用于质谱分析法的设备和方法

摘要

用于质谱分析法的设备包括：部分发生器(10)，用于与触发脉冲同步地产生局部分析物部分；传送系统(20)，耦合到部分发生器(10)，用于输送局部分析物部分；等离子体电离器单元(30)，耦合到传送系统(20)，用于使用等离子体来雾化、汽化和电离接收到的分析物部分；质量分析器(41)，耦合到等离子体电离器单元(30)，用于分析接收到的分析物部分，其包括至少一个检测器；以及数据采集电子器件(50)，连接到至少一个检测器，用于采集由至少一个检测器生成的信号(43)。该设备还包括信号延迟装置(60)，用于接收触发脉冲(11)并发送对应于触发脉冲的延迟信号(61)，以便将所要分析的颗粒在部分生成与检测之间所经历的延迟纳入考虑。

权利要求

1.一种用于质谱分析法的设备，包括：

部分发生器，用于与触发脉冲同步地产生局部分析物部分；

传送系统，其耦合到所述部分发生器，用于输送所述局部分析物部分；

等离子体电离器单元，其耦合到所述传送系统，用于使用等离子体来汽化、雾化和电离接收到的分析物部分；

质量分析器，其耦合到所述等离子体电离器单元，用于分析接收到的分析物部分的元素含量，所述质量分析器包括至少一个检测器；

数据采集电子器件，其连接到所述至少一个检测器，用于采集由所述至少一个检测器生成的信号；

其特征在于信号延迟装置，该信号延迟装置用于接收所述触发脉冲并发送对应于所述触发脉冲的延迟信号，以将所要分析的分析物部分在部分生成与检测之间经历的延迟纳入考虑。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述等离子体电离器单元是电感耦合等离子体单元，用于使用电感耦合等离子体来汽化、雾化和电离接收到的分析物部分。

3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述等离子体电离器单元是微波等离子体离子源。

4.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述等离子体电离器单元是激光等离子体离子源。

5.如权利要求1至4中之一所述的设备，其特征在于，所述信号延迟装置是能够同时处理多个触发脉冲的重叠信号延迟装置。

6.如权利要求1至5中之一所述的设备，其特征在于，所述局部分析物部分的产生由所述触发脉冲控制。

7.如权利要求1至5中之一所述的设备，其特征在于，所述触发脉冲由控制所述质量分析器的定时发生器生成，并发送到所述部分发生器和所述信号延迟装置。

8.如权利要求1至7中之一所述的设备，其特征在于，所述信号延迟装置连接到所述质量分析器的所述数据采集电子器件，用于将对应于所述触发脉冲的所述延迟信号发送到所述数据采集电子器件。

9.如权利要求8所述的设备，其特征在于，在所述数据采集电子器件处接收到的所述延迟信号启动所述数据采集。

10.如权利要求8所述的设备，其特征在于，在所述数据采集电子器件处接收到的所述延迟信号用作由所述数据采集电子器件生成的数据流中的标签，以便标记对应于特定分析物部分的数据。

11.如权利要求1至7中之一所述的设备，其特征在于，所述延迟信号发送到所述质量分析器并且用于启动所述质量分析器。

12.如权利要求1至11中之一所述的设备，其特征在于，所述部分发生器是激光烧蚀装置，所述触发脉冲是激光触发脉冲，并且所述局部分析物部分是气溶胶脉冲。

13.如权利要求1至11中之一所述的设备，其特征在于，所述部分发生器是液滴发生器，所述局部分析物部分是由所述触发脉冲触发的所述液滴发生器根据需要而生成的单液滴。

14.如权利要求1至13中之一所述的设备，其特征在于，所述质量分析器是质谱仪，特别是飞行时间质谱仪。

15.如权利要求1至14中之一所述的设备，其特征在于，所述传送系统是包括收集容器和传送管的气动系统，所述传送管的输出连接到所述等离子体电离器单元的气体输入。

16.如权利要求5至15中之一所述的设备，其特征在于，所述信号延迟装置包括延迟线。

17.如权利要求16所述的设备，其特征在于，所述延迟线是数字延迟线。

18.如权利要求17所述的设备，其特征在于，所述数字延迟线以软件实现。

19.如权利要求18所述的设备，其特征在于，处理器被编程用于基于触发脉冲来生成时间戳，将所述时间戳发送到FIFO缓冲器，从所述FIFO缓冲器读出所述时间戳，以及如果读出的时间戳加上用户可定义的延迟对应于当前时间则生成输出信号。

20.如权利要求18所述的设备，其特征在于，处理器被编程用于将每个接收到的触发脉冲的信号发送到FIFO缓冲器，其中所述FIFO缓冲器的长度被选择成对应于在时钟周期中的用户可定义的延迟，其中所述处理器被编程用于在每个时钟周期将所述FIFO缓冲器的条目传播一个位置，并且其中每次信号到达所述FIFO缓冲器的输出时生成输出信号。

21.一种用于质谱分析法的方法，包括以下步骤：

在触发脉冲的控制下产生局部分析物部分；

将所述局部分析物部分传送到等离子体电离器单元；

通过所述等离子体电离器单元汽化、雾化和电离接收到的分析物部分；

通过质量分析器处理接收到的分析物部分的电离元素含量，包括在检测器处检测所处理的分析物的步骤；

采集从所述检测器接收的信号以及分析所采集的信号；

其特征在于，通过延迟装置接收触发脉冲，生成对应于所述触发脉冲的延迟信号，以及将所述延迟信号包括在对所采集的信号的分析中，以将所要分析的气溶胶在局部分析物部分产生与检测之间所经历的延迟纳入考虑。

22.如权利要求21所述的方法，其特征在于，信号延迟大于部分生成事件之间的时间，并且所述延迟装置同时处理多个触发脉冲。

23.如权利要求21或22所述的方法，其特征在于，所述局部分析物部分是通过激光烧蚀产生的气溶胶脉冲，并且所述触发脉冲是激光触发脉冲。

24.如权利要求21或22所述的方法，其特征在于，所述局部分析物部分是由所述触发脉冲触发的液滴发生器根据需要而产生的单液滴。

说明书

用于质谱分析法的设备和方法

技术领域

[0001] 本发明涉及用于质谱分析法的设备，该设备包括：部分发生器，用于与触发脉冲同步地产生局部分析物部分；传送系统，其耦合到所述部分发生器，用于输送所述局部分析物部分；等离子体电离器单元，其耦合到所述传送系统，用于使用等离子体来汽化、雾化和电离接收到的分析物部分；质量分析器，其耦合到等离子体电离器单元，用于分析接收到的分析物部分，所述质量分析器包括至少一个检测器以及数据采集电子器件，该数据采集电子器件连接到所述至少一个检测器，用于采集由所述至少一个检测器生成的信号。本发明还涉及用于质谱分析法的方法。

背景技术

[0002] 电感耦合等离子体质谱分析法(ICP-MS)是这样一种类型的质谱分析法：其能够在无干扰低背景同位素上检测浓度低至1015分之一(千万亿分之一，ppq)的金属和若干种非金属。这是通过使用电感耦合等离子体来电离样品，并继而使用质量分析器来分离和量化那些离子而实现的。与原子吸收技术相比，ICP-MS具有更高的速度、精度和灵敏度。

[0003] 样品可以通过多种方法制备。一种优选方法是激光烧蚀，从而允许对精确限定的空间位置的元素分析。在该方法中，将脉冲高功率激光聚焦在固体样品上并产生局部分析物部分，即，烧蚀材料的短脉冲，该短脉冲可被收集和夹带在收集容器内的气流中，并继而被扫入等离子体。

[0004] 另一样品制备方法是生成单液滴(或微滴)。这可以通过压电驱动式分配器头来实现，例如在O.Borovinskaya,B.Hattendorf,M.Tanner,S.Gschwind,D.Günther,"A prototype of a new inductively coupled plasma  time-of-flight mass spectrometer providing temporally resolved,multi-element detection of short signals generated by single particles and droplets",J.Anal.At.Spectrom.,2013,28,226-233中所描述。

[0005] 相应地在激光烧蚀装置或液滴发生器(DG)与ICP单元之间布置传送系统。该传送系统允许将烧蚀材料脉冲传送到ICP单元。传送系统可以包括传送管和/或将颗粒嵌入在用于传送的气体射流中的装置。此外，传送系统包括通往ICP气体输入的连接。

[0006] 在ICP单元中，将气溶胶或液滴汽化、雾化和电离，并且继而将其传送到质量分析器。

[0007] 在触发激光烧蚀或液滴生成的触发脉冲与质量分析器的入口处出现对应的离子之间存在相当大的时间延迟，即，信号延迟。在常规LA-ICP-MS或DG-ICP-MS中，未对这样的延迟作出补偿或将其纳入考虑。测量开始，并且在一段时间内连续采集信号。该方法不是最佳的，原因在于必须在后处理步骤中将每个信号峰值分配到对应的激光脉冲或液滴生成。同时，每个峰值信号的积分也最好在后处理中完成，因为实时积分将会依赖于激光或触发时钟与采集时钟完全同步。在实践中，这两个时钟将会稍微偏离，而这将会导致在数据中出现莫尔条纹(Moirépatterns)。

[0008] 此外，在激光烧蚀的情况下，如果在测量期间在激光下移动样品(所谓的“线扫描”)，则与每次激光发射相对应的位置信息仅为从开始测量后的时间计算得出的近似值。

[0009] 因此，信号延迟和后处理引入了进一步的计算负担，使得处理更慢并且可能影响结果的精度。

发明内容

[0010] 本发明的目的是提供关于最初提到的技术领域的设备和方法，其提供计算负荷减少，允许更快速处理并且提供可靠的结果。

[0011] 本发明的解决方案由权利要求1和18的特征所指明。根据本发明，所述设备包括信号延迟装置，该信号延迟装置用于接收触发脉冲并发送对应于所述触发脉冲的延迟信号，以将所要分析的分析物部分在部分生成与检测之间所经历的延迟纳入考虑。

[0012] 类似地，在本发明方法的上下文中，由延迟装置接收触发脉冲，生成对应于所述触发脉冲的延迟信号并将该延迟信号包括在对所采集的信号的分析中，以将所要分析的分析物部分在部分生成与检测之间所经历的延迟纳入考虑。

[0013] 通常，延迟指定触发脉冲与数据采集开始之间的时间段的长度。这可能是由部分发生器、传送系统、ICP单元和/或通往质量分析器的离子传送光学器件中所产生的效应造成的。

[0014] 所述方法和设备允许将数据采集与每次部分生成相同步。以这种方式，每个部分的确切时间和位置是已知的，而对应于每个部分的数据也是已知的。可以实时呈现正确的数据映射，原因在于不再需要用于将数据峰值分配至部分生成事件和对数据进行积分的耗时的后处理步骤。此外，每个部分生成事件将会由相同数目的TOFMS提取所覆盖，并且因此每个部分的数据看起来都相同。这大大有助于后续数据分析。

[0015] 这样的优越定时是通过使每个部分生成事件与TOFMS的采集序列相同步而实现的，其中信号延迟装置将信号延迟纳入考虑。在所述信号延迟之后，在有限的时间内采集数据，该有限的时间对应于有用信号的持续时间。

[0016] 优选地，等离子体电离器单元是电感耦合等离子体(ICP)单元，用于使用电感耦合等离子体来汽化、雾化和电离所接收到的分析物部分。

[0017] 然而，本发明不限于ICP单元，而是还可以采用微波等离子体离子源或激光等离子体离子源。

[0018] 优选地，信号延迟装置是能够同时处理多个触发脉冲的重叠信号延迟装置。这允许处理其中信号延迟大于部分生成事件之间的时间的情况。因此，可以处理分析物部分生成中的高频率，这允许更快速的测量。

[0019] 在本发明的第一变型中，由触发脉冲来控制局部分析物部分的产生。因此，所述触发脉冲用于通过控制对应的装置(诸如激光烧蚀装置的激光器或液滴发生器)来控制局部分析物部分的产生。在该变型中，触发脉冲通常将会相应地由激光烧蚀装置或液滴发生器的组件生成。因此，部分发生器是主装置。

[0020] 在本发明的第二变型中，由控制质量分析器的定时发生器来生成触发脉冲，并将其发送到部分发生器和信号延迟装置。因此，质量分析器是主装置。

[0021] 第一变型或第二变型中的哪一个是更好的选择取决于所使用的部分发生器和质量分析器，原因在于某些类型的部分发生器和质量分析器比其他类型的部分发生器和质量分析器更容易被触发。

[0022] 在优选实施方式中，信号延迟装置连接到质量分析器的数据采集电子器件，用于将对应于触发脉冲的延迟信号发送到所述数据采集电子器件。

[0023] 优选地，在数据采集电子器件处接收到的延迟信号启动数据采集。这意味着，根据所接收到的延迟信号而开始数据采集周期。在这种情况下，质量分析器连续操作，但根据延迟信号而开始数据采集序列。

[0024] 在另一优选实施方式中，在数据采集电子器件处接收到的延迟信号用作由数据采集电子器件生成的数据流中的标签，以便标记对应于特定分析物部分的数据。在这种情况下，数据采集连续运行。

[0025] 在另一优选实施方式中，将延迟信号发送到质量分析器，并将其用于启动所述质量分析器。这具有的优点在于质量分析器的测量(例如，飞行时间提取期)与分析物部分的到达相同步，而在连续运行的质量分析器的情况下，将会发生单个测量周期(例如，提取期)的长度的量级的抖动。然而，连续操作对于许多质量分析器是优选的。

[0026] 在本发明设备的优选实施方式中，部分发生器是激光烧蚀装置，触发脉冲是激光触发脉冲，并且局部分析物部分是气溶胶脉冲。

[0027] 在本发明设备的另一优选实施方式中，部分发生器是液滴发生器，局部分析物部分是由触发脉冲触发的所述液滴发生器根据需要而生成的单液滴。液滴发生器接收所要分析的液体物质，并且从所述液体生成具有预定尺寸的液滴。所述液体物质可以含有固体颗粒，例如分散在载体液体中的纳米颗粒，并且所述载体液体可以用于校准目的。最优选地，液滴发生器生成微液滴。有市售微液滴分配器头可供使用，例如上文引用的O.Borovinskaya等人文献中所描述的Microdrop Technologies GmbH,Norderstedt,Germany的具有控制单元MD-E-201-H的MD-K-150型。

[0028] 局部分析物部分可以包含若干种成分，即，实际分析物以及诸如溶剂、载流体或用于校准的物质等其他物质。

[0029] 在优选实施方式中，质量分析器是质谱仪，特别是飞行时间质谱仪。这允许非常快速的测量、高质量准确度和质量分辨率。

[0030] 可以采用其他质量分析器，例如，四极滤质器。

[0031] 特别地，传送系统是包含可以位于传送管中的定向气流的气动系统，所述传送管的输出连接到ICP单元的气体输入。

[0032] 信号延迟可以大于部分生成事件之间的时间，触发期。在一个实现方式中，信号延迟通常在几百毫秒的范围内，而激光期通常在10毫秒的范围内。这意味着，采集系统在任何时刻正在进行高达10个采样事件。其他实现方式可以一次具有更多或更少的事件处于飞行中。

[0033] 为了应对这一事实，以便将超过触发脉冲期的延迟纳入考虑，在本发明的优选实施方式中，为了完全、彻底地再现触发序列，但在稍后的时间再现，采用延迟线(DL)。通常，延迟线可以用于再现数字或模拟信号。合适的模拟和数字延迟线可商购。

[0034] 可以由移位寄存器构建成简单的1位数字DL。通过设置输入的位来开始延迟。该位移位经过所述寄存器，直到其出现在该寄存器的最后位置。通过读取每个寄存器位置处的状态，可以将延迟设置成高达时钟周期的(N-1)倍的任意多个时钟周期，其中N是寄存器大小。由于移位寄存器可以由计算机存储器芯片构建而成，因此可能的大小是非常大的。这允许非常长的延迟和/或非常快的时钟速率(高定时分辨率)。

[0035] 数字延迟线可以再现比1位0/1更复杂的信号。此外，具有期望的毫秒分辨率的数字延迟线单元也可以广泛用于各种应用。

[0036] 另一形式的数字DL能够以软件实现。可以等效地使用通用微处理器或诸如FPGA等专用单元。

[0037] 软件DL广泛用于许多领域，并且是许多数字信号处理软件包的一部分。例如，许多音频效果(混响、合声等)都是基于延迟信号。

[0038] 在优选实施方式中，处理器被编程用于基于触发脉冲而生成时间戳，将时间戳发送到FIFO缓冲器，从FIFO缓冲器读出时间戳，以及如果读出的时间戳加上用户可定义的延迟对应于当前时间则生成输出信号。

[0039] 这在功能上等同于上述1位移位寄存器DL。其以脉冲作为输入，并给出脉冲作为输出。其为异步的，原因在于FIFO并不是在每个时钟递增，而是取决于比较。

[0040] 时间戳与当前时间的比较和延迟可以不同的方式实现。作为示例，可以从时钟减去延迟或者向FIFO缓冲器中的时间戳添加延迟。

[0041] 在另一优选实施方式中，处理器被编程用于将每个接收到的触发脉冲的信号发送到FIFO缓冲器，其中FIFO缓冲器的长度被选择成对应于在时钟周期中的用户可定义的延迟，其中所述处理器被编程用于针对每个时钟周期将FIFO缓冲器的条目传播一个位置，并且其中每次信号到达FIFO缓冲器的输出时生成输出信号。该方法是同步的。使得FIFO与时钟周期中期望的延迟一样长，并且在每个时钟周期经过其传播触发。这在功能和内部操作原理上等同于移位寄存器DL。

[0042] 时钟还可以是软件定义的，而不是硬件时钟，以便改变延迟范围和分辨率。

[0043] 原则上，替代于如前文所述的延迟线，信号延迟装置包括至少一个延迟发生器。该组件接收输入信号(即，触发脉冲中之一)，并且在接收到所述输入信号之后经过预定(用户可定义)延迟之后发射输出信号。通常，不能在延迟期内再次触发延迟发生器，即，仅处理在前一个输入信号的延迟期期满之后到达的输入信号。

[0044] 为了将超过触发脉冲期的延迟纳入考虑，可以采用两个或更多个延迟发生器。第一延迟发生器提供长达触发期减去小增量的延迟。其触发提供其余延迟的第二延迟发生器。这一概念可以扩展到任意数目的延迟发生器。

[0045] 多个延迟发生器的布置可以基于可编程延迟发生器的阵列。可编程延迟发生器(PDG)可以作为完整、廉价的集成电路封装而获得。可以容易地在小型印刷电路板上构建出具有简单接口的PDG阵列。

[0046] 其他有利实施方式和特征组合从以下具体实施方式和全部权利要求中体现出来。

附图说明

[0047] 用于解释实施方式的附图示出：

[0048] 图1常规LA-ICP-MS的功能图；

[0049] 图2常规LA-ICP-MS采集的测量序列；

[0050] 图3本发明的第一实施方式的功能图；

[0051] 图4根据本发明的测量序列；

[0052] 图5关于使用级联可编程延迟发生器的本发明设备的实施方式的功能图；

[0053] 图6以软件实现的根据本发明的数字延迟线的功能图；

[0054] 图7第一实施方式的框图；

[0055] 图8本发明的第二实施方式的框图；以及

[0056] 图9本发明的第三实施方式的框图。

[0057] 在附图中，将相同的参考符号给予相同的组件。

具体实施方式

[0058] 图1示出了用于激光烧蚀电感耦合等离子体质谱分析法(LA-ICP-MS)的常规设备的功能图。设备1包括激光烧蚀单元10、气动传送系统20，该气动传送系统20包括样品上方的收集容器、传送管和通往质谱仪40的ICP(电感耦合等离子体)单元30的气体输入的连接。在ICP单元30中，对颗粒进行汽化、雾化和电离。ICP单元30的输出连接到质量分析器41，特别是飞行时间质谱仪，用于使用其本身已知的方法来分析(激光生成的)气溶胶。从质谱仪
40的检测器获得的信号43被转发到数据采集(DAQ)电子器件50。这同样适用于从激光烧蚀单元10转发到DAQ电子器件50的激光触发信号11。

[0059] 图2示出了常规LA-ICP-MS采集的测量序列，即不考虑信号时变性质的采集过程。测量可以同步于第一触发或其之前的某个时间点，但不与后续触发同步。

[0060] 图3示出了允许与每次激光发射同步的本发明的第一实施方式的功能图。在许多方面，该设备对应于图1中所示的设备。然而，激光触发信号11并不直接从激光烧蚀单元10转发到DAQ电子器件50，而是在激光烧蚀单元10与DAQ电子器件50之间布置信号延迟装置60。信号延迟装置60接收激光触发信号11并且转发延迟信号61，该延迟信号61基本上对应于激光触发信号11但延迟了用户可定义的量，以便将所要分析的颗粒在激光烧蚀单元10中的激光烧蚀与由质谱仪40的检测器检测之间所经历的延迟纳入考虑。

[0061] 在备选实施方式中，该设备包括代替激光烧蚀单元的液滴发生器、气动传送系统，该启动传送系统连接到样品上方的收集容器、传送管和通往ICP(电感耦合等离子体)单元的气体输入的连接。在ICP单元中，对颗粒进行汽化、雾化和电离。ICP单元的输出连接到质量分析器，特别是飞行时间质谱仪，用于使用其本身已知的方法来分析汽化的、雾化的和电离的液滴。从质量分析器的检测器获得的信号被转发到数据采集(DAQ)电子器件。因此，使用了与上文引用的O.Borovinskaya等人文献中描述系统类似的基本系统。此外，液滴发生器的触发信号被转发到布置在液滴发生器与DAQ电子器件之间的信号延迟装置。信号延迟装置接收触发信号并且转发延迟信号，该延迟信号基本上对应于触发信号但延迟了用户可定义的量，以便将所要分析的颗粒在液滴发生器中的液滴生成与由质量分析器的检测器检测之间所经历的延迟纳入考虑。

[0062] 图4示出了根据本发明的对应的改进的测量序列。应当注意，触发之间的间隔不一定是恒定的。从触发到信号的延迟取决于仪器设置，但对于一组操作条件(气体流量、管长度等)是恒定的。

[0063] 图5是关于使用级联可编程延迟发生器的本发明设备的实施方式的功能图。该图示出了分别赋予延迟D1、D2和D3的三个可编程延迟发生器(PDG)62.1、62.2、62.3。每个PDG 62.1、62.2、62.3用于生成从0到最小触发期减去小增量的延迟，并且用于触发下一PDG 
62.2、PDG 62.3。所示的总延迟长达3个触发期，并且系统可以接受多达三个触发，直到与第一触发相关的信号转发到DAQ电子器件。如果PDG 62.1、62.2、62.3的数目增加，则可以接受更多数目的触发。

[0064] 图6是以软件实现的根据本发明的数字延迟线的功能图。数字延迟线70相应地从激光烧蚀单元或液滴发生器接收触发信号11。其还通过合适的接口(RS232、TCP/IP LAN、CAN总线等)接收用户可编程延迟71(例如，在一个实现方式中，范围通常为1ms至1000ms)。

[0065] 对于触发信号11中的每个接收到的触发，基于内部时钟73生成时间戳(步骤72)。将时间戳填充到时间戳FIFO缓冲器74中。向作为FIFO缓冲器74的队列中的第一个的时间戳添加延迟71(步骤75)。如果添加的时间与时钟73的当前时间相匹配(步骤76)，则生成信号
61并将信号61转发到DAQ电子器件。

[0066] 这在功能上等同于1位移位寄存器延迟线。其以脉冲作为输入，并给出脉冲作为输出。其为异步的，原因在于FIFO并不是在每个时钟递增，而是取决于比较。

[0067] 本发明不限于该特定实施方式。例如，可以从时钟减去延迟，而不是向FIFO输出添加延迟。还可以通过如下方式使该方法成为同步的而不是异步的：使得FIFO与时钟周期中的期望的延迟一样长，并且使触发在每个时钟周期通过FIFO传播。再一次地，这在功能和内部操作原理上等同于移位寄存器延迟线。

[0068] 时钟也可以是软件定义的，而不是硬件时钟，以便改变延迟范围和分辨率。

[0069] 图7是第一实施方式的框图。其示出了设备1，该设备1具有激光烧蚀单元10、气动传送系统20，该气动传送系统20连接到ICP(电感耦合等离子体)单元30的气体输入。后者是质谱仪40的一部分，并且通过接口31耦合到飞行时间质量分析器41。质量分析器41具有检测器42，该检测器42耦合到数据采集(DAQ)电子器件50。后者包括用于放大由检测器42生成的信号43的前置放大器51、数据采集模块52和用于处理从数据采集模块52接收的数据的计算机53。

[0070] 质谱仪40还包括定时发生器44，用于控制质量分析器41和数据采集模块52。

[0071] 在第一实施方式中，延迟发生器60从激光烧蚀单元10接收激光触发信号11，并生成如上所述的延迟信号61。延迟信号61被馈送到数据采集模块52。这允许与分析物部分的到达同步地激活数据采集，或者允许在由数据采集模块52生成的数据流中设置标签，以指示出与特定分析物部分的对应关系。

[0072] 图8是本发明的第二实施方式的框图。许多元件对应于第一实施方式的元件。因此不需要再次描述它们。相比于第一实施方式，从激光烧蚀单元10接收激光触发信号11的延迟发生器160连接到质谱仪40的定时发生器44的输入。定时发生器44根据从延迟发生器160接收的延迟信号161来控制质量分析器41以及数据采集模块52。因此，不仅与分析物部分的到达同步地进行采集，而且还与分析物部分的到达同步地进行质量分析。

[0073] 图9是本发明的第三实施方式的框图。再一次地，许多元件对应于第一实施方式和第二实施方式的元件。因此不需要再次描述它们。相比于第一实施方式和第二实施方式，延迟发生器260接收来自质谱仪40的定时发生器44的输入信号。此外，激光烧蚀单元10也由定时发生器44控制。与第一实施方式类似，由延迟发生器260生成的延迟信号261被馈送到数据采集模块52。再一次地，这允许与分析物部分的到达同步地激活数据采集，或者允许在由数据采集模块52生成的数据流中设置标签，以指示出与特定分析物部分的对应关系。

[0074] 总而言之，应当注意，本发明创造了提供计算负荷减少、允许更快速处理并提供可靠结果的用于质谱分析法的设备和方法。