基于配置方案间的一致性的配置方案选择

摘要

本发明公开了一种方法，所述方法包括：确定多个衬底测量配置方案中的一个衬底测量配置方案与该多个衬底测量配置方案中的每个另一衬底测量配置方案之间的配置方案一致性；计算所述配置方案一致性的函数；如果所述函数符合标准，则从所述多个衬底测量配置方案去除所述一个衬底测量配置方案；和重复所述确定、计算以及去除步骤直至符合终止条件为止。本发明中也公开了一种衬底测量设备，所述衬底测量设备包括：储存器，配置成储存多个衬底测量配置方案；和处理器，配置成基于所述多个衬底测量配置方案之间的配置方案一致性从所述多个衬底测量配置方案选择一个或更多个衬底测量配置方案。