一种PDMS自吸进样的微流控SERS芯片及其制备方法转让专利

申请号 : CN201710449662.0

文献号 : CN107262168B

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发明人 : 徐溢郑祥权陈李李刚

申请人 : 重庆大学

摘要 :

本发明属于表面增强拉曼光谱分析和微流控芯片分析技术领域,具体涉及一种PDMS自吸进样的微流控SERS芯片及其制备方法,所述方法不仅能够解决SERS基底与微通道贴合不牢导致漏液的技术问题,且PDMS自吸进样方式能够克服微结构中注射、负压泵吸等方式进样存在的空间狭小、操作不便、样本易漏液等技术缺陷,此外,制作简单方便,成本低廉,尺寸较小,便于携带。

权利要求 :

1.一种 PDMS 自吸进样的微流控 SERS 芯片,其特征在于:所述芯片由下至上包括依次叠加在一起的 ITO 基片(1)、双面胶中间层(2)、PDMS 盖片(3)和 PDMS 弹性体(4);所述的 ITO 基片(1)是以铂电极为对电极,饱和甘汞电极为辅助电极, ITO 基片为工作电极,-0.1 -2.0V 下电沉积 5 300s 在 ITO 基片上成金属核;然后在-0.1 -1.5V 下电~ ~ ~沉积 2000 4000s 制得纳米金属@ITO 基底;最后将制得的纳米金属@ITO 基底在含有另一~种不同的金属离子溶液中浸泡,集成SERS 增强基底(11),所述的金属选自纳米银、金、钯或锆;

所述的双面胶中间层(2)的上面通过光刻技术刻有至少一条微通道(21),所述微通道宽度为 0.1 1 mm,长度为5 10mm,深度为 0.1 1.5mm,微通道距离左右边缘至少 0.2mm,距~ ~ ~离上下边缘至少 0.2 mm;

所述的 PDMS 盖片(3)的上部设有与微通道对应的进样孔(31),直径为 0.5 1.5mm,且~小于一条微通道的宽与两条微通道间隔之和;

所述 PDMS 弹性体(4)的长度覆盖所有微通道,宽度不大于进样孔至盖片底边的距离,厚度为 10 30mm。

~

2.如权利要求 1 所述的微流控 SERS 芯片,其特征在于:所述的 ITO 基片(1)是以铂电极为对电极,饱和甘汞电极为辅助电极,ITO 基片为工作电极,以含有硝酸钾的银氨溶液为电解液,-1.0V 下电沉积 10s 在 ITO 基片上成银核;然后在-0.4V 下电沉积 2000s 制得纳米 Ag@ITO 基底;最后将制得的纳米Ag@ITO 基底在 0.1mmoL/L 的含 Au+溶液中浸泡 

2min,集成Nano-Ag&Au@ITO 增强基底。

3.如权利要求 1 或 2 所述的微流控 SERS 芯片,其特征在于:所述双面胶中间层(2)的层数为 1 3 层。

~

4.如权利要求 3所述的微流控 SERS 芯片,其特征在于:所述双面胶中间层(2)的上面刻有至少 2 条平行微通道,所述微通道宽度为 0.1 1 mm,长度为 5 10mm,深度为 0.1~ ~ ~

1.5mm,微通道距离左右边缘 0.2 1mm,距离上下边缘 0.2 1mm,当双面胶中间层(2)上面刻~ ~有至少两条平行微通道时,每相邻两条微通道之间的间隔 0.2 2mm。

~

5.如权利要求 4所述的微流控 SERS 芯片,其特征在于:所述双面胶中间层(2)的上面刻有至少 2 条平行微通道,所述微通道宽度为 0.5mm,长度为 8.5mm,深度为 0.1mm,微通道距离左右边缘 1mm,距离上下边缘 0.5mm,当双面胶中间层(2)上面刻有至少两条平行微通道时,每相邻两条微通道之间的间隔1mm。

6.如权利要求 3所述的微流控 SERS 芯片,其特征在于:所述 PDMS 盖片(3)上的进样孔与双面胶中间层(2)上的微通道上部对应,直径为 0.5 1.5mm,且小于一条微通道的宽与~两条微通道间隔之和,当进样孔大于 1 个时,相邻两个进样孔可以上下错开 0.5 1.5mm。

~

7.如权利要求 6所述的微流控 SERS 芯片,其特征在于:所述 PDMS 盖片(3)上的进样孔与双面胶中间层(2)上的微通道上部对应,直径为 1.25mm,当进样孔大于 1 个时,相邻两个进样孔上下错开 0.5 1.5mm。

~

8.如权利要求 3所述的微流控 SERS 芯片,其特征在于:所述 PDMS 弹性体(4)的长度为 10mm,宽度为 0.5mm,厚度为 10mm。

9.权利要求 3所 述的微流控 SERS 芯片的制备方法,包括以下步骤:步骤 1 制备 ITO 基片:制备集成 SERS 增强基底的 ITO 基片;

步骤 2 贴合双面胶中间层:在 ITO 基片上贴合双面胶,通过光刻技术刻制微通道;

步骤 3 贴合PDMS 盖片:在 PDMS 盖片上打进样孔,贴合在双面胶层上面,制得 PDMS 盖片-双面胶中间层-ITO 基片的三明治结构;

步骤 4 制备 PDMS 弹性体:制得合适尺寸的 PDMS 弹性体;使用时,将 PDMS 弹性体置于步骤 3 制得的三明治结构上。

10.如权利要求 9所述的微流控 SERS 芯片的制备方法,包括以下步骤:步骤 1 制备 ITO 基片:以铂电极为对电极,饱和甘汞电极为辅助电极,ITO 基片为工作电极,-0.1 -2.0V 下电沉积 5 300s 在 ITO 基片上成金属核;然后在-0.1 -1.5V 下电~ ~ ~沉积 2000 4000s 制得纳米金属@ITO 基底;最后将制得的纳米金属@ITO 基底在含另一种~不同的金属离子溶液中浸泡,集成 SERS 增强基底,所述的金属选自纳米银、金、钯或锆;

步骤 2 贴合双面胶中间层:在 ITO 基片上贴合双面胶,通过光刻技术刻制微通道;

步骤 3 贴合 PDMS 盖片:根据微通道的尺寸及位置,通过光刻技术在有机玻璃上制作进样孔定位装置,然后用打孔器在 PDMS 盖片打进样孔,贴合在双面胶层上面制得 PDMS 盖片-双面胶中间层-ITO 基片的三明治结构;

步骤 4 PDMS 弹性体的制备:根据弹性体的尺寸选择合适的凹槽,浇注配置好的聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性材料,真空脱气后,90℃加热固化,切割即得;

使用时,PDMS 弹性体置于步骤 3 制得的 PDMS 盖片-双面胶中间层-ITO 基片的三明治结构上,同时抽真空,得到具有 PDMS 自吸进样功能的微流控 SERS 芯片,进样时将抽完真空的芯片取出,进样完成后移去 PDMS 弹性体进行检测。

11.如权利要求 10所述的微流控 SERS 芯片的制备方法,其特征在于:步骤 1 中所述的 ITO 基片是以铂电极为对电极,饱和甘汞电极为辅助电极,ITO 基片为工作电极,以含有硝酸钾的银氨溶液为电解液,-1.0V 下电沉积 10s 在 ITO 基片上成银核;然后在-0.4V 下电沉积 2000s 制得纳米 Ag@ITO 基底;最后将制得的纳米Ag@ITO 基底在 0.1mmoL/L 的含 Au+溶液中浸泡 2min,集成 Nano-Ag&Au@ITO增强基底得到。

说明书 :

一种PDMS自吸进样的微流控SERS芯片及其制备方法

技术领域

[0001] 本发明属于表面增强拉曼光谱分析和微流控芯片分析技术领域,具体涉及一种PDMS自吸进样的微流控SERS芯片及其制备方法。

背景技术

[0002] 微流控芯片分析技术以其液体流动可控、试样和试剂消耗极少、分析高效、成本低、高通量等优点,在生化样本分析和检测中备受关注。目前分析手段主要有电化学检测、荧光检测等方法,但这些方法均存在样本预处理复杂、添加指示剂、获得信息量少等问题。拉曼光谱作为一种无损检测手段,因其在分析过程中不会对样品造成不可逆损伤,尤其由于水的拉曼散射弱,使其在生化溶液检测中有特别的优势。然而,拉曼光谱散射信号弱,检测灵敏度低,难以用其实现对样品的检测。因此,通过在微流控芯片中集成纳米增强基底的表面增强拉曼散射(SERS)分析技术,正成为生化检测的重要研发和应用的方向。
[0003] 目前,在微流控SERS芯片中集成SERS基底的方法主要有两种,一种是微光机电(MEMS)制备法,MEMS制备法制作的微通道可控性好,精密度高,但是需要大型仪器设备,成本昂贵;另一种是化学自组装法,化学自组装法具有可利用化学反应体系选择较多,操作简便,制作成本低等优点,但制备结构精密度低,表面较粗糙,与微通道键合的密封性差,易出现样品漏液情况。如专利文献CN106353497A公开了基于SERS检测技术和微流控芯片的多种肿瘤标志物检测平台及方法,该芯片SERS基底采用将纳米金粒子通入微通道内,使其沉积得到SERS衬底,然而制作该增强基底耗时长,微通道内对纳米粒子大小、均匀程度影响较大的金属离子溶液的流速、浓度等难以控制,因此,在微通道内进行沉积纳米颗粒操作难以掌控;又如专利文献CN104568905A公开了一种基于SERS尾流平台的三维码生物检测芯片及制备、检测方法,该芯片采用在玻璃片表面修饰Au纳米粒子,并制成条形码形状的玻璃基底,制作方法及其繁琐,通过人为除去SERS检测区以外的增强基底不仅费人费时,且容易造成检测区内增强基底破坏或边缘不齐而出现边缘效应等,同时也很难使检测区与微通道刚好对应,此外,上层为微流控通道,采用抽压泵进行进样,操作难度较大,易发生样品漏液情况,而且芯片可检测区域较少,进样口和出样口占据很大空间,无法进行不同样本同时并行测试。

发明内容

[0004] 针对上述缺陷,本发明的一个目的是提供一种PDMS自吸进样的微流控SERS芯片,不仅能够解决SERS基底与微通道贴合不牢导致漏液的技术问题,且PDMS自吸进样方式能够克服微结构中注射、负压泵吸等方式进样存在的空间狭小、操作不便、样本易漏液等技术缺陷,此外,制作简单方便,成本低廉,尺寸较小,便于携带。
[0005] 本发明的第二个目的是提供PDMS自吸进样的微流控SERS芯片的制备方法。
[0006] 为了实现上述发明目的,本发明提供以下技术方案:
[0007] 一种PDMS自吸进样的微流控SERS芯片,其特征在于:所述芯片由下至上包括依次叠加在一起的ITO基片(1)、双面胶中间层(2)、PDMS盖片(3)和PDMS弹性体(4),[0008] 所述的ITO基片(1)是以铂电极为对电极,饱和甘汞电极为辅助电极,ITO基片为工作电极,-0.1~-2.0V下电沉积5~300s在ITO基片上成金属核;然后在-0.1~-1.5V下电沉积2000~4000s制得纳米金属@ITO基底;最后将制得的纳米金属@ITO基底在含有另一种不同的金属离子溶液中浸泡,集成SERS增强基底(11),所述的金属选自纳米银、金、钯或锆;制得的ITO基片,集成的SERS基底纳米颗粒分布均匀,操作简单,可控性强,所需时间短,制作成本低廉,可批量生产;
[0009] 所述的双面胶中间层(2)的上面通过光刻技术刻有至少一条微通道(21),所述微通道宽度为0.1~1mm,长度为5~10mm,深度为0.1~1.5mm,微通道距离左右边缘至少0.2mm,距离上下边缘至少0.2mm;通过双面胶中间层(2)与ITO基片(1)紧密贴合,同时将微通道通过光刻技术可在双面胶中间层(2)上,既有效解决了ITO基片(1)不平整,与微通道贴合不紧,易漏液等技术问题,又避免了人为去除微通道外SERS基底费时费力,且易损伤检测区对应的SERS基底、边缘不齐、同时SERS基底很难与微通道刚好对应等缺陷;微通道的尺寸和位置设计既方便进样,又能够保证通道内密封性,提高真空度。
[0010] 所述的PDMS盖片(3)的上部设有与微通道对应的进样孔(31),所述进样孔(31)的直径为0.5~1.5mm,且小于一条微通道的宽与两条微通道间隔之和,既便于进样,又能防止串样,同时与PDMS弹性体配合,能够实现样本的自动进样,有效避免了微结构中注射、负压泵吸等进样方式存在的空间狭小、操作不便、易漏液等缺陷,且有利于整个芯片操作系统的微小型化;
[0011] 根据本发明的微流控SERS芯片,所述PDMS弹性体(4)的长度覆盖所有微通道,宽度不大于进样孔至盖片底边的距离,厚度为10~30mm,既避免PDMS弹性体(4)盖住进样孔,又能够提供足够的进样动力,且能够保证每个微通道受力均匀,此外,有利于微流控芯片组装,方便进样测试时的操作。
[0012] 根据本发明的微流控SERS芯片,所述的ITO基片(1)由以下方法制备得到:以铂电极为对电极,饱和甘汞电极为辅助电极,ITO基片为工作电极,以含有硝酸钾的银氨溶液为电解液,-1.0V下电沉积10s在ITO基片上成银核;然后在-0.4V下电沉积2000s制得纳米Ag@ITO基底;最后将制得的纳米Ag@ITO基底在0.1mmoL/L的含Au+溶液中浸泡2min,集成Nano-Ag&Au@ITO增强基底,通过在-1.0V下电沉积10s的条件下成银核,且在-0.4V下电沉积2000s制得纳米Ag@ITO基底,最后在含Au+溶液中浸泡2min制得的Nano-Ag&Au@ITO增强基底,集成的SERS基底结构可控、分布均匀,能够有效提高SERS信号灵敏度。
[0013] 根据本发明的微流控SERS芯片,所述双面胶中间层(2)的层数为1~3层,本发明人发现,双面胶层数对拉曼光谱的信号有一定影响,当双面胶中间层(2)的层数超过3层时,拉曼光谱信号变弱,灵敏度降低。
[0014] 根据本发明的微流控SERS芯片,所述双面胶中间层(2)的上面刻有至少2条平行微通道;多条平行微通道与整面均集成有SERS增强基底的ITO基片配合,能够满足高通量的检测需求,大大缩短检测时间,提高检测效率,且能够实现一次进样,通道内多点多次检测,求平均值以提高检测高重复性和准确度。
[0015] 根据本发明的微流控SERS芯片,所述双面胶中间层(2)上面刻有的微通道宽度为0.1~1mm,长度为5~10mm,深度为0.1~1.5mm,微通道距离左右边缘0.2~1mm,距离上下边缘0.2~1mm,当双面胶中间层(2)上面刻有至少两条平行微通道时,每相邻两条微通道之间的间隔0.2~2mm;优选地,微通道宽度为0.5mm,长度为8.5mm,深度为0.1mm,微通道距离左右边缘1mm,距离上下边缘0.5mm,当双面胶中间层(2)上面刻有至少两条平行微通道时,每相邻两条微通道之间的间隔1mm;本发明人发现,微通道宽度超过1mm,通道与通道之间样本互混,将微通道的宽度设计为0.1~1mm,长度5~10mm,深度0.1~1.5mm时,尤其是将宽度设计为0.5mm,长度8.5mm,深度0.1mm时,正好适合滴加5-6滴样本,既使微通道内充满样品,又避免样品过多溢出;此外,距离上下边缘0.2~1mm,距离左右边缘0.2~1mm,同时当双面胶中间层(2)上面刻有至少两条平行微通道时,每相邻两条微通道之间的间隔0.2~2mm,既能够保证通道内密封性,提高真空度,防止微通道内样品溢出,又能够提供尽可能多的检测面积。
[0016] 根据本发明的微流控SERS芯片,所述PDMS盖片(3)上的进样孔与双面胶中间层(2)上的微通道上部对应,直径为0.5~1.5mm,且小于一条微通道的宽与两条微通道间隔之和,既便于进样,又能有效防止串样,当进样孔大于1个时,相邻两个进样孔可以上下错开0.5~1.5mm,能够有效防止样品之间相互串样;优选地,所述PDMS盖片(3)上的进样孔与双面胶中间层(2)上的微通道上部对应,直径为1.25mm,当进样孔大于1个时,相邻两个进样孔上下错开0.5~1.5mm。
[0017] 根据本发明的微流控SERS芯片,所述PDMS弹性体(4)的长度为10mm,宽度为0.5mm,厚度为10mm。
[0018] 本发明提供的PDMS自吸进样的微流控SERS芯片,具有以下优点:
[0019] (1)具有多条平行微通道,且整个微通道均集成有SERS增强基底,既能够满足高通量的检测需求,大大缩短检测时间,提高检测效率,又能够实现一次进样,通道内多点多次检测,求平均值以提高检测高重复性和准确度;
[0020] (2)ITO基片通过多不电沉积法集成SERS增强基底,基底结构可控、分布均匀,能有效增强样本检测信号的同时,有效提高SERS信号的重现性,提高SERS检测灵敏度和检测效率,且制备方法简单可控;
[0021] (3)利用双面胶中间层(2),一方面便于微通道与不平整的ITO基片(1)紧密贴合,解决电沉积法制备的SERS基底表面不平整、密封性差、易漏液的技术问题,另一方面整面集成SERS增强基底,不仅基片表面基底分布均匀,对应多微通道提供更多的检测区域,又避免了人为去除微通道外SERS基底费时费力,且易损伤检测区对应的SERS基底、边界不齐、同时SERS基底很难与微通道刚好对应等缺陷;
[0022] (4)设计尺寸合适的PDMS弹性体,充分利用PDMS的透气性能,通过PDMS弹性体的真空自吸模式,实现样本的自动进样,能够有效避免微结构中注射、负压泵吸等进样方式存在的空间狭小、操作不便、易漏液、试样损耗大、交叉污染等缺陷,且有利于整个芯片操作系统的微小型化;
[0023] (5)芯片尺寸小,便于携带,可以作为检测人员随身携带的检查工具,同时制备方法简单,成本低廉,适于生化样本的多点并行测试。
[0024] 第二方面,本发明提供上述PDMS自吸进样的微流控SERS芯片的制备方法,包括以下步骤:
[0025] 步骤1制备ITO基片:制备集成SERS增强基底的ITO基片;
[0026] 步骤2贴合双面胶中间层:在ITO基片上贴合双面胶,通过光刻技术刻制微通道;
[0027] 步骤3贴合PDMS盖片:在PDMS盖片上打进样孔,贴合在双面胶层上面,制得PDMS盖片-双面胶中间层-ITO基片的三明治结构;
[0028] 步骤4制备PDMS弹性体:制得合适尺寸的PDMS弹性体;
[0029] 使用时,将PDMS弹性体置于步骤3制得的三明治结构上。
[0030] 在一些优选的实施方案中,本发明提供的上述PDMS自吸进样的微流控SERS芯片的制备方法,包括以下步骤:
[0031] 步骤1制备ITO基片:以铂电极为对电极,饱和甘汞电极为辅助电极,ITO基片为工作电极,-0.1~-2.0V下电沉积5~300s在ITO基片上成金属核;然后在-0.1~-1.5V下电沉积2000~4000s制得纳米金属@ITO基底;最后将制得的纳米金属@ITO基底在含另一种金属离子溶液中浸泡,集成SERS增强基底,所述的金属选自纳米银、金、钯或锆;
[0032] 步骤2贴合双面胶中间层:在ITO基片上贴合双面胶,通过光刻技术刻制微通道;
[0033] 步骤3贴合PDMS盖片:根据微通道的尺寸及位置,通过光刻技术在有机玻璃上制作进样孔定位装置,然后用打孔器在PDMS盖片打进样孔,贴合在双面胶层上面制得PDMS盖片-双面胶中间层-ITO基片的三明治结构;
[0034] 步骤4 PDMS弹性体的制备:根据弹性体的尺寸选择合适的凹槽,浇注配置好的聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性材料,真空脱气后,90℃加热固化,切割即得;
[0035] 使用时,PDMS弹性体置于步骤3制得的PDMS盖片-双面胶中间层-ITO基片的三明治结构上,同时抽真空,得到具有PDMS自吸进样功能的微流控SERS芯片,进样时将抽完真空的芯片取出,进样完成后移去PDMS弹性体进行检测。
[0036] 根据本发明所述的制备方法,步骤1中所述的ITO基片是以铂电极为对电极,饱和甘汞电极为辅助电极,ITO基片为工作电极,以含有硝酸钾的银氨溶液为电解液,-1.0V下电沉积10s在ITO基片上成银核;然后在-0.4V下电沉积2000s制得纳米Ag@ITO基底;最后将制得的纳米Ag@ITO基底在0.1mmoL/L的含Au+溶液中浸泡2min,集成Nano-Ag&Au@ITO增强基底得到。

附图说明

[0037] 图1是本发明PDMS自吸进样的微流控SERS芯片的结构图;
[0038] 图2是本发明PDMS自吸进样的微流控SERS芯片ITO基片的结构图;
[0039] 图3是本发明PDMS自吸进样的微流控SERS芯片双面胶中间层的结构图;
[0040] 图4是本发明PDMS自吸进样的微流控SERS芯片PDMS盖片的结构图;
[0041] 图5是本发明PDMS自吸进样的微流控SERS芯片6个不同通道检测人体血清的SERS光谱;
[0042] 图中,
[0043] 1-ITO基片,11-SERS增强基底;
[0044] 2-双面胶中间层,21-微通道;
[0045] 3-PDMS盖片,31-进样孔;
[0046] 4-PDMS弹性体。

具体实施方式

[0047] 实施例1 PDMS自吸进样的微流控SERS芯片的制备
[0048] 步骤1制备ITO基片:采用VersaSTAT3电化学工作站三电极体系,以铂电极为对电极、饱和甘汞电极为辅助电极,选取洁净10mm×10mm的ITO导电玻璃为工作电极,用含0.3mol/L的KNO3和1.6mmol/L的银氨的混合溶液10mL为电解液,在室温(25℃±5)下,采用电沉积技术,在-1.0V条件下沉积10s,使纳米Ag在表面成核,然后在-0.4V电位下沉积
2000s,得到均匀分布的纳米Ag@ITO基底;通过对HAuCl4溶液浓度和浸泡时间的优化,得到在0.1mmol/L的HAuCl4浸泡2min的最优条件下,制备得到Nano-Ag&Au@ITO增强基底,结构见图2;
[0049] 步骤2贴合双面胶中间层:在基底上贴合两层双面胶,通过光刻技术在双面胶上刻蚀微通道,结构件图3,得到6条长为8.5mm,宽为0.5mm,高为0.1mm的微通道,通道间隔1mm,两侧通道分别距离边缘1mm,微通道距离下边缘为0.5mm;
[0050] 步骤3贴合PDMS盖片:在干净光滑的胶片上浇注预聚体和溶剂按1:10配置好的聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性材料,再盖上一张胶片,再上面施加一个重物,然后真空脱气后放置烘箱中90℃加热固化1h,制得PDMS薄膜,厚度为0.3mm;根据ITO玻璃尺寸,刀刻出10mm×10mm的盖片;根据微通道的尺寸及位置,用光刻技术在有机玻璃上制作进样口定位装置,根据定位装置在10mm×10mm盖片上用打孔器依次打6个直径为1.25mm的进样孔,结构见图4,将制得的PDMS盖片贴合在双面胶层上面,制得PDMS盖片-双面胶中间层-ITO基片的三明治结构;
[0051] 步骤4制备PDMS弹性体:在深度为1cm的凹槽中浇注预聚体和溶剂按1:10配置好的聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性材料,然后真空脱气后放置烘箱中90℃加热固化1h,制得PDMS弹性体,厚度为10mm,根据ITO玻璃尺寸进行切割,长10mm,宽0.5mm。
[0052] 使用时,PDMS弹性体置于步骤3制得的PDMS盖片-双面胶中间层-ITO基片的三明治结构上,同时抽真空,得到具有PDMS自吸进样功能的微流控SERS芯片,进样时将抽完真空的芯片取出,进样完成后移去PDMS弹性体进行检测。
[0053] 实施例2人体血清样本检测
[0054] 将实施例1制备的PDMS自吸进样的微流控SERS芯片对人血清样本进行SERS测试分析。将实施例1中的微流控SERS芯片放入真空箱抽真空20min,之后用10μL移液枪分别吸取6例不同人血清样本,分别滴加在6个不同进样孔,等待10min,期间需时刻补充进样口液体,待微通道中充满样本溶液,将PDMS弹性体压块取下(PDMS弹性体和PDMS盖片之间的粘合力比PDMS盖片与双面胶之间的粘合力要小),采用海洋拉曼光谱仪进行测试,实验条件为选用激光器波长785nm,激光功率为3.5mw,积分时间为3s,积分次数为1次,对每个通道的不同位置的人血清与去离子水进行SERS光谱采集,图5为6个不同通道的人血清SERS光谱图,该芯片能同时并行测试多个不同样本,不同通道的增强效果具有很好地稳定性。可见,本发明在生化样本检测领域中具有可操作性强,检测灵敏度高,制作成本低,高通量,高效能等优势。