靶材辅助配件的加工方法

摘要

一种靶材辅助配件的加工方法，包括：提供待加工件；对所述第一端面进行第一机械处理；在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔；在所述凹槽内设置垫块；设置垫块后通过第二机械处理去除所述第二端面和所述外周面的部分待加工件材料；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具；设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。在第二机械处理和第三机械处理过程中，所述垫块和所述辅助夹具分别起到支撑作用，能过有效降低所述底壳和所述斜壁发生扭曲变形的可能。

权利要求

1.一种靶材辅助配件的加工方法，其特征在于，包括：

提供待加工件，所述待加工件包括相背设置的第一端面和第二端面；

对所述第一端面进行第一机械处理，去除第一端面内部分待加工件材料，在所述第一端面中形成凹槽，剩余待加工件构成壳体；所述壳体包括围成所述凹槽的底壳、以及位于所述底壳边缘区域且凸出于所述底壳的侧壁，所述底壳具有朝向所述凹槽的底面，所述侧壁具有背向所述凹槽的外周面；

在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔；

在所述凹槽内设置垫块；

设置垫块后通过第二机械处理去除所述第二端面和所述外周面的部分待加工件材料，以减薄所述底壳和所述侧壁，分别形成吸附面和斜壁；

在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具，使所述辅助夹具通过所述连接孔与所述底壳固定连接；

设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。

2.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述辅助夹具包括第一固定件、第二固定件和锁紧件，所述第一固定件具有第一面，所述第二固定件具有第二面；

在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具的步骤包括：

使所述第一固定件的第一面与吸附面相对贴合，使所述第二固定件的第二面与所述底面相对贴合；

使所述锁紧件穿过所述连接孔并锁紧所述第一固定件、底壳和所述第二固定件。

3.如权利要求2所述的加工方法，其特征在于，所述第一固定件和所述第二固定件上设置有相对应的螺孔，所述螺孔与所述连接孔相对应；所述螺孔内具有内螺纹；所述锁紧件为表面具有外螺纹的螺栓，所述外螺纹与所述螺孔内的内螺纹相对应，实现所述第一固定件和所述第二固定件锁紧的步骤包括，使所述螺栓穿过所述第二固定件上的螺孔以及所述连接孔，通过螺旋方式与所述第一固定件上的螺孔连接，实现所述第一固定件和所述第二固定件的锁紧。

4.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，在所述壳体内设置垫块的步骤中，所述垫块的材料为铝或不锈钢。

5.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，进行第一机械处理的步骤中，所述侧壁包括与所述底壳相连的楔形壁以及与所述楔形壁相连的直壁；

进行第二机械处理的步骤中，去除所述楔形壁厚度较大位置处的部分材料，使所述楔形壁背向所述凹槽的表面与朝向所述凹槽的表面平行，形成斜壁；

进行第三机械处理的步骤中，去除所述直壁。

6.如权利要求5所述的加工方法，其特征在于，所述垫块包括第二支撑部和凸出于所述第二支撑部中心区域的第一支撑部，沿平行于所述底面的方向上，所述第二支撑部的尺寸大于所述第一支撑部的尺寸，所述第一支撑部具有朝向所述第二支撑部的第三面以及与所述第三面相背的第四面；

在所述凹槽内设置垫块的步骤包括：使所述第一支撑部的第四面与所述底面贴合，并使所述第一支撑部与所述楔形壁的位置相对应且使所述第二支撑部与所述直壁的位置相对应。

7.如权利要求6所述的加工方法，其特征在于，在所述凹槽内设置垫块的步骤中，所述第二支撑部与所述直壁之间的空隙在5丝到15丝范围内。

8.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，采用车削的方式进行所述第一机械处理、形成所述连接孔、所述第二机械处理或所述第三机械处理中的一个或多个。

9.如权利要求8所述的加工方法，其特征在于，所述第一机械处理的步骤中，采用内孔刀对所述第一端面进行车削以实现所述第一机械处理；

形成连接孔的步骤中，采用内孔刀在所述底壳内形成所述连接孔。

10.如权利要求9所述的加工方法，其特征在于，进行第一机械处理或形成连接孔的步骤中，切削速度在60m/min到100m/min范围内，进给量在0.05mm/r到0.1mm/r范围内，吃刀量在0.1mm到0.2mm范围内。

11.如权利要求8所述的加工方法，其特征在于，所述侧壁包括与所述底壳相连的楔形壁以及与所述楔形壁相连的直壁；所述第二机械处理的步骤中，采用外圆刀对所述第二端面以及所述楔形壁的外周面进行车削以实现所述第二机械处理。

12.如权利要求11所述的加工方法，其特征在于，采用外圆刀进行车削以实现所述第二机械处理的步骤中，切削速度在80m/min到120m/min范围内，进给量在0.08mm/r到0.12mm/r范围内，吃刀量在0.1mm到0.2mm范围内。

13.如权利要求8所述的加工方法，其特征在于，采用车削的方式进行所述第三机械处理的步骤中，切削速度在30m/min到50m/min范围内，进给量在0.08mm/r到0.12mm/r范围内，吃刀量在0.08mm到0.12mm范围内。

14.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法还包括：形成所述连接孔、所述第二机械处理以及所述第三机械处理的任意两个步骤之间进行一次或多次砂纸抛光处理。

15.如权利要求1所述的加工方法，其特征在于，第三机械处理之后，所述加工方法还包括：进行粗糙化处理。

16.如权利要求15所述的加工方法，其特征在于，进行粗糙化处理的步骤包括：通过喷丸处理的方式进行所述粗糙化处理。

说明书

靶材辅助配件的加工方法

技术领域

[0001] 本发明涉及机械加工领域，特别涉及一种靶材辅助配件的加工方法。

背景技术

[0002] 在半导体制程的制造工序中，往往需要形成各种膜层。溅射工艺是半导体制造领域一种广泛使用的成膜工艺。

[0003] 溅射工艺是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)中的一种，具体地，利用带电粒子轰击靶材，加速的粒子轰击固体表面时，粒子与固体表面原子发生碰撞，产生能量和动量的转移，使靶材表面原子从靶材表面溢出并沉积在基底表面形成膜层。

[0004] 溅射工艺在进行过程中，会有反溅射物产生。由于靶材组件中起支撑作用的背板本身具有一定的附着力，所以反溅射物会附着在背板上，形成吸附颗粒物。但是随着工艺不断发展，某些溅射工艺在进行过程中产生的反溅射物比较多，会导致反溅射物无法顺利附着，从而发生吸附颗粒物剥落(Peeling)和尖端放电(Arcing)等问题，严重影响生产过程，导致产品报废。

[0005] 为了减少溅射工艺过程中出现吸附颗粒物剥落和尖端放电的问题，在溅射设备中设置有靶材辅助配件，用于在溅射工艺过程中吸附颗粒物。但是现有技术中，所述靶材辅助配件加工难度较大，容易发生变形扭曲。

发明内容

[0006] 本发明解决的问题是提供一种靶材辅助配件的加工方法，以减少靶材辅助配件发生扭曲变形的可能。

[0007] 为解决上述问题，本发明提供一种靶材辅助配件的加工方法，包括：

[0008] 提供待加工件，所述待加工件包括相背设置的第一端面和第二端面；对所述第一端面进行第一机械处理，去除第一端面部分待加工件材料在所述第一端面中形成凹槽，剩余待加工件构成壳体；所述壳体包括围成所述凹槽的底壳、以及位于所述底壳边缘区域且凸出于所述底壳的侧壁，所述底壳具有朝向所述凹槽的底面，所述侧壁具有背向所述凹槽的外周面；在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔；在所述凹槽内设置垫块；设置垫块后通过第二机械处理去除所述第二端面和所述外周面的部分待加工件材料，以减薄所述底壳和所述侧壁，分别形成吸附面和斜壁；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具，使所述辅助夹具通过所述连接孔与所述底壳固定连接；设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。

[0009] 可选的，所述辅助夹具包括第一固定件、第二固定件和锁紧件，所述第一固定件具有第一面，所述第二固定件具有第二面；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具的步骤包括：使所述第一固定件的第一面与吸附面相对贴合，使所述第二固定件的第二面与所述底面相对贴合；使所述锁紧件穿过所述连接孔并锁紧所述第一固定件、底壳和所述第二固定件。

[0010] 可选的，所述第一固定件和所述第二固定件上设置有相对应的螺孔，所述螺孔与所述连接孔相对应；所述螺孔内具有内螺纹；所述锁紧件为表面具有外螺纹的螺栓，所述外螺纹与所述螺孔内的内螺纹相对应，实现所述第一固定件和所述第二固定件锁紧的步骤包括，使所述螺栓穿过所述第二固定件上的螺孔以及所述连接孔，通过螺旋方式与所述第一固定件上的螺孔连接，实现所述第一固定件和所述第二固定件的锁紧。

[0011] 可选的，在所述壳体内设置垫块的步骤中，所述垫块的材料为铝或不锈钢。

[0012] 可选的，进行第一机械处理的步骤中，所述侧壁包括与所述底壳相连的楔形壁以及与所述楔形壁相连的直壁；进行第二机械处理的步骤中，去除所述楔形壁厚度较大位置处的部分材料，使所述楔形壁背向所述凹槽的表面与朝向所述凹槽的表面平行，形成斜壁；进行第三机械处理的步骤中，去除所述直壁。

[0013] 可选的，所述垫块包括第二支撑部和凸出于所述第二支撑部中心区域的第一支撑部，沿平行于所述底面的方向上，所述第二支撑部的尺寸大于所述第一支撑部的尺寸，所述第一支撑部具有朝向所述第二支撑部的第三面以及与所述第三面相背的第四面；在所述凹槽内设置垫块的步骤包括：使所述第一支撑部的第四面与所述底面贴合，并使所述第一支撑部与所述楔形壁的位置相对应且使所述第二支撑部与所述直壁的位置相对应。

[0014] 可选的，在所述凹槽内设置垫块的步骤中，所述第二支撑部与所述直壁之间的空隙在5丝到15丝范围内。

[0015] 可选的，采用车削的方式进行所述第一机械处理、形成所述连接孔、所述第二机械处理或所述第三机械处理中的一个或多个。

[0016] 可选的，所述第一机械处理的步骤中，采用内孔刀对所述第一端面进行车削以实现所述第一机械处理；形成连接孔的步骤中，采用内孔刀在所述底壳内形成所述连接孔。

[0017] 可选的，进行第一机械处理或形成连接孔的步骤中，切削速度在60m/min到100m/min范围内，进给量在0.05mm/r到0.1mm/r范围内，吃刀量在0.1mm到0.2mm范围内。

[0018] 可选的，所述第二机械处理的步骤中，采用外圆刀对所述第二端面以及所述楔形壁的外周面进行车削以实现所述第二机械处理。

[0019] 可选的，采用外圆刀进行车削以实现所述第二机械处理的步骤中，切削速度在80m/min到120m/min范围内，进给量在0.08mm/r到0.12mm/r范围内，吃刀量在0.1mm到0.2mm范围内。

[0020] 可选的，采用车削的方式进行所述第三机械处理的步骤中，切削速度在30m/min到50m/min范围内，进给量在0.08mm/r到0.12mm/r范围内，吃刀量在0.08mm到0.12mm范围内。

[0021] 可选的，所述加工方法还包括：形成所述连接孔、所述第二机械处理以及所述第三机械处理的任意两个步骤之间进行一次或多次砂纸抛光处理。

[0022] 可选的，第三机械处理之后，所述加工方法还包括：进行粗糙化处理。

[0023] 可选的，进行粗糙化处理的步骤包括：通过喷丸处理的方式进行所述粗糙化处理。

[0024] 与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

[0025] 本发明通过在第一机械处理形成壳体后，在所述壳体内设置垫块；之后进行第二机械处理形成吸附面和斜壁；而去除直壁的第三机械处理之前，通过在底壳底面和吸附面上设置辅助夹具；以所述辅助夹具夹持底壳，进行第三机械处理以去除直壁，进而形成所述靶材辅助配件。在第二机械处理和第三机械处理过程中，所述垫块和所述辅助夹具分别起到支撑作用，能过有效降低所述底壳和所述斜壁发生扭曲变形的可能。

附图说明

[0026] 图1是一种靶材辅助配件的俯视结构示意图；

[0027] 图2是图1中所述靶材辅助配件沿AA线的剖视图；

[0028] 图3至图10是本发明靶材辅助配件加工方法一实施例各个步骤中间结构的结构示意图。

具体实施方式

[0029] 由背景技术可知，现有技术中的靶材辅助配件加工难度较大，容易发生变形扭曲的问题。现结合所述靶材辅助配件的结构分析其容易发生变形扭曲问题的原因：

[0030] 参考图1和图2，示出了一种靶材辅助配件的结构示意图，其中图2是图1中AA线的剖视图。

[0031] 所述靶材辅助配件10为圆盘形，如图2所示，所述靶材辅助配件10包括圆形底壳11以及与所述底壳11斜交的斜壁12。所述靶材辅助配件10厚度d较小，通常情况下，所述靶材辅助配件10的厚度d仅为2mm，因此在加工过程中所述底壳11和所述斜壁12的支撑强度较小，容易发生扭曲变形。

[0032] 为解决所述技术问题，本发明提供一种靶材辅助配件的加工方法，包括：

[0033] 提供待加工件，所述待加工件包括相背设置的第一端面和第二端面；对所述第一端面进行第一机械处理，去除第一端面部分待加工件材料在所述第一端面中形成凹槽，剩余待加工件构成壳体；所述壳体包括围成所述凹槽的底壳、以及位于所述底壳边缘区域且凸出于所述底壳的侧壁，所述底壳具有朝向所述凹槽的底面，所述侧壁具有背向所述凹槽的外周面；在所述底壳中形成贯穿所述底壳的连接孔；在所述凹槽内设置垫块；设置垫块后通过第二机械处理去除所述第二端面和所述外周面的部分待加工件材料，以减薄所述底壳和所述侧壁，分别形成吸附面和斜壁；在所述底壳的所述底面和吸附面上分别设置辅助夹具，使所述辅助夹具通过所述连接孔与所述底壳固定连接；设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。

[0034] 本发明通过在第一机械处理形成壳体后，在所述壳体内设置垫块；之后进行第二机械处理形成吸附面和斜壁；而去除直壁的第三机械处理之前，通过在底壳底面和吸附面上设置辅助夹具；以所述辅助夹具夹持底壳，进行第三机械处理以去除直壁，进而形成所述靶材辅助配件。在第二机械处理和第三机械处理过程中，所述垫块和所述辅助夹具分别起到支撑作用，能过有效降低所述底壳和所述斜壁发生扭曲变形的可能。

[0035] 为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

[0036] 参考图3至图10，示出了本发明靶材辅助配件加工方法一实施例各个步骤中间结构的结构示意图。

[0037] 参考图3和图4，其中图4是图3中沿BB线的剖视图，提供待加工件100，所述待加工件100包括相背设置的第一端面101和第二端面102。

[0038] 所述待加工件100用于经过加工形成靶材辅助配件。具体的，本实施例中，所述靶材辅助配件的材料为不锈钢或铝。因此所述待加工件100的材料为不锈钢或铝。

[0039] 所述待加工件100的形状为柱体，包括相背设置的第一端面101和第二端面102。此外，所述待加工件100还包括连接所述第一端面101和所述第二端面102的侧面103。

[0040] 结合参考图5，对所述第一端面101(如图4所示)进行第一机械处理，去除第一端面101部分待加工件材料在所述第一端面101中形成凹槽110c，剩余待加工件构成壳体110；所述壳体110包括围成所述凹槽110c的底壳111、以及位于所述底壳111边缘区域且凸出于所述底壳111的侧壁112，所述底壳111具有朝向所述凹槽110c的底面111a，所述侧壁112具有背向所述凹槽110c的外周面112o。

[0041] 需要说明的是，本实施例中，在提供待加工件100之后，进行第一机械处理之前，所述加工方法还包括：对所述待加工件的侧面103进行整形处理，以使与所述第二端面102平行的平面内，所述待加工件100的截面为圆形。

[0042] 具体的，进行整形处理的步骤中，采用车削的方式对所述侧面103进行所述整形处理。本实施例中，所述整形处理通过外圆刀对所述待加工件100的侧面103进行车削而实现。在车削处理过程中，切削速度在60m/min到100m/min范围内，进给量在0.05mm/r到0.1mm/r范围内，吃刀量在0.1mm到0.2mm范围内。

[0043] 所述第一机械处理用于去除所述第一端面101内部分待加工件100的材料，形成位于所述第一端面101内的凹槽110c，剩余的待加工件100构成壳体110。

[0044] 具体的，所述第一机械处理的步骤可以通过车削的方式去除所述第一端面101内的部分材料，在所述待加工件100的第一端面101内形成空腔，剩余的待加工件100构成所述壳体。本实施例中，通过内孔刀对所述第一端面101进行车削处理以进行所述第一机械处理。

[0045] 所述侧壁112包括与所述底壳111相连的楔形壁112b以及与所述楔形壁112b相连的直壁112a。所述楔形壁112厚度较大的一侧与所述底壳111相连，厚度较小的一侧与所述直壁112a相连。

[0046] 具体的，在进行所述第一机械处理的步骤中，切削速度在60m/min到100m/min范围内，进给量在0.05mm/r到0.1mm/r范围内，吃刀量在0.1mm到0.2mm范围内。本实施例中，切削速度为80m/min，进给量为0.075mm/r，吃刀量为0.15mm。

[0047] 结合参考图6，在所述底壳111内形成贯穿所述底壳111的连接孔113。

[0048] 所述连接孔113用于固定所述靶材辅助配件，还用于在后续工艺中固定工具。具体的，所述连接孔113可以通过对所述底壳111对应位置进行车削以形成连接孔113。本实施例中，所述连接孔113通过内孔刀对所述底壳111进行车削而形成。

[0049] 具体的，在形成连接孔113的步骤中，切削速度在60m/min到100m/min范围内，进给量在0.05mm/r到0.1mm/r范围内，吃刀量在0.1mm到0.2mm范围内。本实施例中，切削速度为80m/min，进给量为0.075mm/r，吃刀量为0.15mm。

[0050] 需要说明的是，在形成所述连接孔113之后，所述加工方法还包括：对所述连接孔113的内表面进行砂纸抛光处理，以去除加工过程中可能产生的毛刺，以避免所述靶材辅助配件在使用过程中出现剥落或尖端放电的问题。

[0051] 结合参考图7，在所述壳体110凹槽111a(如图6所示)内设置垫块200。

[0052] 所述垫块200位于所述凹槽111a内可以起到支撑作用，以提高所述底壳111和所述侧壁112(如图6所示)的强度，避免所述底壳111和所述侧壁112在后续加工过程中发生扭曲变形的现象。

[0053] 需要说明的是，为了避免损失靶材辅助配件受到污染，本实施例中，所述垫块200的材料与所述待加工件的材料相同为铝或不锈钢。

[0054] 所述垫块200包括第二支撑部202和凸出于所述第二支撑部202中心区域的第一支撑部201，沿平行于所述底面111a的方向上，所述第二支撑部202的尺寸大于所述第一支撑部201的尺寸，所述第一支撑部201具有朝向所述第二支撑部202的第三面以及与所述第三面相背的第四面。

[0055] 在所述凹槽111内设置垫块200的步骤包括：使所述第一支撑部201的第四面与所述底面111a贴合，并使所述第一支撑部201与所述楔形壁112b(如图6所示)的位置相对应且使所述第二支撑部202与所述直壁112a(如图6所示)的位置相对应。

[0056] 需要说明的是，为了使所述垫块200能够设置于所述壳体200内部，并且不会引起所述壳体200形变，在所述凹槽110c内设置垫块200的步骤中，所述第二支撑部202与所述直壁112a之间的空隙G在5丝到15丝范围内。

[0057] 继续参考图7，设置垫块200后通过第二机械处理去除所述第二端面102(如图6所示)和所述外周面112o(如图6所示)的部分待加工件材料，以减薄所述底壳111和所述侧壁112，分别形成吸附面114和斜壁115。

[0058] 具体的，进行所述第二机械处理的过程中，去除所述第二端面102内的部分材料，形成与所述底面111a相背的吸附面114，且所述吸附面114和所述底面111a之间的距离D为预设值。本实施例中，预设值D在1.8mm到2.2mm范围内。也就是说，使所述底壳111的厚度在1.8mm到2.2mm范围内。

[0059] 此外，所述第二机械处理还去除所述楔形112b壁厚度较大位置处的部分材料，使所述楔形壁112b背向所述凹槽110c的表面与朝向所述凹槽110c的表面平行，形成斜壁115。

[0060] 本实施例中，所述第二机械处理的步骤中，采用车削的方式进行所述第二机械处理。本实施例中，所述第二机械处理通过外圆刀对所述第二端面102和所述楔形壁112b的外周面112o进行车削以实现。

[0061] 具体的，在进行所述第二机械处理的步骤中，切削速度在80m/min到120m/min范围内，进给量在0.08mm/r到0.12mm/r范围内，吃刀量在0.1mm到0.2mm范围内。

[0062] 结合参考图8，在所述底壳111的底面111a和所述吸附面114上设置辅助夹具，使所述辅助夹具通过所述连接孔113(如图7所示)与所述底壳111固定连接。

[0063] 第二机械处理之后，设置辅助夹具之前，所述加工方法还包括：对所述壳体进行砂纸抛光处理，以去除加工过程中可能产生的毛刺，以避免所述靶材辅助配件在使用过程中出现剥落或尖端放电的问题。

[0064] 需要说明的是，砂纸抛光之后，在设置辅助夹具之前，所述加工方法还包括：去除所述垫块200。

[0065] 所述辅助夹具的材料包括不锈钢或铝，包括第一固定件310、第二固定件320和锁紧件330，所述第一固定件310具有第一面，所述第二固定件具有第二面。

[0066] 具体的，在所述底壳111的底面111a和所述吸附面114上设置辅助夹具的步骤包括：使所述第一固定件310的第一面311与吸附面114相对贴合，使所述第二固定件320的第二面321与所述底面111a相对贴合；使所述锁紧件330穿过所述连接孔113(如图7所示)并锁紧所述第一固定件310、底壳111和所述第二固定件320。

[0067] 需要说明的是，本实施例中，所述第一固定件310和所述第二固定件320上设置有相对应的螺孔，所述螺孔与所述连接孔相对应；所述螺孔内具有内螺纹；所述锁紧件330为表面具有外螺纹的螺栓，所述外螺纹与所述螺孔内的内螺纹相对应。

[0068] 所以实现所述第一固定件310和所述第二固定件320锁紧的步骤包括：使所述螺栓穿过所述第二固定件320上的螺孔以及所述连接孔，通过螺旋的方式与所述第一固定件310上的螺孔连接，实现所述第一固定件310和所述第二固定件320的锁紧。

[0069] 此外，所述第一固定件310还包括用于固定的连接面312。为了提高所述第一固定件310的固定稳定程度，所述第一面311的尺寸小于所述连接面312的尺寸。本实施例中，所述第一面311和所述连接面312均为圆形。所述第一面311的直径在50mm到60mm范围内，所述连接面312直径在85mm到92mm范围内。

[0070] 参考图9，设置辅助夹具后通过第三机械处理去除部分侧壁。

[0071] 由于所述第一固定件310和所述第二固定件320与所述壳体110的底壳111实现面接触，能够有效增强第三机械过程中所述底壳111的强度，从而避免所述底壳111在第三机械过程中发生扭曲变形。

[0072] 本实施例中，所述第三机械处理的步骤中，去除所述直壁112a(如图8所示)。具体的，所述第三机械处理可以采用车削的方式进行。本实施例中，所述第三机械处理通过对所述直壁112a未连接所述斜壁115的端面进行车削而实现。

[0073] 具体的，在进行所述第三机械处理的步骤中，切削速度在30m/min到50m/min范围内，进给量重0.08mm/r到0.12mm/r范围内，吃刀量在0.08mm到0.12mm范围内。

[0074] 参考图10，在第三机械处理之后，所述加工方法还包括：进行粗糙化处理。

[0075] 第三机械处理之后，粗糙化处理之前，所述加工方法还包括：进行砂纸抛光处理，以去除加工过程中可能产生的毛刺，以避免所述靶材辅助配件在使用过程中出现剥落或尖端放电的问题。

[0076] 之后，对所述底壳111的吸附面114和底面111a以及所述斜壁115的表面进行粗糙化处理。具体的，可以通过喷完处理的方式进行所述粗糙化处理。

[0077] 综上，本发明通过在第一机械处理形成壳体后，在所述壳体内设置垫块；之后进行第二机械处理形成吸附面和斜壁；而去除直壁的第三机械处理之前，通过在底壳底面和吸附面上设置辅助夹具；以所述辅助夹具夹持底壳，进行第三机械处理以去除直壁，进而形成所述靶材辅助配件。在第二机械处理和第三机械处理过程中，所述垫块和所述辅助夹具分别起到支撑作用，能过有效降低所述底壳和所述斜壁发生扭曲变形的可能。

[0078] 虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。