具备离子泵的带电粒子束装置

摘要

在具备离子泵的带电粒子束装置中，能够使离子泵的电源的低频噪声充分地降低而对真空度高精度地进行计量。离子泵(2)的驱动电源部(1)构成为，具备：高压电源电路部(101‑112)，其使离子泵(2)工作；负荷电流检测电路部(130)，其对向离子泵(2)施加的负荷电流进行检测；以及消除电路部(140)，其使施加于负荷电流检测电路部(130)的低频噪声降低。

权利要求

1.一种具备离子泵的带电粒子束装置，其具备：

带电粒子束照射检测部，其将在处理室内被聚束后的带电粒子束向试样照射来检测从所述试样产生的二次带电粒子；

图像处理部，其对由所述带电粒子束照射检测部检测到的二次带电粒子的检测信号进行处理，形成所述试样的二次带电粒子像；

输出部，其输出由所述图像处理部处理的图像；

离子泵，其将所述处理室的内部维持为真空；

所述离子泵的驱动电源部；以及

高压电缆，其将所述离子泵与所述驱动电源部连接，

该带电粒子束装置的特征在于，

所述离子泵的驱动电源部具备：

高压电源电路部，其使所述离子泵工作；

负荷电流检测电路部，其检测施加于所述离子泵的负荷电流；以及消除电路部，其降低施加于所述负荷电流检测电路部的低频噪声，所述高压电缆具有高压信号线和GND线，所述消除电路部具备与在所述高压电缆的高压信号线和GND线之间形成的电容同等的电容，使经由在所述高压电缆的高压信号线与GND线之间形成的电容向所述负荷电流检测电路蔓延的低频噪声降低。

2.根据权利要求1所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，所述离子泵的驱动电源部的所述高压电源电路部具备：反激变压器，其在低电压侧具备MOS晶体管；

AC-DC转换部，其向所述反激变压器的低电压侧供给直流电压；

脉冲生成部，其向所述反激变压器的低电压侧的MOS晶体管的栅极供给电压脉冲；

输出电压检测电路，其检测所述反激变压器的高电压侧的输出电压；以及控制部，其根据所述输出电压检测电路所检测到的输出电压来决定电压脉冲幅度。

3.根据权利要求1或2所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，所述消除电路部中电流电压转换电路和反相放大器的输出端分别连接至加法电路的输入端。

4.根据权利要求1或2所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，所述消除电路部中电流电压转换电路的输出端经由反相放大器连接至差动放大器的输入端，或者电流电压转换电路的输出端经由差动放大器连接至反相放大器的输入端。

5.根据权利要求3所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，所述离子泵的驱动电源部的所述消除电路部还具备振幅控制部，所述消除电路部的所述反相放大器具有可变电阻器，所述振幅控制部以所述负荷电流检测电路部中残存的低频噪声成为最小的方式，来决定所述反相放大器的所述可变电阻器的电阻值。

6.一种具备离子泵的带电粒子束装置，其具备：电子显微镜，其具备镜筒；离子泵，其将所述电子显微镜的镜筒的内部维持为真空；以及所述离子泵的驱动电源部，该带电粒子束装置的特征在于，所述离子泵的驱动电源部具备：

高压电源电路部，其使所述离子泵工作；

负荷电流检测电路部，其检测施加到所述离子泵的负荷电流；以及消除电路部，其降低施加于所述负荷电流检测电路部的低频噪声，该带电粒子束装置还具备高压电缆，该高压电缆将所述离子泵和所述驱动电源部连接，并具有高压信号线和GND线，所述消除电路部具备与在所述高压电缆的高压信号线和GND线之间形成的电容同等的电容，使经由在所述高压电缆的高压信号线与GND线之间形成的电容向所述负荷电流检测电路蔓延的低频噪声降低。

7.根据权利要求6所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，所述离子泵的驱动电源部的所述高压电源电路部具备：反激变压器，其在低电压侧具备MOS晶体管；

AC-DC转换部，其向所述反激变压器的低电压侧供给直流电压；

脉冲生成部，其向所述反激变压器的低电压侧的MOS晶体管的栅极供给电压脉冲；

输出电压检测电路，其检测所述反激变压器的高电压侧的输出电压；以及控制部，其根据所述输出电压检测电路所检测到的输出电压来决定电压脉冲幅度。

8.根据权利要求6或7所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，所述消除电路部中电流电压转换电路和反相放大器的输出端分别连接至加法电路的输入端。

9.根据权利要求6或7所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，所述消除电路部中电流电压转换电路的输出端经由反相放大器连接至差动放大器的输入端，或者电流电压转换电路的输出端经由差动放大器连接至反相放大器的输入端。

10.根据权利要求9所述的具备离子泵的带电粒子束装置，其特征在于，所述离子泵的驱动电源部的所述消除电路部还具备振幅控制部，所述消除电路部的所述反相放大器具有可变电阻器，所述振幅控制部以所述负荷电流检测电路部中残存的低频噪声成为最小的方式，来决定所述反相放大器的所述可变电阻器的电阻值。

说明书

具备离子泵的带电粒子束装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种具备离子泵的带电粒子装置。

背景技术

[0002] 带电粒子束装置通过对设置于维持比较高的真空状态的试样室内的试样照射带电粒子束，进行该试样的图像取得等。在例如扫描型电子显微镜、透过型电子显微镜中，向对象试样照射电子束作为带电粒子束，基于由检测器检测到的二次电子量或透过电子量，生成对象试样的显微镜像。

[0003] 在这样的带电粒子束装置中，为了将设置试样的试样室、带电粒子光学系统的镜筒的内部维持在较高的真空状态，使用了离子泵。若要对使用该离子泵而设定成高真空的状态进行计量，则检测的电流变得微弱，因此，无法忽视噪声的影响。

[0004] 作为解决这样的噪声的问题的方法，在专利文献1中记载有如下内容：“将对抛物波电压产生电路的抛物波电压进行电阻分割而获得的、与泄漏抛物波电压呈同相且同振幅的分压抛物波电压施加于运算放大器，并进行差动放大，由此，消除从抛物波电压产生电路经由高压电阻电路向脉冲幅度控制电路的运算放大器漏出的泄漏抛物波电压。”。

[0005] 现有技术文献

[0006] 专利文献

[0007] 专利文献1：日本特开平11-177839号公报

发明内容

[0008] 发明要解决的课题

[0009] 为了将电子显微镜装置的试样室、构成电子光学系统的镜筒的真空容器维持在超高真空的状态，利用了离子泵。在该离子泵中，对排气机构部内的阳极与阴极之间施加高电压，从外部施加强的磁场，由此，从阴极产生的电子与气体分子碰撞而使气体分子离子化，离子吸附于阴极或者被离子捕集器捕获，从而使真空容器内的真空度提高。

[0010] 在电子显微镜装置中，要求供电子枪搭载的电子光学系统的镜筒的空间内是超高真空(10-9Pa以下)状态。

[0011] 电子光学系统的镜筒的空间内的真空度与在离子泵的排气机构部内的阳极和阴极之间流动的负荷电流存在比例关系，能够在离子泵的排气机构部内对该真空度进行计量。为了如此在离子泵的排气机构部内对真空度进行计量，离子泵的电源所具备的负荷电流检测电路需要表示超高真空状态的1nA量级的检测精度。

[0012] 在离子泵电源中，低频噪声(0.1Hz～60Hz)在高电压电路的输出段叠加，因此，存在如下问题：低频噪声借助在高压电缆的高压信号线与GND线间形成的电缆电容在负荷电流检测电路叠加，无法获得1nA量级的检测精度，无法担保供电子枪搭载的空间内是超高真空状态，其中，该高压电缆铺设在离子泵与离子泵电源之间。

[0013] 作为与噪声消除有关的公知例，在专利文献1中记载有如下例子：将对抛物波电压产生电路的抛物波电压进行电阻分割而获得的、与泄漏抛物波电压呈同相且同振幅的分压抛物波电压施加于运算放大器，并进行差动放大，由此，来消除从抛物波电压产生电路经由高压电阻电路与脉冲幅度控制电路的运算放大器的输入段叠加的泄漏抛物波电压。不过，在专利文献1所记载的结构中，存在如下问题：能从抛物波电压产生电路看到的高压电阻电路的阻抗与分压电阻器的阻抗不同，无法高精度地降低泄漏成分。

[0014] 因此，本发明目的在于，提供一种具备离子泵的带电粒子束装置，其能够使离子泵的电源的低频噪声充分地降低，而高精度地对真空度进行计量。

[0015] 用于解决课题的手段

[0016] 为了解决上述的问题，本发明提供一种具备离子泵的带电粒子束装置，其具备：带电粒子束照射检测部，其将在处理室内被聚束后的带电粒子束向试样照射而对从试样产生的二次带电粒子进行检测；图像处理部，其对由带电粒子束照射检测部检测到的二次带电粒子的检测信号进行处理，形成试样的二次带电粒子像；输出部，其对由图像处理部进行处理而形成的图像输出；离子泵，其将处理室的内部维持为真空；离子泵的驱动电源部；以及高压电缆，其将离子泵和驱动电源部连接，在该具备离子泵的带电粒子束装置中，将离子泵的驱动电源部构成为具备：高压电源电路部，其使离子泵工作；负荷电流检测电路部，其对施加到离子泵的负荷电流进行检测；以及消除电路部，其使施加于负荷电流检测电路部的低频噪声降低。

[0017] 另外，为了解决上述问题，本发明提供一种具备离子泵的带电粒子束装置，其具备：电子显微镜，其具备镜筒；离子泵，其将电子显微镜的镜筒的内部维持为真空；以及离子泵的驱动电源部，离子泵的驱动电源部构成为具备：高压电源电路部，其使离子泵工作；负荷电流检测电路部，其对施加到离子泵的负荷电流进行检测；以及消除电路部，其使施加于负荷电流检测电路部的低频噪声降低。

[0018] 发明效果

[0019] 根据本发明，能够使离子泵的电源的低频噪声充分地降低而对带电粒子装置的镜筒内部的真空度高精度地进行计量。另外，作为带电粒子装置，在适用于电子显微镜的情况下，能够降低离子泵驱动电源的低频噪声，获得1nA量级的离子泵中的负荷电流检测精度，能够担保电子枪所搭载的空间内是超高真空状态，因此，有助于电子显微镜装置的计量的高精度化。

附图说明

[0020] 图1是表示本发明的实施例1中的具备离子泵的带电粒子装置的概略构成和离子泵电源电路部的构成的框图。

[0021] 图2是表示使用电子显微镜作为本发明的实施例1中的具备离子泵的带电粒子装置的例子时的结构的框图。

[0022] 图3是表示作为本发明的实施例1中的离子泵电源电路部的构成的比较例的离子泵电源电路部的构成的框图。

[0023] 图4是由本发明的实施例1中的负荷电流检测电路和消除电路观测的电压波形的图表。

[0024] 图5是本发明的实施例1中的加法电路的构成例。

[0025] 图6A是表示本发明的实施例1的第1变形例中的负荷电流检测电路和消除电路的构成的电路图。

[0026] 图6B是本发明的实施例1的第2变形例中的负荷电流检测电路和消除电路的构成例。

[0027] 图7是表示本发明的实施例2的具备离子泵的带电粒子装置的概略构成和离子泵电源电路部的构成的框图。

具体实施方式

[0028] 本发明中，在具备离子泵的带电粒子装置中，在离子泵的电源所具备的负荷电流检测电路中设置消除电路，在由高压电缆和电流电压转换电路构成的主电路和消除电路中，通过以从低频噪声源可见的阻抗分别相同的方式设定消除电路，能够使低频噪声降低到在对真空度进行计量方面不成为障碍的程度。

[0029] 以下，对本发明的实施方式进行说明。

[0030] 实施例1

[0031] 在本实施例中，对如下具备离子泵的带电粒子束装置进行说明：该带电粒子束装置设置了具备与电缆电容同等的电容、电流电压转换电路、反相放大器以及加法电路的消除电路，在由高压电缆和电流电压转换电路构成的主电路和消除电路中，从低频噪声源可见的阻抗分别同等，使低频噪声降低到在对真空度进行计量方面不成为问题的程度。

[0032] 图1是表示本实施例的具备离子泵的带电粒子束装置1000的概略构成的图。

[0033] 图1所示的具备离子泵的带电粒子束装置1000具备：离子泵电源1；离子泵2；带电粒子束装置主体3；高压电缆4，其将离子泵电源1和离子泵2连接；以及输入输出部6，其具备对整体进行控制的整体控制部5和显示所取得的图像的画面。

[0034] 作为带电粒子束装置主体3，将电子显微镜的构成表示在图2中。电子显微镜3在能够将内部排气成真空的真空容器(镜筒)30的内部设置有：电子源31；引出电极32，其将由电子源31产生的电子引出；消隐(blanking)电极33，其使由引出电极32引出来的束状的电子的轨道大幅度摆动；光圈(aperture)34，其在中央部分具有开口部，对利用消隐电极33使轨道大幅度弯曲后的电子束进行捕捉；偏向电极35，其使通过了光圈34的开口部的电子束向X-Y方向偏向；聚束透镜36，其使通过了偏向电极的电子束聚束；台37，其载置试样40，能够沿着2维或3维方向移动；以及检测器38，其对从被聚束透镜36聚束后的电子束所照射的试样40而产生的2次电子进行检测。

[0035] 电子源31、引出电极32、消隐电极33、偏向电极35、聚束透镜36、以及台37分别与整体控制部5连接，由整体控制部5的控制单元51控制。另外，检测到从电子束所照射的试样40产生的2次电子的检测器38的信号，向整体控制部5发送，而由图像处理部52进行图像处理，由图像处理部52生成的试样40的SEM图像显示于输入输出部6的显示画面61上。

[0036] 离子泵2与电子显微镜3的真空容器30连接，且该离子泵2具有如下结构：在内部具有作为阳极的电极21，在作为阳极的电极21的两侧设置有1对作为阴极的电极22。

[0037] 一般的离子泵2在高真空状态(10-3Pa程度)～超高真空状态(10-9Pa程度)的范围内动作，使排气机构部内的阳极21与阴极22之间流动的负荷电流的范围成为几十mA～几nA。因此，离子泵电源1需要在较宽的负荷范围内稳定地输出高电压(DC5kV)，广泛使用了准谐振反激方式(疑似共振フライバック方式)。

[0038] 另外，安装到电子显微镜装置3的离子泵2与离子泵电源1之间由高压电缆4连接。

[0039] 如图1所示，离子泵电源1构成为具备：AC-DC转换部101；DC-DC转换部102；反激变压器103；整流用二极管104；整流用电容器105；开关转换用MOSFET106；1次侧的谐振电容器107；电压检测用分压电阻108、109；电压检测用隔离放大器110；控制部111；脉冲生成部
112；电流电压转换用运算放大器114；电流电压转换用可变电阻113；电流检测用隔离放大器115；A/D转换器116；负荷电流显示部117；与高压电缆4所具有的电缆电容同等的电容
118；电流电压转换用运算放大器120；电流电压转换用可变电阻119；反相放大用运算放大器123；反相放大用电阻121、122；加法电路124；以及微型计算机(μcon)125。

[0040] 在上述构成中，由AC-DC转换部101、DC-DC转换部102、反激变压器103、整流用二极管104、整流用电容器105、开关转换用MOSFET106、1次侧的谐振电容器107、电压检测用分压电阻108、109、电压检测用隔离放大器110、控制部111、脉冲生成部112，形成高压电源电路部，该高压电源电路部用于使离子泵2的作为阳极的电极21和配置于该作为阳极的电极21两侧的1对作为阴极的电极22之间产生高电场而使离子泵2工作。

[0041] 另外，由电流电压转换用运算放大器114、电流电压转换用可变电阻113、电流检测用隔离放大器115、A/D转换器116、负荷电流显示部117，构成对施加到离子泵2的负荷电流进行检测的负荷电流检测电路130。

[0042] 而且，由与高压电缆4所具有的电缆电容同等的电容118、电流电压转换用运算放大器120、电流电压转换用可变电阻119、反相放大用运算放大器123、反相放大用电阻121、122、加法电路124，构成消除电路140，该消除电路140能够针对由高压电缆4和作为电流电压转换电路的高压电源电路部构成的主电路以成为从低频噪声源能看到的阻抗同等的方式来调整阻抗，并能够使低频噪声降低到在对真空度进行计量方面不成为问题的程度。

[0043] 反激变压器103的1次侧分别与将从商用AC100V(50/60Hz)电源7供给的电力转换成预定的DC电压的AC-DC转换部101、以及开关转换用MOSFET106连接，DC-DC转换部102从AC-DC转换部101所输出的预定的DC电压生成另一DC电压，而向控制部111和脉冲生成部112供给。

[0044] 在离子泵电源1中，为了防止由噪声导致的误动作，需要使反激变压器1次侧(低电压侧)和2次侧(高电压侧)分离，并使用了电压检测用隔离放大器110、电流检测用隔离放大器115。

[0045] 另外，为了进行使输出电压稳定化的反馈控制，具有由电压检测用分压电阻108、109、电压检测用隔离放大器110构成的电压检测电路150，具备控制部111、脉冲生成部112。
由此，在负荷电流增大而输出电压(向离子泵2的阳极21施加的电压)发生了降低之际，通过使脉冲生成部112所输出的开关转换脉冲(Switching pulse)的脉冲幅度增加，能够使输出电压稳定化。

[0046] 而且，利用真空容器30内的真空度与在离子泵2的排气机构部内的阳极21和阴极22之间流动的负荷电流成比例的性质，负荷电流检测电路对离子泵的负荷电流进行检测。

[0047] 作为具备在图1中说明了的本实施例的负荷电流检测电路130和消除电路140的离子泵电源1的比较例，在图3中示出了具备相当于负荷电流检测电路130的负荷电流检测电路330而不具有相当于消除电路140的电路的离子泵电源部301的构成。图3所示的比较例的负荷电流检测电路330由电流电压转换用运算放大器314、电流电压转换用可变电阻313、反相放大用运算放大器362、反相放大用电阻360、361、电流检测用隔离放大器315、A/D转换器316、负荷电流显示部317构成。若将真空容器30内的真空度换算成负荷电流，则成为1nA量级～几十mA，负荷电流检测电路330需要大的动态范围。

[0048] 在具备图3所示那样的负荷电流检测电路330且不具备消除电路的构成中，与离子泵电源301所输出的高电压(DC5kV)叠加的低频噪声(0.5Hz～60Hz)，经由在高压电缆4的高压信号线与GND线之间形成的电容，向负荷电流检测电路330蔓延，在对1nA量级这样的微小的负荷电流进行检测之际，存在检测电压较低、无法检测微小负荷电流这样的问题。低频噪声的原因可列举出电压检测用隔离放大器110所输出的低频噪声、基准电压的低频波动、电阻噪声等。

[0049] 如图4的(a)所示，在电流电压转换用运算放大器114的输出段，出现经由表示负荷电流的负的DC电压401和高压电缆4而蔓延的低频噪声402。另一方面，在由与图1的电缆电容同等的电容118、电流电压转换用运算放大器120、电流电压转换用可变电阻119、反相放大用运算放大器123、反相放大用电阻121、122、加法电路124构成的消除电路140中，如图4的(b)所示，在反相放大用运算放大器123的输出段，出现与电流电压转换用运算放大器114的输出段处的低频噪声呈同振幅、反相位的信号412。因此，在加法电路124的输出段，低频噪声402被消除，出现仅表示所期望的负荷电流的正的DC电压403。

[0050] 通过设为具备图1所示那样的负荷电流检测电路130和消除电路140的本实施例的构成，可知，与图3所示那样的仅具备负荷电流检测电路330、不具备消除电路的比较例的构成相比，使低频噪声高精度地降低到在对真空容器内的真空度进行测定方面不成为障碍的程度，能获得1nA量级的检测精度，能够担保供搭载电子枪的空间内是超高真空状态，因此，有助于电子显微镜装置的计量的高精度化。

[0051] 即，通过将离子泵电源1设为在本实施例中进行了说明那样的构成，在离子泵2工作的高真空状态(10-3Pa程度)～超高真空状态(10-9Pa程度)的范围内，能够利用负荷电流检测电路130对在离子泵2的阳极21与阴极22之间流动的几十mA～几nA的范围的负荷电流稳定地进行检测。

[0052] 此外，在本实施例中，说明了使用作为各种升压方式之一的准谐振反激方式，对1次侧反激变压器进行开关转换控制的离子泵电源，但即使升压方式使用推挽方式、半桥方式、全桥方式这样的其他升压方式，也能够获得与本实施例同样的效果，并不限定于准谐振反激方式。

[0053] 另外，本实施例的加法电路124由例如图5所示的加法运算用运算放大器1241、加法运算用电阻1242，1243、1244构成即可。

[0054] 另外，在本实施例中，对负荷电流检测电路130构成为具备电流电压转换用运算放大器114、电流电压转换用可变电阻113、电流检测用隔离放大器115、A/D转换器116、负荷电流显示部117进行了说明，另一方面，对消除电路140构成为具备与电缆电容同等的电容118、电流电压转换用运算放大器120、电流电压转换用可变电阻119、反相放大用运算放大器123、反相放大用电阻121、122、加法电路124进行了说明。不过，如图6A所示，也可以在电流电压转换用运算放大器114的输出段，配置了反相放大用运算放大器133、反相放大用电阻131、132、差动放大用运算放大器138、差动放大用电阻134、135、136、137，使转换成与低频噪声呈同振幅、反相位的信号彼此以同相消除，而对正的DC电压进行检测。

[0055] 另外，如图6B所示，也可以是，将电流电压转换用运算放大器114和电流电压转换用运算放大器120的输出信号，输入至差动放大用运算放大器138，在将低频噪声消除后，利用反相放大用运算放大器1303、反相放大用电阻1301、1302对正的DC电压进行检测。

[0056] 根据本实施例，在由离子泵电源的高压电缆和电流电压转换电路构成的主电路和消除电路中，从低频噪声源能看到的阻抗分别同等，能够使低频噪声降低到在对真空度进行计量方面不成为问题的程度，并能够以较高的可靠度对真空容器内的真空度进行计量，能够有助于电子显微镜装置的计量的高精度化。

[0057] 此外，在上述的实施例中，作为带电粒子束装置主体3，对扫描型电子显微镜、透过型电子显微镜等电子显微镜的情况进行了说明，但本实施例并不限定于此，也能够适用于使用离子束作为带电粒子束的离子束装置。

[0058] 实施例2

[0059] 在本实施例中，使用图7来说明离子泵电源701，该离子泵电源701在实施例1所示出的消除电路140所具有的与电缆电容同等的电容118与在高压电缆4的高压线和GND线间形成的电容存在差异，并具备对消除效果降低的情况进行补偿的功能。在图7中，对与在实施例1中使用图1进行了说明的部件相同的部件，标注相同的编号。另外，省略了负荷电流检测电路130和消除电路140的显示。

[0060] 当在高压电缆4的高压线与GND线间形成的电容、以及消除电路所具有的与电缆电容同等的电容118分别是1000pF、2000pF的情况下，电流电压转换用运算放大器120输出段的低频噪声的振幅是电流电压转换用运算放大器114输出段的两倍，与此相对地，低频噪声的相位几乎没有差异。因此，存在由于电容的差异而消除效果降低这样的问题。

[0061] 图7是解决上述问题的本实施例的离子泵电源701的构成图的例子。与实施例1的图1不同的构成要素有两点，这两点是：图1的反相放大用电阻122成为反相放大用可变电阻722这点、以及具备以所检测的低频噪声成为最小的方式对反相放大用可变电阻722进行切换的振幅调整部726这点。

[0062] 在由于上述的电容的差异而导致电流电压转换用运算放大器120输出段的低频噪声的振幅成为电流电压转换用运算放大器114输出段的两倍的情况下，通过将反相放大用可变电阻722设定成反相放大用电阻121的一半的电阻值，加法电路124输出段的低频噪声被消除，仅出现表示所期望的负荷电流的正的DC电压。

[0063] 此外，在高压电缆4的高压线与GND线间形成的电容与消除电路所具有的同等于电缆电容的电容118之间的差异较小的情况下，低频噪声的大部分在加法电路124输出段被降低，但低频噪声稍微残存。因此，振幅调整部126可以以使残存的低频噪声最小的方式，对反相放大用可变电阻722进行切换，而反复进行计量残存的低频噪声的处理。

[0064] 利用本实施例，能够高精度地降低低频噪声，获得1nA量级的检测精度，并能够担保供电子枪搭载的空间内是超高真空状态，有助于电子显微镜装置的计量的高精度化。

[0065] 此外，本发明并不限定于上述的实施例，包括各种变形例。例如上述的实施例是为了对本发明通俗易懂地进行说明而详细地进行了说明，但并不限定于必须具备所说明的全部的构成的例子。另外，可将某一实施例的构成的一部分置换成其他实施例的构成，另外，也可将其他实施例的构成添加于某一实施例的构成。另外，针对各实施例的构成的一部分，可进行其他构成的追加、删除、置换。

[0066] 另外，上述的各构成、功能、处理部、处理部件等也可以通过例如在集成电路中设计这些一部分或全部等而以硬件实现。另外，上述的各构成、功能等也可以通过处理器对实现各功能的程序进行解释、执行而以软件实现。实现各功能的程序、表格、文件等的信息能够置于存储器、硬盘、SSD(固态硬盘，Solid State Drive)等记录装置、或、IC卡、SD卡、DVD等记录介质。

[0067] 另外，控制线、信息线表示认为说明上需要的线，未必限于在产品上表示全部的控制线、信息线。实际上，也可以认为几乎全部的构成相互连接。

[0068] 附图标记说明

[0069] 1···离子泵电源2···离子泵3···电子显微镜装置4···高压电缆5···整体控制部6···输入输出部30···真空容器38···检测器101···AC-
DC转换部102···DC-DC转换部103···变压器104···整流用二极管105···整流用电容器111···控制部112···脉冲生成部113电流电压转换用可变电阻114···电流电压转换用运算放大器115···电流检测用隔离放大器116···A/D转换器
117···负荷电流显示部118···与电缆电容同等的电容119···电流电压转换用可变电阻120···电流电压转换用运算放大器123、133、1303···反相放大用运算放大器
124···加法电路130···负荷电流检测电路140···消除电路150···电压检测
电路。