真空阀

摘要

本发明的特征在于，包括：阀壳，其在内侧形成驱动空间，在两侧面打孔形成有移动通路部；阀叶，其安装于驱动空间，从内侧开闭移动通路部；主轴，其结合于阀叶后面；垂直移动部，其在阀壳下部形成，且借助于空压而沿上、下方向移动的第一活塞和主轴在垂直移动部内部连接，使所述阀叶沿上、下方向移动；水平移动部，其结合于垂直移动部下部，且具备在两侧面沿垂直方向分别打孔形成的垂直移动引导槽；水平移动单元，其具备配备于水平移动部内部的第二活塞、在第二活塞下部形成的移动引导凸块、在移动引导凸块两侧形成并穿过垂直移动引导槽的凸轮辊；本体托架，其在阀壳下部形成，以便容纳垂直移动部和水平移动部，且在两内侧面倾斜地形成有开闭诱导槽，所述开闭诱导槽供从垂直移动引导槽穿过的凸轮辊插入，随着水平移动单元的上、下移动，引导所述阀叶沿前、后方向移动。

权利要求

1.一种真空阀(1)，所述真空阀(1)包括阀壳(100)和阀叶(200)，所述阀壳(100)在内侧形成有驱动空间(110)，在两侧面分别打孔形成有移动通路部(120、120`)，以便对象物移动，阀叶(200)安装于所述驱动空间(110)，从内侧开闭所述移动通路部(120)，其特征在于，还包括：主轴(300)，其结合于所述阀叶(200)后面；

垂直移动部(400)，其在所述阀壳(100)下部形成，且借助于空压而沿上、下方向移动的第一活塞(410)和所述主轴(300)在垂直移动部(400)内部连接，使所述阀叶(200)沿上、下方向移动；

水平移动部(500)，其结合于所述垂直移动部(400)下部，且具备在两侧面沿垂直方向分别打孔形成的垂直移动引导槽(510、510`)；

水平移动单元(600)，其配备于所述水平移动部(500)内部,且具备借助于空压而沿上、下方向移动的第二活塞(610)、在所述第二活塞(610)下部形成的移动引导凸块(620)、在所述移动引导凸块(620)两侧形成并分别穿过所述垂直移动引导槽(510、510`)的凸轮辊(630、630`)；

本体托架(700)，其在所述阀壳(100)下部形成，以便容纳所述垂直移动部(400)和水平移动部(500)，且在两内侧面分别倾斜地形成有开闭诱导槽(710、710`)，所述开闭诱导槽(710、710`)供从所述垂直移动引导槽(510、510`)穿过的所述凸轮辊(630、630`)插入，随着所述水平移动单元(600)的上、下移动，引导所述阀叶(200)沿前、后方向移动。

2.根据权利要求1所述的真空阀(1)，其特征在于，

所述开闭诱导槽(710、710`)的下部构成有向所述阀壳(100)的后面方向凹陷形成的封闭槽区间(710a、710a`)，所述开闭诱导槽(710、710`)的上部从所述封闭槽区间(710a、710a`)延长形成，构成有向所述阀壳(100)的前面方向凹陷形成的开放槽区间(710b、710b`)。

3.根据权利要求2所述的真空阀(1)，其特征在于，

在所述封闭槽区间(710a、710a`)与开放槽区间(710b、710b`)的交界面，凸出形成有脱离防止凸起(711、711`)，以便在所述凸轮辊(630、630`)位于所述开放槽区间(710b、710b`)的状态下，防止所述凸轮辊(630、630`)从所述开放槽区间(710b、710b`)任意脱离。

4.根据权利要求1所述的真空阀(1)，其特征在于，

在所述本体托架(700)的两内侧面分别凹陷形成有插入槽(720、720`)，

在所述垂直移动部(400)的两外侧面分别形成有旋转辊部(420、420`)，以便所述垂直移动部(400)插入于所述插入槽(720、720`)，并以所述插入槽(720、720`)为中心进行轴向旋转。

5.根据权利要求1所述的真空阀(1)，其特征在于，

在所述阀叶(200)后面，分别对称地形成有引导所述阀叶(200)的上、下方向移动的引导轴(310、310`)，在所述移动引导凸块(620)上，对称地分别沿垂直方向打孔形成有引导槽(621、621`)，在所述水平移动部(500)下部内侧，凸出形成有固定轴构件(640、640`)，所述固定轴构件(640、640`)分别插入于所述引导槽(621、621`)，引导所述水平移动单元(600)的垂直移动。

说明书

真空阀

技术领域

[0001] 本发明涉及真空阀，所述真空阀1的特征在于，包括：阀壳100，其在内侧形成驱动空间110，在两侧面分别打孔形成有移动通路部120、120`，以便对象物移动；阀叶200，其安装于所述驱动空间110，从内侧开闭所述移动通路部120；主轴300，其结合于所述阀叶200后面；垂直移动部400，其在所述阀壳100下部形成，且借助于空压而沿上、下方向移动的第一活塞410和所述主轴300在垂直移动部400内部连接，使所述阀叶200沿上、下方向移动；水平移动部500，其结合于所述垂直移动部400下部，且具备在两侧面沿垂直方向分别打孔形成的垂直移动引导槽510、510`；水平移动单元600，其配备于所述水平移动部500内部,且具备借助于空压而沿上、下方向移动的第二活塞610、在所述第二活塞610下部形成的移动引导凸块620、在所述移动引导凸块620两侧形成并分别穿过所述垂直移动引导槽510、510`的凸轮辊630、630`；本体托架700，其在所述阀壳100下部形成，以便容纳所述垂直移动部400和水平移动部500，且在两内侧面分别倾斜地形成有开闭诱导槽710、710`，所述开闭诱导槽710、710`供从所述垂直移动引导槽510、510`穿过的所述凸轮辊630、630`插入，随着所述水平移动单元600的上、下移动，引导所述阀叶200沿前、后方向移动。

背景技术

[0002] 一般而言，用于制造半导体元件的半导体制造工序要求高精密度，因而要求高清洁度和特殊的制造技术。

[0003] 出于这种理由，半导体元件在完美地切断空气中包含的异物质的接触的状态下，即，在真空状态下制造，从而能够生产制品可靠性及完整度高的制品。

[0004] 另一方面，为了保持制造半导体元件的工序腔内部的真空状态，在工序腔的外部，安装有吸入工序腔内的空气及其他气体的真空泵。

[0005] 另外，在所述工序腔与真空泵之间安装有真空阀，在将工序腔内部的空气及其他气体排出到外部的情况下，开放真空阀，在保持工序腔内部的真空状态的情况下，封闭真空阀，从而能够实现可将工序腔内部保持始终清洁的真空状态。

[0006] 在这种真空阀中，下述专利文献1的“悬挂式四角闸阀(大韩民国公开专利公报特2003-0050409号)”涉及四角闸阀，其由利用密封圈保持真空并使轴升降的汽缸和四角的盘及在其上部具备矩形形状的通路的本体构成，其中，与缸轴以铰链方式连接并在四角的各角部构成的4个装配辊、在左右侧面进行滚动作用的侧面滚动辊、在盘前面部构成转角矩形密封圈的四角开闭盘、在四角闸阀本体内侧背面与装配辊对应地具有上升角的4个装配区、在本体前面内侧凸出且偏向左右侧各形成3个的定位球塞，始终向使四角开闭盘远离本体前面的方向施加力，借助于轴的升降运动，四角开闭盘进行升降，装配辊沿着装配区而上，因而构成有密封圈的四角开闭盘贴紧前面的通路，实现完全密闭，具有的优点是盘与通路的密闭效果高，盘的制作容易。

[0007] 但是，所述专利文献1的“悬挂式四角闸阀”在对象物移动空间具备4个装配辊、侧面滚动辊、构成有矩形密封圈的四角开闭盘，从而当四角开闭盘进行持续运转时，装配辊、侧面滚动辊、矩形密封圈发生磨损，存在Air Leak(空气泄漏现象)及在对象物移动空间发生颗粒的问题。

[0008] 另外，其结构是当四角开闭盘借助于汽缸而上升时，装配辊沿倾斜状态的装配区而上，四角开闭盘封闭通路，因此，无需另外的构成，借助于汽缸中发生的空气压力，四角开闭盘进行上、下移动，从而当汽缸内部漏气时，四角开闭盘任意开放，存在悬挂式四角闸阀无法正常运转的问题。

发明内容

[0009] 要解决的技术问题

[0010] 本发明正是为了解决所述问题而研发的，本发明目的在于提供一种真空阀，在阀壳内部无需另外的构成，只具备开闭移动通路部的简单结构的阀叶，从而能够使在阀壳内部生成因阀叶垂直移动导致的机械磨损等引发的颗粒的忧虑实现最小化。

[0011] 另外，提供一种真空阀，形成得使发挥汽缸作用的垂直移动部和水平移动部可以容纳于本体托架内部，从而可以制作成紧凑型，较小受到空间上的制约。

[0012] 另外，利用凸轮辊、开闭诱导槽，使阀叶沿前、后方向移动，从而利用简单的操作，便能够开闭移动通路部，即使水平移动部漏气，也能够借助于利用了斜度的开闭诱导槽，防止阀叶任意运转。

[0013] 解决问题的手段

[0014] 为了解决如上所述的问题，本发明的真空阀的特征在于，包括：阀壳100，其在内侧形成驱动空间110，在两侧面分别打孔形成有移动通路部120、120`，以便对象物移动；阀叶200，其安装于所述驱动空间110，从内侧开闭所述移动通路部120；主轴300，其结合于所述阀叶200后面；垂直移动部400，其在所述阀壳100下部形成，且借助于空压而沿上、下方向移动的第一活塞410和所述主轴300在垂直移动部400内部连接，使所述阀叶200沿上、下方向移动；水平移动部500，其结合于所述垂直移动部400下部，且具备在两侧面沿垂直方向分别打孔形成的垂直移动引导槽510、510`；水平移动单元600，其配备于所述水平移动部500内部,且具备借助于空压而沿上、下方向移动的第二活塞610、在所述第二活塞610下部形成的移动引导凸块620、在所述移动引导凸块620两侧形成并分别穿过所述垂直移动引导槽510、
510`的凸轮辊630、630`；本体托架700，其在所述阀壳100下部形成，以便容纳所述垂直移动部400和水平移动部500，且在两内侧面分别倾斜地形成有开闭诱导槽710、710`，所述开闭诱导槽710、710`供从所述垂直移动引导槽510、510`穿过的所述凸轮辊630、630`插入，随着所述水平移动单元600的上、下移动，引导所述阀叶200沿前、后方向移动。

[0015] 另外，其特征在于，所述开闭诱导槽710、710`的下部构成有向所述阀壳100的后面方向凹陷形成的封闭槽区间710a、710a`，所述开闭诱导槽710、710`的上部从所述封闭槽区间710a、710a`延长形成，构成有向所述阀壳100的前面方向凹陷形成的开放槽区间710b、710b`。

[0016] 另外，其特征在于，在所述封闭槽区间710a、710a`与开放槽区间710b、710b`的交界面，凸出形成有脱离防止凸起711、711`，以便在所述凸轮辊630、630`位于所述开放槽区间710b、710b`的状态下，防止所述凸轮辊630、630`从所述开放槽区间710b、710b`任意脱离。

[0017] 另外，其特征在于，在所述本体托架700的两内侧面分别形成有插入槽720、720`，在所述垂直移动部400的两外侧面分别形成有旋转辊部420、420`，以便所述垂直移动部400插入于所述插入槽720、720`，并以所述插入槽720、720`为中心进行轴向旋转。

[0018] 另外，其特征在于，在所述阀叶200后面，分别对称地形成有引导所述阀叶200的上、下方向移动的引导轴310、310`，在所述移动引导凸块620上，对称地分别沿垂直方向打孔形成有引导槽621、621`，在所述水平移动部500下部内侧，分别凸出形成有固定轴构件640、640`，所述固定轴构件640、640`分别插入于所述引导槽621、621`，引导所述水平移动单元600的垂直移动。

[0019] 发明的效果

[0020] 综上所述，根据本发明，在阀壳内部无需另外的构成，只具备开闭移动通路部的简单结构的阀叶，从而具有能够使在阀壳内部生成因阀叶垂直移动导致的机械磨损等引发的颗粒的忧虑实现最小化的优点。

[0021] 另外，使得发挥汽缸作用的垂直移动部和水平移动部可以容纳于本体托架内部，从而具有可以制作成紧凑型，较小受到空间上的制约的优点。

[0022] 另外，利用凸轮辊、开闭诱导槽，使阀叶沿前、后方向移动，从而具有的优点是，利用简单操作，便能够开闭移动通路部，即使水平移动部漏气，也能够借助于利用了斜度的开闭诱导槽的形成，防止阀叶任意运转。

附图说明

[0023] 图1是显示本发明优选实施例的真空阀的整体构成的立体图

[0024] 图2是显示本发明优选实施例的真空阀的阀壳及本体托架内部的构成的内部立体图

[0025] 图3是显示本发明优选实施例的真空阀的垂直、水平移动部内部的构成的内部立体图

[0026] 图4是显示本发明优选实施例的真空阀分解状态的分解立体图

[0027] 图5是显示本发明优选实施例的真空阀的构成中垂直移动引导槽与开闭诱导槽的构成的侧视图

[0028] 图6是显示本发明优选实施例的真空阀的运转前状态的状态图

[0029] 图7是显示本发明优选实施例的真空阀的构成中主轴及引导轴因垂直移动部的运转而上升的状态的运转状态图

[0030] 图8是显示本发明优选实施例的真空阀的构成中阀叶因水平移动部的运转而向前方移动的状态的运转状态图

具体实施方式

[0031] 下面参照附图，详细说明本发明一个实施例的真空阀。首先需要注意的是，附图中相同的构成要素或部件尽可能以相同的附图标记代表。在说明本发明方面，为了不模糊本发明的要旨，省略关于相关公知功能或构成的具体说明。

[0032] 本发明一个实施例的真空阀1大致由阀壳100、阀叶200、主轴300、垂直移动部400、水平移动部500、水平移动单元600及本体托架700构成。

[0033] 在说明之前需要注意的是，以图6为基准，将右侧设置为封闭方向，将左侧设置为开放方向。

[0034] 另外需要注意的是，本发明中记载的对象物是包括半导体元件、晶片、流体等的物质或物体。

[0035] 首先，对阀壳100进行说明。所述阀壳100如图1或图2所示，作为在两侧面分别打孔形成有供对象物移动的移动通路120、120`的构成要素，在所述阀壳100的内侧无需另外的构成而形成有以空间构成的驱动空间110，以便配备后述阀叶200。

[0036] 另一方面，在所述阀壳100的下部，打孔形成有多个轴插入孔(图中未示出)，从而使得连接于后述垂直移动部400的后述主轴300和引导轴310、310`能够分别连接于所述驱动空间110内侧配备的所述阀叶200。

[0037] 接着，对阀叶200进行说明。所述阀叶200如图3或图4所示，安装于所述驱动空间110内侧，借助于所述垂直移动部400及后述水平移动部500、水平移动单元600，沿垂直或水平方向移动，起到开闭所述移动通路部120的作用。

[0038] 然后，对主轴300进行说明。所述主轴300如图3或图4所示，作为穿过所述轴插入孔(图中未示出)而与所述阀叶100结合的构成要素，将所述垂直移动部400及水平移动部500的驱动力传递给所述阀叶200，使所述阀叶200能够沿垂直或水平方向移动。

[0039] 另一方面，所述阀叶200除与主轴300结合之外，还与一对引导轴310、310`结合，从而所述阀叶200垂直移动及水平移动时，均等地接受传递所述垂直移动部400及水平移动部500的驱动力，使得能够提高与所述移动通路部120的密闭性。

[0040] 另一方面，在所述垂直移动部400的内侧上部配备有轴移动引导凸块320，所述轴移动引导凸块320分别打孔形成有供所述主轴300及引导轴310、310`穿过的第一贯通孔(图中未示出)；当所述垂直移动部400及水平移动部500驱动时，防止所述主轴300及引导轴310、310`因驱动导致的振动而晃动，使得所述阀叶200可以准确地位移。

[0041] 接着，对垂直移动部400进行说明。所述垂直移动部400如图2或图4所示，作为在所述阀壳100的下部形成并起到使所述阀叶200沿上、下方向移动的一种汽缸作用的构成要素，包括第一活塞410、旋转辊部420、420`及活塞移动限制块430。

[0042] 所述第一活塞410作为结合于所述主轴300的末端并位于所述垂直移动部400内部的构成要素，起到借助基于空压的汽缸运转而使所述阀叶200沿垂直方向移动的作用。

[0043] 所述旋转辊部420、420`作为在所述垂直移动部400的两外侧面分别插入于后述本体托架700的插入槽720、720`的构成要素，在所述阀叶200借助于所述垂直移动部410而上升的状态下，当所述水平移动部500及水平移动单元600为了所述阀叶200的水平移动而运转时，所述旋转辊部420、420`以所述插入槽720、720`为中心，引导所述垂直移动部400、水平移动部500及水平移动单元600进行轴向旋转，从而使所述阀叶200能够准确地水平位移。

[0044] 另一方面，优选在所述垂直移动部400的下部，具备活塞移动限制块430，所述活塞移动限制块430限制随着所述垂直移动部400的运转而下降的第一活塞410的移动。

[0045] 接着，对水平移动部500进行说明。所述水平移动部500如图2或图3所示，作为结合于所述垂直移动部400下部并引导所述水平移动单元600运转的一种外壳，包括垂直移动引导槽510、510`。

[0046] 所述垂直移动引导槽510、510`作为在所述水平移动部500的两侧面沿垂直方向打孔形成的构成要素，在所述水平移动部500内侧具备所述垂直移动单元600的状态下，后述垂直移动单元600的凸轮辊630、630`插入并贯通，借助于所述水平移动部500内部的空压，起到引导所述垂直移动单元600的垂直移动的作用。

[0047] 接着，对水平移动单元600进行说明。所述水平移动单元600如图3或图4所示，作为配备于所述水平移动部500内部并借助于在所述水平移动部500内部发生的空压及后述本体托架700的开闭诱导槽710、710`的连接关系而使所述阀叶200水平移动的构成要素，包括第二活塞610、移动引导凸块620、凸轮辊630、630`、固定轴640、640`。

[0048] 所述第二活塞610作为位于所述水平移动部500内侧下部的构成要素，起到借助基于空压的汽缸运转而沿上、下方向移动，并使所述移动引导凸块620沿垂直方向移动的作用。

[0049] 所述移动引导凸块620在所述第二活塞610的下部形成，起到随着所述第二活塞610的垂直移动而使所述凸轮辊630、630`移动的作用。

[0050] 另一方面，其特征在于，在所述移动引导凸块620上，引导槽621、621`对称地分别沿垂直方向打孔形成；后述固定轴构件640、640`插入于所述引导槽621、621`，从而当所述水平移动单元600随着所述水平移动部500的运转而垂直移动时，可实现所述水平移动单元600的准确运转。

[0051] 所述凸轮辊630、630`作为能旋转地分别在所述移动引导凸块620两侧形成的构成要素，分别插入于所述垂直移动引导槽510、510`并贯通，分别安放于所述开闭诱导槽710、710`，从而能够根据所述开闭诱导槽710、710`内侧的安放位置，使所述阀叶200向开放方向或封闭方向移动。

[0052] 所述固定轴构件640、640`作为在所述水平移动部500下部内侧分别凸出形成，并分别插入于所述引导槽621、621`的构成要素，起到引导所述水平移动单元600的准确运转的作用。

[0053] 接着，对本体托架700进行说明。所述本体托架700如图4或图5所示，作为在所述阀壳100下部形成以便容纳所述垂直移动部400和水平移动部500的构成要素，包括开闭诱导槽710、710`及插入槽720、720`。

[0054] 所述开闭诱导槽710、710作为在所述本体托架700的两内侧面以既定形状打孔形成的构成要素，使得从所述垂直移动引导槽510、510`穿过的所述凸轮辊630、630`插入，所述阀叶200可以随着所述水平移动单元600的上、下移动而向前、后方向移动。

[0055] 另一方面，对于所述开闭诱导槽710、710`的结构，首先，下部构成有向所述阀壳100的后面方向凹陷形成的封闭槽区间710a、710a`，上部构成有从所述封闭槽区间710a、
710a`延长形成并向所述阀壳100的前面方向凹陷形成的开放槽区间710b、710b`。

[0056] 另外，在所述封闭槽区间710a、710a`与开放槽区间710b、710b`的交界面，凸出形成有脱离防止凸起711、711`，在所述凸轮辊630、630`位于所述开放槽区间710b、710b`的状态下，防止所述凸轮辊630、630`从所述开放槽区间710b、710b`任意脱离。

[0057] 所述插入槽720、720`在所述本体托架700的两内侧面分别凹陷形成，与所述旋转辊部420、420`连接，从而根据所述水平移动部500是否运转，可以使所述垂直移动部400、水平移动部500进行轴向旋转。

[0058] 下面参考图5至图8，对本发明优选实施例的所述阀叶200封闭所述移动通路部120的过程进行说明。

[0059] 首先，如图6所示，最初在所述移动通路部120开放的状态下，由于所述垂直移动部400及水平移动部500内部的空压处于较低的状态，因而所述第一活塞410处于安放在所述活塞移动限制块430上部的状态，因此，所述阀叶200位于所述阀壳100的内侧下部。

[0060] 另外，所述第二活塞610也成为触碰所述活塞移动限制块430下部的状态，因此，所述凸轮辊630、630`处于安放于所述开放槽区间710b、710b`的状态，因此，所述阀叶200处于从所述移动通路部120沿水平方向隔开的位置。

[0061] 然后，如果说明封闭所述移动通路部120的过程，如图7所示，提高所述垂直移动部400内部空压后，所述第一活塞410上升，于是，连接于所述第一活塞410的所述主轴300及引导轴310、310`也上升，使所述阀叶200移动至所述阀壳100的内侧上部。

[0062] 接着，如图8所示，提高所述水平移动部500内部空压后，所述第二活塞610下降，于是，所述移动引导凸块620下降，从而所述凸轮辊630、630`从所述开放槽区间710b、710b`，经过所述脱离防止凸起711、711`，移动到所述封闭槽区间710a、710a`。

[0063] 然后，所述凸轮辊630、630`安放于所述封闭槽区间710a、710a`后，如图5所示，由于从封闭方向向开放方向向下倾斜地形成的所述开闭诱导槽710、710`的结构，所述垂直移动部400、水平移动部500及水平移动单元600以所述旋转辊部420、420`安放的所述插入槽720、720`为中心，顺时针方向旋转，从而所述阀叶200封闭所述移动通路部120。

[0064] 另一方面，优选所述阀叶200的开放过程以封闭过程的相反顺序实现。

[0065] 在附图和说明书中公开了最佳实施例。其中使用了特定的术语，但这只是用于说明本发明之目的，并非用于意义限定或限制权利要求书记载的本发明的范围。因此，只要是本技术领域的技术人员便会理解，可以由此导出多样的变形及均等的其它实施例。因此，本发明的真正技术保护范围应根据附带的权利要求书的技术思想确定。