输送系统

摘要

输送系统(1)具备：第一轨道(11A)和第二轨道(11B)，它们上下地并设，装置端口(101)位于它们的一侧的侧方且下方；多个桥式输送车(20A)、(20B)，桥式输送车(20A)沿第一轨道(11A)行走并输送FOUP(90)，桥式输送车(20B)沿第一轨道(11B)行走并输送FOUP(90)；以及保管架(40)，其相对于第一轨道(11A)和第二轨道(11B)设置于另一侧的侧方且下方，并载置FOUP(90)，桥式输送车(20A)、(20B)具有：把持部(21)，其能够把持FOUP(90)；移动机构(23)，其能够使把持部(21)移动到装置端口(101)和保管架(40)的各自的上方；以及升降机构(22)，其能够使借助移动机构(23)移动到装置端口(101)和保管架(40)的各自上方的把持部21相对于装置端口(101)和保管架(40)分别升降。

权利要求

1.一种输送系统，其中，具备：

第一轨道，其被设置为装置端口位于其一侧的侧方且下方；

第二轨道，其沿所述第一轨道相对于所述第一轨道位于下方且相对于所述第一轨道沿铅垂方向排列设置，所述装置端口位于其一侧的侧方且下方；

多个桥式输送车，其分别沿所述第一轨道和所述第二轨道行走，并输送被输送物；

保管部，其相对于所述第一轨道和所述第二轨道设置于另一侧的侧方且下方，并载置所述被输送物；以及控制器，其对所述桥式输送车的动作进行控制，

所述保管部设置为相对于所述第一轨道和所述第二轨道的任一个均位于下方，所述桥式输送车具有：把持部，其能够把持所述被输送物；

移动机构，其能够使所述把持部移动到所述装置端口和所述保管部的各自的上方；以及

升降机构，其能够使借助所述移动机构移动到所述装置端口和所述保管部的各自的上方的所述把持部分别相对于所述装置端口和所述保管部升降，所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车双方能够相对于相同所述保管部移载所述被输送物，在处于针对相同的所述装置端口，所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车中的一个所述桥式输送车应从所述装置端口取得从所述装置端口回收侧的所述被输送物，且所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车中的另一个所述桥式输送车应将向所述装置端口供给侧的所述被输送物载置于所述装置端口的情况下，当另一个所述桥式输送车先于一个所述桥式输送车到达针对所述装置端口的移载区域时，所述控制器控制所述桥式输送车的动作，使得另一个所述桥式输送车在到达所述移载区域后在所述移载区域待机规定时间，在另一个所述桥式输送车在所述移载区域待机期间一个所述桥式输送车到达所述移载区域的情况下，所述控制器控制所述桥式输送车的动作，使得由到达了所述移载区域的一个所述桥式输送车从所述装置端口取得所述回收侧的被输送物，并控制所述桥式输送车的动作，使得在一个所述桥式输送车从所述装置端口取得了所述回收侧的被输送物后，由另一个所述桥式输送车将所述供给侧的被输送物载置于所述装置端口，而在另一个所述桥式输送车在所述移载区域待机期间一个所述桥式输送车未到达所述移载区域的情况下，所述控制器控制所述桥式输送车的动作，使得另一个所述桥式输送车将所述供给侧的被输送物载置于所述保管部并从所述装置端口取得所述回收侧的被输送物，并控制所述桥式输送车的动作，使得到达了所述移载区域的一个所述桥式输送车从所述保管部取得所述供给侧的被输送物并将所述供给侧的被输送物载置于所述装置端口。

2.根据权利要求1所述的输送系统，其中，

在处于所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车这两个所述桥式输送车应执行相对于相同的所述装置端口移载所述被输送物的装置端口侧移载动作的情况下，所述控制器在由所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车中的一个所述桥式输送车执行所述装置端口侧移载动作期间，禁止由另一个所述桥式输送车执行所述装置端口侧移载动作，在处于所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车这两者应执行相对于相同的所述保管部移载所述被输送物的保管部侧移载动作的情况下，所述控制器在由所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车中的一个所述桥式输送车执行所述保管部侧移载动作期间，禁止由另一个所述桥式输送车执行所述保管部侧移载动作。

3.根据权利要求1所述的输送系统，其中，

在处于针对相同的所述装置端口，所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车中的一个所述桥式输送车应从所述装置端口取得从所述装置端口回收侧的所述被输送物，且所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车中的另一个所述桥式输送车应将向所述装置端口供给侧的所述被输送物载置于所述装置端口的情况下，当另一个所述桥式输送车先于一个所述桥式输送车到达针对所述装置端口的移载区域时，所述控制器控制所述桥式输送车的动作，使得另一个所述桥式输送车在所述移载区域待机，直至一个所述桥式输送车到达所述移载区域并从所述装置端口取得所述回收侧的被输送物，并控制所述桥式输送车的动作，使得在另一个所述桥式输送车在所述移载区域待机了的状态下，由到达了所述移载区域的一个所述桥式输送车从所述装置端口取得所述回收侧的被输送物，并控制所述桥式输送车的动作，使得在一个所述桥式输送车从所述装置端口取得了所述回收侧的被输送物后，由另一个所述桥式输送车将所述供给侧的被输送物载置于所述装置端口。

4.根据权利要求3所述的输送系统，其中，

所述控制器取得截至一个所述桥式输送车到达所述移载区域为止的预计时间，并在所述预计时间比规定时间短的情况下，控制所述桥式输送车的动作，使得另一个所述桥式输送车在所述移载区域待机，直至一个所述桥式输送车到达所述移载区域并从所述装置端口取得所述回收侧的被输送物。

5.根据权利要求1所述的输送系统，其中，

在处于针对相同的所述装置端口，所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车中的一个所述桥式输送车应从所述装置端口取得从所述装置端口回收侧的所述被输送物，且所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车中的另一个所述桥式输送车应将向所述装置端口供给侧的所述被输送物载置于所述装置端口的情况下，在另一个所述桥式输送车先于一个所述桥式输送车到达了针对所述装置端口的移载区域时，所述控制器控制所述桥式输送车的动作，使得另一个所述桥式输送车将所述供给侧的被输送物载置于所述保管部并从所述装置端口取得所述回收侧的被输送物，并控制所述桥式输送车的动作，使得到达了所述移载区域的一个所述桥式输送车从所述保管部取得所述供给侧的被输送物并将所述供给侧的被输送物载置于所述装置端口。

6.根据权利要求5所述的输送系统，其中，

所述控制器取得截至一个所述桥式输送车到达所述移载区域为止的预计时间，并在所述预计时间比规定时间长的情况下，控制所述桥式输送车的动作，使得另一个所述桥式输送车将所述供给侧的被输送物载置于所述保管部并从所述装置端口取得所述回收侧的被输送物。

说明书

输送系统

技术领域

[0001] 本发明的一个方式涉及输送系统。

背景技术

[0002] 例如作为半导体制造工厂所使用的输送系统，已知有具备上下并设的第一轨道和第二轨道、分别沿第一轨道和第二轨道行走的桥式输送车以及设置于第一轨道和第二轨道的各自的侧方的保管架的输送系统(例如，参见专利文献1)。

[0003] 专利文献1：日本特开2007-331906号公报。

[0004] 从提高半导体处理装置的运转率的观点出发，要求如上所述的输送系统抑制桥式输送车的运行阻塞并将被输送物相对于半导体处理装置的装置端口高效地输送。

发明内容

[0005] 因此，本发明的一个方式的目的在于提供能够提高被输送物相对于装置端口输送的效率的输送系统。

[0006] 本发明的一个方式的输送系统具备：第一轨道，其被设置为装置端口位于其一侧的侧方且下方；第二轨道，其沿第一轨道相对于第一轨道位于下方且相对于第一轨道沿铅垂方向排列设置，装置端口位于其一侧的侧方且下方；多个桥式输送车，其分别沿第一轨道和第二轨道行走，并输送被输送物；以及保管部，其相对于第一轨道和第二轨道设置于另一侧的侧方且下方，并载置被输送物，桥式输送车具有：把持部，其能够把持被输送物；移动机构，其能够使把持部移动到装置端口和保管部的各自的上方；以及升降机构，其能够使借助移动机构移动到装置端口和保管部的各自的上方的把持部分别相对于装置端口和保管部升降。

[0007] 在该输送系统中，第一轨道上的桥式输送车和第二轨道上的桥式输送车这两个桥式输送车不仅能相对于相同的装置端口，还能够相对于相同的保管部移载被输送物。由此，例如，能够执行将由第一轨道上的桥式输送车和第二轨道上的桥式输送车中的一个桥式输送车载置于保管部的被输送物，由另一个桥式输送车从保管部取得并向装置端口载置那样的动作。由此，采用该输送系统，能够提高被输送物相对于装置端口输送的效率。

[0008] 可以是，本发明的一个方式的输送系统还具备对桥式输送车的动作进行控制的控制器，在处于第一轨道上的桥式输送车和第二轨道上的桥式输送车这两个桥式输送车应执行相对于相同的装置端口移载被输送物的装置端口侧移载动作的情况下，控制器在由所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车中的一个桥式输送车执行该装置端口侧移载动作期间，禁止由另一个所述桥式输送车执行所述装置端口侧移载动作，在处于第一轨道上的桥式输送车和第二轨道上的桥式输送车这两者应执行相对于相同的保管部移载被输送物的保管部侧移载动作的情况下，控制器在由所述第一轨道上的所述桥式输送车和所述第二轨道上的所述桥式输送车中的一个桥式输送车执行保管部侧移载动作期间，禁止由另一个所述桥式输送车执行所述保管部侧移载动作。由此，能够可靠地防止第一轨道上的桥式输送车和第二轨道上的桥式输送车这两个桥式输送车相对于相同的装置端口同时执行被输送物的装置端口侧移载动作以及第一轨道上的桥式输送车和第二轨道上的桥式输送车这两个桥式输送车相对于相同的保管部同时执行被输送物的保管部侧移载动作。

[0009] 可以是，在本发明的一个方式的输送系统中，还具备对桥式输送车的动作进行控制的控制器，在处于针对相同的装置端口，第一轨道上的桥式输送车和第二轨道上的桥式输送车中的一个桥式输送车应从该装置端口取得从该装置端口回收一侧的被输送物，且第一轨道上的桥式输送车和第二轨道上的桥式输送车中的另一个桥式输送车应将被向该装置端口供给一侧的被输送物载置于该装置端口的情况下，当另一个桥式输送车先于一个桥式输送车到达针对该装置端口的移载区域时，控制器控制桥式输送车的动作，使得另一个桥式输送车在移载区域待机，直至一个桥式输送车到达移载区域并从该装置端口取得回收侧的被输送物，并控制桥式输送车的动作，使得在另一个桥式输送车在移载区域待机了的状态下，到达了移载区域的一个桥式输送车从该装置端口取得回收侧的被输送物，并控制桥式输送车的动作，使得在一个桥式输送车从该装置端口取得了回收侧的被输送物后，由另一个桥式输送车将供给侧的被输送物载置于该装置端口。由此，例如，能够在截至一个桥式输送车到达移载区域为止的时间较短等情况下，在抑制在另一个桥式输送车所在的轨道上产生运行阻塞的同时从装置端口取得回收侧的被输送物并将供给侧的被输送物载置于装置端口。

[0010] 可以是，在本发明的一个方式的输送系统中，控制器取得截至一个桥式输送车到达移载区域为止的预计时间，并在该预计时间比规定时间短的情况下，控制桥式输送车的动作，使得另一个桥式输送车在移载区域待机，直至一个桥式输送车到达移载区域并从该装置端口取得回收侧的被输送物。由此，能够客观地判断截至一个桥式输送车到达移载区域为止的时间，并更加可靠地抑制在另一个桥式输送车所在的轨道上产生运行阻塞。

[0011] 可以是，在本发明的一个方式的输送系统中，还具备对桥式输送车的动作进行控制的控制器，在处于有关相同的装置端口，第一轨道上的桥式输送车和第二轨道上的桥式输送车中的一个桥式输送车应从该装置端口取得从该装置端口回收侧的被输送物，第一轨道上的桥式输送车和第二轨道上的桥式输送车中的另一个桥式输送车应将向该装置端口供给侧的被输送物载置于该装置端口的情况下，在另一个桥式输送车先于一个桥式输送车到达了针对该装置端口的移载区域时，控制器控制桥式输送车的动作，使得另一个桥式输送车将供给侧的被输送物载置于保管部并从该装置端口取得回收侧的被输送物，并控制桥式输送车的动作，使得到达了移载区域的一个桥式输送车从保管部取得供给侧的被输送物并将供给侧的被输送物载置于该装置端口。由此，例如，能够在截至一个桥式输送车到达移载区域为止的时间较长等情况下，在抑制在另一个桥式输送车所在的轨道上产生运行阻塞的同时，从装置端口取得回收侧的被输送物并将供给侧的被输送物载置于装置端口。

[0012] 可以是，在本发明的一个方式的输送系统中，控制器取得截至一个桥式输送车到达移载区域为止的预计时间，并在该预计时间比规定时间长的情况下，控制桥式输送车的动作，使得另一个桥式输送车将供给侧的被输送物载置于保管部并从该装置端口取得回收侧的被输送物。由此，能够客观地判断截至一个桥式输送车到达移载区域为止的时间，并更加可靠地抑制在另一个桥式输送车所在的轨道上产生运行阻塞。

[0013] 采用本发明的一个方式，能够提供可提高被输送物相对于装置端口输送的效率的输送系统。

附图说明

[0014] 图1是本发明的一个实施方式的输送系统的俯视图。

[0015] 图2是图1的输送系统的局部主视图。

[0016] 图3是用于说明图1的输送系统中的第一取放控制的图。

[0017] 图4是用于说明图1的输送系统中的第一取放控制的图。

[0018] 图5是用于说明图1的输送系统中的第一取放控制的图。

[0019] 图6是用于说明图1的输送系统中的第一取放控制的图。

[0020] 图7是用于说明图1的输送系统中的第一取放控制的图。

[0021] 图8是用于说明图1的输送系统中的第二取放控制的图。

[0022] 图9是用于说明图1的输送系统中的第二取放控制的图。

[0023] 图10是用于说明图1的输送系统中的第二取放控制的图。

[0024] 图11是用于说明图1的输送系统中的第二取放控制的图。

[0025] 图12是用于说明图1的输送系统中的第二取放控制的图。

[0026] 图13是用于说明图1的输送系统中的第二取放控制的图。

[0027] 图14是用于说明图1的输送系统中的第二取放控制的图。

[0028] 图15是用于说明图1的输送系统中的第二取放控制的图。

[0029] 图16是用于说明图1的输送系统中的第一联锁控制的图。

[0030] 图17是用于说明图1的输送系统中的第一联锁控制的图。

[0031] 图18是用于说明图1的输送系统中的第二联锁控制的图。

[0032] 图19是用于说明图1的输送系统中的第二联锁控制的图。

具体实施方式

[0033] 下面，参照附图详细说明本发明的优选实施方式。此外，在各图に中，对相同或者相当的部分标注相同的附图标记，省略重复说明。

[0034] [输送系统的结构]

[0035] 如图1和图2所示，输送系统1具备轨道10A、10B、多个桥式输送车20A、20B、多个保管架40以及控制器50。轨道10A、10B被铺设于具备多个半导体处理装置100的半导体制造工厂的顶棚附近。桥式输送车20A、20B是OHT(Overhead Hoist Transfer)，在悬吊于轨道10A、10B的状态下沿轨道10A、10B单向行走。即，桥式输送车20A、20B在轨道10A、10B上沿轨道
10A、10B各自延伸的方向行走。此外，在以下说明中，将沿轨道10A行走的桥式输送车称为桥式输送车(第一桥式输送车)20A，将沿轨道10B行走的桥式输送车称为桥式输送车(第二桥式输送车)20B。桥式输送车20A、20B将收容有多个半导体晶片的FOUP(Front Opening Unified Pod)相对于各半导体处理装置100的装置端口101输送。保管架40被设置为与各半导体处理装置100相对应。例如，在关于轨道10A、10B的延伸方向与各半导体处理装置100的装置端口101相对应的位置，至少设置有一个保管架40。保管架40被设置于关于轨道10A、
10B的延伸方向与各半导体处理装置100的装置端口101相同的位置。或者，与各半导体处理装置100相对应的保管架40被配置于关于轨道10A、10B的延伸方向比该半导体处理装置100的装置端口101靠上游侧(桥式输送车20A、20B的行走方向上的上游侧)的位置。控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作。

[0036] 轨道10A、10B分别构成工序间轨道13A、13B、工序内轨道14A、14B以及分支轨道15A、15B。桥式输送车20A、20B能够经由分支轨道15A、15B在工序间轨道13A、13B与工序内轨道14A、14B之间往来。工序内轨道14A、14B在从铅垂方向上观察的情况下为环状。

[0037] 在输送系统1中，第一轨道11A由工序内轨道14A的一部分构成，第二轨道11B由工序内轨道14B的一部分构成。第一轨道11A和第二轨道11B由设置于工序内轨道14A、14B内的直线部分构成。第二轨道11B沿第一轨道11A设置。即，第一轨道11A和第二轨道11B被平行配置，使桥式输送车20的行走方向成为相同的方向。第二轨道11B在第一轨道11A的下方(正下方)沿铅垂方向排列设置。即，如图2等所示，第二轨道11B相对于第一轨道11A位于下方且相对于第一轨道11A沿铅垂方向排列，并且在从铅垂方向观察的情况下，第一轨道11A和第二轨道11B被设置于对齐的位置。在第一轨道11A和第二轨道11B的侧面分别设置有用于与桥式输送车20A、20B通信的多个信号交换部12A、12B(参见图3)。

[0038] 多个装置端口101在工序内轨道14A、14B的外侧(从铅垂方向观察的情况下，比呈环状的工序内轨道14A、14B靠外周侧)，被沿第一轨道11A和第二轨道11B延伸的方向配置。若着眼于一对第一轨道11A和第二轨道11B，则多个装置端口101被设置为位于被上下并设的第一轨道11A和第二轨道11B的一侧的侧方，并且位于下方。

[0039] 多个装置端口101在其上载置桥式输送车20A、20B的被输送物即FOUP90，并将该FOUP90移载于半导体处理装置100。另外，若拟由半导体处理装置100对收容于FOUP90的半导体晶片实施处理，则多个装置端口101处于将该FOUP90从半导体处理装置100移载，且之上载置FOUP90的状态。

[0040] 半导体处理装置100由装置控制器102控制其动作(参见图3)。装置控制器102在与桥式输送车20A、20B之间进行通信，并对桥式输送车20A、20B发出相对于装置端口101移载FOUP90的移载许可。在本实施例中，相对于装置端口101移载FOUP90的情况包含将桥式输送车20A、20B所保持(装载)的FOUP90供给(载置)到装置端口101的情况和由桥式输送车20A、20B将载置于装置端口101的FOUP90回收(取得)的情况。在本实施例中，相对于保管架40移载FOUP90的情况包含将桥式输送车20A、20B所保持的FOUP90供给到保管架40的情况和由桥式输送车20A、20B将载置于保管架40的FOUP90回收的情况。

[0041] 在多个保管架40载置FOUP90。即，多个保管架40支承FOUP90。保管架40上的区域作为能够在其上载置FOUP90的保管部40a发挥功能。保管部40a是能够由在第一轨道11A和第二轨道11B停止了的桥式输送车20A、20B移载FOUP90的临时保管区域。

[0042] 若着眼于一对第一轨道11A和第二轨道11B，则多个保管架40相对于第一轨道11A和第二轨道11B被设置于多个装置端口101所设置侧的另一侧的侧方，且被设置于第一轨道11A和第二轨道11B的下方。即，在从铅垂方向观察的情况下，多个保管架40被设置于隔着第一轨道11A和第二轨道11B与多个装置端口101对置的侧方。多个装置端口101被设置于呈环状的工序内轨道14A、14B的内侧。多个装置端口101被沿第一轨道11A和第二轨道11B延伸的方向设置，并在铅垂方向上被设置于比第二轨道11B靠下方的位置。

[0043] 这样，输送系统1具备：第一轨道11A和第二轨道11B，它们上下地并设，并且都在一侧的侧方且下方的位置存在装置端口101；桥式输送车(第一桥式输送车)20A和桥式输送车(第二桥式输送车)20B，桥式输送车(第一桥式输送车)20A沿第一轨道11A行走并输送FOUP90，桥式输送车(第二桥式输送车)20B沿第二轨道11B行走并输送FOUP90；以及保管架40，其相对于第一轨道11A和第二轨道11B设置在另一侧的侧方且靠下方，供载置FOUP90。

[0044] 桥式输送车20A沿第一轨道11A行走并输送FOUP90。桥式输送车20B沿第二轨道11B行走并输送FOUP90。桥式输送车20A、20B将FOUP90例如在装置端口101、101之间、保管架40、40之间、装置端口101和保管架40之间输送。

[0045] 桥式输送车20A、20B都具有将FOUP90相对于装置端口101和保管架40移载的被输送物移载机构。被输送物移载机构包含把持部21、升降机构22以及移动机构23。另外，桥式输送车20A、20B分别具有信号交换部24A、24B。

[0046] 把持部21是把持和释放FOUP90的凸缘部91的装置。把持部21能够把持FOUP90的凸缘部91。在桥式输送车20A、20B从装置端口101和保管架40取得FOUP90时，把持部21把持FOUP90的凸缘部91。在桥式输送车20A、20B向装置端口101和保管架40载置FOUP90时，把持部21释放FOUP90的凸缘部91。

[0047] 升降机构22是使把持部21沿铅垂方向升降的装置。升降机构22能够使把持部21沿铅垂方向升降。升降机构22包括卷扬机构22a和带2b。卷扬机构22a由移动机构23保持。卷扬机构22a是将带22b沿铅垂方向提升和降落的装置。卷扬机构22a能够将带22b沿铅垂方向提升和降落。带22b从卷扬机构22a垂下，在其下端，保持有把持部21。升降机构22能够提升和降落使由把持部21把持的FOUP90至少到达装置端口101和保管架40的距离。

[0048] 移动机构23是使把持部21和升降机构22从桥式输送车20A、20B向两侧的侧方移动的装置。能够将把持部21和升降机构22从桥式输送车20A、20B向两侧的侧方移动。即，移动机构23能够使把持部21和升降机构22从桥式输送车20A、20B向与桥式输送车20A、20B的行进方向垂直的水平方向移动。移动机构23能够使把持部21和升降机构22移动到装置端口101和保管架40的各自的上方。在由把持部21把持FOUP90的情况下，移动机构23能够使该FOUP90向装置端口101和保管架40的铅垂方向上方移动。

[0049] 在第一轨道11A停止了的桥式输送车20A能够将FOUP90相对于位于该第一轨道11A的侧方且下方的装置端口101和保管架40这两者移载，在第二轨道11B停止了的桥式输送车20B能够将FOUP90相对于位于该第二轨道11B的侧方且下方的装置端口101和保管架40这两者移载。换言之，桥式输送车20A和桥式输送车20B能够将FOUP90相对于相同的装置端口101和相同的保管架40移载。即，在第一轨道11A中的桥式输送车20A和第二轨道11B中的桥式输送车20B，都能在与装置端口101之间实施对FOUP90的交接(移载)，而且，在第一轨道11A中的桥式输送车20A和第二轨道11B中的桥式输送车20B，都能在与保管架40之间实施对FOUP90的交接。即，保管架40具备在第一轨道11A上行走的桥式输送车20A和在第二轨道11B上行走的桥式输送车20B所共用的保管部40a。

[0050] 具体而言，桥式输送车20A、20B从在第一轨道11A和第二轨道11B的正下方由把持部21把持有FOUP90的凸缘部91的状态起，使移动机构23动作，使FOUP90移动到装置端口101和保管架40的各自的上方。接着，桥式输送车20A、20B使卷扬机构22a动作，将带22b降落，使FOUP90下降，并将其载置于装置端口101上或者保管架40上。通过以上步骤，桥式输送车20A、20B向装置端口101和保管架40移载(载置)FOUP90。

[0051] 另外，桥式输送车20A、20B借助把持部21把持被载置于装置端口101上或者保管架40上的状态下的FOUP90的凸缘部91。接着，桥式输送车20A、20B使卷扬机构22a动作，提升带
22b，使FOUP90上升。接着，桥式输送车20A、20B使移动机构23动作，使FOUP90移动到第一轨道11A和第二轨道11B的正下方。通过以上步骤，桥式输送车20A、20B从装置端口101或者保管架40移载(取得)FOUP90。

[0052] 信号交换部24A、24B分别设置于桥式输送车20A、20B的各上表面(参见图3)。信号交换部24A能够与设置于第一轨道11A的信号交换部12A通信。信号交换部12A、24A是能够按照SEMI标准E84相互通信的8位传感器的信号交换部。信号交换部24B能够与设置于第二轨道11B的信号交换部12B通信。信号交换部12B、24B按照SEMI标准E84相互通信的8位传感器的信号交换部。在桥式输送车20A、20B位于能够与信号交换部12A、12B之间进行通信的位置时，信号交换部24A、24B通过信号交换部12A、12B与装置控制器102连接。

[0053] 控制器50控制多个桥式输送车20A、20B的动作。控制器50具有对位于各区域的桥式输送车20A、20B的动作进行控制的本地控制器52A、52B和与各本地控制器52A、52B进行通信并对各本地控制器52A、52B进行统括的上位控制器51(参见图3)。由各本地控制器52A、52B管辖的区域被设定为在第一轨道和第二轨道中不同的区域，且被设定为针对每个半导体处理装置100都不同的区域。此外，由各本地控制器52A、52B管辖的区域并不限定为这样的区分方法。

[0054] [输送系统中的取放控制]

[0055] 在如上所述构成的输送系统1中，例如，能够执行如下所示的取放控制。此外，以下说明中的针对装置端口101的移载区域R意思是指第一轨道11A上和第二轨道11B上的桥式输送车20A、20B停止并能够使FOUP90相对于该装置端口101移载的区域。针对装置端口101的移载区域R是在第一轨道11A上和第二轨道11B上，在分别沿第一轨道11A和第二轨道11B的方向上，与装置端口101和保管架40处于相同位置的区域。或者，在关于该方向与装置端口101相对应的保管架40被设置于比该装置端口101靠上游侧的形态下，针对装置端口101的移载区域R包括在该方向上同与该装置端口101相对应的保管架40处于相同位置的区域。

[0056] 首先，对第一取放控制进行说明。在第一取放控制中，在针对相同的装置端口101，桥式输送车20A、20B中的一个桥式输送车从装置端口101取得FOUP90，另一个桥式输送车将其它FOUP90载置于变空了的装置端口101的情况下，在另一个桥式输送车先于一个桥式输送车到达了针对装置端口101的移载区域R时，控制器50进行控制使另一个桥式输送车在移载区域R待机，直至一个桥式输送车到达移载区域R并从装置端口101取得FOUP90，并且在另一个桥式输送车在移载区域R待机的状态下，控制器50进行控制使到达了移载区域R的一个桥式输送车从装置端口101取得FOUP90，进而在一个桥式输送车从装置端口101取得了FOUP90后，控制使另一个桥式输送车将其它FOUP90载置于装置端口101。

[0057] 具体而言，如图3所示，例如，在处于针对相同的装置端口101，未载置有FOUP90的状态(即，空的状态)下的桥式输送车20B(即，空台车)应从该装置端口101取得从该装置端口101回收侧的FOUP90即FOUP90B，装载有FOUP90的状态(即，实的状态)下的桥式输送车20A(即，实台车)应将向该装置端口101供给侧的FOUP90即FOUP90A载置于该装置端口101的情况下，在桥式输送车20A先于桥式输送车20B到达了针对该装置端口101的移载区域R(参见图1)时，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20A在移载区域R待机，直至桥式输送车20B到达移载区域R并从该装置端口101取得FOUP90B。接着，如图4和图5所示，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，使到达了移载区域R的桥式输送车20B从该装置端口101取得FOUP90B。接着，如图6所示，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20B从移载区域R向下一个目的地行走。接着，如图7所示，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20A将FOUP90A载置于该装置端口101。

[0058] 接下来，对第二取放控制进行说明。在第二取放控制中，在针对相同的装置端口101，桥式输送车20A、20B中的一个桥式输送车从该装置端口101取得FOUP90，且另一个桥式输送车针对该装置端口101将其它FOUP90载置于变空了的装置端口101的情况下，在另一个桥式输送车先于一个桥式输送车到达了针对该装置端口101的移载区域R时，控制器50进行控制使另一个桥式输送车将其它FOUP90载置于保管架40并从装置端口101取得FOUP90，并进行控制使到达了移载区域R的一个桥式输送车从保管架40取得其它FOUP90，并将其它FOUP90载置于装置端口101。

[0059] 具体而言，如图8和图9所示，例如，在处于针对相同的装置端口101，空的状态下的桥式输送车20B应从该装置端口101取得从该装置端口101回收侧的FOUP90即FOUP90B，实的状态下的桥式输送车20A应将向该装置端口101供给侧的FOUP90即FOUP90A载置于该装置端口101的情况下，在桥式输送车20A先于桥式输送车20B到达了针对该装置端口101的移载区域R(参见图1)时，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20A将FOUP90A载置于保管架40。接着，如图10和图11所示，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20A从该装置端口101取得FOUP90B。接着，如图12所示，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20A从移载区域R向下一个目的地行走。继而，如图13和图14所示，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，使到达了移载区域R的桥式输送车20B从保管架40取得FOUP90A。接着，如图15所示，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20B将从保管架40取得了的FOUP90A载置于该装置端口101。

[0060] 在输送系统1中，控制器50取得截至上述一个桥式输送车到达移载区域R为止的预计时间，并在该预计时间比规定时间短的情况下，进行控制使上述另一个桥式输送车在移载区域R待机，直至一个桥式输送车到达移载区域R并从装置端口101取得FOUP90。另外，在输送系统1中，在控制器50取得截至上述一个桥式输送车到达移载区域R为止的预计时间，并在该预计时间比规定时间长的情况下，进行控制使上述另一个桥式输送车将其它FOUP90载置于保管架40并从装置端口101取得FOUP90。

[0061] 具体而言，在输送系统1中，控制器50在执行第一取放控制或者第二取放控制之前，取得桥式输送车20A先于桥式输送车20B到达针对该装置端口101的移载区域R(参见图1)之后至桥式输送车20B到达为止的预计时间。更具体而言，针对来自本地控制器52A的询问，由上位控制器51计算预计时间。接着，控制器50判定预计时间是否为规定时间以下。接着，控制器50在判定为预计时间是规定时间以下时，执行第一取放控制，并在判定为预计时间比规定时间长时，执行第二取放控制。

[0062] [输送系统中的联锁控制]

[0063] 另外，在输送系统1中，例如，能够执行如下所示的联锁控制。

[0064] 首先，对第一联锁控制进行说明。在第一联锁控制中，在桥式输送车20A、20B这两者将FOUP90相对于相同的装置端口101移载的情况下，控制器50许可一个桥式输送车的移载动作，禁止其间的另一个桥式输送车的移载动作。

[0065] 具体而言，如图16和图17所示，控制器50在上位控制器51与本地控制器52A、52B之间进行通信。而且，在处于相对于相同的装置端口101，桥式输送车20A、20B这两者应同时执行移载FOUP90的装置端口侧移载动作的情况下，控制器50仅针对桥式输送车20A、20B中的任一个许可与装置控制器102的通信。其结果是，针对未被许可与装置控制器102的通信的桥式输送车，不发出来自装置控制器102的移载许可。在被许可了与装置控制器102的通信的桥式输送车结束了装置端口侧移载动作后，针对未被许可与装置控制器102的通信的桥式输送车，许可其与装置控制器102的通信。控制器50不一定要针对桥式输送车20A、20B中的先到达了移载区域R的桥式输送车许可与装置控制器102的通信。在图示的例子中，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，在由桥式输送车20A执行装置端口侧移载动作期间，禁止由桥式输送车20B执行装置端口侧移载动作。具体而言，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，在桥式输送车20A的把持部21借助移动机构23移动至成为移载对象的装置端口
101的上方期间，禁止使桥式输送车20B的把持部21借助移动机构23移动至成为移载对象的装置端口101的上方。

[0066] 接下来，对第二联锁控制进行说明。在第二联锁控制中，在桥式输送车20A、20B这两者相对于相同的保管架40移载FOUP90的情况下，控制器50许可一个桥式输送车的移载动作，并禁止其间的另一个桥式输送车的移载动作。

[0067] 具体而言，如图18和图19所示，控制器50在上位控制器51与本地控制器52A、52B之间进行通信。而且，在处于相对于相同的保管架40，桥式输送车20A、20B这两者应同时执行移载FOUP90的保管部侧移载动作的情况下，控制器50仅针对桥式输送车20A、20B中的任一个，许可相对于该保管架40移载FOUP90。控制器50不一定要针对桥式输送车20A、20B中的先到达了移载区域R的桥式输送车，许可其与装置控制器102的通信。在图示的例子中，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，在由桥式输送车20A执行保管部侧移载动作期间，禁止由桥式输送车20B执行保管部侧移载动作。具体而言，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，在桥式输送车20A的把持部21借助移动机构23移动至成为移载对象的保管架40的上方期间，禁止桥式输送车20B的把持部21借助移动机构23移动至成为移载对象的保管架40的上方。

[0068] [作用和效果]

[0069] 如以上说明所示，在输送系统1中，第一轨道11A上的桥式输送车20A和第二轨道11B上的桥式输送车20B这两个桥式输送车不仅能够相对于相同的装置端口101，还能够相对于相同的保管架40移载FOUP90。由此，例如，能够执行将由第一轨道11A上的桥式输送车
20A和第二轨道11B上的桥式输送车20B中的一个桥式输送车载置于保管架40的FOUP90，由另一个桥式输送车从保管架40取得并向装置端口101载置那样的动作。由此，采用该输送系统1，能够提高FOUP90相对于装置端口101输送的效率。

[0070] 在输送系统1中，还具备控制桥式输送车20A、20B的动作的控制器50，在处于桥式输送车20A、20B这两个桥式输送车应执行相对于相同的装置端口101移载FOUP90的装置端口侧移载动作的情况下，控制器50在由桥式输送车20A、20B中的一个桥式输送车执行装置端口侧移载动作期间，禁止由另一个桥式输送车执行装置端口侧移载动作，在处于桥式输送车20A、20B这两者应执行相对于相同的保管架40移载FOUP90的保管部侧移载动作的情况下，控制器50在由桥式输送车20A、20B中的一个桥式输送车执行保管部侧移载动作期间，禁止由另一个桥式输送车执行保管部侧移载动作。由此，能够可靠地防止桥式输送车20A、20B这两个桥式输送车相对于相同的装置端口101同时执行对FOUP90的装置端口侧移载动作以及桥式输送车20A、20B这两者桥式输送车相对于相同的保管架40同时执行对FOUP90的保管部侧移载动作。

[0071] 在输送系统1中，还具备控制桥式输送车20A、20B的动作的控制器50。在处于针对相同的装置端口101，桥式输送车20B应从该装置端口101取得从该装置端口101回收侧的FOUP90即FOUP90B，且桥式输送车20A应将向该装置端口101供给侧的FOUP90即FOUP90A载置于该装置端口101的情况下，在桥式输送车20A先于桥式输送车20B到达了针对该装置端口101的移载区域R时，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20A在移载区域R待机，直至桥式输送车20B到达移载区域R并从该装置端口101取得回收侧的FOUP90B，并且在桥式输送车20A在移载区域R待机了的状态下，控制桥式输送车20A、20B的动作，使到达了移载区域R的桥式输送车20B从该装置端口101取得回收侧的FOUP90B，桥式输送车20B在从该装置端口101取得了回收侧的FOUP90B之后，控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20A将供给侧的FOUP90A载置于该装置端口101。由此，例如，在截至桥式输送车20B到达移载区域R为止的时间较短等情况下，能够在抑制在桥式输送车20A所在的第一轨道11A上产生运行阻塞的同时，从装置端口101取得回收侧的FOUP90B，并将供给侧的FOUP90A载置于装置端口101。

[0072] 在输送系统1中，控制器50取得截至桥式输送车20B到达移载区域R为止的预计时间，并在该预计时间为规定时间以下的情况下，控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20A在移载区域R待机，直至桥式输送车20B到达移载区域R并从该装置端口101取得回收侧的FOUP90B。由此，能够客观地判断截至桥式输送车20B到达移载区域R为止的时间，并能够更加可靠地抑制在桥式输送车20A所在的第一轨道11A上产生运行阻塞。

[0073] 在输送系统1中，还具备控制桥式输送车20A、20B的动作的控制器50。在处于针对相同的装置端口101，桥式输送车20B应从该装置端口101取得从该装置端口101回收侧的FOUP90即FOUP90B且桥式输送车20A应将向该装置端口101供给侧的FOUP90即FOUP90A载置于该装置端口101的情况下，在桥式输送车20A先于桥式输送车20B到达了针对该装置端口101的移载区域R时，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20A将供给侧的FOUP90A载置于保管架40并从该装置端口101取得回收侧的FOUP90B，并且控制桥式输送车20A、20B的动作，使到达了移载区域R的桥式输送车20B从保管架40取得供给侧的FOUP90A，并将供给侧的FOUP90A载置于该装置端口101。由此，例如，在截至桥式输送车20B到达移载区域R为止的时间较长等情况下，能够在抑制在桥式输送车20A所在的第一轨道
11A上产生运行阻塞的同时，从装置端口101取得回收侧的FOUP90B，并将供给侧的FOUP90A载置于装置端口101。

[0074] 在输送系统1中，控制器50取得截至桥式输送车20B到达移载区域R为止的预计时间，并在该预计时间比规定时间长的情况下，控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20A将供给侧的FOUP90A载置于保管架40，并从该装置端口101取得回收侧的FOUP90B。由此，能够客观地判断截至桥式输送车20B到达移载区域R为止的时间，并能够更加可靠地抑制在桥式输送车20A所在的第一轨道11A上产生运行阻塞。

[0075] [变形例]

[0076] 以上，说明了本发明的一个实施方式，但本发明并不限定于上述一个实施方式。例如，第一轨道11A和第二轨道11B可以构成为桥式输送车20A、20B能够相互驶入对方轨道。

[0077] 另外，在上述实施方式中，在取放控制中，将桥式输送车20B设为空台车，将桥式输送车20A设为实台车，并设定为桥式输送车20A先于桥式输送车20B到达装置端口101的移载区域R，但相反，也可以将桥式输送车20A设为空台车，将桥式输送车20B设为实台车，并设定为桥式输送车20B先于桥式输送车20A到达装置端口101的移载区域R。在该情况下，与上述取放控制相比，除了将实的状态下的桥式输送车和空的状态下的顶棚行走车所行走的轨道调换外，都执行相同的取放控制。

[0078] 另外，在上述实施方式中，作为由控制器50取得从实的状态下的桥式输送车20A到达移载区域R之后至空的状态下的桥式输送车20B到达移载区域R为止的预计时间的方法，并不局限于由上位控制器51计算预计时间的方法，例如，控制器50可以向更上位的控制器询问，并从更上位的控制器接受预计时间的信息。

[0079] 另外，在上述实施方式中，设定为控制器50在判定为预计时间是规定时间以下时，执行第一取放控制，在判定为预计时间比规定时间长时，执行第二取放控制，但也可以设定为在判定为预计时间比规定时间短时，执行第一取放控制，在判定为预计时间为规定时间以上时，执行第二取放控制。

[0080] 另外，在上述实施方式中，设定为控制器50取得预计时间，并在判定为该预计时间是规定时间以下时，执行第一取放控制，在判定为该预计时间比规定时间长时执行第二取放控制。但是，也可以设定为，控制器50不取得该预计时间，而在桥式输送车20A到达了移载区域R的时刻执行第二取放控制。即，可以设定为优先于第一取放控制而执行第二取放控制。

[0081] 另外，在上述实施方式中，可以设定为，不取得该预计时间，而使桥式输送车20A在到达移载区域R之后待机规定时间(例如，10秒)，在桥式输送车20A在移载区域R待机期间，桥式输送车20B未到达移载区域R时，执行第二取放控制。此时，可以取代第二取放控制，控制桥式输送车20A、20B的动作，使桥式输送车20B开始以下动作(例如，将FOUP90A载置于保管架40的动作，或者在保持着FOUP90A的状态下在轨道上行走一周的动作)。

[0082] 另外，在联锁控制中，在上述实施方式中，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，在由桥式输送车20A执行装置端口侧移载动作或者保管部侧移载动作期间，禁止由桥式输送车20B执行装置端口侧移载动作或者保管部侧移载动作。但是，也可以设定为，控制器50控制桥式输送车20A、20B的动作，在由桥式输送车20B执行装置端口侧移载动作或者保管部侧移载动作期间，禁止由桥式输送车20A执行装置端口侧移载动作或者保管部侧移载动作。

[0083] 另外，在上述实施方式中，可以是不经由上位控制器51而由本地控制器52A、52B执行。即，联锁控制也可以是本地控制器52A、52B相互进行通信并由这些本地控制器52A、52B控制桥式输送车20A、20B。

[0084] 另外，在上述实施方式中，也可以是，除了第一轨道11A和第二轨道11B外，在从铅垂方向观察的情况下，第三轨道被设置于与第一轨道和第二轨道对齐的位置。即，也可以是三根轨道沿铅垂方向并设。具体而言，第三轨道可以沿第一轨道11A和第二轨道11B相对于第二轨道11B位于下方并相对于第二轨道11B沿铅垂方向排列设置，装置端口101位于第三轨道的一侧的侧方且下方的方式。在该结构中，与上述实施方式相同，能够使用上述取放控制和联锁控制。

[0085] 另外，在上述实施方式中，可以是四条以上的轨道沿铅垂方向并设。在该结构中，与上述实施方式相同，也能够使用上述取放控制和联锁控制。

[0086] 另外，在上述实施方式中，本发明的输送系统所输送的被输送物并不局限于收容有多个半导体晶片的FOUP90，也可以是收容有玻璃晶片、中间掩膜等的其它容器。另外，本发明的输送系统并不局限于半导体制造工厂，也能够用于其它施设。

[0087] 附图标记说明

[0088] 1…输送系统；11A…第一轨道；11B…第二轨道；20A、20B…桥式输送车；21…把持部；22…升降机构；23…移动机构；40a…保管部；50…控制器；90、90A、90B…FOUP(被输送物)；101…装置端口；R…移载区域。