操作用电磁阀安装结构及流体控制阀

摘要

一种操作用电磁阀安装结构，在包括操作口(131A)的缸体(131)安装对供给至缸体(131)的操作流体进行控制的操作用电磁阀(6)，其中，具有安装了操作用电磁阀(6)的安装块(2)、和与操作口(131A)的内螺纹(131AX)螺纹连接而将安装块(2)安装于缸体(131)的安装螺丝，安装块(2)形成有将操作流体供给至操作用电磁阀(6)的输入流路(2e)、供被操作用电磁阀(6)控制了的操作流体流动的输出流路(2f)、和供安装螺丝(3)贯通并连通于输出流路(2f)的贯通孔(2b)，在安装螺丝(3)中形成有使操作口(131A)与输出流路(2f)连通的内部流路(3h)，通过密封部件(5)和密封部件(10)将贯通孔(2b)的内壁与安装螺丝(3)之间密封。

权利要求

1.一种操作用电磁阀安装结构，在包括操作口的缸体安装对供给至所述缸体的操作流体进行控制的操作用电磁阀，其特征在于，在所述操作口形成有内螺纹；并且

具有：安装了所述操作用电磁阀的安装块、和与所述内螺纹螺纹连接而将所述安装块安装于所述缸体的安装螺丝，所述安装块具有：

输入流路，供所述操作流体流入并供给至所述操作用电磁阀；

输出流路，供被所述操作用电磁阀控制了的所述操作流体流出；和贯通孔，供所述安装螺丝贯通并连通于所述输出流路，所述安装螺丝具有使所述操作口与所述输出流路连通的内部流路，所述操作用电磁阀安装结构中，具有将所述贯通孔的内壁与所述安装螺丝之间密封的密封部件。

2.根据权利要求1所述的操作用电磁阀安装结构，其特征在于，所述安装螺丝具有穿插在所述贯通孔中的轴部，在所述轴部的外周面以环状形成有凹部，所述内部流路在所述凹部的壁面开口。

3.一种流体控制阀，其特征在于，包括权利要求1或2所述的操作用电磁阀安装结构。

说明书

操作用电磁阀安装结构及流体控制阀

技术领域

[0001] 本发明涉及操作用电磁阀安装结构及流体控制阀，所述操作用电磁阀安装结构包括：具有操作口的缸体；和对供给至缸体的操作流体进行控制的操作用电磁阀。

背景技术

[0002] 例如半导体制造装置通过向设置于反应室内的晶圆供给气体(控制流体的一例)而在晶圆上形成膜。膜的品质受气体供给量的影响。因此，在反应室中，在气体供给口处设置控制气体的流体控制阀。

[0003] 例如，第一现有例的流体控制阀(例如参照专利文献1)由操作用电磁阀驱动。操作用电磁阀经由管路而与装备于流体控制阀处的驱动部的缸体连接。管路经由与缸体螺纹连接的接头而连接于缸体。在操作用电磁阀为非通电的情况下，该流体控制阀并不从管路向缸体供给操作流体，而是处于阀关闭状态。而一旦操作用电磁阀被通电，则流体控制阀就将操作流体从管路供给至缸体，从而驱动部驱动而使阀部成为阀打开状态。

[0004] 另外，半导体的微型化、高密度化正在推进。相伴于此，在半导体制造工序中，开始采用了即使是几纳米的薄膜也能够精确地形成、即使是对纵横比高的部分也能够形成膜的ALD(原子层沉积)生产工艺。ALD生产工艺通过将气体的供给和排放反复进行多次来以纳米级尺度控制膜厚。在该情况下，流体控制阀以高频率进行阀打开关闭动作。另外，每一次的气体供给量变为少量。如第一现有例的流体控制阀那样，在操作用电磁阀与缸体通过管路相连的情况下，从操作用电磁阀到操作口的流路较长，阀打开关闭动作的响应性较差。

[0005] 图12是第二现有例的流体控制阀201(例如参照专利文献2)的剖视图。流体控制阀201经由安装块210而将操作用电磁阀211安装于驱动部203的缸体206的上端部206C。安装块210以使得输出流路210B直接连接于缸体206的操作口206A的方式安装在缸体206上。

[0006] 在流体控制阀201中，在操作用电磁阀211为非通电的情况下，操作流体不被输出至安装块210的输出流路210B中。在该情况下，活塞板213A，213B经由活塞轴209和阀杆231而被复位弹簧232向下推压，并使阀部202的隔膜221抵接于阀座222。而另一方面，在流体控制阀201中，若操作用电磁阀211被通电，则向安装块210的输入流路210A中输入的操作流体在操作用电磁阀211中被控制供给量，并被输出给安装块210的输出流路210B。操作流体经由形成于缸体206的操作口206A、保持孔206B、形成于活塞轴209的中央流路209A、连通流路209B、209C而被供给至缸体室207，对配置在固定板212的上下的活塞板213A、213B向与阀座
222相反的朝向加压。由此，活塞板213A、213B抵抗复位弹簧232而使阀杆231上升，隔膜221在自身的反力的作用下变位到与阀杆231抵接的位置，从阀座222离开。

[0007] 这样的流体控制阀201与用管路将操作用电磁阀和缸体连接起来的流体控制阀相比，操作用电磁阀211安装在操作口206A的近处，从操作用电磁阀211到操作口206A的流路短。因此，流体控制阀201能够响应性良好地进行阀打开关闭动作。

[0008] 【现有技术文献】

[0009] 【专利文献】

[0010] 【专利文献1】日本特开2014－109314号公报

[0011] 【专利文献2】日本专利第5054904号公报

发明内容

[0012] 发明所要解决的课题

[0013] 但是，第二现有例的流体控制阀201存在以下问题。在流体控制阀201中，以使输出流路210B与操作口206A直接连接的方式将安装块210安装于缸体206。因此，当例如管路经由接头连接于操作口的流体控制阀已经设置在反应室中的情况下，无法将操作用电磁阀直接安装于已经设置的流体控制阀的缸体上，因此需要将已经设置的流体控制阀全部换掉。此外，流体控制阀201的缸体206为用于安装块210安装的专用形状，缸体206的制造成本增高。

[0014] 本发明正是为了解决上述问题点而完成的，其目的在于提供能够将操作用电磁阀后安装于操作口附近的价格低廉的操作用电磁阀安装结构及流体控制阀。

[0015] 用于解决课题的技术手段

[0016] 本发明的一个方式具有以下结构。

[0017] (1)一种操作用电磁阀安装结构，在包括操作口的缸体安装对供给至所述缸体的操作流体进行控制的操作用电磁阀，其特征在于，

[0018] 在所述操作口形成有内螺纹；

[0019] 并且具有：安装了所述操作用电磁阀的安装块、和与所述内螺纹螺纹连接而将所述安装块安装于所述缸体的安装螺丝，所述安装块具有：输入流路，供所述操作流体流入并供给至所述操作用电磁阀；输出流路，供被所述操作用电磁阀控制了的所述操作流体流出；和贯通孔，供所述安装螺丝贯通并连通于所述输出流路，

[0020] 所述安装螺丝具有使所述操作口与所述输出流路连通的内部流路，[0021] 所述操作用电磁阀安装结构中，具有将所述贯通孔的内壁与所述安装螺丝之间密封的密封部件。

[0022] 在上述结构中，在安装块形成有贯通孔，该贯通孔供与操作口的内螺纹螺纹连接的安装螺丝贯通。因此，例如在供给操作流体的管路经由接头被连接于操作口的情况下，只要拆下接头，并使安装螺丝贯通在安装了操作用电磁阀的安装块的贯通孔中，再将该安装螺丝螺纹连接于操作口而将安装块安装于缸体，就能够将操作用电磁阀后安装于操作口附近。

[0023] 安装块具有：输入流路，供操作流体输入并供给至操作用电磁阀；输出流路，供被操作用电磁阀控制了的操作流体流动；和贯通孔，供安装螺丝贯通并连通于输出流路。而且，安装螺丝具有使操作口与输出流路连通的内部流路。因此，操作流体被从安装块的输入流路供给至操作用电磁阀，在被控制流量后，经由安装块的输出流路、贯通孔、安装螺丝的内部流路而被输出至操作口。

[0024] 贯通孔的内壁与安装螺丝之间被密封部件密封，因此，操作流体以被操作用电磁阀控制了的流量准确地被供给至缸体。

[0025] 因此，根据上述结构，由于利用与连接管路的接头螺纹连接的操作口的内螺纹，将安装了操作用电磁阀的安装块安装于缸体，所以能够在已经设置的缸体上后安装操作用电磁阀。此外，由于缸体在经由接头将管路连接在操作口的情况下和用安装螺丝将安装块连接在操作口的情况下能够共用，所以能够使缸体的制造成本低廉。

[0026] (2)在(1)所述的结构中，优选的是，所述安装螺丝具有穿插在所述贯通孔中的轴部，在所述轴部的外周面以环状形成有凹部，所述内部流路在所述凹部的壁面开口。

[0027] 在上述结构中，在安装螺丝的轴部的外周面以环状形成有凹部，内部流路在凹部的壁面开口。因此，不论安装块以什么样的朝向安装于缸体，输出流路都能够经由形成在凹部与贯通孔的内周面之间的间隙连通于内部流路，从而能够将操作流体供给至操作口。因此，根据上述结构，能够将安装块以自由的朝向安装于缸体。

[0028] (3)一种流体控制阀，其特征在于，包括(1)或(2)所述的操作用电磁阀安装结构。

[0029] 在上述结构中，除了上述(1)或(2)的作用效果外，与通过管路连接于操作口的情况相比，缩短了操作用电磁阀与操作口之间的流路，在操作口的近处控制操作流体的供给量。因此，上述结构的流体控制阀即使在每次少量高频地供给控制流体的情况下，也能够响应性良好地进行该流体控制阀的开闭动作。该功能只需将与操作口连接着的管路更换成安装了操作用电磁阀的安装块、并将该管路连接于安装块，就能够以简单且廉价的方式附加给已经设置的流体控制阀。此外，在上述结构中，在对已经设置的流体控制阀后安装操作用电磁阀的情况下，由于能够根据与其周围设置的设备的关系来自由地调整安装块与操作用电磁阀的朝向，所以易于后安装操作用电磁阀。

[0030] 发明效果

[0031] 因此，根据本发明，能够提供能将操作用电磁阀后安装于操作口附近的价格低廉的操作用电磁阀安装结构及流体控制阀。

附图说明

[0032] 图1是本发明实施方式的流体控制阀的主视图。

[0033] 图2是图1所示的流体控制阀的俯视图。

[0034] 图3是图1所示的流体控制阀的侧视图。

[0035] 图4是安装块的俯视图。

[0036] 图5是图4所示的安装块的图中右视图。

[0037] 图6是图4的AA剖视图。

[0038] 图7是图4的BB剖视图。

[0039] 图8是图4的CC剖视图。

[0040] 图9是图6的DD剖视图。

[0041] 图10是示出操作用电磁阀安装结构的图，示出了操作流体的流动。

[0042] 图11是包括接近传感器的流体控制阀的俯视图。

[0043] 图12是现有的流体控制阀的剖视图。

具体实施方式

[0044] 以下，基于附图说明本发明的操作用电磁阀安装结构及流体控制阀的实施方式。图1是本发明实施方式的流体控制阀1的主视图。图2是图1所示的流体控制阀1的俯视图。图
3是图1所示的流体控制阀1的侧视图。图4是安装块2的俯视图。图5是图4所示的安装块2的图中右视图。图6是图4的AA剖视图。图7是图4的BB剖视图。图8是图4的CC剖视图。图9是图6的DD剖视图。图10是示出操作用电磁阀安装结构的图，示出了操作流体的流动。图11是包括接近传感器12的流体控制阀1A的俯视图。另外，图6中，为了以易于理解的方式说明输出流路2f、凹部3b和内部流路3h之间的关系，记载了安装块2和安装螺丝3。但是，在图9中，省略了安装螺丝3的记载。

[0045] 如图1所示，本实施方式的流体控制阀1设置于例如在半导体制造工序中使用的反应室的气体供给口处，以控制向反应室供给的气体(控制流体的一例)。流体控制阀1包括：控制气体的阀部102；和通过操作流体(例如压缩空气等)的供给而产生驱动力并将之施加给阀部102的驱动部103。阀部102的构成与现有技术相比并无特别变化之处。驱动部103除了将操作用电磁阀6安装于缸体131上的构造外，与现有技术相比并无特别变化之处。因此，在以下的说明中，以操作用电磁阀安装结构为中心进行说明。

[0046] 如图1～图3所示，操作用电磁阀6经由安装块2而安装于流体控制阀1的缸体131上。如图3所示，操作用电磁阀6是通过2根固定螺丝7而被固定在安装块2的第三侧面2d上的。

[0047] 如图10所示，在缸体131的位于阀部102相反侧的端部(以下称“上端部”)131C形成有操作口131A，在安装块2中贯穿有安装螺丝3，通过将形成于安装螺丝3的前端部外周的外螺纹3a螺纹连接于操作口131A的内螺纹131AX，而将安装块2安装于缸体131。如图1及图2所示，安装块2包括接头4，该接头4用于将供给操作流体的管路11(参照图10)连接起来。

[0048] 下面详细说明安装块2和安装螺丝3。如图4及图5所示，安装块2包括第一侧面2a、第二侧面2s、第三侧面2d、第四侧面2t、第五侧面2r、以及第六侧面2u，形成将位于对角位置的角部除去而设有切缺部2m、2n的大致长方体形状。

[0049] 如图6所示，在安装块2中，贯通孔2b以从第一侧面2a向第二侧面2s贯通的方式形成，在该贯通孔2b中，安装螺丝3无螺纹结合地贯通其中。此外，如图4所示，在安装块2的第一侧面2a开设有盲孔状的用于安装接头4的安装孔2j。在安装孔2j的内周面形成有与接头4螺纹连接的内螺纹2c。为了使安装块2紧凑，贯通孔2b与安装孔2j设于切缺部2m、2n附近的对角位置。

[0050] 如图5所示，在安装块2的第三侧面2d，有与操作用电磁阀6的供给口相连接的输入流路2e和与操作用电磁阀6的排出口相连接的输出流路2f开口。

[0051] 如图9所示，输入流路2e由安装孔2j、旁路通路2k和连通通路2l构成。如图7及图8所示，安装孔2j在安装块2的第一侧面2a开口，并在开口部内周面形成有供接头4(参照图1)螺纹连接的内螺纹2c。如图8及图9所示，旁路通路2k从第四侧面2t沿与安装孔2j正交的方向形成，是与安装孔2j连通的横孔。旁路通路2k的开口部被作为封堵部件的钢球9封堵。钢球9由比安装块2硬的材料形成，以在操作流体的压力下不会从安装块2脱落的方式被压入安装块2中固定。在本实施方式中，安装块2由铝形成，钢球9由不锈钢形成。如图9所示，连通通路2l从第三侧面2d沿与旁路通路2k正交的方向形成，并与旁路通路2k连通。连通通路2l在第三侧面2d开口，并与操作用电磁阀6的供给口连接。

[0052] 如图6所示，输出流路2f从第三侧面2d沿与贯通孔2b正交的方向形成，并与贯通孔2b连通。安装块2使得安装螺丝3能够以自由旋转的方式贯穿插在贯通孔2b中，并且安装块2能够以安装螺丝3为中心自由地改变朝向。

[0053] 安装螺丝3在贯穿插在贯通孔2b中的轴部3f的外周面上形成有凹部3b。凹部3b形成在下述位置，即：在安装螺丝3将安装块2安装于缸体131的状态下与输出流路2f相对应的位置，由于在凹部3b与贯通孔2b的内壁之间形成间隙S，所以操作流体易于从输出流路2f向贯通孔2b流出。凹部3b沿着轴部3f的外周面在周向上形成为环状，不论安装块2相对于安装螺丝3被安装在哪个方向上，该凹部3b都能够与输出流路2f位置对合。

[0054] 安装螺丝3从前端面(在图6中为上端面)起沿着轴线方向形成有孔部3d，该孔部3d为有底筒状。此外，安装螺丝3从轴部3f的外周面沿着与轴线正交的方向形成有连通部3c。连通部3c在凹部3b的壁面开口。因此，被供给至凹部3b的操作流体通过连通部3c和孔部3d而被供给至操作口131A(参照图10)。在本实施方式中，安装螺丝3通过孔部3d和连通部3c构成内部流路3h，该内部流路3h以使输出流路2f与操作口131A连通的方式形成。

[0055] 对于安装螺丝3而言，在形成于凹部3b与头部3g之间的密封槽3e中安装有密封部件10，将轴部3f与贯通孔2b的内周面之间密封。此外，在安装螺丝3的从安装块2突出的部分安装有环状的密封部件5。如图10所示，在将安装螺丝3螺纹连接于操作口131A而将安装块2安装于缸体131上时，密封部件5在安装块2与缸体131之间被挤压变形，从而将轴部3f与贯通孔2b的内周面之间密封。因此，安装块2通过密封部件10和密封部件5能够将形成于安装螺丝3上的凹部3b的两侧密封，从而能够防止操作流体泄漏到外部。

[0056] 此处，对流体控制阀1的整体构造简单地进行说明。如图10所示，缸体131的缸室132被固定板136划分为上室和下室。上室中以能滑动的方式装填有活塞板135。此外，虽然图10中未示出，但是下室中也以能滑动的方式装填有活塞板135。这些活塞板135分别连结于活塞轴134。

[0057] 在缸体131的上端部131C中央，操作口131A以与缸室132连通的方式贯通设置。在缸室132的上端面内壁，与操作口131A同轴地设有保持孔131B，在该保持孔131B中以能够滑动的方式保持着活塞轴134的上端部。在活塞轴134中，从上端面起沿着轴线方向形成有盲孔状的中央流路134A。连通流路134B以与活塞轴134正交的方式设置，并使得中央流路134A与在上侧的活塞板135的阀座侧设置的间隙连通。另外，虽然图10中未示出，但是，在活塞轴134中还形成有用于使中央流路134A与在下侧的活塞板135的阀座侧设置的间隙连通的连通通路。

[0058] 阀部102(参照图1)被未图示的复位弹簧施加阀闭止力，当向缸体131供给操作流体时，响应于缸室132的内压与未图示的复位弹簧的弹簧力之间的平衡，从而阀打开。

[0059] 下面，对例如第一现有例那样地、在管路11经由接头而连接于操作口131A的已经设置的流体控制阀1上后安装操作用电磁阀6的顺序，进行说明。如图10所示，流体控制阀1在缸体131的上端部131C形成有保持孔131B，该保持孔131B将活塞轴134以能够滑动的方式保持。在上端部131C，与保持孔131B同轴地形成有操作口131A。在已经设置的流体控制阀1上，经由与操作口131A螺纹连接的接头而连接有管路11。在将操作用电磁阀6后安装在已经设置的流体控制阀1的情况下，该已经设置的流体控制阀1的操作口131A处所结合的接头被从操作口131A拆下。

[0060] 如图10所示，安装螺丝3的轴部3f以与上述那样被拆下的接头相同的直径设置。在安装块2中，该安装螺丝3在贯通孔2b中贯通，在安装螺丝3的前端部(在图10中为下端部)安装有密封部件5。因此，安装螺丝3不会从安装块2脱落。安装块2通过固定螺丝7(在本实施方式中为2根固定螺丝7)而固定有操作用电磁阀6。该安装块2通过将安装螺丝3的前端部(外螺纹3a)螺纹拧入操作口131A的内螺纹131AX与之结合，而被安装于缸体131。此时，密封部件5在安装块2与缸体131之间被挤压变形，从而将贯通孔2b的图中下端开口部密封。另外，贯通孔2b的图中上端开口部被密封部件10密封。然后，管路11经由接头4而被连接在安装块2的安装孔2j处。另外，只要例如与操作口131A的内螺纹131AX结合的接头与安装孔2j的尺寸相配，也可以将该接头作为接头4来使用。此外，在例如与操作口131A的内螺纹131AX结合的接头与安装孔2j之间的尺寸不相配的情况下，也可以使用与该接头不同的接头作为接头
4来使用。

[0061] 在安装于缸体131的安装块2中，输出流路2f与在贯通孔2b的内周面和安装螺丝3的凹部3b之间形成的间隙S连通。由于凹部3b被设置成环状，所以安装块2即使相对于安装螺丝3改变360度方向，也能够使输出流路2f与凹部3b连通。间隙S经由内部流路3h(连通部3c、孔部3d)连通于操作口131A。

[0062] 下面，对安装有操作用电磁阀的流体控制阀1的动作进行说明。流体控制阀1将操作流体从管路11经由接头4供给至安装块2。操作流体经由安装块2的输入流路2e(安装孔2j、旁路通路2k、连通通路2l)而被供给至操作用电磁阀6的供给口。

[0063] 操作用电磁阀6在非通电时，将供给口与排出口之间切断，不将操作流体向输出流路2f供给。在该情况下，流体控制阀1的阀部102为阀关闭状态。

[0064] 另一方面，操作用电磁阀6一旦被通电，就使供给口与排出口连通，并根据通电量来控制操作流体的供给量。通过操作用电磁阀6进行了流量控制的操作流体经由输出流路2f、间隙S(贯通孔2b、凹部3b)、内部流路3h(连通部3c、孔部3d)而被供给至操作口131A。此后进一步地，操作流体经由缸体131的保持孔131B、活塞轴134的中央流路134A、连通流路
134B而被供给至缸室132，对活塞板135在与阀部102相反的朝向(从阀部102离开的方向)上加压。由此，阀部102成为阀打开状态来控制气体。

[0065] 如以上说明的那样，在本实施方式的操作用电磁阀安装结构中，在安装块2中形成贯通孔2b，该贯通孔2b供与操作口131A的内螺纹螺纹连接的安装螺丝3贯通。因此，在例如第一现有例那样地、供给操作流体的管路11经由接头连接于缸体131的操作口131A的情况下，只要将该接头拆下，并使安装螺丝3贯通在安装了操作用电磁阀6的安装块2的贯通孔2b中，再将该安装螺丝3螺纹连接于操作口131A而将安装块2安装于缸体131，就能够将操作用电磁阀6后安装于操作口131A附近。

[0066] 安装块2具有：输入流路2e，输入操作流体并供给至操作用电磁阀6；输出流路2f，供经操作用电磁阀6控制了的操作流体流动；和贯通孔2b，供安装螺丝3贯通并连通于输出流路2f。而且，安装螺丝3具有使操作口131A与输出流路2f连通的内部流路3h。因此，操作流体被从安装块2的输入流路2e供给至操作用电磁阀6，在流量受到控制后，经由安装块2的输出流路2f、贯通孔2b、安装螺丝3的内部流路3h而被输出至操作口131A。

[0067] 由于贯通孔2b的内壁与安装螺丝3之间被密封部件5和密封部件10密封，所以操作流体以被操作用电磁阀6控制了的流量准确地被供给至缸体131。

[0068] 因此，根据本实施方式的操作用电磁阀安装结构，由于利用与连接管路11的接头螺纹连接的操作口131A的内螺纹131AX，将安装了操作用电磁阀6的安装块2安装于缸体131，所以能够在已经设置的缸体131上后安装操作用电磁阀6。此外，由于缸体131在经由接头将管路11连接在操作口131A的情况下和用安装螺丝3将安装块2连接在操作口131A的情况下能够共用，所以能够使缸体131的制造成本价格低廉。

[0069] 此外，在实施方式的操作用电磁阀安装结构中，在安装螺丝3的轴部3f的外周面以环状形成有凹部3b，内部流路3h在凹部3b的壁面开口。因此，不论安装块2以什么样的朝向安装于缸体131，输出流路2f都能够经由形成在凹部3b与贯通孔2b的内周面之间的间隙S连通于内部流路3h，从而能够将操作流体供给至操作口131A。因此，根据本实施方式的操作用电磁阀安装结构，能够将安装块2以相对于缸体131能够改变成以安装螺丝3为中心的所希望的朝向的方式进行安装。

[0070] 此外，本实施方式的流体控制阀1除了上述操作用电磁阀安装结构的作用效果外，与经由管路11将操作口131A与操作用电磁阀6连接起来的情况相比，缩短了操作用电磁阀6与操作口131A之间的流路，在操作口131A的近处控制操作流体的供给量。因此，本实施方式的流体控制阀1即使在每次少量高频地供给气体的情况下，也能够响应性良好地进行阀部102的阀开闭动作。因此，只需将与已经设置的流体控制阀1的操作口131A连接的管路11更换成安装块2，并将该管路11连接于安装块2，就能够以简单且廉价的方式对已经设置的流体控制阀1附加例如下述功能，即，能充分应对在短时间内对气体的供给与气体的排放反复进行切换而形成膜的ALD生产工艺的功能。

[0071] 此外，在本实施方式中，由于凹部3b以环状设于安装螺丝3，所以在对已经设置的流体控制阀1后安装操作用电磁阀6的情况下，能够根据与其周围设置的设备的关系来自由地调整安装块2与操作用电磁阀6的朝向，从而易于后安装操作用电磁阀6。

[0072] 此外，例如，如图11所示，与操作口131A螺纹连接的安装螺丝3贯通在安装块2的贯通孔2b中，但不与安装块2结合。此外，安装块2在对角位置设有切缺部2m、2n，从而能够相对于缸体131的上端部131C改变安装方向以便不会朝径向外侧伸出。由此，例如，在如图11所示的流体控制阀1A那样地、接近传感器12被安装于上端部131C的情况下，能够根据接近传感器12的位置来使安装块2以安装螺丝3为中心旋转，从而能够自由地改变操作用电磁阀6的朝向。

[0073] 另外，本发明并不被限定于上述实施方式，可以进行各种应用。

[0074] (1)例如，在上述实施方式中，在流体控制阀1中应用了操作用电磁阀安装结构，但是，在具有操作口的其他设备中也可以应用操作用电磁阀安装结构。

[0075] (2)例如，在上述实施方式中，安装块2由铝形成，钢球9由不锈钢形成，但是材质并不限于此，例如安装块2也可以由硬度比钢球9低的树脂形成。此外，钢球9也可以焊接在安装块2上。再者，旁路通路2k的开口部也可以通过填充橡胶、熔融金属来封堵。

[0076] (3)例如，在上述实施方式中，没有凹部3b也可以。

[0077] (4)将操作用电磁阀6固定于安装块2的固定螺丝7的数量并不限于2根，也可以是1根或3根以上。

[0078] 附图标记的说明

[0079] 1，1A 流体控制阀

[0080] 2 安装块

[0081] 2b 贯通孔

[0082] 2e 输入流路

[0083] 2f 输出流路

[0084] 3 安装螺丝

[0085] 3b 凹部

[0086] 3h 内部流路

[0087] 5 密封部件

[0088] 6 操作用电磁阀

[0089] 10 密封部件

[0090] 131 缸体

[0091] 131A 操作口

[0092] 131AX 内螺纹