树脂成形装置及树脂成形品制造方法

摘要

提供一种能抑制树脂成形品的厚度的不均的树脂成形装置。树脂成形装置10具备：第一台板11及第二台板12(外周负载台板)，其是平行配置的两层板状构件，且于两者间的中央部分即模配置部1611配置成形模具16；力施加部(肘节连杆133及联结杆132)，其自位于模配置部1611外侧的负载点171、172对第一台板11及第二台板12施加力；加热机构(下部加热器板151及上部加热器板152)，其设置于外周负载台板与成形模具16之间；以及隔热构件(下部隔热构件141、上部隔热构件142)，其由配置于外周负载台板与加热机构间的具有弹性的多个柱状构件14A构成，且各柱状构件14A的变形量是设定为自模配置部1611的中央往负载点171、172侧渐大。

权利要求

1.一种树脂成形装置，其具备：

a)第一台板及第二台板，其是彼此平行配置的两层板状构件，且于两者间的板面的中央部分即模配置部配置相对向的成形模具；

b)力施加部，其自既定负载点对前述第一台板及前述第二台板中的被加压台板施加力；

c)加热机构，其设置于前述被加压台板与前述成形模具之间；以及d)隔热构件，其由配置于前述被加压台板与前述加热机构间的具有弹性的多个柱状构件构成，且该多个柱状构件的各者的变形量是设定为随着配置该柱状构件的位置往负载点侧接近而渐大。

2.根据权利要求1所述的树脂成形装置，其中，前述多个柱状构件的数量密度依据位置而不同。

3.根据权利要求1所述的树脂成形装置，其中，前述多个柱状构件的剖面积依据位置而不同。

4.根据权利要求1所述的树脂成形装置，其中，前述多个柱状构件的刚性依据位置而不同。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂成形装置，其中，前述隔热构件由热传导率为25W/(m·℃)以下的金属材料构成。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂成形装置，其中，前述隔热构件由陶瓷材料构成。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂成形装置，其中，前述隔热构件具备：柱状母材；以及隔热膜，其设于该母材的上下的任一方或两方，且由热传导率较该母材低的材料构成。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂成形装置，其中，前述树脂成形装置具备三层以上的台板，且邻接的台板间配置有成形模具，该三层以上的台板中至少邻接的两层台板为前述第一台板及前述第二台板。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂成形装置，其中，前述树脂成形装置具备：成形模块，其是具备前述第一台板及前述第二台板、前述力施加部、前述加热机构及前述隔热构件的模块，且能于一方向连接多组；

树脂材料供给手段，其供给树脂材料至一组或多组前述成形模块的各成形模具；

树脂材料补充模块，其具有用于补充树脂材料至前述树脂材料供给手段的树脂材料补充手段；以及搬送手段，其用于搬送前述树脂材料供给手段，且于一组或多组前述成形模块及前述树脂材料补充模块相连接的状态下，贯穿该成形模块及该树脂材料补充模块而延伸于前述一方向。

10.一种树脂成形品制造方法，其是使用权利要求1至9中任一项所述的树脂成形装置制造树脂成形品的方法，且具有以下步骤：供给树脂材料至配置于前述模配置部的成形模具；

通过前述加热机构加热前述成形模具内的树脂材料；以及

通过前述力施加部自前述负载点对前述被加压台板施加力，由此施加压力于前述成形模具。

说明书

树脂成形装置及树脂成形品制造方法

技术领域

[0001] 本发明是关于一种通过压缩(compression)成形或移送(transfer)成形等进行树脂成形的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法。

背景技术

[0002] 为了于光、热、湿气等环境中保护电子零件，普遍将电子零件密封于树脂中。树脂密封是使用压缩成形或移送成形等树脂成形法。压缩成形，是通过使用由下部模具与上部模具构成的成形模具，于供给树脂材料至下部模具模腔中，且将装设有电子零件的基板安装于上部模具后，一边加热下部模具与上部模具一边将两者合模以压缩树脂来进行成形作业(例如专利文献1)。移送成形，则通过在将基板安装于上部模具与下部模具的一方的模腔后，一边加热下部模具与上部模具一边将两者合模，并利用柱塞将树脂压入模腔中来进行成形作业(例如专利文献2)。由于移送成形是自柱塞送给树脂至模腔的路径中会残存一部分树脂而造成浪费，近年来压缩成形成为主流。

[0003] 专利文献1及2所记载的树脂成形装置中，上部模具通过上侧保持部设置于上侧台板，下部模具通过下侧保持部设置于下侧台板，且通过各保持部自上下台板对由上部模具及下部模具构成的成形模具施加压力。于上下保持部分别设有用于加热上部模具及下部模具的加热器板。进而，为了防止来自加热器板的热逸散至台板以有效率地加热上部模具及下部模具，于保持部与台板间设有隔热材。关于隔热材，专利文献1及2所记载的装置中使用的是板状的隔热材。另一方面，于专利文献3记载了一种树脂成形装置，其于加热器板与台板间配置了多个直立的圆柱状隔热材。于隔热材，使用二氧化锆、氧化铝等陶瓷、或使用将玻璃纤维以环氧树脂成形而得的玻璃环氧积层体等。

[0004] [背景技术文献]

[0005] [专利文献]

[0006] [专利文献1]日本特开2011-224911号公报。

[0007] [专利文献2]日本特开2014-192362号公报。

[0008] [专利文献3]日本特开平01-297221号公报。

[0009] [专利文献4]日本特开2007-125783号公报。

发明内容

[0010] [发明所欲解决课题]

[0011] 专利文献1至3所记载的树脂成形装置，皆构成为上台板及下台板中的任一方为固定台板，另一方为可移动台板，固定台板通过两根或四根被称为联结杆的支柱固定于基座，另一方面，配置于基座与固定台板间的可移动台板通过设置于基座与可移动台板间的活塞等而移动。此处的赋予可移动台板按压力的活塞等，是从与可移动台板的安装成形模具的面相反侧的面赋予按压力，故能将力赋予至可移动台板的全平面区域中成形模具的范围内。相比于此，由于固定台板通过通过成形模具旁且贯通可移动台板的联结杆固定于基座，因此不得不固定在成形模具的范围外。因此，对于固定台板，在其平面区域的周边侧(联结杆的拉伸力)与中央侧(成形模具的按压力)被赋予反方向的力，而产生些许弯曲。该弯曲具有固定台板的周边侧较中央侧往可移动台板突出的形状。再者，由于隔热材由较台板软的材料构成，因此介装于固定台板与成形模具(上部模具或下部模具)间的隔热材亦会追随固定台板而弯曲。由于固定台板及隔热材产生弯曲，故会使所制作的树脂密封品整体的厚度产生些微不均。近年来，对于树脂密封品的厚度精度的要求渐为严格(例如须未达±10μm)，因此即便是此种些微的不均亦须避免。

[0012] 进一步而言，隔热材一般通过螺丝等局部固定于加热器板，故会因隔热材与加热器板的材料的热膨胀率不同，导致隔热材产生波纹。此点亦成为所制造的树脂密封品整体的厚度产生不均的原因。

[0013] 至此虽对制造树脂密封品的情况进行了说明，但不论有无密封电子零件，于制造树脂成形品的情况一般而言会产生上述问题。

[0014] 本发明所欲解决课题是提供一种能抑制树脂密封品等树脂成形品的厚度产生不均的树脂成形装置及树脂成形品制造方法。

[0015] [解决课题的手段]

[0016] 为了解决上述课题而完成的本发明的树脂成形装置具备：

[0017] a)第一台板及第二台板，其是彼此平行配置的两层板状构件，且于两者间的中央部分即模配置部配置相对向的成形模具；

[0018] b)力施加部，其自既定负载点对前述第一台板及前述第二台板中的被加压台板施加力；

[0019] c)加热机构，其设置于前述被加压台板与前述成形模具之间；以及[0020] d)隔热构件，其由配置于前述被加压台板与前述加热机构间的具有弹性的多个柱状构件构成，且该多个柱状构件的各者的变形量是设定为随着配置该柱状构件的位置往负载点侧接近而渐大。

[0021] 于本发明的树脂成形装置，隔热构件由具有弹性的多个柱状构件构成，故能于各个位置调整隔热构件的变形量。据此，如上所述，能将隔热构件的变形量设定为随着配置柱状构件的位置(自与负载点相反之侧，换言之即自远离负载点之侧)往负载点侧接近而渐大。此外，“多个柱状构件的各者的变形量是设定为随着配置该柱状构件的位置往负载点侧接近而渐大”是指隔热构件(亦即多个柱状构件)整体具有随着往负载点侧接近变形量渐大的倾向，亦包含邻近的柱状构件彼此的变形量相等的情况。

[0022] 于本发明的树脂成形装置，隔热构件的变形量，是通过使柱状构件的数量密度(配置密度)的疏密、各柱状构件的剖面积或各柱状构件的材料(具体而言是刚性大小)、或其的组合依据位置而不同，而能于每个位置进行设定。

[0023] 于本发明的树脂成形装置，“被加压台板”是指通过力施加部自负载点被施加力的台板。此处的负载点于上述专利文献1至3所记载的发明中虽是设于较模配置部外周侧，但于负载点设于模配置部的中央侧(内侧)的情况时亦会如后述使加压台板产生歪斜。因此，本发明的树脂成形装置中，负载点亦可设于较模配置部外周侧、模配置部内的任一者。以下将负载点设于较模配置部外周侧的被加压台板称为“外周负载台板”，将负载点设于模配置部中央侧的被加压台板称为“中央负载台板”。此外，“中央负载台板”的负载点如上所述只要是设于模配置部的中央侧即可，不限于中央的一点。

[0024] 如上述通过联结杆施加拉伸力的固定台板即为外周负载台板。再者，于通过活塞等自位于模配置部外侧的负载点对可移动台板施加力的情况时，该可移动台板即相当于外周负载台板。进而，例如组合使用此处所述的固定台板与可移动台板的情况般，亦有第一台板及第二台板双方皆为外周负载台板的情况。另一方面，于通过活塞等自位于模配置部内(例如中央的一点)的负载点对可移动台板施加力的情况时，该可移动台板即为中央负载台板。

[0025] 当本发明的树脂成形装置使用外周负载台板的情况时，通过自位于模配置部外侧的负载点对外周负载台板施加力，外周负载台板以相比于中央，负载点侧(接近外周侧)更靠近相反侧的台板的方式弯曲。另一方面，由于隔热构件是配置成各柱状构件的变形量随着往负载点侧接近而渐大，故负载点侧的柱状构件较中央的柱状构件容易弯曲。因此，在成形模具中外周负载台板的弯曲与隔热构件的弯曲相抵消，进而提升相对向的成形模具的模面彼此间的平行度。据此，能抑制于成形模具中成形的树脂成形品的厚度产生不均。

[0026] 当本发明的树脂成形装置使用中央负载台板的情况时，通过自位于模配置部的中央侧的负载点对中央负载台板施加力，中央负载台板以相比于外周，负载点侧(中央侧)更接近相反侧的台板的方式弯曲。另一方面，由于隔热构件是配置成各柱状构件的变形量随着往负载点侧接近而渐大，故负载点侧的柱状构件较外周的柱状构件容易弯曲。因此，在成形模具中中央负载台板的弯曲与隔热构件的弯曲相抵消，进而提升相对向的成形模具的模面彼此间的平行度。据此，能抑制于成形模具成形的树脂成形品的厚度产生不均。

[0027] 再者，被加压台板与加热机构间的隔热材由多个分离的柱状构件构成，因此，与现有使用板状的一体型隔热材的情况不同，难以产生起因于隔热材与构成加热机构的材料的热膨胀率的差异的波纹现象。

[0028] 前述柱状构件能使用由金属材料或陶瓷材料构成。金属材料一般而言具有较陶瓷材料韧性高且不易破损的优点。另一方面，金属材料有热传导率高且隔热性能低。本发明中较佳为使用热传导率为25W/(m·℃)以下的隔热性能高的金属材料。作为该种金属材料，举例来说，可以是各种不锈钢、或钛合金的一种即Ti-6Al-4V合金(含有6％铝、4％钒的合金)等。陶瓷材料一般而言具有隔热性能较金属材料高的优点。据此，通过使用由陶瓷材料构成的柱状构件，能得到更加节省热能的效果。作为此种陶瓷材料，较佳为使用二氧化锆或氧化铝等。

[0029] 前述柱状构件较佳为使用具备柱状母材以及设于该母材的上下的任一方或两方的隔热膜，且隔热膜由热传导率较该母材低的材料构成者。由此，能一边使用具有合适弹性或强度的母材，一边通过隔热膜提高隔热性。

[0030] 本发明的树脂成形装置亦可为具备邻接的台板间配置有成形模具的三层以上的台板，且该三层以上的台板中至少邻接的两层台板为前述第一台板及前述第二台板(如前所述，第一台板及第二台板的任一方或双方为被加压台板)的构成。由此，能于一个树脂成形装置同时制作多个树脂成形品。于此处的被加压台板可以是外周负载台板或中央负载台板的任一台板，也可以是三层以上的台板中的一层台板，或多层台板。

[0031] 再者，本发明的树脂成形装置亦可为如下构成，即具备：

[0032] 成形模块，其是具备前述第一台板及前述第二台板、前述力施加部、前述加热机构及前述隔热构件的模块，且能于一方向连接多组；

[0033] 树脂材料供给手段，其供给树脂材料至一组或多组前述成形模块的各成形模具；

[0034] 树脂材料补充模块，其具有用于补充树脂材料至前述树脂材料供给手段的树脂材料补充手段；以及

[0035] 搬送手段，用于搬送前述树脂材料供给手段，其于一组或多组前述成形模块及前述树脂材料补充模块相连接的状态下，穿过该成形模块及该树脂材料补充模块而延伸于前述一方向。

[0036] 通过此种构成，能于一个成形模块进行合模的期间，进行树脂材料供给手段移动至其他成形模块并供给树脂材料至成形模具的作业，据此提高树脂成形品的生产效率。再者，成形模块能装卸于其他成形模块，因此，当需要生产的树脂成形品的个数少的情况时，能仅使用一个，或虽为多个但较少的成形模块，且当需要生产的树脂成形品的个数增加时增设成形模块。

[0037] 本发明的树脂成形品制造方法，是使用前述树脂成形装置制造树脂成形品的方法，且具有以下步骤：

[0038] 供给树脂材料至配置于前述模配置部的成形模具；

[0039] 通过前述加热机构加热前述成形模具内的树脂材料；以及

[0040] 通过前述力施加部自前述负载点对前述被加压台板施加力，由此施加压力于前述成形模具。

[0041] [发明的效果]

[0042] 通过本发明，能得到一种能抑制所制造的树脂密封品等树脂成形品的厚度产生不均的树脂成形装置及树脂成形品制造方法。

附图说明

[0043] 图1(a),(b)是显示本发明第一实施形态的树脂成形装置的侧视图((a)的左图)及其部分放大图((a)的右图)、以及显示柱状构件的配置的俯视图(b)。

[0044] 图2(a)～(f)是说明第一实施形态的树脂成形装置的动作的图。

[0045] 图3是显示于第一实施形态的树脂成形装置进行合模后的状态的侧视图(左图)及其部分放大图(右图)。

[0046] 图4(a),(b)是第一实施形态的树脂成形装置(a)与现有技术的树脂成形装置(b)的台板、隔热构件等的弯曲的示意图。

[0047] 图5是显示针对使用本发明第一实施形态的树脂成形装置制作的树脂成形品(实施例)与使用现有的树脂成形装置制作的树脂成形品(比较例)，于在成形时对树脂材料施加的压力不同的三种情况时，计算板面方向的中心与端部的厚度差的结果的图表。

[0048] 图6是显示本发明第一实施形态的树脂成形装置的变形例的柱状构件的立体图。

[0049] 图7是显示本发明第二实施形态的树脂成形装置的侧视图(左图)及该部分的放大图(右图)。

[0050] 图8是显示本发明的树脂成形装置的连接有多个成形模块的例的俯视图。

[0051] 附图标记说明：

[0052] 10、20、30          树脂成形装置

[0053] 11                 第一台板(被加压台板、外周负载台板)

[0054] 111、121            间隔板

[0055] 12                 第二台板(被加压台板、外周负载台板)

[0056] 131、231            基座

[0057] 132、232            联结杆

[0058] 133、233            肘节连杆(力施加部)

[0059] 141                下部隔热构件

[0060] 142                上部隔热构件

[0061] 14A、14B、24A       柱状构件

[0062] 14B1               柱状构件的母材

[0063] 14B2               柱状构件的隔热膜

[0064] 151                下部加热器板(加热机构)

[0065] 152                上部加热器板(加热机构)

[0066] 16                 成形模具

[0067] 161                下部模具

[0068] 1611、2611          模配置部

[0069] 1612               模腔

[0070] 162                上部模具

[0071] 171、172、271、272  负载点

[0072] 211                下部可移动台板(被加压台板、外周负载台板)[0073] 212                上部可移动台板

[0074] 22                 固定台板(被加压台板、外周负载台板)

[0075] 241A               第一下部隔热构件

[0076] 241B               第二下部隔热构件

[0077] 242A               第一上部隔热构件

[0078] 242B               第二上部隔热构件

[0079] 251A               第一下部加热板(加热机构)

[0080] 251B               第二下部加热板(加热机构)

[0081] 252A               第一上部加热板(加热机构)

[0082] 252B               第二上部加热板(加热机构)

[0083] 26A                第一成形模具

[0084] 26B                第二成形模具

[0085] 261A               第一下部模具

[0086] 261B               第二下部模具

[0087] 262A               第一上部模具

[0088] 262B               第二上部模具

[0089] 30                 树脂成形装置

[0090] 31                 成形模块

[0091] 311                副移动机构

[0092] 32                 树脂材料及基板补充模块

[0093] 321                树脂材料补充装置

[0094] 322                基板保管部

[0095] 33                 树脂成形品搬出模块

[0096] 331                树脂成形品保管部

[0097] 34                 移动机构

[0098] 35                 树脂材料及基板供给装置

[0099] 36                 树脂成形品搬出装置

[0100] F                  脱模膜

[0101] P                  密封树脂

[0102] R                  树脂材料

[0103] S                  基板。

具体实施方式

[0104] 以下使用图1至图8说明本发明的树脂成形装置及树脂成形品制造方法的实施形态。

[0105] (1)第一实施形态

[0106] (1-1)第一实施形态的树脂成形装置10的构成

[0107] 本实施形态的树脂成形装置10如图1(a)所示，于载置于地面的基座131上立设两根联结杆132。再者，于基座131上设置肘节连杆133，且于肘节连杆133上设有第一台板11。于第一台板11上通过后述的下部隔热构件141、下部加热器板151等，于该第一台板11的板面的中央部分即模配置部1611配置成形模具16。肘节连杆133具有两组肘节机构，且该两组肘节机构的作用点安装于第一台板11下侧的位于模配置部1611外侧的两个负载点171。于第一台板11以夹住(即位于模配置部1611外侧)模配置部1611的方式设置两个孔，联结杆
132一一通过各个孔。据此，联结杆132配置于模配置部1611的外侧。

[0108] 第二台板12隔着成形模具16而设于第一台板11上侧。于第二台板12下面固定有两根联结杆132的上端。这些联结杆132的上端的固定位置成为第二台板12的负载点172。如前所述，于第一台板11，联结杆132配置于模配置部1611外侧，因此负载点172亦配置于模配置部1611外侧。

[0109] 本实施形态的树脂成形装置10中，第一台板11及第二台板12皆为前述外周负载台板。其理由将与树脂成形装置10的动作说明一并于后详述。再者，第一台板11能沿联结杆132上下移动，相比于此，第二台板12固定于联结杆132上端，因此亦称第一台板11为“可移动台板”，称第二台板12为“固定台板”。

[0110] 于第一台板11的上侧，通过间隔板111设有下部隔热构件141。下部隔热构件141是配置多个柱状构件14A而构成。各个柱状构件14A皆具有相同材料、形状及大小，且配置成自模配置部1611的中央往负载点171、172侧数量密度(配置密度)渐低(参照图1(b))。换言之，于相对负载点171、172侧的相反侧部分即模配置部1611的中央部，提高柱状构件14A的数量密度，于负载点171、172侧降低柱状构件14A的数量密度。通过如此设定柱状构件14A的数量密度，多个柱状构件14A整体中，各柱状构件14A的变形量自模配置部1611的中央往负载点171、172侧渐大。

[0111] 关于柱状构件14A的材料，于本实施形态中虽是使用不锈钢(SUS630)，但只要是具有弹性、隔热性及使用时的加热温度的耐热性的材料皆能使用。例如，亦能将Ti-6Al-4V合金、二氧化锆或氧化铝等作为柱状构件14A的材料而非常合适地使用。再者，虽然将柱状构件14A的形状设为圆柱状，但亦能使用四角柱状或六角柱状等，具有圆柱状以外的形状。

[0112] 于下部隔热构件141的上侧设有下部加热器板151。此下部加热器板151与后述的上部加热器板152相当于本发明的加热机构。下部加热器板151是于热传导率较不锈钢或Ti-6Al-4V合金高的金属制板材内内置有加热器。

[0113] 于第二台板12的下侧通过间隔板121设有上部隔热构件142，于上部隔热构件142的下侧设有上部加热器板152。上部隔热构件142是将多个与下部隔热构件141相同的柱状构件14A，以与下部隔热构件141相同的方式，配置成于第二台板12的板面方向的中央附近的数量密度较周围高。上部加热器板152与下部加热器板151具有相同构成。

[0114] 成形模具16由下部模具161与上部模具162构成。于下部模具161的中央设有投入树脂材料的空间，即具有矩形状或圆形状的平面形状的模腔1612。于模腔1612的内面如后述能覆盖脱模膜F(参照图2)。于上部模具162的下面能安装基板S(参照图2)。基板S保持所制作的树脂成形品，并在将电子零件密封于树脂的情况时于制作树脂成形品前装设该电子零件。

[0115] (1-2)第一实施形态的树脂成形装置10的动作

[0116] 使用图2至图4说明第一实施形态的树脂成形装置10的动作。于此虽以制作密封有电子零件的树脂密封品的情况为例进行说明，但树脂密封品以外的树脂成形品亦能通过相同动作制作。

[0117] 下部模具161通过下部加热器板151且上部模具162通过上部加热器板152，皆成为被预先加热至170℃至180℃左右的温度的状态，并于以下各步骤中维持此状态。于此状态下，首先，将装设有电子零件的基板S，以其装设面朝下的状态安装至上部模具162的下面(图2(a))。于其前或后的时点，于模腔1612的上方张设脱模膜F(图2(a))。于模腔1612的内面，设有吸引模腔1612内的空气的吸引手段(未图示)，通过此空气的吸引，脱模膜F被吸引至模腔1612内，且在通过自下部模具161传导的热使脱模膜F软化而成为易拉伸的状态下，以脱模膜F覆盖模腔1612的内面(图2(b))。

[0118] 其次，供给颗粒状树脂材料R至模腔1612内(图2(c))。树脂材料R的供给例如能使用专利文献4所记载的树脂材料供给装置及方法，但不以此为限。

[0119] 而后，通过利用下部加热器板151预先加热的下部模具161使树脂材料熔融(图2(d))。于此同时，通过利用上部加热器板152预先加热的上部模具162加热基板S。在这些的加热时，由于下部加热器板151与第一台板11之间设有下部隔热构件141，上部加热器板152与第二台板12之间设有上部隔热构件142，因此可抑制热自下部加热器板151或上部加热器板152逸散至第一台板11或第二台板12。

[0120] 于如此加热树脂材料R及基板S的状态下，通过肘节连杆133(参照图1)使第一台板11上升，将固定于上部模具162的基板S的下面及电子零件浸入在模腔1612内熔融的树脂材料R，通过将下部模具161与上部模具162合模，自第一台板11及第二台板12对成形模具16施加压力，以压缩模腔1612内的树脂材料R(图2(e)、图3)。

[0121] 于此压缩时，于第一台板11，自肘节连杆133的作用点对位于模配置部1611外侧的负载点171施加向上的力。于第二台板12，对在模配置部1611外侧固定有联结杆132的负载点172施加向下的拉伸力。由于这些第一台板11及第二台板12皆自位于模配置部1611外侧的负载点171、172被施加力，因此相当于前述外周负载台板。再者，自位于模配置部1611的成形模具16，与施加至负载点171及172的力的方向相反的力以按压所述台板的方式被施加至第一台板11及第二台板12。通过这些力，第一台板11及第二台板12如图4(a)所示，以彼此于负载点侧较中央部接近的方式弯曲(此外，图4中以较实际状况更为强调的方式显示了第一台板11及第二台板12或柱状构件14A的弯曲。再者，简化了柱状构件14A的配置及成形模具16的形状，并省略了间隔板等)。当台板如此弯曲时，现有的使用板状隔热材941、942(图4(b))的树脂成形装置中，该板状隔热材941、942亦会弯曲，据此，由于成形模16具的模腔1612的模面被按压于熔融的树脂材料R而使模腔1612的中央突起(模腔1612的中央部的高度尺寸较周边部的高度尺寸大)而变形，故所得到的树脂成形品有中央较负载点侧厚，即产生所谓厚度不均的问题。相比于此，本实施形态的树脂成形装置10中，由于柱状构件14A配置成自中央往前述负载点侧柱状构件14A的变形量渐大，因此柱状构件14A的变形量较大的负载点侧的柱状构件14A更为弯曲，成形模具16中因台板的弯曲与柱状构件的弯曲相抵消，而能抑制成形模具16的厚度方向的变形(图4(a))。由此，提升了上部模具162的模面(图中为下面)与下部模具161的模面(图中为构成模腔1612的外周的构件的上面)间的平行度。故可抑制通过本实施形态的树脂成形装置10而得的树脂成形品产生厚度不均。

[0122] 如上进行压缩成形且树脂硬化后，通过肘节连杆133(参照图1)使第一台板11下降，由此打开下部模具161与上部模具162，使具有密封树脂P的树脂成形品自模腔1612脱模。

[0123] (1-3)使用第一实施形态的树脂成形装置10的实验结果

[0124] 使用第一实施形态的树脂成形装置10进行制作树脂成形品的实验(实施例)。作为比较例，针对取代本实施例的下部隔热构件141及上部隔热构件142，分别于下部加热器板151的下面及上部加热器板152的上面的全面，设置板状隔热材即玻璃环氧积层体的情况进行相同实验。对实施例、比较例一并进行了压缩成形时施加至树脂材料的压力(以下称为“成形时的树脂压”)不同的三种(4MPa、8MPa、12MPa)实验。其结果如图5所示，显示比较例中树脂成形品的板面方向的中心与端部的厚度差的中央突出量具有+8μm至+20μm的大小，其大小依成形时的树脂压而不同。相比于此，实施例中中央突出量维持于-1.5μm至+1.0μm的范围内，其绝对值较比较例小，且因成形时的树脂压而产生的差异亦较比较例小。通过此实验可确认，通过使用本实施形态的树脂成形装置10，相比于使用现有板状隔热材的树脂成形装置的情况，能得到厚度的均一性更高的树脂成形品。

[0125] (1-4)第一实施形态的树脂成形装置10的变形例

[0126] 第一实施形态的树脂成形装置10中用于下部隔热构件141及上部隔热构件142的柱状构件14A虽仅由不锈钢等一种类材料构成，但亦能替代使用如图6所示，由柱状母材14B1与设于该母材14B1的上下的隔热膜14B2构成的柱状构件14B。隔热膜14B2的材料使用较母材14B1的热传导率低的材料。例如，能于母材14B1的材料使用不锈钢，于隔热膜14B2的材料使用硅氧树脂制的隔热材料。仅由硅氧树脂制的隔热材料构成的柱状材对合模时的压力的强度不足，但通过使用本变形例的柱状构件14B的构成，能一边以母材14B1确保强度，一边通过隔热膜14B2提升隔热性能。此外，虽于图6显示了于母材14B1的上下两方设有隔热膜14B2之例，但亦能仅于母材14B1的上下任一方的面设置隔热膜14B2。

[0127] 再者，第一实施形态的树脂成形装置10中，通过将具有相同材料、形状及大小的柱状构件14A的数量密度配置成板面方面的中央附近的数量密度较周围高，以将下部隔热构件141及上部隔热构件142的各柱状构件14A的变形量调整成周围较中央附近大。作为替代例，亦能通过使用平行于板面的剖面积不同的柱状构件14A，于板面方向的中央附近配置该剖面积较周围大的柱状构件14A，而与上述相同地调整下部隔热构件141及上部隔热构件142的各柱状构件14A的变形量。换言之，于相对于负载点171、172侧的相反侧部分即模配置部1611的中央部，配置具有较大剖面积的柱状构件14A，于负载点171、172侧配置具有较小剖面积的柱状构件14A。于此情况时，亦能以等间隔配置材料相同的各柱状构件14A。

[0128] 进而，亦能通过使用材料不同的柱状构件14A，于周围配置较板面方向的中央附近具有较小刚性的柱状构件14A，而与上述相同地调整下部隔热构件141及上部隔热构件142的各柱状构件14A的变形量。换言之，于相对于负载点171、172侧的相反侧部分即模配置部1611的中央部，配置具有较大刚性的柱状构件14A，于负载点171、172侧配置具有较小刚性的柱状构件14A。于此情况时，亦能以等间隔配置形状及大小(剖面积)相同的各柱状构件
14A。

[0129] 若欲在外周负载台板的情况时改变各柱状构件14A的变形量，只要改变各柱状构件14A的数量密度、剖面积及刚性中的一者即可。或者亦能组合使用上述三个态样中的两个或全部。

[0130] 第一实施形态的树脂成形装置10中作为力施加部，虽使用了通过两个负载点171使第一台板11上下移动的肘节连杆133，但亦能设置作用于长方形的第一台板11的四个角落附近的四个负载点171而使第一台板11上下移动。再者，第一实施形态的树脂成形装置10中联结杆132的根数虽为两根，但亦能设为四根(亦即，将第二台板12的负载点172设为四个)。

[0131] 进而，亦能采用一边使用两根或四根联结杆132，一边将第一台板11的负载点仅设一个于中央的构成。于此情况时，由于第一台板11并非外周负载台板，故设于第一台板11侧的隔热构件不须配置成各柱状构件14A的变形量自模配置部1611的中央往负载点侧渐大。因此，设于第一台板11侧的隔热构件亦能为现有的板状隔热材，亦能以各柱状构件14A的变形量不依存于位置而成为相同值的方式配置柱状构件14A。另一方面，由于第二台板12是与上述树脂成形装置10中相同的外周负载台板，故于第二台板12侧使用与树脂成形装置10相同的上部隔热构件142。

[0132] 另一方面，当采用将第一台板11的负载点例如仅设一个于中央等设于模配置部1611内的构成时，有第一台板11的中央部以往第二台板12接近的方式弯曲的情况。换言之，依据将第一台板11支撑为能升降的方式的不同，有第一台板11即相当于中央负载台板的情况。于此情况时，只要将设于第一台板11侧的隔热构件配置成各柱状构件14A的变形量自模配置部1611的外侧(外周侧)往负载点侧(中央侧)渐大即可。当欲改变各柱状构件14A的变形量时，与上述外周负载台板的情况相同，仅需改变各柱状构件14A的数量密度、剖面积及刚性中的一者即可。或者亦能组合使用此三个态样中的两个或全部。

[0133] 至此虽说明了第一实施形态的树脂成形装置10中用于进行压缩成形的构成，但亦能取代成形模具16并通过设置移送成形的模具而进行移送成形。

[0134] (2)第二实施形态的树脂成形装置20

[0135] 第二实施形态的树脂成形装置20如图7所示，于基座231上立设两根联结杆232并设有肘节连杆233，此点与第一实施形态的树脂成形装置10相同。于联结杆232，下部可移动台板211与上部可移动台板212被保持为能上下移动，固定台板22固定于联结杆232的上端。

[0136] 于下部可移动台板211与上部可移动台板212之间设有第一下部隔热构件241A及第一上部隔热构件242A、第一下部加热板251A及第一上部加热板252A、以及第一成形模具26A(第一下部模具261A及第一上部模具262A)。再者，于上部可移动台板212与固定台板22之间设有第二下部隔热构件241B及第二上部隔热构件242B、第二下部加热板251B及第二上部加热板252B、以及第二成形模具26B(第二下部模具261B及第二上部模具262B)。第一成形模具26A的模配置部与第二成形模具26B的模配置部在俯视时位于相同位置。图7中对此两个模配置部标注相同符号2611而显示。肘节连杆233安装于下部可移动台板211的下面位于模配置部2611外侧的负载点271。再者，联结杆232的上端安装于固定台板22的下面位于模配置部2611外侧的负载点272。

[0137] 第一下部隔热构件241A及第二上部隔热构件242B与第一实施例的下部隔热构件141及上部隔热构件142具有相同构成。另一方面，第一上部隔热构件242A及第二下部隔热构件241B的柱状构件24A等间隔地配置。第一下部加热板251A及第一上部加热板252A、以及第二下部加热板251B及第二上部加热板252B与第一实施例的下部加热器板151及上部加热器板152具有相同构成。再者，第一成形模具26A及第二成形模具26B与第一实施例的成形模具16具有相同构成。

[0138] 第二实施形态的树脂成形装置20通过肘节连杆233使下部可移动台板211被压抵上升，由此，通过第一下部隔热构件241A、第一下部加热板251A、第一成形模具26A、第一上部加热板252A及第一上部隔热构件242A，上部可移动台板212亦被压抵上升。由此，在下部可移动台板211与上部可移动台板212之间，及上部可移动台板212与固定台板22之间分别进行合模。下部可移动台板211于位于模配置部2611外侧的负载点271被施加来自肘节连杆233的力，固定台板22于位于模配置部2611外侧的负载点272被施加来自联结杆232的拉伸力，因此，这些下部可移动台板211及固定台板22即相当于外周负载台板。据此，与第一实施形态的情况相同，接近这些下部可移动台板211及固定台板22的第一下部隔热构件241A及第二上部隔热构件242B的柱状构件24A配置成从模配置部2611的中央往负载点271、272各柱状构件24A的变形量渐大，由此能防止下部可移动台板211及固定台板22的弯曲的影响波及第一成形模具26A及第二成形模具26B。另一方面，于上部可移动台板212未施加力至模配置部2611的外侧，因此其不相当于外周负载台板，不会产生弯曲。据此，第一上部隔热构件
242A及第二下部隔热构件241B中，柱状构件24A以等间隔，亦即各柱状构件24A的变形量固定的方式配置。

[0139] (3)模块化树脂成形装置之例

[0140] 图8中显示具有一组或多组具备第一实施形态的树脂成形装置10的成形模块的装置30。换言之，第一实施形态的树脂成形装置10相当于成形模块。以下亦称装置30的整体为“树脂成形装置”。以下参照图1(a)及图8对树脂成形装置30进行说明。

[0141] 树脂成形装置30具有多个成形模块31、一组树脂材料及基板补充模块32、一组树脂成形品搬出模块33、以及贯通其各模块的移动机构34。再者，树脂成形装置30具有通过移动机构34而能于树脂材料及基板补充模块32及多组成形模块31间移动的树脂材料及基板供给装置35、以及通过移动机构34而能于多组成形模块31及树脂成形品搬出模块33间移动的树脂成形品搬出装置36。以下对各要素进行说明。

[0142] 各成形模块31相当于一组第一实施形态的树脂成形装置10，且具有在移动机构34与树脂成形装置10之间使树脂材料及基板供给装置35及树脂成形品搬出装置36移动的副移动机构311。

[0143] 树脂材料及基板供给装置35是于上部收容基板S且于下部收容树脂材料R，在通过移动机构34及副移动机构311移动至树脂成形装置10的近旁后，供给树脂材料R至树脂成形装置10的模腔1612，并供给基板S至上部模具162的装置。供给树脂材料R至模腔1612的装置的构成，例如能使用与专利文献4所记载的树脂供给装置相同者。供给基板S至上部模具162的装置，一般能使用机械手。树脂材料及基板补充模块32具备具有补充树脂材料R至树脂材料及基板供给装置35的料斗的树脂材料补充装置321、以及保管补充至树脂材料及基板供给装置35的基板S的基板保管部(料盘)322。

[0144] 树脂成形品搬出装置36是在通过移动机构34及副移动机构311移动至树脂成形装置10的近旁后，通过机械手从树脂成形装置10的上部模具162取出已于基板S的表面制作密封树脂P的树脂密封品(树脂成形品)，并通过副移动机构311及移动机构34搬出至树脂成形品搬出模块33的装置。树脂成形品搬出模块33具有保管搬出后的树脂成形品的树脂成形品保管部(料盘)331。

[0145] 成形模块31能于图8的横方向(平行于地面的方向)装设及脱离，且能依据需求事后调整(增减)个数。此外，此处成形模块31虽设为多组，但亦能仅为一组。

[0146] 根据本实施形态的树脂成形装置30，在进行对成形模块31中的一个模腔1612供给树脂材料R及对上部模具162装设基板S后，在于该成形模块31进行合模的期间，能于其他成形模块31进行树脂材料R的供给及基板S的装设。因此，能于多个成形模块31同时并行作业，提升树脂成形品的生产效率。再者，亦能依据需求，于树脂成形装置30的制造步骤，或于完成树脂成形装置30之后，自由增减成形模块31。

[0147] 上述树脂成形装置30中虽分开设置树脂材料及基板补充模块32与树脂成形品搬出模块33，但亦能统合两者做为单一模块。亦即，亦能将树脂材料补充装置321、基板保管部322、及树脂成形品保管部331收容于单一模块。再者，亦能于树脂材料及基板补充模块32亦设置一组第一实施例的树脂成形装置10。或者，亦能并用用于基板供给的机械手与用于树脂成形品搬出的机械手，由此将树脂材料及基板供给装置35与树脂成形品搬出装置36统合为单一装置。