一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构

摘要

本发明公开一种晶圆盒自动定位机构，包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器。本发明还公开一种晶元盒运输车，包括自动引导运输车，所述自动引导运输车包括车体和位于所述车体上的车架，所述车架上安装有晶圆盒升降台，所述晶圆盒托盘固定于所述晶圆盒升降台顶部。本发明提供的晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构，使得更换晶圆盒时可以根据不同晶元尺寸实现自动定位。

权利要求

1.一种晶圆盒自动定位机构，其特征在于：包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器；所述晶圆盒托盘上设置有感应器，所述感应器与所述驱动器连接；所述晶圆盒托盘包括第一侧、第二侧、第三侧和第四侧；所述晶圆盒托盘的第一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘的第二侧和所述晶圆盒托盘的第三侧之间安装有第一直线导轨；所述晶圆盒托盘的第四侧安装有第二直线导轨；所述第一直线导轨两端和所述第二直线导轨远离所述晶圆盒托盘中心的一端分别安装有调整块；所述驱动电机为单出轴直线电机或双出轴直线电机；所述晶圆盒托盘的第二侧和所述晶圆盒托盘的第三侧之间设置有与所述第一直线导轨平行的双出轴直线电机，所述双出轴直线电机通过第一活动轴与所述第一直线导轨两端的调整块连接件连接；所述晶圆盒托盘的第四侧设置有与所述第二直线导轨平行的单出轴直线电机，所述单出轴直线电机通过第二活动轴与所述第二直线导轨一端的调整块连接件连接；所述调整块连接件固定于所述调整块上，且与所述晶圆盒托盘平行设置；所述调整块连接件两端设置有与所述晶圆盒托盘垂直的侧板，所述侧板端部与所述晶圆盒托盘滑动接触；所述晶圆盒托盘上开设有滑槽，所述滑槽位于所述晶圆盒托盘与所述侧板接触处。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒自动定位机构，其特征在于：所述调整块连接件为矩形块状结构，所述调整块连接件侧壁设置有凸缘，所述凸缘上开设有螺纹孔，所述驱动电机通过所述凸缘的螺纹孔与所述调整块连接件固定连接。

3.一种应用如权利要求1～2任一项所述晶圆盒自动定位机构的晶元盒运输车，其特征在于：包括自动引导运输车，所述自动引导运输车包括车体和位于所述车体上的车架，所述车架上安装有晶圆盒升降台，所述晶圆盒托盘固定于所述晶圆盒升降台顶部。

说明书

一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构

技术领域

[0001] 本发明涉及晶圆盒更换定位技术领域，特别是涉及一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构。

背景技术

[0002] 晶圆是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，是芯片绑定生产的原材料之一，晶圆盒是用于承装晶圆的载体。芯片绑定机在生产过程中由于产品不同，经常需要切换机种，切换机种有时就需要更换晶圆尺寸，现有常用的晶圆尺寸有6英寸，8英寸，12英寸，每次切换晶圆尺寸的时候都需要手动调整晶圆台，操作步骤繁琐、费时费力且定位精度调整困难。

发明内容

[0003] 本发明的目的是提供一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构，以解决上述现有技术存在的问题，使得更换晶圆盒时可以根据不同晶元尺寸实现自动定位。

[0004] 为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

[0005] 本发明提供一种晶圆盒自动定位机构，包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述基准块上设置有标准尺，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器。

[0006] 可选的，所述晶圆盒托盘包括第一侧、第二侧、第三侧和第四侧；所述晶圆盒托盘的第一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘的第二侧和所述晶圆盒托盘的第三侧之间安装有第一直线导轨；所述晶圆盒托盘的第四侧安装有第二直线导轨；所述第一直线导轨两端和所述第二直线导轨远离所述晶圆盒托盘中心的一端分别安装有调整块。

[0007] 可选的，所述驱动电机为单出轴直线电机或双出轴直线电机。

[0008] 可选的，所述晶圆盒托盘的第二侧和所述晶圆盒托盘的第三侧之间设置有与所述第一直线导轨平行的双出轴直线电机，所述双出轴直线电机通过第一活动轴与所述第一直线导轨两端的调整块连接件连接；所述晶圆盒托盘的第四侧设置有与所述第二直线导轨平行的单出轴直线电机，所述单出轴直线电机通过第二活动轴与所述第二直线导轨一端的调整块连接件连接。

[0009] 可选的，所述调整块连接件固定于所述调整块上，且与所述晶圆盒托盘平行设置；所述调整块连接件两端设置有与所述晶圆盒托盘垂直的侧板，所述侧板端部与所述晶圆盒托盘滑动接触。

[0010] 可选的，所述晶圆盒托盘上开设有滑槽，所述滑槽位于所述晶圆盒托盘与所述侧板接触处。

[0011] 可选的，所述调整块连接件为矩形块状结构，所述调整块连接件侧壁设置有凸缘，所述凸缘上开设有螺纹孔，所述驱动电机通过所述凸缘的螺纹孔与所述调整块连接件固定连接。

[0012] 可选的，所述晶圆盒托盘上设置有感应器，所述感应器与所述驱动器连接。

[0013] 本发明还提供一种包含上述晶圆盒自动定位机构的晶元盒运输车，包括自动引导运输车，所述自动引导运输车包括车体和位于所述车体上的车架，所述车架上安装有晶圆盒升降台，所述晶圆盒托盘固定于所述晶圆盒升降台顶部，即本发明提供的晶圆盒自动定位机构固定于所述晶圆升降台顶部。

[0014] 本发明提供的晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构与现有技术相比，具有以下技术效果：

[0015] 本发明提供的晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构将调整块安装在单出轴直线电机或双出轴直线电机驱动的移动装置上，通过直线导轨或者直线轴承进行导向，使用丝杆或者同步带进行传送，通过驱动器输出指定的值，即可完成调整块位置的调整，节省了切换机种的时间，杜绝了切换机种遗漏的可能性，更有利于实现工厂的无人化管理。

附图说明

[0016] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图；

[0017] 图1为本发明晶元盒自动定位机构的晶元盒托盘结构示意图；

[0018] 图2为本发明晶元盒运输车结构示意图；

[0019] 图3为本发明传统晶元升降台结构示意图；

[0020] 附图标记说明：1为晶圆盒托盘、2为第一侧、3为第二侧、4为第三侧、5为第四侧、6为基准块、7为第一直线导轨、8为第二直线导轨、9为调整块、10为调整块连接件、11为双出轴直线电机、12为活动轴、13为单出轴直线电机、14为侧板、15为凸缘、16为自动引导运输车、17为车架、18为晶圆盒升降台、19为升降杆、20为线性模组、21为伺服电机。

具体实施方式

[0021] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0022] 本发明的目的是提供一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构，以解决上述现有技术存在的问题，使得更换晶圆盒时可以根据不同晶元尺寸实现自动定位。

[0023] 本发明提供一种晶圆盒自动定位机构，包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器。

[0024] 本发明还提供一种包含上述晶圆盒自动定位机构的晶元盒运输车，包括自动引导运输车，所述自动引导运输车包括车体和位于所述车体上的车架，所述车架上安装有晶圆盒升降台，所述晶圆盒托盘固定于所述晶圆盒升降台顶部。

[0025] 为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

[0026] 本发明提供一种晶圆盒自动定位机构，如图1所示，晶圆盒自动定位机构包括晶圆盒托盘1，所述晶圆盒托盘1包括第一侧2、第二侧3、第三侧4和第四侧5；所述晶圆盒托盘1的第一侧2固定安装有基准块6，所述晶圆盒托盘1的第二侧3和所述晶圆盒托盘1的第三侧4之间安装有第一直线导轨7；所述晶圆盒托盘1的第四侧4安装有第二直线导轨8；所述第一直线导轨7两端和所述第二直线导轨8远离所述晶圆盒托盘1中心的一端分别安装有调整块9，所述调整块9顶端设置有调整块连接件10，所述晶圆盒托盘1的第二侧3和所述晶圆盒托盘1的第三侧4之间设置有与所述第一直线导轨7平行的双出轴直线电机11，所述双出轴直线电机11通过第一活动轴与所述第一直线导轨7两端的调整块连接件10连接；所述晶圆盒托盘1的第四侧5设置有与所述第二直线导轨8平行的单出轴直线电机13，所述单出轴直线电机13通过第二活动轴与所述第二直线导轨8一端的调整块连接件10连接。

[0027] 上述单出轴直线电机13的活动轴12在驱动器14的控制下，带动第二直线导轨8一端的调整块9沿着第二直线导轨8滑动，双出轴直线电机11的活动轴12位于双出轴直线电机11两端，在驱动器的控制下，分别同步带动第一直线导轨7两端的调整块9沿着第一直线导轨7滑动，进而实现对不同尺寸晶圆盒的自动定位。

[0028] 需要特别说明的是，本发明中的调整块9的驱动方式并不仅仅限于上述单出轴直线电机13和双出轴直线电机11，还可以使用丝杆或者同步带进行传送，通过驱动器14输出指定的值，即可完成调整块9位置的调整。

[0029] 进一步优选的，本发明所述调整块连接件10与所述晶圆盒托盘1平行设置；所述调整块连接件10两端设置有与所述晶圆盒托盘1垂直的侧板14，所述侧板14端部与所述晶圆盒托盘1滑动接触。所述晶圆盒托盘上开设有滑槽，所述滑槽位于所述晶圆盒托盘1与所述侧板14接触处。所述调整块连接件10为矩形块状结构，所述调整块连接件10侧壁设置有凸缘15，所述凸缘15上开设有螺纹孔，所述驱动电机通过所述凸缘15的螺纹孔与所述调整块连接件10固定连接。所述晶圆盒托盘1上设置有感应器，所述感应器与所述驱动器连接。

[0030] 调整块连接件10两侧板14在晶圆盒托盘1的滑槽内滑动，调整块9位于调整块连接件10的中间位置，从而确保了调整块连接件10带动调整块9运行时更加平稳。调整块连接件10侧壁的凸缘15结构使得驱动电机的活动轴与调整块连接件10接触部位更多，连接更紧密，且独特的螺纹孔结构便于拆卸维修。本发明中凸缘15与驱动电机的活动轴还可以采用其他固定方式，例如使用卡扣连接或者铆钉连接结构等方式。

[0031] 本发明还提供一种包含上述晶圆盒自动定位机构的晶元盒运输车，如图2所示，包括自动引导运输车16，所述自动引导运输车16包括车体和位于所述车体上的车架17，所述车架17上安装有晶圆盒升降台18，所述晶圆盒托盘1固定于所述晶圆盒升降台18顶部。所述晶圆升降台18与所述车架17通过四个对称的升降杆19连接。在自动引导运输车上设置有手动切换按钮，该手动切换按钮与驱动器连接，驱动器与晶圆盒托盘1上的感应器电连接，当需要切换不同尺寸的晶圆盒时，晶圆盒托盘1上的感应器感应到晶圆盒大体位置，之后反馈到驱动器，驱动器在操作人员通过手动切换按钮控制下，带动驱动电机运转，驱动电机的活动轴带动调整块沿滑轨行进相应的距离，从而实现晶圆盒的自动定位。

[0032] 本发明提供的晶元盒自动定位机构还可以应用在传统晶元升降台上，如图3所示，传统晶元升降台通过线性模组20和伺服电机21实现上下运动，从而运行到合适的位置，之后根据晶元盒尺寸调整驱动器到相应开关，使得晶元盒自动定位机构按照驱动器的指示实现自动定位。具体的，系统给出晶元的尺寸信息，升降台定位块移动到指定位置，将晶元盒自动定位机构上原有的晶元盒取下，替换上新的晶元盒，传感器检测新的晶元盒尺寸是否匹配，若不匹配，则自动调整定位机构，直至匹配。最终升降台在直线模组20和伺服电机21的作用下将晶元盒抬升至工作位。节省了切换机种的时间。杜绝了切换机种遗漏的可能性。更有利于实现工厂的无人化管理。

[0033] 本说明书应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。