，并且排列方向(Y方向)端部相互重合地被配置。此外，在这里所说的“重合”是指，从光源侧即正上方向Z方向下侧观察偏振片13a时Y方向两端相互重合而没有间隙。

[0061] 图5为表示拆卸了偏振元件单元13的偏振片13a后的状态的图。偏振元件单元13具备支承偏振片13a的X方向两端部的台座部件136。台座部件136分别配置于基准部件132与保持部件133的附近。

[0062] 台座部件136的上表面136a载置偏振片13a，是支承该偏振片13a的端部下表面的支承面，并成为图6所示的倾斜面。通过将台座部件136设计成规定的形状，能够将偏振片13a的斜向(日文：煽り)角度、偏振片13a间的重叠尺寸以及偏振片13a间的上下间隙设定为所需的值。在本实施方式中，如图6所示，以将全部的偏振片13a向相同的朝向倾斜地配置、即配置成所谓的多米诺倾倒状态的方式设计台座部件136。

[0063] 另外，也可以在台座部件136设置保护部136b，对倾斜地配置的偏振片13a的倾斜方向下侧的端部(图6的左侧端部)进行保护。保护部136被设置用于防止偏振片13的端部与台座部件136抵接而缺失以及固定倾斜配置的偏振片136以避免使其滑动而向Y方向移动。也就是说，保护部136与偏振片13a的倾斜方向的下端部抵接，并作为限制该偏振片13a向倾斜方向的下侧移动的移动限制部发挥功能。保护部136能够由氟树脂(例如，Teflon(铁氟龙)(注册商标))等保护偏振片13的端部的材料构成。

[0064] 另外，优选的是，重合的各偏振片13a以不互相损伤的方式在上下方向上空开间隔地配置。但是，以非偏振光不从偏振片13a彼此的间隙漏出的方式对偏振片13a的倾斜角度及偏振片13a在Y方向的重叠尺寸进行设定。例如，能够设偏振片13a的倾斜角度θ＝0.7度，设偏振片13a在Y方向的长度为145mm，设Y方向的重叠尺寸为15mm，设上下的间隙为0.9mm。

[0065] 并且，优选的是，安装于基准部件132的罩部件134以及安装于保持部件133的罩部件135，分别以不接触偏振片13a的上表面的方式进行配置。在图7中示出罩部件134与偏振片13a的位置关系。在本实施方式中，如图7所示，罩部件134以与偏振片13a相同的倾斜角度配置，在罩部件134的下表面与偏振片13a的上表面之间，在偏振片13a的倾斜方向上形成有一定的间隙。

[0066] 在这里，罩部件134与偏振片13a之间的上下间隙与偏振片13a间的上下间隙相同，罩部件134的Y方向的长度被设定为在Y方向上不与邻接的偏振片13a接触的长度。在本实施方式中，如图7所示，罩部件134在Y方向上的一方的端部(图7的左侧端部)与在Y方向上与该罩部件134邻接的偏振片13a的一方的端部(图7的右侧端部)之间的间隙被尽可能窄地设定。

[0067] 通过这样的结构，罩部件134能够限制邻接的偏振片13a在Y方向上的移动。也就是说，罩部件134靠近偏振片13a的倾斜方向的上端部，并作为限制该偏振片13a向倾斜方向的上侧移动的移动限制部发挥功能。此外，关于罩部件135，与罩部件134相同。

[0068] 此外，在本实施方式中，说明了将偏振片13a相对于水平面(XY平面)倾斜地配置的情况，但偏振片13a也可以水平配置。在这种情况下，例如如图8所示，也可以在高度方向(Z方向)配置2层偏振片13a，且以在Y方向两端部中上层与下层平行地重合的方式相互错开地配置。另外，例如如图9所示，也可以将全部的偏振片13a配置于相同平面上。如图9所示，在将偏振片13a在相同平面上排列配置的情况下，也可以在偏振片13a的连接部分设置用于防止非偏振光的漏出的遮挡部件136c。

[0069] 接下来，说明偏振元件单元13的组装步骤。

[0070] 首先，如图10(a)所示，将第一基体131a与第二基体131b平行地配置，在其间夹着具有规定的宽度的调整宽度块夹具137来固定间隔。然后，在该状态下，通过连结部件138连结并固定第一基体131a与第二基体131b。

[0071] 连结部件138将基体131a、131b间的距离保持为固定，被设置以强化基体131a、131b间的固定。该连结部件138在第一基体131a与第二基体131b之间，例如通过螺钉紧固等而固定。通过设置连结部件138，能够防止基体131a、131b热膨胀而偏振片13a的角度偏离。
此外，为了减少遮光成分，优选连结部件138的根数少于偏振片13a的个数。例如，在偏振片
13a为23张的情况下，连结部件138设为4根。

[0072] 接下来，如图10(b)所示，在第一基体131a上安装基准部件132。然后，从Y方向上的一方侧依次组入偏振片13a。此时，如图10(c)所示，各偏振片13a的X方向端部与基准部件132的基准面132a抵接而配置。另外，偏振片13a使Y方向端部相互重合地配置。之后，如图4所示，偏振片13a通过保持部件133向X方向被按压而固定。由此，多个偏振片13a以全部共同的基准部件132的基准面132a为基准设定配置角度。

[0073] 如上所述，偏振元件单元13具备沿Y方向排列配置的多个偏振片13a、具有规定的基准面132a的基准部件132、以及将多个偏振片13a向X方向按压于基准面132a来进行保持的保持部件133。像这样，由于具有使多个偏振片13a抵接并固定于共同的基准面132a的结构，因此即使不单独地调整偏振片13a的角度也能够提高偏振片13a彼此的偏振轴的均匀性。这是由于多个偏振片13a的角度的基准被基准部件132的基准面132a统一。

[0074] 近年，偏振片的制造技术得到提高，不再需要对因偏振片的制造误差而引起的偏振轴的偏离进行调整。也就是说，即使不单独地旋转偏振片来调整偏振轴的角度，只要统一偏振片的配置角度便能够使偏振轴的角度统一。因此，像本实施方式这样，使矩形形状的多个偏振片的侧面抵接并固定于1个基准面，从而能够容易地实现偏振轴的均匀性。

[0075] 用于光取向的偏振光照射装置逐年大型化，出现了线状光源超过3m的装置。在这种偏振光照射装置中，偏振片的张数也超过了每1个光源25张，有2根线状光源的话则搭载50张以上的偏振片。将这些偏振片分别收纳于单独的框架，并分别单独地进行角度调整的话，有时作业时间达到3小时以上。与此相对，在本实施方式中，由于能够容易地进行多个偏振片的角度调整，因此能够大幅度地缩短作业时间并减轻作业负担。

[0076] 另外，由于保持部件133经由弹性部件133a按压偏振片13a，因此能够防止偏振片13a的歪斜或破损地对偏振片13a进行保持，能够不对偏振片13a的功能产生影响。

[0077] 并且，由于通过连结部件138将固定了基准部件132的第一基体131a与固定了保持部件133的第二基体131b连结，因此能够强化基体间的固定。其结果，能够抑制由灯11发热导致的热膨胀引发偏振片13a的角度偏离。

[0078] 在这里，多个偏振片13a也可以使Y方向的端部分别相互重合地配置。在这种情况下，能够可靠地防止未偏振的光(非偏振光)从偏振片13a的连接部分照射工件W。另外，也可以设为，在偏振片13a的连接部分不存在用于防止非偏振光的漏出光的遮挡部件或分别单独地保持各偏振片13a的框架部件等。因此，能够提高灯长度方向上的照度的均匀性，作为整体也能够提高偏振光的照度。

[0079] 图11为说明本实施方式的照度提高的效果的图。该图12为表示对图6或图8所示的使偏振片的端部重合的偏振元件单元、及图9所示的在偏振片的连接部分设置遮挡部件的偏振元件单元比较了累积曝光量而得的结果的图。在图11中，横轴为水平配置的长弧灯的长度方向的坐标，纵轴为偏振光的累积曝光量。

[0080] 在虚线所示的在偏振片的连接部分设置遮挡部件的偏振元件单元中，可知随着移动灯长度坐标、累积曝光量上下变动。这是由于遮挡部件的部分、即在偏振片的连接部分发生光量的下降。在该比较例中，可知灯长度方向的偏振光的照度的均匀度降低且整体的累积曝光量也降低。

[0081] 与此相对，在使偏振片的端部重合的偏振元件单元中，虽然在偏振片的重合部分观察到稍许光量降低，但照度的均匀度较优，整体的累积曝光量也得到提高。

[0082] 另外，多个偏振片13a也可以相对于XY方向倾斜地配置。在这种情况下，更换多个偏振片13a中的某1个时，能够不拆卸更换对象的偏振片13a以外的偏振片地、拆卸更换对象的偏振片13a。因此，能够容易地进行例如发生异常的偏振片13a的更换作业。

[0083] (变形例)

[0084] 在上述实施方式中，说明了在构成偏振元件单元13的第一基体131a配置1根基准部件132的情况，但也可以配置多根基准部件132。例如，如图12(a)所示，也可以在第一基体131a沿Y方向将3根基准部件132A～132C排列配置为一列，并分别使各个多张偏振片13a与基准部件132A～132C抵接而固定。只要在基准部件132A～132C之间以形成相同的基准面的方式调整基准部件132A～132C的位置并固定于第一基体131a，便能够获得与全部偏振片
13a与1根基准部件132抵接而固定的情况相同的效果。此外，在配置多根基准部件132的情况下，基准部件132的根数能够根据灯11的发光长度适当设定。

[0085] 另外，基准部件132也可以是经由垫片部件固定于第一基体131a，并能够相对于第一基体131a向θ方向(绕Z轴)稍微进行位置调整的结构。例如，如图12(b)所示，也可以设为，在基准部件132B的Y方向两端部配置垫片部件139a以及139b，通过减少垫片部件139a并旋转调整螺钉，从而能够进行基准部件132b的θ方向的角度调整。