薄片·薄膜成型辊装置和薄片·薄膜成型方法

摘要

一种薄片·薄膜成型辊装置和薄片·薄膜成型方法，在使另一方的辊对一方的辊的推压状态变化的情况下也能将马达的旋转中心轴的姿势维持一定，且另一方的辊的推压状态的影响即一方的辊的变化状态不会传递至马达，由此能事先抑制接刀痕的产生。薄片·薄膜成型辊装置具有能相向旋转地构成的第一辊和第二辊，并通过将熔融树脂供给至第一辊与第二辊之间而成型薄片或薄膜，还具有：用于使第一辊旋转的第一马达；具有配置多个永磁体的旋转部、用于使第二辊旋转的第二马达；能使第一辊靠近或远离第二辊的推拉单元；以及通过不使第二马达的旋转状态变化且原样地传递至第二辊、使第二辊以与第二马达的旋转状态相同的时机旋转的动力传递机构。

权利要求

1.一种薄片·薄膜成型辊装置，具有以能相向旋转的方式构成的第一辊和第二辊，并通过将熔融树脂供给至所述第一辊与所述第二辊之间而成型薄片或薄膜，其特征在于，所述薄片·薄膜成型辊装置具有：第一马达，该第一马达用于使所述第一辊旋转；

第二马达，该第二马达具有旋转部，所述旋转部配置有多个永磁体，该第二马达用于使所述第二辊旋转；

推拉单元，该推拉单元能使所述第一辊靠近或远离所述第二辊；以及动力传递机构，该动力传递机构连接所述第二马达与所述第二辊，所述动力传递机构包括中间轴部和两个轴接头，

一方的所述轴接头连接所述第二马达与所述中间轴部，另一方的所述轴接头连接所述第二辊与所述中间轴部，在使所述第一辊靠近或远离所述第二辊时产生的所述第二辊的转轴的变化状态通过所述中间轴部以一方的所述轴接头为基点发生倾斜而被吸收去除，由此，所述第二辊的转轴的姿势始终维持一定。

2.如权利要求1所述的薄片·薄膜成型辊装置，其特征在于，以一体化的一个轴构件构成所述中间轴部，或通过使多个轴构件彼此连接而构成所述中间轴部。

3.如权利要求1所述的薄片·薄膜成型辊装置，其特征在于，所述轴接头是挠性联轴器或球接头。

4.一种薄片·薄膜成型方法，使用薄片·薄膜成型辊装置，该薄片·薄膜成型辊装置具有以能相向旋转的方式构成的第一辊和第二辊，并通过将熔融树脂供给至所述第一辊与所述第二辊之间而成型薄片或薄膜，其特征在于，所述薄片·薄膜成型方法具有：通过第一马达使所述第一辊旋转的工序；

通过包括中间轴部和两个轴接头的动力传递机构使具有配置了多个永磁体的旋转部的第二马达的旋转状态传递至所述第二辊的工序；

通过推拉单元使所述第一辊靠近或远离所述第二辊的工序；以及在使所述第一辊靠近或远离所述第二辊时产生的所述第二辊的转轴的变化状态通过所述中间轴部以连接所述第二马达和所述中间轴部的一方的所述轴接头为基点发生倾斜而被吸收去除，由此，所述第二辊的转轴的姿势始终维持一定的工序。

说明书

薄片·薄膜成型辊装置和薄片·薄膜成型方法

[0001] 相关申请的交叉引用

[0002] 本申请基于2016年3月31日提交的日本专利申请第2016-071980号、2016年9月9日提交的日本专利申请第2016-176894号以及2016年12月9日提交的日本专利申请第2016-239573号主张优先权，其全部内容通过引用并入本发明。

技术领域

[0003] 本发明涉及一种薄片·薄膜制造(成型)技术，该薄片·薄膜制造(成型)技术用于不产生接刀痕(英文：gear mark)(即，横纹(英文：horizontal stripes))而制造(成型)薄片或薄膜。

背景技术

[0004] 在薄片·薄膜制造(成型)技术中，例如从T模(英文：T-Die)将熔融树脂较薄地展开后排出。将排出的熔融树脂供给至相向旋转的两个辊的彼此之间。控制辊彼此的间隔。这样，可连续地制造(成型)与使用目的或用途相应的薄片或薄膜。此处，已知有公开了与薄片·薄膜制造(成型)技术相关的装置的专利文献1-4。

[0005] 专利文献1：日本专利特开平10－249909号公报

[0006] 专利文献2：日本专利特开平8－25458号公报

[0007] 专利文献3：日本专利实开昭62-35815号公报

[0008] 专利文献4：日本专利特开2005-1170号公报

[0009] 在专利文献1的装置中，基准辊和配置在基准辊两侧的从动辊分别经由轴接头和减速机被精密控制电动机控制驱动。各辊稳定地旋转。这样，能实现薄片光学特性的提高。换言之，薄片的延迟(英文：retardation)变小。

[0010] 在专利文献2的装置中，将薄片状物在相向旋转的第一辊与第二辊之间加压后，通过第三辊冷却。将第一至第三辊的表面温度和来自第三辊的薄片的拉取速度控制在预先设定的范围。这样，可获得表面状态良好且无翘曲(英文：bend、curve)的平板性优良的聚碳酸酯薄片。

[0011] 在专利文献3的装置中，应用不需要齿轮的行星辊式减速机(英文：planetary roller reducer)来代替齿轮式减速机。不产生齿轮结构特有的齿隙(英文：backlash)而制造(成型)塑料薄片。这样，在薄片表面上，可抑制沿着与该薄片的输送方向垂直的方向产生多条接刀痕(横纹)。

[0012] 在专利文献4的装置中，应用所谓直接驱动方式的驱动机构作为辊的驱动系统。在上述驱动机构中，在将包括齿轮式和行星辊式的一切减速机去除的状态下，马达(转子(英文：rotor))与辊(驱动轴部)直接地连接(即，直接连接)。这样，在辊(驱动轴部)的旋转中心轴维持一定的姿势的状态下，换言之，在马达(转子)的旋转中心轴维持一定的姿势的状态下，不产生接刀痕(横纹)而制造(成型)薄片或薄膜。

[0013] 然而，专利文献1、2的装置在成型条件或运转条件上受到限制。即，使用目的或用途被限定。因此，上述装置欠缺多样性。专利文献3的装置需要确保行星辊式减速机的设置位置较宽广。即，行星辊式减速机的结构复杂。因此，不得不使装置整体大型化。因此，装置整体的紧凑化存在一定界限。

[0014] 而且，关于专利文献4的装置，本发明人们在锐意研究开发的过程中发现具有如下所述的技术问题。专利文献4的装置是使与马达直接连接的辊旋转的规格。

[0015] 但是，在马达的动作中，该马达会产生转矩波动(英文：torque ripple)。转矩波动是指在电流流至马达而使定子与转子相对旋转时，由于定子与转子之间的磁通的相互作用而产生的脉动现象(英文：ripple phenomenon)。

[0016] 在该情况下，在形成转矩波动(脉动现象)的各频率分量(波长分量)中，某个频率分量(波长分量)的大小例如超过阈值时，存在产生与该频率分量(波长分量)的大小对应的大小的接刀痕(横纹)的情况。

[0017] 在专利文献4的规格中，将从T模排出的熔融树脂供给至相向旋转的两个辊的彼此间。此时，例如进行辊彼此的间隔调整、马达的旋转控制等，设定运转条件或成型条件。这样，能不产生接刀痕(横纹)而连续地制造(成型)薄片或薄膜。

[0018] 在上述制造(成型)工序中，例如为了进行成型品的厚度调整或干扰修正，使另一方的辊对一方的辊的推压状态(例如姿势、角度)变化。此时，另一方的辊的推压状态的影响，即一方的辊的变化状态直接传递至马达。换言之，两个辊的挠曲状态变化，并且变化的上述挠曲状态直接传递至马达。由此，上述马达的旋转中心轴的姿势变化。若马达的旋转中心轴的姿势变化，则与之对应，上述转矩波动(脉动现象)的大小变化。

[0019] 转矩波动(脉动现象)大小的变化与由旋转中的马达产生的各种频率分量(波长分量)各自的大小的变化对应。此处，在某个频率分量(波长分量)的大小例如超过阈值时，换言之，根据另一方的辊的推压状态的大小的程度，存在产生与其大小(频率分量(波长分量)的大小)对应的接刀痕(横纹)的情况。

[0020] 此时，不仅存在产生基于单个频率分量(波长分量)的接刀痕(横纹)的情况，还存在产生基于多个频率分量(波长分量)重合的结果的接刀痕(横纹)的情况。这样，在薄片(薄膜)的表面上，会沿着与该薄片(薄膜)的输送方向垂直的方向产生多条接刀痕(横纹)。

[0021] 在图21中示出了拍摄多条接刀痕(横纹)而得的图像数据。在图像数据中，在薄片(薄膜)的表面上，沿着与该薄片(薄膜)的输送方向垂直的方向产生多条接刀痕(横纹)。在图21中作为一例示出了具有规定的规则性或周期性的多条接刀痕(横纹)。上述多条接刀痕(横纹)的产生时机(周期、间隔(间距))为大致30mm以下。

[0022] 上述接刀痕(横纹)是使薄片(薄膜)的外观或光学特性劣变的主要原因。因此，追求一种即使在使另一方的辊对一方的辊的推压状态变化的情况下也能将马达的旋转中心轴的姿势维持一定的技术，换言之，追求一种另一方的辊的推压状态的影响即一方的辊的变化状态不会传递至马达的技术。

发明内容

[0023] 因此，本发明的目的在于提供一种薄片·薄膜制造(成型)技术，该薄片·薄膜制造(成型)技术即使在使另一方的辊对一方的辊的推压状态变化的情况下也能将马达的旋转中心轴的姿势维持一定，且另一方的辊的推压状态的影响即一方的辊的变化状态不会传递至马达，由此能事先抑制接刀痕(横纹)的产生。

[0024] 为实现上述目的，本发明提供一种薄片·薄膜成型辊装置，具有以能相向旋转的方式构成的第一辊和第二辊，并通过将熔融树脂供给至所述第一辊与所述第二辊之间而成型薄片或薄膜，并且，所述薄片·薄膜成型辊装置具有：第一马达，该第一马达用于使所述第一辊旋转；第二马达，该第二马达具有旋转部，所述旋转部配置有多个永磁体，该第二马达用于使所述第二辊旋转；推拉单元，该推拉单元能使所述第一辊靠近或远离所述第二辊；以及动力传递机构，该动力传递机构通过不使所述第二马达的旋转状态变化且原样地传递至所述第二辊，使所述第二辊以与所述第二马达的旋转状态相同的时机旋转。

[0025] 此外，为实现上述目的，本发明提供一种薄片·薄膜成型方法，使用薄片·薄膜成型辊装置，该薄片·薄膜成型辊装置具有以能相向旋转的方式构成的第一辊和第二辊，并通过将熔融树脂供给至所述第一辊与所述第二辊之间而成型薄片或薄膜，并且，所述薄片·薄膜成型方法具有：通过第一马达使所述第一辊旋转的工序；通过具有配置了多个永磁体的旋转部的第二马达使所述第二辊旋转的工序；以及通过动力传递机构，不使所述第二马达的旋转状态变化且原样地传递至所述第二辊，由此使所述第二辊以与所述第二马达的旋转状态相同的时机旋转的工序。

[0026] 此外，为实现上述目的，本发明提供一种薄片·薄膜成型辊装置，具有以能相向旋转的方式构成的第一辊和第二辊，并通过将熔融树脂供给至所述第一辊与所述第二辊之间而成型薄片或薄膜，并且，所述薄片·薄膜成型辊装置具有：第一马达，该第一马达用于使所述第一辊旋转；第二马达，该第二马达具有旋转部，所述旋转部配置有多个永磁体，该第二马达用于使所述第二辊旋转；推拉单元，该推拉单元能使所述第一辊靠近或远离所述第二辊；以及动力传递机构，该动力传递机构连接所述第二马达与所述第二辊，所述动力传递机构包括中间轴部和两个轴接头，一方的所述轴接头连接所述第二马达与所述中间轴部，另一方的所述轴接头连接所述第二辊与所述中间轴部，在使所述第一辊靠近或远离所述第二辊时产生的所述第二辊的转轴的变化状态通过所述中间轴部以一方的所述轴接头为基点发生倾斜而被吸收去除，由此，所述第二辊的转轴的姿势始终维持一定。

[0027] 此外，为实现上述目的，本发明提供一种薄片·薄膜成型方法，使用薄片·薄膜成型辊装置，该薄片·薄膜成型辊装置具有以能相向旋转的方式构成的第一辊和第二辊，并通过将熔融树脂供给至所述第一辊与所述第二辊之间而成型薄片或薄膜，并且，所述薄片·薄膜成型方法具有：通过第一马达使所述第一辊旋转的工序；通过包括中间轴部和两个轴接头的动力传递机构使具有配置了多个永磁体的旋转部的第二马达的旋转状态传递至所述第二辊的工序；通过推拉单元使所述第一辊靠近或远离所述第二辊的工序；以及在使所述第一辊靠近或远离所述第二辊时产生的所述第二辊的转轴的变化状态通过所述中间轴部以一方的所述轴接头为基点发生倾斜而被吸收去除，由此，所述第二辊的转轴的姿势始终维持一定的工序。

附图说明

[0028] 现在将参考附图对实现本发明的各种特征的一般结构进行描述。提供附图和相关描述是为了说明本发明的实施方式，而不是为了限制本发明的范围。

[0029] 图1是概略地示出第一实施方式的薄片·薄膜制造装置的基本结构的立体图。

[0030] 图2是图1的薄片·薄膜制造装置的平面图。

[0031] 图3是示出图2的第一和第三动力传递机构的结构的侧视图。

[0032] 图4是第二实施方式的薄片·薄膜制造装置的平面图。

[0033] 图5是第二实施方式的另一结构的薄片·薄膜制造装置的平面图。

[0034] 图6是示出图5的第一和第三动力传递机构的结构的侧视图。

[0035] 图7是处于夹压(英文：compression)状态的第一辊和第二辊的剖视图。

[0036] 图8是处于推压(英文：press)状态的第一辊和第二辊的剖视图。

[0037] 图9是处于接压(英文：touch、contact)状态的第一辊和第二辊的剖视图。

[0038] 图10是示出液压伺服型的推拉机构的结构的框图。

[0039] 图11是示出使用永磁体的马达的内部结构的剖视图。

[0040] 图12是示出能与马达嵌合的旋转轴部的结构的立体图。

[0041] 图13是示出能安装于马达的旋转轴部的结构的立体图。

[0042] 图14是示出与马达一体地构成的旋转轴部的结构的立体图。

[0043] 图15是示出第二动力传递机构的结构的立体图。

[0044] 图16是第三实施方式的薄片·薄膜制造装置的平面图。

[0045] 图17是示出图16的第一和第三动力传递机构的结构的立体图。

[0046] 图18是第四实施方式的薄片·薄膜制造装置的平面图。

[0047] 图19是示出在接刀痕(横纹)的产生试验时通过使第一辊朝向第二辊往复移动而使熔融树脂的厚度变动的状态的图。

[0048] 图20是示意地示出图19的熔融树脂的厚度变动的形态的图。

[0049] 图21是产生接刀痕(横纹)的现有样品的图像的图。

[0050] 图22是抑制接刀痕(横纹)的本发明样品的图像的图。

[0051] 图23是示出在第五实施方式的薄片·薄膜制造装置中第二动力传递机构的结构的侧视图。

[0052] 图24是沿着图23的F24-F24线的剖视图。

[0053] 图25是图23的内轴构件的立体图。

[0054] 图26是图23的外轴构件的立体图。

[0055] 图27是第六实施方式的薄片·薄膜制造装置的平面图。

[0056] 图28是示意地示出图27的第二辊挠曲的状态的图。

[0057] 图29是示意地示出通过推压机构消除第二辊的挠曲的状态的图。

具体实施方式

[0058] “本发明的完成过程”

[0059] 关于在去除了所有减速机的状态下使马达(转子)与辊(驱动轴部)连接的薄片·薄膜制造(成型)技术，本发明人们进行了锐意技术研究之后，达成了如下述(1)-(6)的本发明的开发。

[0060] (1)在上述技术研究中，应用与马达直接连接的辊结构。即，使第一马达与第一辊直接连接。使第二马达与第二辊直接连接。使第一辊与第二辊相向旋转。设定运转条件或成型条件以防产生接刀痕(横纹)。在上述状态下，将熔融树脂供给至第一辊与第二辊彼此间。

[0061] (2)在薄片(薄膜)的制造(成型)中，例如为了进行成型品的厚度调整或干扰修正，使第一辊对第二辊的推压状态(例如姿势、角度)变化。这样一来，会产生与接刀痕(横纹)类似的多条条纹。上述条纹(即，接刀痕(横纹))的产生时机(周期、间隔(间距))与第二马达的转矩波动的产生时机(周期、间隔(间距))大致一致。在该情况下，第一马达的转矩波动对条纹(接刀痕(横纹))的产生影响比较小。

[0062] (3)由齿槽现象(日文：コギング現象)产生的转矩波动对条纹(接刀痕(横纹))的产生时机(周期、间隔(间距))的影响较大。齿槽现象是指在电流未流至马达而使定子(线圈)与转子(永磁体)相对旋转时由定子(线圈)与转子(永磁体)之间的磁阻的变化而产生的脉动现象。

[0063] (4)使第一辊对第二辊的推压状态(例如姿势、角度)变化。此时，第一辊的推压状态的影响即第二辊的变化状态(例如，第二辊的旋转中心轴的姿势的变化状态)对第二辊的转子直接作用。换言之，第一辊和第二辊的挠曲状态变化，并且变化的上述挠曲状态直接传递至第二马达(转子)。这样一来，马达的旋转中心轴的姿势变化。由此，在使定子与转子相对旋转时，定子与转子的间隙变为不能沿着周向维持一定的状态，换言之，定子与转子的间隙变为沿着周向不规则地变化的状态。在上述状态下，定子与转子之间的磁阻沿着周向不规则地变化。其结果是，不能使第二马达以一定速度流畅地旋转。

[0064] 这样一来，由第二马达产生的各种频率分量(波长分量)的大小(即，转矩波动的大小)变化。此时，根据某个频率分量(波长分量)的转矩波动大小的程度，容易产生与其频率分量(波长分量)的大小对应的接刀痕(横纹)。

[0065] (5)根据第一辊对第二辊的推压状态的程度，在第二辊与第二马达的连接状态变得不稳定这样的情况下，使第二辊与第二马达直接连接的结构并不能说一定有效。因此，追求一种技术，以将第二马达的旋转中心轴的姿势维持一定，且第一辊的推压状态的影响即第二辊的变化状态不会传递至第二马达。

[0066] (6)为了实现上述技术，例如准备旋转轴部和动力传递机构。将旋转轴部与第二马达(转子)连接。将动力传递机构配置在辊(驱动轴部)与第二马达(转子)之间。即，将辊(驱动轴部)与动力传递机构的一端侧连接。将第二马达(转子)与动力传递机构的另一端侧连接。

[0067] 根据上述结构，第一辊对第二辊的推压状态的影响，即第二辊的变化状态不会传递至第二马达。在该情况下，与第二马达连接的旋转轴部始终维持一定的姿势。第二马达(转子)的旋转中心轴的姿势也始终维持一定。由此，能使第二马达(转子)始终以一定速度顺畅地旋转。其结果是，能将第二马达的转矩波动维持在不产生接刀痕(横纹)的范围(水平)。

[0068] “第一实施方式的薄片·薄膜制造装置1”

[0069] 以下将参照附图对各个实施例进行说明。一般而言，根据一实施方式，如图1-图3所示，薄片·薄膜制造装置1具有薄片·薄膜成型辊装置、排出单元2以及温度调节单元4。薄片·薄膜成型辊装置构成为具有辊单元3、推拉单元5以及驱动单元6。

[0070] 排出单元2构成为能将熔融树脂7a较薄地展开后排出。辊单元3构成为能通过后述多个辊(第一辊12、第二辊13以及第三辊14)将排出的熔融树脂7a成型为与用途相应的形态(例如形状、厚度)。温度调节单元4构成为能对各辊12、13、14的温度进行调节。推拉单元5构成为能使第一辊12和第三辊14相对于第二辊的推压状态(例如姿势、角度)发生变化。驱动单元6构成为能对各辊12、13、14的旋转状态进行控制。以下具体说明。

[0071] “排出单元2”

[0072] 如图1所示，排出单元2具有挤出机8和T模9。挤出机8和T模9经由连接管10彼此连接。挤出机8包括缸(未图示)和料斗(英文：hopper)11。另外，挤出机8、T模9以及连接管10被加热至预先设定的温度，并保持该设定温度。设定温度是比后述各辊12、13、14的设定温度高的温度。

[0073] 缸被一根或多根螺杆(未图示)以能旋转的方式插通。一根螺杆插通缸的规格构成单轴挤出机。多根(例如两根)螺杆插通缸的规格构成双轴挤出机。

[0074] 料斗11构成为能将树脂原料投入缸。例如，从料斗11投入颗粒状的树脂原料。投入的树脂原料在缸内通过旋转的螺杆熔融并混炼。熔融并混炼后的树脂原料在熔融状态下搬运至缸的前端。

[0075] 搬运至缸的前端的熔融树脂从连接管10供给至T模9。T膜9构成为能将供给的熔融树脂展开后排出。从T模9排出的熔融树脂7a供给至辊单元3。作为熔融树脂7a的供给方法的一例，在图中示出了将熔融树脂7a从T模9沿着重力(垂直)方向排出的规格。

[0076] “辊单元3”

[0077] 如图1、图2以及图7-图9所示，辊单元3具有第一辊12(推压辊)、第二辊13(基准辊)以及第三辊14(拉离辊)。第一辊12、第二辊13以及第三辊14构成为能通过后述温度调节单元4分别独立地进行温度调节。

[0078] 第一辊12具有一根第一旋转中心轴12r。在第一辊12的两侧逐一设置有第一驱动轴部12a和第二驱动轴部12b。第一驱动轴部12a和第二驱动轴部12b构成为与第一旋转中心轴12r同心的圆形。第一驱动轴部12a被第一轴承机构15支承为能旋转。第二驱动轴部12b被第二轴承机构16支承为能旋转。这样，第一辊12被支承为能以第一旋转中心轴12r为中心旋转。

[0079] 而且，第一辊12具有圆筒状的第一转印面12s。第一转印面12s为镜面抛光。第一辊12(第一转印面12s)构成为能通过推拉单元5向后述第二辊13(第二转印面13s)推压或从第二辊13(第二转印面13s)拉离。

[0080] 第二辊13具有一根第二旋转中心轴13r。在第二辊13的两侧逐一设置有第三驱动轴部13a和第四驱动轴部13b。第三驱动轴部13a和第四驱动轴部13b构成为与第二旋转中心轴13r同心的圆形。第三驱动轴部13a被第三轴承机构17支承为能旋转。第四驱动轴部13b被第四轴承机构18支承为能旋转。这样，第二辊13被支承为能以第二旋转中心轴13r为中心旋转。

[0081] 此处，第三轴承机构17和第四轴承机构18经由后述固定部29固定于基底30。由此，具有第三驱动轴部13a和第四驱动轴部13b的第二辊13维持在始终固定于预先设定的固定位置的状态，上述第三驱动轴部13a和第四驱动轴部13b被第三轴承机构17和第四轴承机构18支承为能旋转。

[0082] 而且，第二辊13具有圆筒状的第二转印面13s。第二转印面13s为镜面抛光。第二转印面13s构成为能将从T模9沿着重力(垂直)方向排出的熔融树脂7a沿着预先设定的薄片(薄膜)的输送方向Fd引导。

[0083] 第三辊14具有一根第三旋转中心轴14r。在第三辊14的两侧逐一设置有第五驱动轴部14a和第六驱动轴部14b。第五驱动轴部14a和第六驱动轴部14b构成为与第三旋转中心轴14r同心的圆形。第五驱动轴部14a被第五轴承机构19支承为能旋转。第六驱动轴部14b被第六轴承机构20支承为能旋转。这样，第三辊14被支承为能以第三旋转中心轴14r为中心旋转。

[0084] 而且，第三辊14具有圆筒状的输送面14s。输送面14s也可不必为镜面抛光。输送面14s构成为能将后述熔融树脂7b沿着输送方向Fd引导。

[0085] 作为第一辊12、第二辊13以及第三辊14的布置的一例，在图中示出了第一辊12、第二辊13以及第三辊14横向配置的规格。在横向配置中，第一辊12、第二辊13以及第三辊14(即，第一旋转中心轴12r、第二旋转中心轴13r以及第三旋转中心轴14r)沿着水平方向相互平行且配置在同一高度。

[0086] 而且，第一辊12、第二辊13以及第三辊14既可以构成为具有彼此相同的直径，或者也可构成为具有彼此不同的直径。在构成具有彼此不同的直径的第一辊12、第二辊13以及第三辊14时，优选将第一辊12的直径设定为比第二辊13的直径小。由此，能使上述第一辊12的响应性和追随性提高或维持一定。

[0087] 此处，第一辊12的响应性是指例如将第一辊12向第二辊13推压时的反应速度。此处，第一辊12的追随性是指例如在将第一辊12向第二辊13推压的状态下的上述第一辊12的旋转追随速度。

[0088] 在上述结构中，从排出单元2(T模9)沿着重力(垂直)方向较薄地展开后排出的熔融树脂7a在第一辊12与第二辊13之间(接地点)通过。通过接地点后的熔融树脂7a在沿着第二辊13的第二转印面13s推出的期间冷却，仅是其表面变成固化的熔融树脂7b。熔融树脂7b在第二辊12与第三辊13之间(接地点)通过后，其整体变成具有挠性的固化状态的薄片(薄膜)7c。这样，薄片(薄膜)7c向箭头方向Fd输送。此时，薄片(薄膜)7c变成与用途相应的形态(例如形状、厚度)。

[0089] 而且，第一辊12、第二辊13以及第三辊14的全长设定成彼此相同的尺寸。将辊12、13、14的全长规定为沿着与第一旋转中心轴12r、第二旋转中心轴13r以及第三旋转中心轴
14r平行的方向的长度。换言之，将辊12、13、14的全长规定为辊12、13、14的两端相互间的距离。在该情况下，在使第一辊12、第二辊13以及第三辊14横向配置的状态下，辊12、13、14的两端沿着与第一旋转中心轴12r、第二旋转中心轴13r以及第三旋转中心轴14r正交的方向排列成直线状。

[0090] 此处，在第一轴承机构15、第二轴承机构16、第三轴承机构17、第四轴承机构18、第五轴承机构19以及第六轴承机构20中，第一轴承机构15、第三轴承机构17以及第五轴承机构19沿着与第一旋转中心轴12r、第二旋转中心轴13r以及第三旋转中心轴14r正交的方向排列成直线状，上述第一轴承机构15、第二轴承机构16、第三轴承机构17、第四轴承机构18、第五轴承机构19以及第六轴承机构20将第一辊12的第一驱动轴部12a和第二驱动轴部12b、第二辊13的第三驱动轴部13a和第四驱动轴部13b以及第三辊14的第五驱动轴部14a和第六驱动轴部14b支承为能旋转。同样，第二轴承机构、第四轴承机构以及第六轴承机构沿着与第一旋转中心轴12r、第二旋转中心轴13r以及第三旋转中心轴14r正交的方向排列成直线状。总之，将以能旋转的方式支承辊12、13、14的位置沿着与第一旋转中心轴12r、第二旋转中心轴13r以及第三旋转中心轴14r正交的方向(宽度方向)设定为彼此相同的位置。

[0091] 另外，作为第一辊12、第二辊13以及第三辊14的布置，虽然并未图示，但也可应用纵向配置或倾斜配置来代替上述横向配置。在纵向配置中，第一辊12、第二辊13以及第三辊14(即，第一旋转中心轴12r、第二旋转中心轴13r以及第三旋转中心轴14r)沿着重力(垂直)方向相互平行地配置。此外，在倾斜配置中，以第二辊13(第二旋转中心轴13r)为中心，使第二辊13两侧的第一辊12(第一旋转中心轴12r)和第三辊14(第三旋转中心轴14r)倾斜而配置。

[0092] 而且，也可配置第一辊12、第二辊13及第三辊14，以使第三旋转中心轴14r不定位在与第一旋转中心轴12r及第二旋转中心轴13r相同的平面上。此外，也可配置第一辊12、第二辊13及第三辊14，以使第一辊12和第三辊14能沿着第二辊13的外周移动。

[0093] 而且，例如，为了弥补熔融树脂的冷却不充分，也可在第三辊14的下游侧设置第四辊(未图示)。此外，将第三辊14作为本实施方式的辊单元3的构成零件，但例如也可根据使用目的或使用环境将上述第三辊14作为其他单元(未图示)的构成零件。

[0094] 另外，在图7-图9中示出了与第一辊12(第一转印面12s)和第二辊13(第二转印面13s)的接触状态(例如接触压力)对应的各辊12、13、14的内部结构。上述接触状态(接触压力)例如根据树脂的种类、薄片(薄膜)的厚度或用途等设定。在设定接触状态(接触压力)时，例如通过后述推拉单元5来调节第一辊12对第二辊13的推压状态。

[0095] 在图7中示出了处于夹压(英文：compression)状态的第一辊12和第二辊13的内部结构。第一辊12构成为将第一外筒22配置在第一内筒21的外侧。第二辊13构成为将第二外筒24配置在第二内筒23的外侧。第一外筒22和第二外筒24的厚度t1都设定为30mm≤t 1≤60mm。夹压状态的接触压力(线压力)设定为30kgf/cm-100kgf/cm的范围。

[0096] 在图8中示出了处于推压(英文：press)状态的第一辊12和第二辊13的内部结构。第一辊12构成为将第一外筒22配置在第一内筒21的外侧。第二辊13构成为将第二外筒24配置在第二内筒23的外侧。第一外筒22和第二外筒24的厚度t2都设定为10mm≤t2≤50mm。推压状态的接触压力(线压力)设定为20kgf/cm-60kgf/cm的范围。

[0097] 在图9中示出了处于接压(英文：touch、contact)状态的第一辊12和第二辊13的内部结构。第一辊12构成为将第一外筒22配置在第一内筒21的外侧。第二辊13构成为将第二外筒24配置在第二内筒23的外侧。

[0098] 此处，在第一外筒22具有弹性的情况下，第一外筒22的厚度t3设定为1mm≤t3≤10mm，第二外筒24的厚度t4设定为10mm≤t4≤60mm。接压状态的接触压力(线压力)设定为
5kgf/cm-50kgf/cm的范围。

[0099] 此外，在第一外筒22厚度较薄的情况下，第一外筒22的厚度t3设定为0.1mm≤t4≤1mm，第二外筒24的厚度t4设定为10mm≤t4≤60mm。接压状态的接触压力(线压力)设定为
1kgf/cm-10kgf/cm的范围。

[0100] “温度调节单元4”

[0101] 如图2、图7-图9所示，温度调节单元4构成为能分别独立地将第一辊12、第二辊13以及第三辊14调节为预先设定的温度，并维持该设定温度。作为第一辊12、第二辊13以及第三辊14的设定温度，例如考虑不使熔融树脂熔融并且该熔融树脂固化而能维持柔性的温度。

[0102] 温度调节单元4具有第一配管4a、第二配管4b以及第三配管4c。在第一配管4a、第二配管4b以及第三配管4c中供给有来自供给源(未图示)的温度调节介质。可考虑液体(例如水、油)或制冷剂等作为温度调节介质的一例。

[0103] 第一配管4a例如构成为从第二驱动轴部12b横穿第一辊12的内部。在第一辊12的内部，第一配管4a与第一环状区域12p连续。第一环状区域12p构成为在第一内筒21与第一外筒22之间沿着周向连续。在上述结构中，供给至第一配管4a的温度调节介质从第一辊12的内部流过第一环状区域12p后，再次经由第一配管4a回收。由此，第一辊12(第一转印面12s)的温度调节为预先设定的温度，并维持该设定温度。

[0104] 第二配管4b例如构成为从第四驱动轴部13b横穿第二辊13的内部。在第二辊13的内部，第二配管4b与第二环状区域13p连续。第二环状区域13p构成为在第二内筒23与第二外筒24之间沿着周向连续。在上述结构中，供给至第二配管4a的温度调节介质从第二辊13的内部流过第二环状区域13p后，再次经由第二配管4b回收。由此，第二辊13(第二转印面13s)的温度调节为预先设定的温度，并维持该设定温度。

[0105] 第三配管4c例如构成为从第六驱动轴部14b横穿第三辊14的内部。在第三辊14的内部，第三配管4c与第三环状区域(未图示)连续。第三环状区域构成为在未图示的第三内筒与第三外筒之间沿着周向连续。在上述结构中，供给至第三配管4c的温度调节介质从第三辊14的内部流过第三环状区域后，再次经由第三配管4c回收。由此，第三辊14(输送面14s)的温度调节为预先设定的温度，并维持该设定温度。

[0106] “推拉单元5”

[0107] 如图2-图3、图10所示，推拉单元5具有第一推拉机构5a、第二推拉机构5b、第三推拉机构5c、第四推拉机构5d、支承板25、支承板34、线性引导件26-28以及线性引导件35-37。

[0108] “第一推拉机构5a和第二推拉机构5b”

[0109] 第一推拉机构5a和第二推拉机构5b例如逐一配置在第一辊12的两侧。

[0110] 第一推拉机构5a构成为能对第一轴承机构15作用推压力和牵引力。第一轴承机构15被支承板25支承。在支承板25上装设有后述第一驱动机构53(驱动单元6)。支承板25例如构成为能沿着两个线性引导件26、27移动。两个线性引导件26、27配置成彼此平行地相向。
上述线性引导件26、27构成为沿着与第二辊13的第二旋转中心轴13r(参照图1)正交的方向。

[0111] 第二推拉机构5b构成为能对第二轴承机构16作用推压力和牵引力。第二轴承机构16例如构成为能沿着一个线性引导件28移动。上述线性引导件28构成为沿着与第二辊13的第二旋转中心轴13r正交的方向。

[0112] 在该情况下，上述三个线性引导件26、27、28配置成彼此平行地相向。上述三个线性引导件26、27、28例如逐一固定于三个固定部29。各个固定部29设置于基底30。基底30构成为能通过安装机构31(参照图3)安装在预先设定的位置32。另外，预先设定的位置32可考虑能将第一辊12、第二辊13以及第三辊14以上述横向配置、上述纵向配置和上述倾斜配置的方式布局的位置。

[0113] 在上述结构中，使推压力或牵引力作用于第一轴承机构15。此时的作用力从上述第一轴承机构15传递至支承板25。支承板25通过上述作用力而沿着线性引导件26、27移动。第一轴承机构15追随支承板25的移动而与第一驱动机构53(驱动单元6)一起移动。另一方面，使推压力或牵引力作用于第二轴承机构16。上述第二轴承机构16通过此时的作用力而沿着线性引导件28移动。

[0114] 另外，作为通过第一推拉机构5a和第二推拉机构5b使推压力或牵引力作用于第一轴承机构15和第二轴承机构16的部分(即，压力作用部33)，优选设定为例如与第一辊12的第一旋转中心轴12r交叉或正交且与线性引导件26的正上方相向的部分(位置)。

[0115] 例如，第一辊12、第二辊13以及第三辊14只要是沿着水平方向彼此平行且配置在同一高度(即，横向配置)的规格(参照图2)，就可使推压力或牵引力沿着与第一旋转中心轴12r正交的方向从水平方向作用于第一轴承机构15和第二轴承机构16。另外，在图3中示出了第一轴承机构15的压力作用部33。

[0116] 如上所述，第一轴承机构15供第一辊12的第一驱动轴部12a支承。第二轴承机构16供第一辊12的第二驱动轴部12b支承。因此，若使第一轴承机构15和第二轴承机构16移动，则第一驱动轴部12a和第二驱动轴部12b追随上述移动而移动。此时，第一辊12与上述第一驱动轴部12a及上述第二驱动轴部12b一起移动。这样，能使第一辊12靠近或远离第二辊13。

[0117] 此时，对使推压力或牵引力作用于第一轴承机构15和第二轴承机构16的时机进行控制。例如，使推压力作用于第一轴承机构15，并且使牵引力作用于第二轴承机构16。使牵引力作用于第一轴承机构15，并且使推压力作用于第二轴承机构16。使推压力作用于第一轴承机构15和第一轴承机构16或者使牵引力作用于第一轴承机构15和第一轴承机构16。由此，能高精度且高精细地调节第一辊12对第二辊13的推压状态(例如姿势、角度)。

[0118] “第三推拉机构5c和第四推拉机构5d”

[0119] 第三推拉机构5c和第四推拉机构5d例如逐一配置在第三辊14的两侧。

[0120] 第三推拉机构5c构成为能对第五轴承机构19作用推压力和牵引力。第五轴承机构19被支承板34支承。在支承板34上装设有后述第三驱动机构55(驱动单元6)。支承板34例如构成为能沿着两个线性引导件35、36移动。两个线性引导件35、36配置成彼此平行地相向。
上述线性引导件35、36构成为沿着与第二辊13的第二旋转中心轴13r(参照图1)正交的方向。

[0121] 第四推拉机构5d构成为能对第六轴承机构20作用推压力和牵引力。第六轴承机构20例如构成为能沿着一个线性引导件37移动。上述线性引导件37构成为沿着与第二辊13的第二旋转中心轴13r正交的方向。

[0122] 在该情况下，上述三个线性引导件35、36、37配置成彼此平行地相向。上述三个线性引导件35、36、37逐一固定于上述三个固定部29。

[0123] 在上述结构中，使推压力或牵引力作用于第五轴承机构19。此时的作用力从上述第五轴承机构19传递至支承板34。支承板34通过上述作用力而沿着线性引导件35、36移动。第五轴承机构19追随支承板34的移动而与第三驱动机构55(驱动单元6)一起移动。另一方面，使推压力或牵引力作用于第六轴承机构20。上述第六轴承机构20通过此时的作用力而沿着线性引导件37移动。

[0124] 另外，作为通过第三推拉机构5c和第四推拉机构5d使推压力或牵引力作用于第五轴承机构19和第六轴承机构20的部分(即，压力作用部)，虽然并未图示，但优选设定为例如与第三辊14的第三旋转中心轴14r交叉或正交且与线性引导件35的正上方相向的部分(位置)。

[0125] 例如，第一辊14、第二辊13以及第三辊14只要是沿着水平方向彼此平行且配置在同一高度(即，横向配置)的规格(参照图2)，就可使推压力或牵引力沿着与第三旋转中心轴14r正交的方向从水平方向作用于第五轴承机构19和第六轴承机构20。

[0126] 如上所述，第五轴承机构19供第三辊14的第五驱动轴部14a支承。第六轴承机构20供第三辊14的第六驱动轴部14b支承。因此，若使第五轴承机构19和第六轴承机构20移动，则第五驱动轴部14a和第六驱动轴部14b追随上述移动而移动。此时，第三辊14与上述第五驱动轴部14a及上述第六驱动轴部14b一起移动。这样，能使第三辊14靠近或远离第二辊13。

[0127] 此时，对使推压力或牵引力作用于第五轴承机构19和第六轴承机构20的时机进行控制。例如，使推压力作用于第五轴承机构19，并且使牵引力作用于第六轴承机构20。使牵引力作用于第五轴承机构19，并且使推压力作用于第六轴承机构20。使推压力作用于第五轴承机构19和第六轴承机构20或者使牵引力作用于第五轴承机构19和第六轴承机构20。由此，能高精度且高精细地调节第三辊14对第二辊13的推压状态(例如姿势、角度)。

[0128] “第一推拉机构5a、第二推拉机构5b、第三推拉机构5c以及第四推拉机构5d的装置结构”

[0129] 上述第一推拉机构5a、上述第二推拉机构5b、上述第三推拉机构5c以及上述第四推拉机构5d能应用彼此相同的装置结构。在图10中作为一例示出了第二推拉机构5b的装置结构。上述推拉机构5b具有液压伺服方式的致动器38和控制装置39。致动器38构成为能对第二轴承机构16作用于推压力和牵引力。控制装置39构成为能控制致动器38。以下具体说明。

[0130] 如图10所示，致动器38具有缸主体40、连接筒体41、支承框架42、活塞43以及活塞杆44。缸主体40的内部构成缸45。缸主体40供连接筒体41连接。连接筒体41被支承框架42支承。即，缸主体40经由连接筒体41被支承框架42支承。

[0131] 在缸主体40的缸45内收容有活塞43。活塞43构成为能沿着缸45往复移动。缸45在活塞43的两侧构成有前进腔45a和后退腔45b。

[0132] 活塞杆44构成为从后退腔45b贯通缸主体40和连接筒体41。活塞杆44的基端与活塞43连接，活塞杆44的前端与上述压力作用部33(参照图3)连接。

[0133] 此处，通过控制装置39对前进腔45a加压的同时，对后退腔45b减压。此时，活塞43前进。推压力从活塞杆44的前端作用于压力作用部33。推压力作用于第二轴承机构16。由此，能使第二轴承机构16沿着线性引导件28前进移动。

[0134] 与之相对，通过控制装置39对前进腔45a减压的同时，对后退腔45b加压。此时，活塞43后退。牵引力从活塞杆44的前端作用于压力作用部33。牵引力作用于第二轴承机构16。由此，能使第二轴承机构16沿着线性引导件28后退移动。

[0135] 而且，控制装置39具有控制器46、伺服马达47、双向泵48、第一测量器49、第二测量器50、测力传感器(英文：Load cell)51以及压力传感器52。此处作为一例，考虑通过液压使致动器38动作的控制装置39。

[0136] 控制器46构成为能基于后述输出信号(测量结果)控制伺服马达47。伺服马达47构成为能通过驱动双向泵48对作用于前进腔45a和后退腔45b的压力选择性地进行控制。

[0137] 在液压伺服方式中，在对前进腔45a加压时，从双向泵48向前进腔45a供给油，从而使上述前进腔45a内的液压上升。这样，能如上所述使推压力作用于第二轴承机构16。与之相对，在对后退腔45b加压时，从双向泵48向后退腔45b供给油，从而使上述后退腔45b内的液压上升。这样，能如上所述使牵引力作用于第二轴承机构16。

[0138] 在使推压力或牵引力作用于第二轴承机构16时，控制器46基于来自第一测量器49、第二测量器50、测力传感器51以及压力传感器52的输出信号(测量结果)，利用伺服马达
47对双向泵48进行控制。例如，对向前进腔45a或后退腔45b供给油的时机和液压的增加量等进行控制。

[0139] 此处，第一测量器49构成为能对缸主体40(缸45)内的活塞43的位置进行测量并输出该测量结果。第二测量器50构成为能对第二轴承机构16的位置进行测量并输出该测量结果。测力传感器51构成为能对作用于连接筒体41的荷重进行测量并输出该测量结果。压力传感器52构成为能对前进腔45a和后退腔45b内的液压进行测量并输出该测量结果。

[0140] 由此，能使推压力和牵引力精度良好地作用于第二轴承机构16。其结果是，能使第一辊12对第二辊13的推压状态(例如姿势、角度)高精度地变化。

[0141] 另外，作为第一推拉机构5a、第二推拉机构5b、第三推拉机构5c、第四推拉机构5d，虽然并未图示，但例如也可应用通过使螺钉或楔子前进或后退而使第一辊12和第三辊14对第二辊13的推压状态(例如姿势、角度)变化的方式来替代上述液压伺服方式。此外，上述支承板25、34并非必要的结构。只要是后述第一驱动机构53和第三驱动机构55(驱动单元6)能追随第一轴承机构15和第五轴承机构19的移动的结构即可。

[0142] “驱动单元6”

[0143] 如图1-图3、图11-图14所示，驱动单元6具有第一驱动机构53、第二驱动机构54以及第三驱动机构55。另外，驱动单元6具有控制器(未图示)，该控制器控制后述第一马达56、第二马达57以及第三马达58。由此，能对第一辊12、第二辊13以及第三辊14的旋转状态(例如转速、旋转速度)一并或单独进行控制。以下具体说明。

[0144] “第一马达56、第二马达57以及第三马达58”

[0145] 作为第一马达56、第二马达57以及第三马达58，可应用使用多个永磁体的多极马达。在该情况下，能应用内转子类型和外转子类型中的任意类型的马达。在内转子类型中，转子以能旋转的方式配置在定子的内侧。在外转子类型中，转子以能旋转的方式配置在定子的外侧。无论是上述类型中的哪一种马达，例如都能构成为将多个线圈配置于定子并将多个永磁体配置于转子。

[0146] 在图11中，作为第一马达56、第二马达57以及第三马达58的一例，示出了极数为8且槽数为15的内转子类型的多极马达。多极马达构成为转子59(旋转部)能在定子60的内侧旋转。在转子59(旋转部)的外周沿着周向配置有多个永磁体61。S极和N极沿着转子59(旋转部)的外周交替地排列。在转子60(旋转部)的内周沿着周向配置有多个线圈62。在上述结构中，通过控制器控制多极马达。这样，能使转子59(旋转部)在定子60的内侧旋转。

[0147] 此处，对于直接对第二辊13的旋转起作用的第二马达57，优选设为能以低速旋转产生高转矩的规格。在该情况下，优选将第二马达57设定成极数为8以上且槽数为15以上。更优选将第二马达57设定成极数为20以上且槽数为24以上。由此，在特定电源规格下，第二马达57随着极数增加而变为低速旋转，并产生高转矩。

[0148] 另外，对于第一马达56和第三马达58，既可设为高速旋转且能产生低转矩的第一规格，或者也可与第二马达57同样设为能以低速旋转产生高转矩的第二规格。另外，在第一规格中，需要另外设置减速机。

[0149] 在本实施方式的薄片·薄膜制造装置1中，第二辊13的实用转速是0rpm-100rpm的范围。在上述低速旋转域中，使熔融树脂7a(参照图1)在第一辊12与第二辊13之间(接地点)通过，并向箭头Fd方向输送。因此，在上述输送中，需要对第二辊13赋予充分的旋转转矩。作为用于应对这一点的第二马达57的结构上的要件，优选永磁体61的极数设定为20以上。

[0150] 在该情况下，优选槽数设定为24以上。另外，作为槽数的计算方法，例如在WO2011/114574“永磁型马达”(申请人：三菱电机)中示出了如下的关系式：

[0151] Z/{3(相)×2P}＝2/5(或2/7)

[0152] Z：槽数

[0153] 2P：极数(P：自然数)。将极数20代入上述关系式。这样一来，可计算出槽数为24。由此，在第二辊13的实用转速(0-100rpm)的范围内，能产生最佳的旋转转矩。

[0154] “第一旋转轴部64、第二旋转轴部65以及第三旋转轴部66的配置规格”[0155] 此处，在图12-图14中示出了将后述第一旋转轴部64、第二旋转轴部65以及第三旋转轴部66配置于第一马达56、第二马达57以及第三马达58的旋转部(转子59)的规格。

[0156] 在图12的规格中，旋转部构成为中空圆筒部63。中空圆筒部63构成为凹陷成与转子59(参照图11)的旋转中心同心的圆状。上述中空圆筒部63(旋转部)供第一旋转轴部64、第二旋转轴部65以及第三旋转轴部66嵌合。

[0157] 在该状态下，第一旋转轴部64、第二旋转轴部65、第三旋转轴部66和旋转部(转子59)的旋转中心在一根旋转中心轴67上彼此一致。这样，第一旋转轴部64、第二旋转轴部65以及第三旋转轴部66能与旋转部(转子59)一起旋转。因此，能经由第一旋转轴部64、第二旋转轴部65以及第三旋转轴部66将第一马达56、第二马达57以及第三马达58的旋转状态(马达输出、旋转运动)向外部传递。

[0158] 在图13的规格中，旋转部设定为圆环状的安装面68(参照图12、图14)。安装面68构成为从转子59的旋转中心轴67扩展成同心圆状。将第一旋转轴部64、第二旋转轴部65以及第三旋转轴部66以同心圆状安装于上述安装面68(旋转部)。作为安装方法，可考虑利用螺栓旋紧的方法等。

[0159] 在图中作为一例示出了螺栓旋紧方法。例如，在第一旋转轴部64、第二旋转轴部65以及第三旋转轴部66的一端设置圆板状凸缘部69。在凸缘部69和安装面68(旋转部)双方构成能供螺栓70插通的多个固定孔71(参照图12、图14)。使凸缘部69与安装面68(旋转部)相向地接触。使螺栓70从凸缘部69通过并固定于安装面68(旋转部)。

[0160] 在该状态下，第一旋转轴部64、第二旋转轴部65、第三旋转轴部66和旋转部(转子59)的旋转中心在一根旋转中心轴67上彼此一致。这样，第一旋转轴部64、第二旋转轴部65以及第三旋转轴部66能与旋转部(转子59)一起旋转。

[0161] 在图14的规格中，第一旋转轴部64、第二旋转轴部65以及第三旋转轴部66与旋转部(转子59)一体地构成。在该状态下，第一旋转轴部64、第二旋转轴部65、第三旋转轴部66和旋转部(转子59)的旋转中心在一根旋转中心轴67上彼此一致。这样，第一旋转轴部64、第二旋转轴部65以及第三旋转轴部66能与旋转部(转子59)一起旋转。

[0162] “第一驱动机构53”

[0163] 如图1-图3所示，第一驱动机构53与第一辊12的第一驱动轴部12a连接。第一驱动机构53构成为能控制第一辊12的旋转状态。第一驱动机构53具有第一旋转轴部64、第一马达56以及第一动力传递机构72。

[0164] 第一旋转轴部64配置于第一马达56的旋转部。旋转部构成为能与转子59(参照图11)一起旋转。第一旋转轴部64的旋转中心、旋转部的旋转中心和第一马达56(转子59)的旋转中心在一根旋转中心轴67上彼此一致。在上述状态下，第一马达56的旋转状态(马达的输出、旋转运动)能不发生损失而经由第一旋转轴部64向外部传递。

[0165] 第一动力传递机构72在动力传递方向的一侧构成输入部，并且在动力传递方向的另一侧构成输出部。第一动力传递机构72配置在第一马达56与第一辊12之间。在第一动力传递机构72的一侧(输入部)连接有第一马达56的第一旋转轴部64。在第一动力传递机构72的另一侧(输出部)连接有第一辊12的第一旋转轴部12a。

[0166] 第一动力传递机构71包括固定联轴器(英文：coupling)73、挠性联轴器74以及减速机75。在支承板25上，固定联轴器73和挠性联轴器74逐一配置在减速机75的两侧。在图中，作为一例，固定联轴器73配置在第一马达56与减速机75之间，挠性联轴器74配置在减速机75与第一轴承机构15之间。

[0167] 固定联轴器73包括第一轮毂凸缘(英文：hub flange)76和第二轮毂凸缘77。第一轮毂凸缘76和第二轮毂凸缘77具有彼此相同的形状和大小。

[0168] 第一轮毂凸缘76包括圆板状的第一凸缘部78和圆筒状的第一安装部79。第一凸缘部78与第一安装部78的一端一体地构成。第一凸缘部78和第一安装部79配置成同心圆状。

[0169] 第二轮毂凸缘77包括圆板状的第二凸缘部80和圆筒状的第二安装部81。第二凸缘部80与第二安装部81的一端一体地构成。第二凸缘部80和第二安装部81配置成同心圆状。

[0170] 在该情况下，例如在使两个凸缘部78、80相向地接触的状态下，通过多个螺栓(未图示)将凸缘部78、80彼此固定。这样，构成了第一安装部79和第二安装部81向两侧突出的固定联轴器73。第一安装部79供第一旋转轴部64连接。第二安装部81与减速机75利用连接轴82彼此连接。

[0171] 挠性联轴器74包括第一轮毂凸缘83、第二轮毂凸缘84以及板簧单元85。第一轮毂凸缘83和第二轮毂凸缘84具有彼此相同的形状和大小。

[0172] 第一轮毂凸缘83包括圆板状的第一凸缘部86和圆筒状的第一安装部87。第一凸缘部86与第一安装部87的一端一体地构成。第一凸缘部86和第一安装部87配置成同心圆状。

[0173] 第二轮毂凸缘84包括圆板状的第二凸缘部88和圆筒状的第二安装部89。第二凸缘部88与第二安装部89的一端一体地构成。第二凸缘部88和第二安装部89配置成同心圆状。

[0174] 板簧单元85通过层叠多个板簧90而构成(参照图15)。在图中，作为一例，板簧90呈平板状且呈矩形状。板簧90在其中央部分构成有圆形的贯通孔90h。由此构成了轻量且弹性优良的板簧90。

[0175] 在该情况下，例如使两个凸缘部86、88相向地配置，并且使板簧单元85配置在凸缘部86、88彼此间。通过多个螺栓91、垫圈92以及螺母93(参照图15)将凸缘部86、88与板簧单元85一起彼此固定。这样，构成了第一安装部87和第二安装部89向两侧突出的挠性联轴器74。第一安装部87与减速机75利用连接轴82彼此连接。第二安装部89供第一驱动轴部12a连接，该第一驱动轴部12a被第一轴承机构15a支承。

[0176] 另外，例如在图15中示出了包括间隔件94(中间轴部)的挠性联轴器74的一例。在该情况下，在去除间隔件94的状态下，通过两侧的轮毂凸缘83、84(凸缘部86、88)夹住板簧单元85。利用螺栓91等将凸缘部86、88与板簧单元85一起固定。由此能构成上述挠性联轴器74。

[0177] 根据上述结构，第一马达56从第一旋转轴部64经由第一动力传递机构72及第一驱动轴部12a与第一辊12连接。此处，利用控制器(未图示)控制第一马达56。第一马达56的旋转状态(马达输出、旋转运动)从第一旋转轴部64经由第一动力传递机构72传递至第一驱动轴部12a。第一驱动轴部12a旋转，并且第二驱动轴部12b旋转。这样，能控制第一辊12的旋转状态(例如转速、旋转速度)。在该情况下，第一马达56的旋转状态(马达输出、旋转运动)通过第一动力传递机构71(减速机75)而在使旋转速度减小且使转矩增加的状态下传递至第一辊12。

[0178] “第二驱动机构54”

[0179] 如图1-图3所示，第二驱动机构54与第二辊13的第三驱动轴部13a连接。第二驱动机构54构成为能控制第二辊13的旋转状态。第二驱动机构54具有第二旋转轴部65、第二马达57以及第二动力传递机构95。

[0180] 第二旋转轴部65配置于第二马达57的旋转部。旋转部构成为能与转子59(参照图11)一起旋转。第二旋转轴部65的旋转中心、旋转部的旋转中心和第二马达57(转子59)的旋转中心在一根旋转中心轴67上彼此一致。在上述状态下，第二马达57的旋转状态(马达的输出、旋转运动)能不发生损失而经由第二旋转轴部65向外部传递。

[0181] 第二动力传递机构95在动力传递方向的一侧构成输入部，并且在动力传递方向的另一侧构成输出部。第二动力传递机构95配置在第二马达57与第二辊13之间。在第二动力传递机构95的一侧(输入部)连接有第二马达57的第二旋转轴部65。在第二动力传递机构95的另一侧(输出部)连接有第二辊13的第三旋转轴部13a。

[0182] 第二动力传递机构95包括挠性联轴器74。挠性联轴器74配置在第二马达57与第三轴承机构17之间。挠性联轴器74包括第一轮毂凸缘83、第二轮毂凸缘84以及板簧单元85。第一轮毂凸缘83和第二轮毂凸缘84具有彼此相同的形状和大小。

[0183] 在第二动力传递机构95的挠性联轴器74中，根据第二马达57与第三轴承机构17之间的距离使第一安装部87和第二安装部89长条化。第一安装部87供第二旋转轴部65连接。第二安装部89供第三驱动轴部13a连接，该第三驱动轴部13a被第三轴承机构17支承。除此以外的结构与上述第一动力传递机构72的挠性联轴器74相同。因此，对相同的结构标注相同符号，并省略其说明。

[0184] 根据上述结构，第二马达57从第二旋转轴部65经由第二动力传递机构95及第三驱动轴部13a与第二辊13连接。此处，利用控制器(未图示)控制第二马达57。第二马达57的旋转状态(马达输出、旋转运动)从第二旋转轴部65经由第二动力传递机构95传递至第三驱动轴部13a。第三驱动轴部13a旋转，并且第四驱动轴部13b旋转。这样，能控制第二辊13的旋转状态(例如转速、旋转速度)。

[0185] 在该情况下，第二马达57的旋转状态(马达输出、旋转运动)通过第二动力传递机构95，可不使上述旋转状态(马达输出、旋转运动)变化(例如，不使旋转速度减小)且原样地传递至第二辊13。其结果是，能使第二辊13在与第二马达57的旋转状态(马达输出、旋转运动)相同的时机旋转。另外，在本说明书中，相同时机是指相同转速、相同旋转速度、相同角速度以及相同角加速度等的上位概念。

[0186] “第三驱动机构55”

[0187] 如图1-图3所示，第三驱动机构55与第三辊14的第五驱动轴部14a连接。第三驱动机构55构成为能控制第三辊14的旋转状态。第三驱动机构55具有第三旋转轴部66、第三马达58以及第三动力传递机构96。

[0188] 第三旋转轴部66配置于第三马达58的旋转部。旋转部构成为能与转子59(参照图11)一起旋转。第三旋转轴部66的旋转中心、旋转部的旋转中心和第三马达58(转子59)的旋转中心在一根旋转中心轴67上彼此一致。在上述状态下，第三马达58的旋转状态(马达的输出、旋转运动)能不发生损失而经由第三旋转轴部66向外部传递。

[0189] 第三动力传递机构96在动力传递方向的一侧构成输入部，并且在动力传递方向的另一侧构成输出部。第三动力传递机构96配置在第三马达58与第三辊14之间。在第三动力传递机构96的一侧(输入部)连接有第三马达58的第三旋转轴部66。在第三动力传递机构96的另一侧(输出部)连接有第三辊14的第五旋转轴部14a。

[0190] 第三动力传递机构96包括固定联轴器73、挠性联轴器74以及减速机75。在该情况下，第三动力传递机构96的配置结构与上述第一动力传递机构72相同。因此，对相同的结构标注相同符号，并省略其说明。

[0191] 根据上述结构，第三马达58从第三旋转轴部66经由第三动力传递机构96及第五驱动轴部14a与第三辊14连接。此处，利用控制器(未图示)控制第三马达58。第三马达58的旋转状态(马达输出、旋转运动)从第三旋转轴部66经由第三动力传递机构96传递至第五驱动轴部14a。第五驱动轴部14a旋转，并且第六驱动轴部14b旋转。这样，能控制第三辊14的旋转状态(例如转速、旋转速度)。在该情况下，第三马达58的旋转状态(马达输出、旋转运动)通过第三动力传递机构96(减速机75)而在使旋转速度减小且使转矩增加的状态下传递至第三辊。

[0192] “第一实施方式的效果”

[0193] 根据本实施方式，在第一马达57与第二辊13之间配置包括挠性联轴器74的第二动力传递机构95。即，经由包括挠性联轴器74的第二动力传递机构95将第二马达57与第二辊13彼此连接。由此，在使第一辊12对第二辊13的推压状态变化时，第二辊13产生的所有变化状态被挠性联轴器74完全吸收去除。

[0194] 此处，第二辊13产生的变化状态是指使第一辊12靠近或远离第二辊13时产生的第二辊13的转轴的变化状态，例如可考虑第二旋转中心轴13r的偏心或偏角等“角度偏移”。即使在产生上述角度偏移(偏心、偏角)的情况下，挠性联轴器74(板簧单元85)也可根据上述角度偏移(偏心、偏角)大小的程度而弹性变形。由此，所有的上述角度偏移(偏心、偏角)被完全吸收去除。这样一来，第一辊12对第二辊13的推压状态的影响，即第二辊13的变化状态不会传递至第二马达57(第二旋转轴部65)。

[0195] 而且，通过挠性联轴器74(板簧单元85)弹性变形，第二马达57(转子59)和第二旋转轴部65的姿势，即旋转中心轴67的姿势始终维持一定。同时，第二马达57的旋转状态(马达输出、旋转运动)通过第二动力传递机构95可不使上述旋转状态(马达输出、旋转运动)变化(例如，不使旋转速度减小)且原样地传递至第二辊13。其结果是，能使第二辊13在与第二马达57的旋转状态(马达输出、旋转运动)相同的时机旋转。

[0196] 此时，第二马达57的转矩波动(脉动现象)维持在不产生接刀痕(横纹)的水平。其结果是，能事先抑制接刀痕(横纹)的产生。这样，能不产生接刀痕(横纹)而制造(成型)薄片(薄膜)。

[0197] 而且，根据本实施方式，在沿着第一旋转中心轴12r、第二旋转中心轴13r以及第三旋转中心轴14r平行的方向(长度方向)上观察，温度调节单元4配置在辊单元3(第一辊12、第二辊13以及第三辊14)的一侧，驱动单元6配置在另一侧。由此，能使对两个单元4、6维护的容易性提高。而且，在进行温度调节单元4的各配管4a、4b、4c的维护时，例如，在液体或制冷剂等泄漏或滴下时，也不会对驱动单元6的电路等造成影响。

[0198] 而且，根据本实施方式，对于直接对第二辊13的旋转起作用的第二马达57，设定极数为8以上且槽数为15以上，优选设定极数为20以上且槽数为24以上。由此，在第二辊13的实用转速(0-100rpm)的范围内，能产生最佳的旋转转矩。即，能实现能以低速旋转产生高转矩的第二马达57。其结果是，能事先防止产生因第二马达57的过载而导致薄片(薄膜)7c不能成型之类的情形。

[0199] “接刀痕(横纹)的产生试验”

[0200] 在图21-图22中示出了本实施方式的薄片·薄膜制造装置1的试验结果。在试验中准备两种薄片·薄膜制造装置。将两个装置的规格设定成相同。在该情况下，在一方的装置的驱动单元中应用包括挠性联轴器74的第二动力传递机构95，将其作为本发明的装置。在另一方的装置的驱动单元中应用不包括挠性联轴器的动力传递机构，将其作为现有技术的装置。将装置的动作时机设定成相同，进行试验。

[0201] 由试验结果可知，在现有样品(参照图21)中产生了接刀痕(横纹)，但在本发明样品(参照图22)中抑制了接刀痕(横纹)的产生。另外，图中的箭头是薄片(薄膜)的输送方向Fd。

[0202] 而且，在上述产生试验中，设定用于满足后述关系式(M≥π×D/T)的波长T(mm)的范围。在上述设定方法中，如图19所示，通过使第一辊12朝向第二辊13往复移动，使薄片(薄膜)状的熔融树脂的厚度变动。

[0203] 此时，将使第一辊12往复移动的推入周期设为H，将在第一辊12与第二辊13之间通过的熔融树脂的通过速度(圆周速度)设为S。这样一来，在熔融树脂中，沿着该熔融树脂的流动方向以P＝S×H的时机(波长、间距)出现周期性的变化。即，在熔融树脂中，以P＝S×H的时机(波长、间距)产生厚度变动。

[0204] 在图20中示出了熔融树脂所产生的厚度变动的产生模型。在上述产生模型中示出了通过使第一马达56的旋转转矩在ΔTmax-ΔTmin之间周期性地变动而使第一辊12周期性地变动的结果。

[0205] 在旋转转矩较高时(ΔTmax)，每单位旋转Δθ的熔融树脂的推压量或输送量变大(ΔVmax)。由此，熔融树脂的厚度变厚。熔融树脂对第一辊12的反作用力变大。其结果是，由旋转中心的轨迹(O3、O7、O11、O15)可知，第一辊12稍微后退(位移或变形)。

[0206] 在旋转转矩较低时(ΔTmin)，每单位旋转Δθ的熔融树脂的推压量或输送量变小(ΔVmin)。由此，熔融树脂的厚度变薄。熔融树脂对第一辊12的反作用力变小。其结果是，由旋转中心的轨迹(O1、O5、O9、O13)可知，第一辊12稍微前进(位移或变形)。

[0207] 本发明人们对熔融树脂的厚度变动的时机(波长、间距)(即，P＝S×H)进行了锐意研究。此处，例如在第一辊12旋转一圈期间，沿着熔融树脂的流动方向以P(＝S×H)≤5mm的时机(波长、间距)产生厚度变动。此时，厚度变动的幅度为0.3μm以下。上述厚度变动通过熔融树脂的粘弹性特性吸收去除。其结果是，能确认不产生接刀痕(横纹)而制造(成型)薄片(薄膜)。

[0208] 而且，本发明人们进行锐意研究的结果是，在以P(＝S×H)≤3mm的时机(波长、间距)产生厚度变动的情况下，确认可更有效地抑制接刀痕(横纹)的产生。

[0209] 上述厚度变动与因第二马达57的齿槽现象而引起的短周期振动的产生时机一致。而且，上述短周期振动沿着以与第二马达相同的时机旋转的第二辊的外周面以相同的时机产生。这样一来，能将后述波长T(mm)的范围规定为满足P≤5mm(优选3mm)关系的振动产生时机，即相位相等的两点间的距离。

[0210] 另外，在后述波长T(mm)的范围为P＞5mm时，会产生通过熔融树脂的粘弹性特性不能吸收的“厚度变动”。例如，在P＝13mm时，厚度变动的幅度变为10μm。在该情况下，不能抑制接刀痕(横纹)的产生，其结果是，在制造(成型)的薄片(薄膜)中残留接刀痕(横纹)。

[0211] “基于熔融树脂特性的第二马达57的规格”

[0212] 在薄片·薄膜制造装置1起动后(启动后)直到成品的制造(成型)为止的前阶段中，存在在上述薄片(薄膜)7c(参照图1)的表面上产生接刀痕(横纹)的情况。此时，例如，即使调整成型条件或运转条件也不能抑制上述接刀痕(横纹)的产生。

[0213] 在该情况下，根据本发明人们的锐意技术研究发现，在以特定的周期对沿着上述辊单元3输送的熔融树脂施加变动时，对于在薄片(薄膜)上产生的厚度变动的间距，换言之，对于在薄片(薄膜)上的波长为5mm以下的短周期振动，可通过熔融树脂的粘弹性特性来吸收变动，并且不会出现上述熔融树脂变动的影响。

[0214] 由此可知，在辊旋转一圈期间的短周期振动的次数为辊的外周长除以波长5mm所得的值以上时，短周期振动不会对上述熔融树脂造成影响。

[0215] 在马达(转子)旋转一圈期间，齿槽现象产生相当于极数与槽数的最小公倍数的次数。

[0216] 因此，若将第二马达57的极数与槽数的最小公倍数设为M，将第二辊13的直径设为D(mm)，将上述波长设为T(mm)，则下述关系式成立：

[0217] M＝π×D/T(π：圆周率)

[0218] 如上所述，发现，对于在薄片(薄膜)上的波长为5mm以下(T≤5)的短周期振动，可通过熔融树脂的粘弹性特性来吸收变动，并且不会出现上述熔融树脂变动的影响。因此，构成为使第二马达57的极数与槽数的最小公倍数M满足下述关系式：

[0219] M≥π×D/T(T＝5)

[0220] 即，M≥π×D/5

[0221] 由此，基于齿槽现象的转矩波动(脉动现象)可通过熔融树脂的粘弹性特性吸收。其结果是，能不产生接刀痕(横纹)而制造(成型)薄片(薄膜)。

[0222] “第二实施方式的薄片·薄膜制造装置1(图4-图6)”

[0223] 在驱动单元6(第二驱动机构54)的第二马达57中，为了以低速旋转产生高转矩而使极数增加。伴随着上述极数的增加，第二马达57的外形尺寸变大。此时，根据极数增加的程度，存在第二马达57的外形尺寸变得比第二辊13的直径大的情况。这样一来，很难使第二马达57配置在第一马达56与第三马达58之间。

[0224] 具体而言，例如，为了进行成型品的厚度调整或干扰修正，在将第一辊12朝向第二辊13推压时，第一马达56追随第一辊12而朝向第二马达57移动。此时，由于第二辊13的直径的增加程度和第二马达57的外形尺寸的增加程度，第一马达56与第二马达57接触。这样一来，就不能进行成型品的厚度调整或干扰修正。其结果是，不能将作为成品的薄片(薄膜)的品质维持一定。

[0225] 作为解决上述不良情况的对策，例如可将第二马达57配置在避开第一马达56的位置。作为上述配置方法的一例，可考虑使第一马达56与第一辊12的间隔比第二马达57与第二辊13的间隔小的第一方法，或者使第二马达57与第二辊13的间隔比第一马达56与第一辊12的间隔大的第二方法。

[0226] 此外，如上所述，第一轴承机构15、第三轴承机构17以及第五轴承机构19沿着与第一旋转中心轴12r、第二旋转中心轴13r以及第三旋转中心轴14r正交的方向排列成直线状。因此，以上述轴承机构15、17、19为基准考虑上述配置方法。

[0227] 例如，可考虑使第一马达56与第一轴承机构15的间隔比第二马达57与第三轴承机构17的间隔小的第一方法，或者使第二马达57与第三轴承机构17的间隔比第一马达56与第一轴承机构15的间隔大的第二方法。

[0228] 在图4中，作为一例示出了上述第一方法的配置。即，将第一马达56与第一辊12(第一轴承机构15)的间隔设定为比第二马达57与第二辊13(第三轴承机构17)的间隔小。另外，将第一马达56与第一辊12(第一轴承机构15)的间隔以及第三马达58与第三辊14(第五轴承机构19)的间隔设定为彼此相同的间隔。此外，配置在第一马达56与第一辊12之间的第一动力传递机构72以及配置在第三马达58与第三辊14之间的第三动力传递机构96与第一实施方式(参照图2-图3)相同，因此，对于相同结构标注相同符号，并省略其说明。

[0229] 此处，在第二马达57与第二辊13(第三轴承机构17)之间配置有第二动力传递机构95。第二动力传递机构95包括两个挠曲连接器74和间隔件94(中间轴部)。间隔件94的全长根据第二马达57与第二辊13(第三轴承机构17)之间的距离设定。例如，通过对后述间隔件
94的中继部94p的长度进行调节，能使第二动力传递机构95高精度地配置在第二马达57与第二辊13(第三轴承机构17)之间。

[0230] 如图15所示，间隔件94具有圆筒状的中继部94p、圆板状的第一凸缘部97以及圆板状的第二凸缘部98。第一凸缘部97与中继部94p的一端以同心圆状一体地构成。第二凸缘部98与中继部94p的另一端以同心圆状一体地构成。第一凸缘部97与第二凸缘部98配置成彼此平行地相向。

[0231] 而且，第一凸缘部97与第二凸缘部98具有彼此相同的形状和大小。在该情况下，上述间隔件94的第一凸缘部97及第二凸缘部98与第一挠性联轴器74的第一凸缘部86及第二挠性联轴器74的第二凸缘部88具有彼此相同的形状和大小。

[0232] 两个挠性联轴器74分别逐一设置在间隔件94的两侧。在间隔件94(第一凸缘部97)与第二马达57(第一旋转轴部65)之间配置有一方的第一挠性联轴器74。在间隔件94(第二凸缘部98)与第二辊13(第三旋转轴部13a)之间配置有另一方的第二挠性联轴器74。

[0233] 一方的第一挠性联轴器74构成为在上述第一轮毂凸缘83与上述间隔件94(第一凸缘部97)之间具有上述板簧单元85。在该情况下，使板簧单元85配置在第一轮毂凸缘83的第一凸缘部86与间隔件94的第一凸缘部97彼此之间。通过多个螺栓件91等将凸缘部86、97彼此固定。这样，能构成一方的第一挠性联轴器74。

[0234] 另一方的第二挠性联轴器74构成为在上述第二轮毂凸缘84与上述间隔件94(第二凸缘部98)之间具有上述板簧单元85。在该情况下，使板簧单元85配置在第二轮毂凸缘84的第二凸缘部88与间隔件94的第二凸缘部98彼此之间。通过多个螺栓件91等将凸缘部88、98彼此固定。这样，能构成另一方的第二挠性联轴器74。

[0235] 此处，在图15中作为一例，中间轴部(间隔件)94由一体化的一个(一根)轴构件(即，中继部94p)构成。然而，上述中间轴部(间隔件)94的结构并不限定于此。例如，也可以将多个轴构件(中继部94p)彼此连接而构成一个(一根)中间轴部(间隔件)94。

[0236] 具体而言，准备多个轴构件(中继部94p)，并利用第一挠性联轴器74将上述轴构件(中继部94p)彼此以能挠曲的方式连接。这样，能构成将多个轴构件(中继部94p)彼此连接的一个(一根)中间轴部(间隔件)94。

[0237] 根据上述结构，使第一辊12靠近或远离第二辊13时产生的第二辊13的转轴的变化状态，例如第二旋转中心轴13r的偏心或偏角等“角度偏移”通过中间轴部(间隔件)94和中继部94p以一方的轴接头(靠近第二马达57的轴接头74)为基点发生倾斜而被吸收去除。由此，第二马达57的转轴(旋转中心)的姿势始终维持一定。

[0238] 另外，在图5-图6中示出了上述第二实施方式的另一结构的薄片·薄膜制造装置1。第一动力传递机构72和第三动力传递机构96具有与上述第二动力传递机构95相同的结构。使第二动力传递机构95的间隔件94(中继部94p)的长度缩短而构成第一动力传递机构
72和第三动力传递机构96。根据上述结构，能更可靠地不产生接刀痕(横纹)而制造(成型)薄片(薄膜)。

[0239] “第二实施方式的效果”

[0240] 若第一马达56与第一辊12(第一轴承机构15)的间隔变长，则抗扭刚度会降低，并且重量(质量)会增加与间隔的增长量相应的量。这样一来，如上所述，第一辊12的响应性和追随性可能会降低。

[0241] 然而，如本实施方式那样，将第一马达56与第一辊12(第一轴承机构15)的间隔设定为比第二马达57与第二辊13(第三轴承机构17)的间隔小。这样一来，能维持或提高抗扭刚度，并且能使重量(质量)减轻与间隔的缩短量相应的量。

[0242] 由此，能使第一辊12的响应性和追随性提高或维持一定。其结果是，能将作为成品的薄片(薄膜)的品质维持一定。另外，其他的效果与上述第一实施方式的效果相同，因此省略其说明。

[0243] “第三实施方式的薄片·薄膜制造装置1(图16-图17)”

[0244] 本实施方式是上述第二实施方式(图4-图6)的改良。作为第一动力传递机构72和第三动力传递机构96，应用了市售的连杆式联轴器99(施密特(英文：schmidt)联轴器)。上述联轴器99能应用于第一动力传递机构72、第二动力传递机构95以及第三动力传递机构96中的任意一个，但以下对应用于第一动力传递机构72以及第三动力传递机构96的情况进行说明。

[0245] 如图16-图17所示，应用于第一动力传递机构72以及第三动力传递机构96的联轴器99具有彼此相同的结构。联轴器99具有第一盘片100、第二盘片101、中间盘片102以及连杆机构(第一连杆103、第二连杆104、第三连杆105、第四连杆106、第一销107、第二销108、第三销109以及第四销110)。联轴器99构成为配置在第一连接件111与第二连接件112彼此间。

[0246] 第一动力传递机构72两侧的连接件111、112分别逐一安装于第一马达56的第一旋转轴部64和第一辊12的第一驱动轴部12a。即，第一盘片100经由连接件111与第一旋转轴部64连接。而且，第二盘片101经由连接件112与第一驱动轴部12a连接。

[0247] 第三动力传递机构96两侧的连接件111、112分别逐一安装于第三马达58的第三旋转轴部66和第三辊14的第五驱动轴部14a。即，第一盘片100经由连接件111与第三旋转轴部66连接。而且，第二盘片101经由连接件112与第五驱动轴部14a连接。

[0248] 第一盘片100、第二盘片101以及中间盘片102具有彼此相同的形状和大小。第一盘片100、第二盘片101以及中间盘片102呈中空的圆板状。第一盘片100、第二盘片101以及中间盘片102配置成彼此平行地相向。中间盘片102配置在第一盘片100与第二盘片101之间。

[0249] 在中间盘片102的两侧构成有彼此平行地相向的第一中间面102a和第二中间面102b。第一盘片100配置成与中间盘片102的第一中间面102a相向。第一盘片100具有与第一中间面102a平行地相向的第一面100a。

[0250] 连杆机构在第一面100a与第一中间面102a之间构成。即，在第一面100a设置有两个第一销107。两个第一销107朝向第一中间面102a彼此平行地突出。在第一中间面102a设置有两个第二销108。两个第二销108朝向第一面100a彼此平行地突出。

[0251] 第一销107与第二销108经由第一连杆103和第二连杆104而彼此连接。在第一连杆103和第二连杆104上分别构成有两个连接孔113、114。在连接孔113、114中收容有轴承(未图示)。在第一连杆103和第二连杆104中，第一销107以能旋转的方式与一方的连接孔113连接。第二销108以能旋转的方式与另一方的连接孔114连接。

[0252] 另一方面，第二盘片101配置成与中间盘片102的第二中间面102b相向。第二盘片101具有与第二中间面102b平行地相向的第二面101a。

[0253] 连杆机构在第二面101a与第二中间面102b之间构成。即，在第二中间面102b设置有两个第三销109。两个第三销109朝向第二面101a彼此平行地突出。在第二面101a设置有两个第四销110。两个第四销110朝向第二中间面102b彼此平行地突出。

[0254] 第三销109与第四销110经由第三连杆105和第四连杆106而彼此连接。在第三连杆105和第四连杆106上分别构成有两个连接孔115、116。在连接孔115、116中收容有轴承(未图示)。在第三连杆105和第四连杆106中，第三销109以能旋转的方式与一方的连接孔115连接。第四销110以能旋转的方式与另一方的连接孔116连接。

[0255] 另外，在将上述联轴器99应用于第二动力传递机构95时，将第一盘片100经由连接件111而与第二旋转轴部65连接，并且将第二盘片101经由连接件112而与第三驱动轴部13a连接。由此，能获得与上述第一实施方式相同的效果，这是自不待言的。

[0256] “第三实施方式的效果”

[0257] 根据本实施方式，第一马达56和第三马达58的旋转状态(马达输出、旋转运动)从第一旋转轴部64和第三旋转轴部66经由连接件111传递至第一盘片100。此时，第一盘片100的旋转运动从第一连杆103和第二连杆104传递至中间盘片102后，从第三连杆105和第四连杆106传递至第二盘片101。此时，第二盘片101的旋转运动从连接件112经由第一驱动轴部12a和第五驱动轴部14a传递至第一辊12和第三辊14。这样，能使第一辊12及第三辊14以与第一马达56及第三马达58的旋转状态(马达输出、旋转运动)相同的时机旋转。

[0258] 而且，使第一辊12靠近或远离第二辊13时产生的第二辊13的变化状态被上述连杆机构吸收去除。由此，能使第一旋转轴部64和第三旋转轴部66的姿势始终维持一定。另外，其他的结构与第二实施方式相同，因此，对相同结构标注相同符号，并省略其说明。而且，其他效果与上述第一实施方式及第二实施方式相同，因此省略其说明。

[0259] “第四实施方式的薄片·薄膜制造装置1(图18)”

[0260] 本实施方式是上述第二实施方式(图4-图6)的改良。作为第一动力传递机构71和第三动力传递机构96，应用了市售的球接头117。球接头117构成为在轴118的两侧具有被橡胶制防护套119覆盖的接头机构(未图示)。虽然并未图示，但接头机构包括：承窝部，该承窝部形成有球面状的滑动面；以及金属球，该金属球能沿着套筒(滑动面)旋转。而且，金属球供第一马达56的第一旋转轴部64、第三马达58的第三旋转轴部66(参照图4)、第一辊12的第一驱动轴部12a以及第三辊14的第五驱动轴部14a连接。

[0261] “第四实施方式的效果”

[0262] 根据本实施方式，通过使金属球沿着承窝部(滑动面)旋转和绕转，能使第一辊12及第三辊14以与第一马达56及第三马达58的旋转状态(马达输出、旋转运动)相同的时机旋转。另外，其他的结构与第二实施方式相同，因此，对相同结构标注相同符号，并省略其说明。而且，本实施方式的效果与上述第一实施方式及第二实施方式相同，因此省略其说明。

[0263] 另外，此处作为一例，对应用球接头117作为第一动力传递机构72和第三动力传递机构96的轴接头的规格进行了说明，但并不限定于此，也可将上述球接头117应用于上述第二动力传递机构95的轴接头。例如，在上述图2的实施方式中，应用挠性联轴器74作为第二动力传递机构95的轴接头，但也可取代之而应用球接头117。

[0264] “第五实施方式的薄片·薄膜制造装置1(图23-图26)”

[0265] 在图23-图26中示出了除了上述第一至第四实施方式以外的另外形态的第二动力传递机构95的具体结构。本实施方式的第二动力传递机构95包括弹性轴接头120、支承件(英文：stay)121以及轴承122，上述轴承122配置于支承件121。

[0266] 在该情况下，弹性轴接头120经由轴承122而被以能旋转的方式支承于支承件121。支承件121从基座123立起。基座123固定于基底30。这样，弹性轴接头120经由支承件121而以能旋转的方式固定于基座123(基底30)。在图中作为一例，弹性轴接头120被两个支承件
121以能旋转的方式支承。

[0267] 在弹性轴接头120的一侧(后述内轴构件124的另一端)连接有第二马达57的第二旋转轴部65。在弹性轴接头120的另一侧(后述外轴构件125的另一端)连接有第二辊13的第三驱动轴部13a。

[0268] 作为连接方法的一例，在图中，使第二旋转轴部65与弹性轴接头120的一侧(内轴构件124的另一端)的嵌合部124e嵌合(压入)而进行连接。虽然并未图示，但上述连接方法也能应用于使第三驱动轴部13a连接的弹性轴接头120的另一侧(外轴构件125的另一端)。

[0269] 弹性轴接头120包括内轴构件124、外轴构件125以及弹性体126。作为弹性体126，例如能应用橡胶、合成树脂等。弹性体126构成为能无间隙地夹装(插入)于后述凸部124p与凹部125p之间。

[0270] 内轴构件124具有两端，且相对于中心轴124r呈同心圆状。上述两个支承件121逐一配置在内轴构件124的两端侧。内轴构件124的两端侧被支承件121支承。

[0271] 在内轴构件124的一端设置有凸部124p。凸部124p构成为从内轴构件124的一端沿着中心轴124r以同心状突出。在图中作为一例示出了矩形的凸部124p，但除此以外，例如能应用三角形、多边形等各种形状。

[0272] 在内轴构件124的另一端构成有上述嵌合部124e。嵌合部124e是使内轴构件124的另一端沿着中心轴124r以同心状局部凹陷而构成的。嵌合部124e的形状设定为与第二旋转轴部65的形状对应。

[0273] 外轴构件125具有两端，且相对于中心轴125r呈同心圆状。在外轴构件125的一端设置有凹部125p。凹部125p是使外轴构件125的一端沿着中心轴125r以同心状局部凹陷而构成的。在图中作为一例示出了矩形的凹部125p，但除此以外，例如能应用三角形、多边形等各种形状。

[0274] 在外轴构件125的端部例如设置有嵌合部(未图示)，该嵌合部具有与上述嵌合部124e相同的结构。通过使第三驱动轴部13a与上述嵌合部嵌合(压入)，能使第三驱动轴部
13a与上述外轴构件125的另一端(弹性轴接头120的另一侧)连接。

[0275] 在上述弹性轴接头120中，使内轴构件124的凸部124p插入外轴构件125的凹部125p，上述内轴构件124连接有第二旋转轴部65，上述外轴构件125连接有第三驱动轴部
13a。使弹性体126夹装(插入)于凸部124p与凹部125p之间。虽然并未图示，但上述夹装(插入)方法例如可预先沿着凸部124p的外表面整体铺设弹性体126。接着，将上述凸部124p与弹性体126一起推入(插入)凹部125p，由此能使弹性体126无间隙地夹装(插入)于凸部124p与凹部125p之间。

[0276] 在上述状态下，第二旋转轴部65和旋转部(转子59)的旋转中心以及上述中心轴124r、125r在一根旋转中心轴67上彼此一致。第二旋转轴部65和弹性轴接头120(内轴构件
124、外轴构件125)能与旋转部(转子59)一起旋转。

[0277] “第五实施方式的效果”

[0278] 根据本实施方式，内轴构件124的两端侧被支承件121支承。因此，例如在使第一辊12(参照图1-图2)对第二辊13的推压状态变化时，即使在第二辊13中产生变化状态(例如，第二旋转中心轴13r的角度偏移(偏心、偏角))的情况下，内轴构件124也不会受到上述变化状态的影响。换言之，内轴构件124始终维持不挠曲的状态。

[0279] 此时，在第二辊13中产生的所有变化状态(例如，第二旋转中心轴13r的角度偏移(偏心、偏角))通过弹性轴接头120(弹性体126)而被完全吸收去除。因此，第二辊13的变化状态不会传递至第二马达57(第二旋转轴部65)。同时，第二马达57(转子59)和第二旋转轴部65的姿势，即旋转中心轴67的姿势始终维持一定。

[0280] 这样，通过不使第二马达57的旋转状态变化且原样地传递至第二辊13，能实现使第二辊13以与第二马达57的旋转状态相同的时机旋转的第二动力传递机构95。另外，其他效果与第一实施方式相同，因此省略其说明。

[0281] “第六实施方式的薄片·薄膜制造装置1(图27-图29)”

[0282] 在图27中示出了除了上述第一至第五实施方式以外的另外形态的第二动力传递机构95的具体结构。本实施方式的第二动力传递机构95除了包括上述弹性轴接头120以外，还包括推压机构127a、127b。推压机构127a、127b逐一设置在第二辊13的两侧。

[0283] 一侧的推压机构127a配置在弹性轴接头120(具体是外轴构件125的另一端)与第三轴承机构17之间。另一侧的推压机构127b配置在上述第二配管4b与第四轴承机构18之间。两个推压机构127a、127b包括挠性轴128、轴承箱129、线性引导件130、活塞杆131以及致动器132。

[0284] 在一侧的推压机构127a中，挠性轴128设置在第三驱动轴部13a与外轴构件125的另一端(弹性轴接头120的另一侧)之间。挠性轴128从第三驱动轴部13a连续，且沿着旋转中心轴67呈同心圆状。在图中作为一例，从第三驱动轴部13a至即将到外轴构件125的另一端为止构成挠性轴128。

[0285] 在另一侧的推压机构127b中，挠性轴128设置在第四驱动轴部13b与第二配管4b之间。挠性轴128从第四驱动轴部13b连续，且沿着第二旋转中心轴13r呈同心圆状。

[0286] 在两个推压机构127a、127b中，挠性轴128的整体容易发生弹性变形。作为使上述效果实现的方法，例如能应用使挠性轴128的直径比第三驱动轴部13a(第四驱动轴部13b)细的方法。

[0287] 轴承箱129将挠性轴128支承为能旋转。轴承箱129构成为能沿着线性引导件130移动。线性引导件130沿着与挠性轴128(旋转中心轴67)横跨(垂直)的方向配置。

[0288] 活塞杆131具有两端(基端、前端)。活塞杆131的基端与致动器132连接。活塞杆131的前端与轴承箱129连接。致动器132构成为能使活塞杆131往复动作。在上述结构中，使活塞杆131往复动作(突出、缩入)。由此，能使轴承箱129沿着线性引导件130前进和后退。

[0289] 在该情况下，通过使活塞杆131突出和缩入(使轴承箱129前进和后退)，能使推压力和拉伸力作用于挠性轴128。能根据使轴承箱129前进的距离(活塞杆131的突出量)而使推压力增减变更。能根据使轴承箱129后退的距离(活塞杆131的缩入量)而使拉伸力增减变更。

[0290] 在上述机构中，能根据推压力和拉伸力使挠性轴128弹性变形。通过增大推压力和拉伸力，能增大挠性轴128的变形量(变形的大小、程度)。在该情况下，将推压力和拉伸力的大小设定为在挠性轴128根据第二辊13中产生的变化状态(例如，第二旋转中心轴13r的角度偏移(偏心、偏角))而挠曲时消除该挠曲的程度。

[0291] “推压机构1271a、127b的动作”

[0292] 例如，如图28所示，在使第一辊12(参照图1-图2)对第二辊13的推压状态133变化时，可考虑因在第二辊13中产生变化状态(例如，第二旋转中心轴13r的角度偏移(偏心、偏角))而使两个挠性轴128挠曲的状态。

[0293] 在上述状态下，如图29所示，使活塞杆131突出而使轴承箱129前进。由此使推压力作用于挠性轴128。此时，使活塞杆131突出(使轴承箱129前进)直到挠性轴128的挠曲消除为止。

[0294] 在该情况下，在一侧的推压机构127a中，使活塞杆131突出(使轴承箱129前进)直到挠性轴128的旋转中心与旋转中心轴67一致为止。同时，在另一侧的推压机构127b中，使活塞杆131突出(使轴承箱129前进)直到挠性轴128的旋转中心与第二旋转中心轴13r一致为止。

[0295] 由此，第二辊13维持在其两侧被第三轴承机构17和第四轴承机构18平衡良好地支承的状态。

[0296] 而且，在一侧的推压机构127a中，作用于挠性轴128的所有推压力通过弹性轴接头120(具体是弹性体126)弹性变形而被完全吸收去除。因此，第二辊13的变化状态不会传递至第二马达57(第二旋转轴部65)。

[0297] “第六实施方式的效果”

[0298] 根据本实施方式，除了弹性轴接头120以外，还包括推压机构127a、127b。由此，在第二辊13中产生的所有变化状态(例如，第二旋转中心轴13r的所有角度偏移(偏心、偏角))被完全吸收去除。因此，第二辊13的变化状态不会传递至第二马达57(第二旋转轴部65)。同时，第二马达57(转子59)和第二旋转轴部65的姿势，即旋转中心轴67的姿势始终维持一定。

[0299] 这样，通过不使第二马达57的旋转状态变化且原样地传递至第二辊13，能实现使第二辊13以与第二马达57的旋转状态相同的时机旋转的第二动力传递机构95。另外，其他效果与第一实施方式相同，因此省略其说明。

[0300] “第六实施方式的变形例”

[0301] 在能以低速旋转产生高转矩的规格中，直接对第一辊12的旋转起作用的第一马达56也可应用第六实施方式的第二动力传递机构95作为上述第一驱动机构53，以取代第一动力传递机构72。

[0302] 在上述第六实施方式中并未说到弹性轴接头120的支承结构，但例如也可通过第五实施方式的支承件121(轴承122)将弹性轴接头120支承为能旋转。在该情况下，支承件121的配置从基底30立起。

[0303] 虽然说明了上述实施方式，但是这些实施方式仅仅是示例，并不是为了限定本发明的范围。实际上，此处描述的新颖的实施方式可以通过各种其他形式来实施，此外，在不脱离本发明主旨的范围内，可以对此处描述的实施方式的形式进行各种省略、替换和变更。所附权利要求及其等同物是为了涵盖落入本发明的范围和主旨内的上述形式或修改。