掩膜版组件及蒸镀装置转让专利
申请号 : CN201710807064.6
文献号 : CN107740040B
文献日 : 2019-09-24
发明人 : 穆乃超 , 李元 , 辛宇 , 马骏 , 韩立静
申请人 : 上海天马有机发光显示技术有限公司
摘要 :
权利要求 :
1.一种掩膜版组件,其特征在于,包括:
框架;
第一条形板,所述第一条形板固定于所述框架上且沿第一方向延伸;其中:所述第一条形板包括第一区域和第二区域,在平行于所述第一条形板的表面且垂直于所述第一方向的方向上,所述第一区域的宽度大于所述第二区域的宽度;
所述第一条形板在沿所述第一方向的一侧边上具有第一凹凸结构,另一侧边上具有第二凹凸结构。
2.根据权利要求1所述的掩膜版组件,其特征在于,所述掩膜版组件还包括固定于所述框架的第二条形板,所述第二条形板沿第二方向延伸,所述第一方向与所述第二方向相交;
所述第二条形板包括第三区域和第四区域,在平行于所述第二条形板的表面且垂直于所述第二方向的方向上,所述第三区域的宽度大于所述第四区域的宽度。
3.根据权利要求2所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第二条形板在沿所述第二方向的侧边上具有第三凹凸结构。
4.根据权利要求3所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第二条形板在沿所述第二方向的一侧边上具有第三凹凸结构,另一侧边上具有第四凹凸结构。
5.根据权利要求3所述的掩膜版组件,其特征在于,所述掩膜版组件包括多条第一条形板和多条第二条形板,所述第一条形板与所述第二条形板相互交叉限定多个区域。
6.根据权利要求2所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一条形板与所述第二条形板一体成型。
7.根据权利要求1所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一凹凸结构沿所述第一方向的两端包括弧形结构。
8.根据权利要求1所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一凹凸结构沿所述第一方向的中间包括凸起结构。
9.一种掩膜版组件,其特征在于,包括:
框架;
第一条形板,所述第一条形板固定于所述框架上且沿第一方向延伸;
第一掩膜版,所述第一掩膜版位于所述第一条形板背离所述框架的一侧,所述第一掩膜版包括至少一个预设区域,所述预设区域包括至少一个开口区;
其中:
所述第一条形板包括第一区域和第二区域,在平行于所述第一条形板的表面且垂直于所述第一方向的方向上,所述第一区域的宽度大于所述第二区域的宽度;
所述第一条形板在沿所述第一方向的一侧边上具有第一凹凸结构,另一侧边上具有第二凹凸结构;
在垂直于所述第一掩膜版表面的方向上,所述第一条形板上的所述第一凹凸结构覆盖所述预设区域的至少一个所述开口区的至少部分区域;所述第一条形板上的所述第二凹凸结构覆盖所述预设区域的至少一个所述开口区的至少部分区域。
10.根据权利要求9所述的掩膜版组件,其特征在于,沿所述第一方向上,所述第一条形板上的所述第一凹凸结构与所述第一掩膜版上的所述预设区域一一对应。
11.根据权利要求9所述的掩膜版组件,其特征在于,所述掩膜版组件还包括固定于所述框架的第二条形板,所述第二条形板沿第二方向延伸,所述第一方向与所述第二方向相交;
所述第二条形板包括第三区域和第四区域,在平行于所述第二条形板的表面且垂直于所述第二方向的方向上,所述第三区域的宽度大于所述第四区域的宽度。
12.根据权利要求11所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第二条形板在沿所述第二方向的侧边上具有第三凹凸结构;
在垂直于所述第一掩膜版表面的方向上,所述第二条形板上的所述第三凹凸结构覆盖所述预设区域的至少一个所述开口区的至少部分区域。
13.根据权利要求12所述的掩膜版组件,其特征在于,沿所述第一方向上,所述第二条形板上的所述第三凹凸结构与所述第一掩膜版上的所述预设区域一一对应。
14.根据权利要求13所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第二条形板在沿所述第二方向的一侧边上具有第三凹凸结构,另一侧边上具有第四凹凸结构;
在垂直于所述第一掩膜版表面的方向上,所述第二条形板上的所述第四凹凸结构覆盖所述预设区域的至少一个所述开口区的至少部分区域。
15.根据权利要求11所述的掩膜版组件,其特征在于,所述掩膜版组件包括多条所述第一条形板和多条所述第二条形板,所述第一条形板和所述第二条形板相互交叉限定出中空区域,所述中空区域与所述第一掩膜版上的所述至少一个预设区域相对。
16.根据权利要求11所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一条形板和所述第二条形板一体成型。
17.根据权利要求9所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一掩膜版为公共掩膜版,所述预设区域只包括一个所述开口区。
18.根据权利要求9所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一掩膜版为精细掩膜版,所述第一掩膜版的所述预设区域包括多个所述开口区。
19.根据权利要求11所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一掩膜版沿所述第二方向延伸,所述掩膜版组件包括多条所述第一掩膜版,各所述第一掩膜版分别位于相邻的两条所述第二条形板之间,且所述第一条形板位于所述第二条形板和所述第一掩膜版之间。
20.根据权利要求19所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一条形板的厚度大于所述第二条形板的厚度。
21.根据权利要求20所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一条形板的厚度范围为50μm~200μm,所述第二条形板的厚度范围为20μm~40μm。
22.根据权利要求9所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一凹凸结构沿所述第一方向的两端包括弧形结构。
23.根据权利要求9所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一凹凸结构沿所述第一方向的中间包括凸起结构。
24.根据权利要求9所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一条形板和所述第一掩膜版在室温下的平均热膨胀系数小于15×10-6/℃。
25.根据权利要求9所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一条形板和所述第一掩膜版的材料为铁镍合金。
26.一种蒸镀装置,其特征在于,包括:
蒸镀源;
掩膜版组件,所述掩膜版组件为所述权利要求1~25任一项所述的掩膜版组件,其中:所述蒸镀源朝向所述掩膜版组件发送蒸镀物,所述蒸镀物通过所述掩膜版组件蒸镀至蒸镀靶材。
说明书 :
掩膜版组件及蒸镀装置
技术领域
背景技术
等诸多优点,已被列为极具发展前景的下一代显示技术。
显示装置逐渐趋于窄边框甚至无边框,从美观以及产品质量角度考虑,显示面板不再仅限
于矩形等规则的形状,异形显示面板逐渐出现在人们的视野中。
此,对于本领域技术人员来说,如何降低制作异形显示面板时使用的掩膜版的成本是亟待
解决的技术问题。
发明内容
以及框架形成异形蒸镀区域,用于制作异形显示面板。无需蒸镀的位置可以与第一区域相
对,通过合理的设计第一区域与第二区域的位置和形状,可以通过一次蒸镀工艺形成需要
的异形蒸镀图案,制作异形显示面板的效率较高。
以及第一掩膜版的开口区形成异形蒸镀区域,用于制作异形显示面板。通过合理的设计第
一区域与第二区域的位置和形状,可以通过一次蒸镀工艺形成设计的异形蒸镀图案,制作
异形显示面板的效率较高。
于蒸镀异形显示面板,该方案还可以简化第一掩膜版的结构,由于第一掩膜版的制作成本
要高于第一条形板,从而,该方案还可以节约成本。
作,采用该实施例的蒸镀装置制作异形显示面板的效率较高。
附图说明
具体实施方式
发明作进一步详细说明。
二方向延伸,具体的,第一方向与第二方向相交。如图2和图3所示,第一条形板02与第二条
形板03均为立方体条状结构,因此,第一条形板02与第二条形板03相交形成的蒸镀区域04
均为规则的矩形区域,不适用于制作异形显示面板。
121和第二区域122,在平行于第一条形板12的表面且垂直于第一方向的方向上,第一区域
121的宽度大于第二区域122的宽度。
足:L1>L2。具体的,可以根据要蒸镀的异形显示面板的形状结构设计第一条形板12的形状。
相邻的第一条形板12与框架11形成异形蒸镀区域14,用于制作异形显示面板。无需蒸镀的
位置可以与第一区域121相对,通过合理的设计第一区域121与第二区域122的位置和形状,
可以通过一次蒸镀工艺形成需要的异形蒸镀图案,制作异形显示面板的效率较高,节约成
本。
的,当第一条形板12的两个侧边均具有第一凹凸结构123时,两个侧边的第一凹凸结构123
呈镜像对称设置。每个第一条形板12的侧边包括的第一凹凸结构123的数量不做具体限制,
可以为一个、两个或者多个。具体的,每个第一凹凸结构123包括的凹部和凸部的数量也不
做具体限制,如图6和图7所示的第一条形结构的第一凹凸结构123,可以认为包括两个凸部
和一个凹部。
板12的第二凹凸结构124对应于同一异形蒸镀区域14的两侧,构成一个整体的异形蒸镀区
域14。因此,可以根据需求,使第一凹凸结构123与第二凹凸结构124的图案不同。
区域131和第四区域132,在平行于第二条形板13的表面且垂直于第二方向的方向上,第三
区域131的宽度大于第四区域132的宽度。
状结构设计第二条形板13的形状。该实施例中,第一条形板12与第二条形板13的形状均可
以根据产品需求进行调整,可以使显示面板的周边均根据需求设计异形结构,提高异形显
示面板的灵活性,进一步的对于较为复杂的异形蒸镀图案,也可以通过一次蒸镀工艺制作,
进一步的提高了制作异形显示面板的效率。
别与框架11焊接,而第一条形板12与第二条形板13插接;或者,第一条形板12与第二条形板
13一体成型,第一条形板12和第二条形板13再与框架11焊接,与可以根据制作工艺以及产
品需求具体设计各部分的连接方式。
更具体的,如图11所示,当第二条形板13的两个侧边均具有第三凹凸结构133时,两个侧边
的第三凹凸结构133呈镜像对称设置。每个第二条形板13的侧边包括的第三凹凸结构133的
数量不做具体限制,可以为一个、两个或者多个。具体的,每个第三凹凸结构133包括的凹部
和凸部的数量也不做具体限制,如图11所示的第二条形板13,可以认为包括两个凸部和一
个凹部。
第一凹凸结构123和第二凹凸结构124共同构成一个整体的异形蒸镀图案。因此,可以根据
需求,分别设计第一凹凸结构123、第二凹凸结构124、第三凹凸结构133和第四凹凸结构
134。
高制作异形显示面板的效率。
效率,且可以提高掩膜版组件的整体性,进而提高利用该掩膜版组件进行蒸镀的蒸镀效果。
14的四个角位置均为圆角结构,可以用于制作四个角均为圆角结构的异形显示面板。
述。
第一凹凸结构123沿第一方向的长度相同。如图13所示的第一条形板12,第一凹凸结构123
的凸起结构并未位于第一凹凸结构123的正中间。对应该凸起结构形成的异形蒸镀区域14
可以在侧边位置形成挖槽,用于制作侧边具有挖槽结构的异形显示面板。具体的,异形显示
面板在该挖槽结构对应的位置可以设置摄像头、闪光灯或者听筒等结构。
均可以设置有挖槽,可以制作需要在多侧设置挖槽结构的异形显示面板。
述。
挖槽结构。当然,第二凹凸结构124也可以在沿第一方向的两端包括弧形结构,且中间包括
凸起结构,例如图8所示的第二凹凸结构124。
形板12的第一凹凸结构123包括弧形结构和凸起结构,另一条第一条形板12的第二凹凸结
构124包括弧形结构,两条第二条形板13均不具有凹凸结构,则可以形成既具有圆角又具有
挖槽的异形显示面板,具体的,该挖槽可以用于设置听筒结构;或者,如图14所示,另一个具
体的实施例中,在一个蒸镀区域14内,使第一条形板12的第一凹凸结构123包括两个尺寸不
同的凸起结构,另一条第一条形板12不具有第二凹凸结构124,一条第二条形板13的第三凹
凸结构133包括弧形结构,另一条第二条形板13的第四凹凸结构134也包括弧形结构,也可
以形成既具有圆角又具有挖槽的显示面板,该实施例中包括两个挖槽,具体的可以分别用
于设置听筒结构和摄像头结构。
位于第一条形板22背离框架21的一侧,第一掩膜版25包括至少一个预设区域,预设区域包
括至少一个开口区251;其中:
满足:L1>L2。具体的,可以根据要蒸镀的异形显示面板的形状结构设计第一条形板22的形
状。相邻的第一条形板22与第一掩膜版25的开口区251形成异形蒸镀区域24,用于制作异形
显示面板。通过合理的设计第一区域221与第二区域222的位置和形状,可以通过一次蒸镀
工艺形成需要的异形蒸镀图案,制作异形显示面板的效率较高。
用于蒸镀异形显示面板,该方案可以简化第一掩膜版25的结构,由于第一掩膜版25的制作
成本要高于第一条形板22,因此,该方案还可以节约成本。
223覆盖预设区域的至少一个开口区251的至少部分区域。
体的,当第一条形板22的两个侧边均具有第一凹凸结构223时,两个侧边的第一凹凸结构
223呈镜像对称设置。每个第一条形板22的侧边包括的第一凹凸结构223的数量不做具体限
制,可以为一个、两个或者多个。具体的,每个第一凹凸结构223包括的凹部和凸部的数量也
不做具体限制,如图17和图18所示的第一条形结构,可以认为第一凹凸结构223包括两个凸
部和一个凹部。第一凹凸结构223覆盖预设区域的至少一个开口区251的至少部分区域,则
第一凹凸结构223与第一掩膜版25可以共同构成异形的蒸镀区域24。
一条形板22上的第二凹凸结构224覆盖预设区域的至少一个开口区251的至少部分区域。
形板22的第二凹凸结构224对应于同一异形蒸镀区域24的两侧,构成一个整体的异形蒸镀
区域24。因此,可以根据需求,使第一凹凸结构223与第二凹凸结构224的图案不同。第二凹
凸结构224覆盖预设区域的至少一个开口区251的至少部分区域。则第一凹凸结构223、第二
凹凸结构224与第一掩膜版25可以共同构成异形的蒸镀区域24。
外,第一条形板22具有第二凹凸结构224时,沿第一方向上,第二凹凸结构224与第一掩膜版
25上的预设区域也一一对应。
域232,在平行于第二条形板23的表面且垂直于第二方向的方向上,第三区域231的宽度大
于第四区域232的宽度。
可以根据需要蒸镀的显示面板的形状结构设计第二条形板23的形状。该实施例中,第一条
形板22与第二条形板23的形状均可以根据产品需求进行调整,可以使显示面板的周边均可
以根据需求设计异形结构,提高异形显示面板的形状的灵活性,进一步的,对于较为复杂的
异形蒸镀图案,也可以通过一次蒸镀工艺制作,可以进一步提高制作异形显示面板的效率。
别与框架21焊接,而第一条形板22与第二条形板23插接;或者,第一条形板22与第二条形板
23一体成型,第一条形板22和第二条形板23再与框架21焊接,具体应用时可以根据制作工
艺以及产品需求具体设计各部分的连接方式。
至少一个开口区251的至少部分区域。
更具体的,如图22所示,当第二条形板23的两个侧边均具有第三凹凸结构233时,两个侧边
的第三凹凸结构233呈镜像对称设置。每个第二条形板23的侧边包括的第三凹凸结构233的
数量不做具体限制,可以为一个、两个或者多个。具体的,每个第三凹凸结构233包括的凹部
和凸部的数量也不做具体限制,如图22所示的第二条形板23,可以认为包括两个凸部和一
个凹部。
条形板23上的第四凹凸结构234覆盖预设区域的至少一个开口区251的至少部分区域。
第一凹凸结构223和第二凹凸结构224共同构成一个整体的异形蒸镀图案。因此,可以根据
需求,分别设计第一凹凸结构223、第二凹凸结构224、第三凹凸结构233和第四凹凸结构
234。
24,且保持蒸镀产品的一致性。此外,第二条形板23具有第四凹凸结构234时,沿第二方向
上,第四凹凸结构234与第一掩膜版25上的预设区域也一一对应。
掩膜版25上的至少一个预设区域相对。
蒸镀区域24,则可以利用该掩膜组件在一次蒸镀工艺中蒸镀多个异形显示面板,进一步的
提高了制作异形显示面板的效率。
膜版组件的整体性,进而提高利用该掩膜版组件进行蒸镀的蒸镀效果。
例中的第二凹凸结构224沿第一方向的两端也可以包括弧形结构。则在实际使用中,请参考
图20,两个相邻的第一条形板22之间构成的蒸镀区域24的四个角位置均为圆角结构,可以
用于制作四个角均为圆角结构的异形显示面板。
述。
第一凹凸结构223沿第一方向的长度相同。如图24所示的第一条形板23,第一凹凸结构223
的凸起结构并未位于第一凹凸结构223的正中间。对应该凸起结构形成的异形蒸镀区域24
可以在侧边位置形成挖槽,用于制作侧边具有挖槽结构的异形显示面板。具体的,异形显示
面板在该挖槽结构对应的位置可以设置摄像头、闪光灯或者听筒等结构。
均可以设置有挖槽,可以制作需要在多侧设置挖槽结构的异形显示面板。
述。
挖槽结构。当然,第二凹凸结构224也可以在沿第一方向的两端包括弧形结构,且中间包括
凸起结构,例如图19所示的第二凹凸结构224。
形板22的第一凹凸结构223包括弧形结构和凸起结构,另一条第一条形板22的第二凹凸结
构224包括弧形结构,两条第二条形板23均不具有凹凸结构,则可以形成既具有圆角又具有
挖槽的异形显示面板,具体的该挖槽可以用于设置听筒结构;或者,如图25所示,另一个具
体的实施例中,在一个蒸镀区域24内,使第一条形板22的第一凹凸结构223包括两个尺寸不
同的凸起结构,另一条第一条形板22不具有第二凹凸结构224,一条第二条形板23的第三凹
凸结构233包括弧形结构,另一条第二条形板23的第四凹凸结构234也包括弧形结构,也可
以形成既具有圆角又具有挖槽的显示面板,该实施例中制作的异形显示面板可以包括两个
挖槽结构,具体的可以分别用于设置听筒结构和摄像头结构。
mask,简称CMM)使用,提高制作异形显示面板的效率。
仿真模拟,并制作相应的模具,若在精细掩膜版上制作图形用以形成异形蒸镀区域24,则每
对应一种显示面板均需要设计一种精细掩膜版,且制作一种模具,成本高且耗时长。而第一
条形板22和第二条形板23的成本较低,制作工艺简单,故该方案不仅可以提高制作异形显
示面板的效率,还可以降低异形显示面板的制作成本。
条形板23和第一掩膜版25之间。
距保持恒定,从而使蒸镀的膜层厚度均匀,提高蒸镀膜层的质量。
较好的支撑第一掩膜版25,因此需要使第一条形板22的厚度较大。而第二条形板23主要起
到制作设定蒸镀图案的作用,因此,对其自身的刚度无太高的要求,厚度可以设计的较薄,
且,厚度设计的较薄可以缩小第一掩膜版25与蒸镀靶材之间的间距,从而可以减少由于蒸
镀材料从第一掩膜版25与蒸镀靶材之间的缝隙进入到非蒸镀区域形成的阴影区,进一步的
提高了蒸镀的膜层的质量。
55μm、58μm、60μm、65μm、70μm、74μm、78μm、80μm、85μm、90μm、95μm、98μm、100μm、110μm、120μm、124μm、125μm、130μm、136μm、140μm、145μm、150μm、155μm、160μm、170μm、180μm或者190μm等等。第一条形板22的具体厚度的选择,可以根据支撑的第一掩膜版的尺寸和质量以及第
一条形板的其余尺寸以及材质的选择等情况综合考虑,进行选择。第二条形板的厚度可以
选择:22μm、25μm、28μm、30μm、31μm、34μm、35μm或者38μm等。第二条形板的厚度的选择也可以根据掩膜版组件的整体尺寸以及自身的材质等情况进行选择。
一条形板22和第一掩膜版25之间。该实施例中,第二条形板23起到支撑第一掩膜版25的作
用,且更优的,第二条形板23的厚度大于第一条形板22的厚度,以保证第二条形板23的支撑
效果。
较小,以保证掩膜版组件形状的稳定性,以防掩膜版组件发生形变。若掩膜版组件发生形
变,则蒸镀区域的形状也会改变,降低蒸镀产品的质量,甚至带来蒸镀失败的问题。
200,掩膜版组件为上述任一技术方案的掩膜版组件,其中:蒸镀100朝向掩膜版组件200发
送蒸镀物,蒸镀物通过掩膜版组件蒸镀至蒸镀靶材300。
作,采用该实施例的蒸镀装置制作异形显示面板的效率较高。
之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。