用于产生非热等离子体的电极装置和等离子体源以及操作等离子体源的方法

摘要

本发明涉及一种用于产生非热等离子体的电极装置(5)，具有第一电极(7)和第二电极(9)，它们通过电介质元件(11)彼此电绝缘且彼此间隔开。从电极(7、9)的相互间隔方向看，所述第一电极(7)的厚度至少为10μm，其中从所述电极(7、9)的相互间隔方向看，所述第二电极(9)具有至少1μm到至多5μm的厚度，或者至少5μm到至多30μm的厚度。电介质元件(11)具有至少10μm到至多250μm的厚度。