分光器转让专利
申请号 : CN201680045280.5
文献号 : CN107923795B
文献日 : 2020-06-12
发明人 : 能野隆文 , 柴山胜己 , 加藤胜彦
申请人 : 浜松光子学株式会社
摘要 :
权利要求 :
1.一种分光器,其特征在于:
具备:
支撑体,具有设置有包含凹曲面状的内面的凹部以及与所述凹部相邻接的周边部的底壁部、以及相对于所述底壁部被配置于所述凹部开口的一侧的侧壁部;
光检测元件,以与所述凹部相对的状态被支撑于所述侧壁部;以及分光部,被配置于所述凹部的所述内面上,在从所述凹部和所述光检测元件互相相对的第1方向观察的情况下,构成所述分光部的多个光栅槽排列的第2方向上的所述凹部的长度大于垂直于所述第2方向的第3方向上的所述凹部的长度,在从所述第1方向观察的情况下,在所述第2方向上与所述凹部相邻接的所述周边部的面积大于在所述第3方向上与所述凹部相邻接的所述周边部的面积。
2.如权利要求1所述的分光器,其特征在于:所述侧壁部在从所述第1方向观察的情况下具有包围所述凹部以及所述周边部的环状的形状。
3.如权利要求1所述的分光器,其特征在于:所述周边部包含越是从所述凹部分开越是从所述光检测元件分开的倾斜面。
4.如权利要求2所述的分光器,其特征在于:所述周边部包含越是从所述凹部分开越是从所述光检测元件分开的倾斜面。
5.如权利要求1~4中的任意一项所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述分光部相对于所述凹部的中心偏向于所述第2方向上的一侧,在从所述第1方向观察的情况下,相对于所述凹部位于所述第2方向上的一侧的所述周边部的面积大于相对于所述凹部位于所述第2方向上的另一侧的所述周边部的面积。
6.如权利要求1~4中的任意一项所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,在所述第2方向上互相邻接的所述凹部与所述周边部的边界线沿着所述第3方向横截所述底壁部。
7.如权利要求5所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,在所述第2方向上互相邻接的所述凹部与所述周边部的边界线沿着所述第3方向横截所述底壁部。
8.如权利要求1~4中的任意一项所述的分光器,其特征在于:所述凹部的所述内面在所述第2方向以及所述第3方向的各个方向上弯曲成曲面状。
9.如权利要求5所述的分光器,其特征在于:所述凹部的所述内面在所述第2方向以及所述第3方向的各个方向上弯曲成曲面状。
10.如权利要求6所述的分光器,其特征在于:所述凹部的所述内面在所述第2方向以及所述第3方向的各个方向上弯曲成曲面状。
11.如权利要求7所述的分光器,其特征在于:所述凹部的所述内面在所述第2方向以及所述第3方向的各个方向上弯曲成曲面状。
12.如权利要求1~4中的任意一项所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,多个所述光栅槽向同一侧弯曲成曲线状。
13.如权利要求5所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,多个所述光栅槽向同一侧弯曲成曲线状。
14.如权利要求6所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,多个所述光栅槽向同一侧弯曲成曲线状。
15.如权利要求7所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,多个所述光栅槽向同一侧弯曲成曲线状。
16.如权利要求8所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,多个所述光栅槽向同一侧弯曲成曲线状。
17.如权利要求9所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,多个所述光栅槽向同一侧弯曲成曲线状。
18.如权利要求10所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,多个所述光栅槽向同一侧弯曲成曲线状。
19.如权利要求11所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,多个所述光栅槽向同一侧弯曲成曲线状。
20.如权利要求1~4中的任意一项所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
21.如权利要求5所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
22.如权利要求6所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
23.如权利要求7所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
24.如权利要求8所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
25.如权利要求9所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
26.如权利要求10所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
27.如权利要求11所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
28.如权利要求12所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
29.如权利要求13所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
30.如权利要求14所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
31.如权利要求15所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
32.如权利要求16所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
33.如权利要求17所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
34.如权利要求18所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
35.如权利要求19所述的分光器,其特征在于:所述凹部以及所述周边部的形状由所述支撑体的形状构成。
36.如权利要求1~4中的任意一项所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
37.如权利要求5所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
38.如权利要求6所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
39.如权利要求7所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
40.如权利要求8所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
41.如权利要求9所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
42.如权利要求10所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
43.如权利要求11所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
44.如权利要求12所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
45.如权利要求13所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
46.如权利要求14所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
47.如权利要求15所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
48.如权利要求16所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
49.如权利要求17所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
50.如权利要求18所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
51.如权利要求19所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
52.如权利要求20所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
53.如权利要求21所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
54.如权利要求22所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
55.如权利要求23所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
56.如权利要求24所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
57.如权利要求25所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
58.如权利要求26所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
59.如权利要求27所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
60.如权利要求28所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
61.如权利要求29所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
62.如权利要求30所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
63.如权利要求31所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
64.如权利要求32所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
65.如权利要求33所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
66.如权利要求34所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
67.如权利要求35所述的分光器,其特征在于:在从所述第1方向观察的情况下,所述侧壁部具有在所述第2方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第1侧壁、以及在所述第3方向上夹着所述凹部以及所述周边部而互相相对的一对第2侧壁。
68.如权利要求36所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
69.如权利要求37所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
70.如权利要求38所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
71.如权利要求39所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
72.如权利要求40所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
73.如权利要求41所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
74.如权利要求42所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
75.如权利要求43所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
76.如权利要求44所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
77.如权利要求45所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
78.如权利要求46所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
79.如权利要求47所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
80.如权利要求48所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
81.如权利要求49所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
82.如权利要求50所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
83.如权利要求51所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
84.如权利要求52所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
85.如权利要求53所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
86.如权利要求54所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
87.如权利要求55所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
88.如权利要求56所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
89.如权利要求57所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
90.如权利要求58所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
91.如权利要求59所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
92.如权利要求60所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
93.如权利要求61所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
94.如权利要求62所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
95.如权利要求63所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
96.如权利要求64所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
97.如权利要求65所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
98.如权利要求66所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
99.如权利要求67所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第1侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
100.如权利要求36所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
101.如权利要求37所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
102.如权利要求38所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
103.如权利要求39所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
104.如权利要求40所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
105.如权利要求41所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
106.如权利要求42所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
107.如权利要求43所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
108.如权利要求44所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
109.如权利要求45所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
110.如权利要求46所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
111.如权利要求47所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
112.如权利要求48所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
113.如权利要求49所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
114.如权利要求50所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
115.如权利要求51所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
116.如权利要求52所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
117.如权利要求53所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
118.如权利要求54所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
119.如权利要求55所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
120.如权利要求56所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
121.如权利要求57所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
122.如权利要求58所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
123.如权利要求59所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
124.如权利要求60所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
125.如权利要求61所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
126.如权利要求62所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
127.如权利要求63所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
128.如权利要求64所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
129.如权利要求65所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
130.如权利要求66所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
131.如权利要求67所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
132.如权利要求68所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
133.如权利要求69所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
134.如权利要求70所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
135.如权利要求71所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
136.如权利要求72所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
137.如权利要求73所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
138.如权利要求74所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
139.如权利要求75所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
140.如权利要求76所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
141.如权利要求77所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
142.如权利要求78所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
143.如权利要求79所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
144.如权利要求80所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
145.如权利要求81所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
146.如权利要求82所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
147.如权利要求83所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
148.如权利要求84所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
149.如权利要求85所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
150.如权利要求86所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
151.如权利要求87所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
152.如权利要求88所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
153.如权利要求89所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
154.如权利要求90所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
155.如权利要求91所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
156.如权利要求92所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
157.如权利要求93所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
158.如权利要求94所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
159.如权利要求95所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
160.如权利要求96所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
161.如权利要求97所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
162.如权利要求98所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
163.如权利要求99所述的分光器,其特征在于:互相相对的一对所述第2侧壁的内侧表面以越是从所述凹部以及所述周边部分开并且接近所述光检测元件越是互相分开的方式倾斜。
164.如权利要求1~4中的任意一项所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
165.如权利要求5所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
166.如权利要求6所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
167.如权利要求7所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
168.如权利要求8所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
169.如权利要求9所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
170.如权利要求10所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
171.如权利要求11所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
172.如权利要求12所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
173.如权利要求13所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
174.如权利要求14所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
175.如权利要求15所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
176.如权利要求16所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
177.如权利要求17所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
178.如权利要求18所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
179.如权利要求19所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
180.如权利要求20所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
181.如权利要求21所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
182.如权利要求22所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
183.如权利要求23所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
184.如权利要求24所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
185.如权利要求25所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
186.如权利要求26所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
187.如权利要求27所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
188.如权利要求28所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
189.如权利要求29所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
190.如权利要求30所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
191.如权利要求31所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
192.如权利要求32所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
193.如权利要求33所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
194.如权利要求34所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
195.如权利要求35所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
196.如权利要求36所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
197.如权利要求37所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
198.如权利要求38所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
199.如权利要求39所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
200.如权利要求40所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
201.如权利要求41所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
202.如权利要求42所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
203.如权利要求43所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
204.如权利要求44所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
205.如权利要求45所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
206.如权利要求46所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
207.如权利要求47所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
208.如权利要求48所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
209.如权利要求49所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
210.如权利要求50所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
211.如权利要求51所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
212.如权利要求52所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
213.如权利要求53所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
214.如权利要求54所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
215.如权利要求55所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
216.如权利要求56所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
217.如权利要求57所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
218.如权利要求58所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
219.如权利要求59所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
220.如权利要求60所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
221.如权利要求61所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
222.如权利要求62所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
223.如权利要求63所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
224.如权利要求64所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
225.如权利要求65所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
226.如权利要求66所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
227.如权利要求67所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
228.如权利要求68所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
229.如权利要求69所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
230.如权利要求70所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
231.如权利要求71所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
232.如权利要求72所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
233.如权利要求73所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
234.如权利要求74所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
235.如权利要求75所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
236.如权利要求76所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
237.如权利要求77所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
238.如权利要求78所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
239.如权利要求79所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
240.如权利要求80所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
241.如权利要求81所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
242.如权利要求82所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
243.如权利要求83所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
244.如权利要求84所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
245.如权利要求85所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
246.如权利要求86所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
247.如权利要求87所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
248.如权利要求88所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
249.如权利要求89所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
250.如权利要求90所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
251.如权利要求91所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
252.如权利要求92所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
253.如权利要求93所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
254.如权利要求94所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
255.如权利要求95所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
256.如权利要求96所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
257.如权利要求97所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
258.如权利要求98所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
259.如权利要求99所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
260.如权利要求100所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
261.如权利要求101所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
262.如权利要求102所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
263.如权利要求103所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
264.如权利要求104所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
265.如权利要求105所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
266.如权利要求106所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
267.如权利要求107所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
268.如权利要求108所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
269.如权利要求109所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
270.如权利要求110所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
271.如权利要求111所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
272.如权利要求112所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
273.如权利要求113所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
274.如权利要求114所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
275.如权利要求115所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
276.如权利要求116所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
277.如权利要求117所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
278.如权利要求118所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
279.如权利要求119所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
280.如权利要求120所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
281.如权利要求121所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
282.如权利要求122所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
283.如权利要求123所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
284.如权利要求124所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
285.如权利要求125所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
286.如权利要求126所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
287.如权利要求127所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
288.如权利要求128所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
289.如权利要求129所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
290.如权利要求130所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
291.如权利要求131所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
292.如权利要求132所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
293.如权利要求133所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
294.如权利要求134所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
295.如权利要求135所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
296.如权利要求136所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
297.如权利要求137所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
298.如权利要求138所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
299.如权利要求139所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
300.如权利要求140所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
301.如权利要求141所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
302.如权利要求142所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
303.如权利要求143所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
304.如权利要求144所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
305.如权利要求145所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
306.如权利要求146所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
307.如权利要求147所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
308.如权利要求148所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
309.如权利要求149所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
310.如权利要求150所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
311.如权利要求151所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
312.如权利要求152所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
313.如权利要求153所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
314.如权利要求154所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
315.如权利要求155所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
316.如权利要求156所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
317.如权利要求157所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
318.如权利要求158所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
319.如权利要求159所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
320.如权利要求160所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
321.如权利要求161所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
322.如权利要求162所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
323.如权利要求163所述的分光器,其特征在于:进一步具备被配置于所述凹部的所述内面上的第1反射部,在所述光检测元件,设置有光通过部、第2反射部以及光检测部,所述第1反射部反射通过了所述光通过部的光,所述第2反射部反射在所述第1反射部上被反射的光,所述分光部对在所述第2反射部上被反射的光进行分光并且进行反射,所述光检测部检测在所述分光部上被分光并且被反射的光。
324.一种分光器,其特征在于:
具备:
支撑体,具有底壁部、以及相对于所述底壁部被配置于一侧的侧壁部;
分光部,被配置于所述底壁部的所述一侧;
光检测元件,被配置于所述侧壁部中在与所述底壁部相反侧上所述支撑体的内侧的空间被加宽的第1加宽部;
罩,被配置于所述侧壁部中在与所述底壁部相反侧上所述第1加宽部的内侧的空间被加宽的第2加宽部;以及配线,电连接于所述光检测元件,并经由所述第1加宽部以及所述第2加宽部延伸至所述支撑体的外侧表面,所述第1加宽部的侧面以与所述第1加宽部的底面成钝角的方式倾斜,所述第2加宽部的侧面以与所述第2加宽部的底面成钝角的方式倾斜,所述支撑体的与所述底壁部相反侧的端面中至少配置有所述配线的区域比所述罩的与所述底壁部相反侧的表面更位于所述底壁部侧。
325.如权利要求324所述的分光器,其特征在于:在所述第1加宽部上互相相对的所述光检测元件的1个端子和所述配线的1个端部由多个凸点而被互相连接,多个所述凸点沿着构成所述分光部的多个光栅槽排列的方向进行排列。
326.如权利要求324所述的分光器,其特征在于:所述罩和所述光检测元件互相分开。
327.如权利要求325所述的分光器,其特征在于:所述罩和所述光检测元件互相分开。
328.如权利要求324~327中的任意一项所述的分光器,其特征在于:构成所述分光部的多个光栅槽排列的方向上的所述支撑体的热膨胀率小于垂直于多个所述光栅槽排列的方向以及所述分光部和所述光检测元件互相相对的方向这两个方向的方向上的所述支撑体的热膨胀率。
329.如权利要求324~327中的任意一项所述的分光器,其特征在于:在所述第1加宽部的所述侧面与所述光检测元件之间填充有由树脂构成的构件。
330.如权利要求328所述的分光器,其特征在于:在所述第1加宽部的所述侧面与所述光检测元件之间填充有由树脂构成的构件。
331.如权利要求324~327中的任意一项所述的分光器,其特征在于:在所述第2加宽部的所述侧面与所述罩之间填充有由树脂构成的构件。
332.如权利要求328所述的分光器,其特征在于:在所述第2加宽部的所述侧面与所述罩之间填充有由树脂构成的构件。
333.如权利要求329所述的分光器,其特征在于:在所述第2加宽部的所述侧面与所述罩之间填充有由树脂构成的构件。
334.如权利要求330所述的分光器,其特征在于:在所述第2加宽部的所述侧面与所述罩之间填充有由树脂构成的构件。
说明书 :
分光器
技术领域
背景技术
发明内容
附图说明
具体实施方式
15而被互相连接(总之,物理性地被互相分开)。凹部14的内面14a和另一方的第1侧壁17的内侧表面17a经由周边部16而被互相连接(总之,物理性地被互相分开)。凹部14的内面14a和各个第2侧壁18的内侧表面18a经由面与面的交线(角、弯曲部位等)而被互相连接。这样,凹部14的内面14a和侧壁部13的各个内侧表面17a,18a以不连续的状态(物理性地互相分开的状态、经由面与面的交线而被互相连接的状态等)被互相连接。在从Z轴方向观察的情况下,在X轴方向上互相邻接的凹部14与周边部15的边界线19沿着Y轴方向横截底壁部12(参照图4)。总之,边界线19的两端到达各个第2侧壁18的内侧表面18a。
36与配线11的第1端部11a的连接部的方式配置例如由树脂构成的增强构件7。这样,光检测元件30以与凹部14相对的状态被安装于侧壁部13,并且被支撑于侧壁部13。还有,在分光器
1中,Z轴方向为凹部14和光检测元件30互相相对的第1方向。
18的内侧表面18a相接触的部分44的全体、以及到达周边部15的部分45的一部分。总之,构成第1反射部51以及分光部52的反射层50以不间断的状态被配置于树脂层40上。
15,16侧相对减小该部分上的树脂层40的厚度并在光检测元件30侧相对增大该部分上的树脂层40的厚度,从而既能够抑制应力作用于分光部52又能够抑制树脂层40从支撑体10发生剥离。另外,在制造分光器1的时候能够容易地实施成形模具6的脱模。
还有,支撑体10的端面10a的全体也可以比罩20的表面20a更位于底壁部12侧。
2方向的第3方向)上的支撑体10的热膨胀率以下(更加优选X轴方向上的支撑体10的膨胀率小于Y轴方向上的支撑体10的热膨胀率)。总之,在将X轴方向上的支撑体10的热膨胀率设定为α并且将Y轴方向上的支撑体10的热膨胀率设定为β的情况下满足α≤β的关系(更加优选满足α<β的关系)。由此,能够抑制分光部52上的多个光栅槽52a与光检测元件30的光检测部33上的多个光检测通道的位置关系由于支撑体10的热膨胀而发生偏离。
36、1个第1端部11a以及多个凸点61的组合也可以在Y轴方向上被设置多组。由此,能够抑制分光部52上的多个光栅槽52a与光检测元件30的光检测部33上的多个光检测通道的位置关系由于例如支撑体10的热膨胀等而发生偏离。另外,通过配置二维凸点61从而与将凸点61配置成1列的情况相比可以使用的空间能够有余量,所以能够充分确保各个端子36的面积。
34的0次光L0的光路被形成的空间)在至少在一个方向(例如X轴方向)上被加宽的台阶部的话即可,既可以以一个阶进行构成也可以以多个阶进行构成。同样,第2加宽部13b只要是在与底壁部12相反侧上第1加宽部13a在至少在一个方向(例如X轴方向)上被加宽的台阶部的话即可,既可以以一个阶进行构成也可以以多个阶进行构成。光检测部33作为背面入射型的光电二极管来进行构成,在多个端子36被设置于基板35上的与表面35a相反侧的表面的情况下,在各个端子36由引线接合而与所对应的配线11的第1端部11a相电连接的时候各个配线11的第1端部11a也可以被配置于以多个阶进行构成的第1加宽部13a中的与配置有光检测元件30的阶不同的阶(比配置有光检测元件30的阶更外侧且更上侧的阶)。