掩膜板运输装置

摘要

本发明公开一种掩膜板运输装置，其中该掩膜板运输装置包括运输架、设于运输架的连杆机构、及设于所述运输架内的至少一个安装板和夹紧件，所述连杆机构与夹紧件传动连接，所述夹紧件与所述安装板间隔设置，所述连杆机构驱动连接所述夹紧件远离或靠近所述安装板，当掩膜板的一侧抵接于所述安装板时，所述连杆机构驱动所述夹紧件靠近所述安装板，并将所述夹紧件抵接于所述掩膜板背离安装板的一侧。本发明的掩膜板运输装置便于掩膜板固定放置和取出，并可减少掩膜板运输过程中的震动，保证掩膜板的精度。

权利要求

1.一种掩膜板运输装置，其特征在于，包括运输架、设于运输架的连杆机构、及设于所述运输架内的至少一个安装板和夹紧件，所述连杆机构与夹紧件传动连接，所述夹紧件与所述安装板间隔设置，所述连杆机构驱动所述夹紧件靠近所述安装板，并将所述夹紧件抵接于所述掩膜板背离安装板的一侧，所述安装板竖直设于所述运输架内，所述安装板包括两个间隔设置的安装块，两个所述安装块分别竖直设于所述运输架的两端，所述掩膜板的边沿抵接于两个所述安装块，所述安装板为多个且间隔置于所述运输架内，对应的所述夹紧件为多个，每两个夹紧件分别置于一安装板两端的安装块处，所述连杆机构为两个，位于每一安装板同一端的夹紧件同时连接一连杆结构。

2.如权利要求1所述的掩膜板运输装置，其特征在于，所述连杆机构包括活动杆和铰接于所述活动杆的多个连杆，每一连杆远离所述活动杆的一端连接一对应的夹紧件。

3.如权利要求2所述的掩膜板运输装置，其特征在于，所述夹紧件为凸轮，所述连杆连接所述凸轮，以带动所述凸轮翻转或来回移动。

4.如权利要求3所述的掩膜板运输装置，其特征在于，所述凸轮为偏心轮。

5.如权利要求2所述的掩膜板运输装置，其特征在于，所述夹紧件为夹爪，所述连杆固定连接所述夹爪的一端，以带动夹爪翻转或来回移动。

6.如权利要求5所述的掩膜板运输装置，其特征在于，所述夹爪开设有与掩膜板边沿相适应的缺口，所述夹爪靠近所述安装板时，所述掩膜板的边沿容置于所述缺口。

7.如权利要求2所述的掩膜板运输装置，其特征在于，该掩膜板运输装置还包括多个滚轮，所述滚轮设于所述运输架。

说明书

掩膜板运输装置

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种掩膜板运输装置。

背景技术

[0002] 掩膜板是半导体行业中最重要且很昂贵的辅助工具之一，掩膜板的制作，运输，储存都相当“娇贵”，且一旦损伤，对产品的质量有着致命的损伤，掩膜板本身修补也是一个很精细的任务，最重要的是掩膜板出现异常有可能会影响一款产品的正常生产，故保证掩膜板的质量尤为重要。目前掩膜板运输一般通过货架运输，在运输的过程中由于震动等原因会造成掩膜板的损伤，从而影响其精度，并且掩膜板在取出和放置货架时，也非常不便。

发明内容

[0003] 本发明的主要目的是提供一种掩膜板运输装置，旨在便于掩膜板固定放置和取出，并可减少掩膜板运输过程中的震动，保证掩膜板的精度。

[0004] 为实现上述目的，本发明提出一种掩膜板运输装置，该掩膜板运输装置包括运输架、设于运输架的连杆机构、及设于所述运输架内的至少一个安装板和夹紧件，所述连杆机构与夹紧件传动连接，所述夹紧件与所述安装板间隔设置，所述连杆机构驱动连接所述夹紧件远离或靠近所述安装板，当掩膜板的一侧抵接于所述安装板时，所述连杆机构驱动所述夹紧件靠近所述安装板，并将所述夹紧件抵接于所述掩膜板背离安装板的一侧。

[0005] 优选地，所述安装板竖直设于所述运输架内。

[0006] 优选地，所述安装板包括两个间隔设置的安装块，两个所述安装块分别竖直设于所述运输架的两端，所述掩膜板的边沿抵接于两个所述安装块。

[0007] 优选地，所述安装板为多个且间隔置于所述运输架内，对应的所述夹紧件为多个，每两个夹紧件分别置于一安装板两端的安装块处，所述连杆机构为两个，位于每一安装板同一端的夹紧件同时连接一连杆结构。

[0008] 优选地，所述连杆机构包括活动杆和铰接于所述活动杆的多个连杆，每一连杆远离所述活动杆的一端连接一对应的夹紧件。

[0009] 优选地，所述夹紧件为凸轮，所述连杆连接所述凸轮，以带动所述凸轮翻转或来回移动。

[0010] 优选地，所述凸轮为偏心轮。

[0011] 优选地，所述夹紧件为夹爪，所述连杆固定连接所述夹爪的一端，以带动夹爪翻转或来回移动。

[0012] 优选地，所述夹爪开设有与掩膜板边沿相适应的缺口，所述夹爪靠近所述安装板时，所述掩膜板的边沿容置于所述缺口。

[0013] 优选地，该掩膜板运输装置还包括多个滚轮，所述滚轮设于所述运输架。

[0014] 本发明通过运输架、设于运输架的连杆机构、及设于所述运输架内的至少一个安装板和夹紧件，所述连杆机构与夹紧件传动连接，所述夹紧件与所述安装板间隔设置，所述连杆机构驱动连接所述夹紧件远离或靠近所述安装板，当掩膜板的一侧抵接于所述安装板时，所述连杆机构驱动所述夹紧件靠近所述安装板，并将所述夹紧件抵接于所述掩膜板背离安装板的一侧，以此使掩膜板便于固定放置和取出，并可减少掩膜板运输过程中的震动，保证掩膜板的精度。

附图说明

[0015] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

[0016] 图1为本发明掩膜板运输装置一实施例的结构示意图；

[0017] 图2为图1掩膜板运输装置翻转后，夹紧件松开掩膜板的结构示意图；

[0018] 图3为本发明掩膜板运输装置另一实施例的结构示意图。

[0019] 附图标号说明：

[0020]标号 名称 标号 名称
10 运输架 40 夹紧件
20 连杆机构 41 凸轮
21 活动杆 42 夹爪
22 连杆 421 缺口
30 安装板 50 滚轮
31 安装块 60 掩膜板

[0021] 本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

[0022] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0023] 需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

[0024] 在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

[0025] 另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

[0026] 本发明提出一种掩膜板运输装置。

[0027] 参照图1和图2，在本发明一实施例中，该掩膜板运输装置包括运输架10、设于运输架10的连杆机构20、及设于所述运输架10内的至少一个安装板30和夹紧件40，所述连杆机构20与夹紧件40传动连接，所述夹紧件40与所述安装板30间隔设置，所述连杆机构20驱动连接所述夹紧件40远离或靠近所述安装板30，当掩膜板60的一侧抵接于所述安装板30时，所述连杆机构20驱动所述夹紧件40靠近所述安装板30，并将所述夹紧件40抵接于所述掩膜板60背离安装板30的一侧。

[0028] 上述的运输架10可为框架结构，也可为密封的柜体结构；掩膜板60一端抵接于安装板30，另一端通过夹紧件40抵接，使掩膜板60紧固于安装板30上不偏移，保证掩膜板60在运输过程中的稳定性，并且通过连杆机构20使夹紧件40可松开或夹紧掩膜板60，不需要人工操作，方便快捷，并可保证掩膜板 60的精度。其中连杆机构20通过外部电机驱动运行，夹紧件40可一端铰接于连接运输架10内，另一端与连杆机构20固定连接或铰接，通过连杆机构20带动夹紧件40进行翻转移动，使夹紧件40远离或靠近安装板30，以松开或卡紧置于安装板30上的掩膜板60；其中夹紧件40还可一端滑动连接于运输架10内壁，另一端与连杆机构20固定连接或铰接，通过连杆机构20带动夹紧件40进行来回移动，以远离或靠近安装板30，进行松开或卡紧置于安装板30上的掩膜板60。其中的安装板30上可设有定位结构，使掩膜板60可精准的置于安装板 30上，并提高夹紧件40对掩膜板60固定的稳定性；再进一步地，安装板30上可通过增加粗糙度，使掩膜板60与安装板30抵接更稳定；进一步增强掩膜板 
60通过该掩膜板运输装置运输的稳定性；更进一步地，夹紧件40与掩膜板60 接触面可采用橡胶垫增强两者接触的紧密度。

[0029] 本发明一实施例通过运输架10、设于运输架10的连杆机构20、及设于所述运输架10内的至少一个安装板30和夹紧件40，所述连杆机构20与夹紧件 40传动连接，所述夹紧件
40与所述安装板30间隔设置，所述连杆机构20驱动连接所述夹紧件40远离或靠近所述安装板30，当掩膜板60的一侧抵接于所述安装板30时，所述连杆机构20驱动所述夹紧件40靠近所述安装板30，并将所述夹紧件40抵接于所述掩膜板60背离安装板30的一侧，以此使掩膜板60便于固定放置和取出，并可减少掩膜板60运输过程中的震动，便于实现自动化，可防止人员接触掩膜板60，保证掩膜板60精度，并提高整体效率。

[0030] 优选地，所述安装板30竖直设于所述运输架10内。以此使掩膜板60呈竖直放置抵接于安装板30，保证掩膜板60在运输过程中的平坦度和精度不受影响。

[0031] 优选地，所述安装板30包括两个间隔设置的安装块31，两个所述安装块 31分别竖直设于所述运输架10的两端，所述掩膜板60的边沿抵接于两个所述安装块31。优选安装块31设于掩膜板60的上下边沿，通过两个安装块31抵接于掩膜板60的边沿，可降低掩膜板60运输过程中的震动，保证掩膜板60的精度。

[0032] 进一步地，所述安装板30为多个且间隔置于所述运输架10内，对应的所述夹紧件40为多个，每两个夹紧件40分别置于一安装板30两端的安装块31 处，所述连杆机构20为两个，位于每一安装板30同一端的夹紧件40同时连接一连杆结构20。

[0033] 通过两个夹紧件40进一步增强掩膜板60抵接于安装板30的紧固性，使掩膜板60通过该掩膜板运输装置运输更稳定，不影响掩膜板60的精度。

[0034] 优选地，所述连杆机构20包括活动杆21和铰接于所述活动杆21的多个连杆22，每一连杆22远离所述活动杆21的一端连接一对应的夹紧件40。

[0035] 上述的活动杆21可在外部电机的带动下来回移动，连杆22在活动杆21的带动下也同步偏移，以驱动夹紧件40移动，使夹紧件40夹紧或松开抵接于安装板30的掩膜板60。

[0036] 具体地，掩膜板60通过掩膜板运输装置运输至固定位置场端后，通过外部设备将掩膜板运输装置整体翻转，使掩膜板60呈水平状态置于水平的安装板30 上，以便于夹紧件40松开掩膜板60时，掩膜板60稳定置于安装板30上，便于掩膜板60进行取出，保证掩膜板60运输过程中的安全稳定性，提高其精度。

[0037] 另一实施例为：所述夹紧件40为凸轮41，所述连杆22连接所述凸轮41，以带动所述凸轮41翻转或来回移动。

[0038] 其中的所述凸轮41优选为偏心轮，凸轮41采用不规则曲线，凸轮41翻转的最高点与最低点可满足对安装板30上的掩膜板60进行夹紧和松开，进一步可实现外部的机器设备进行取放掩膜板60时不干涉。通过连杆22与凸轮41中心一端固定，另一端通过活动杆21铰接，实现多个连杆22联动，凸轮41在连杆22的带动下旋转至最低点，进行松开掩膜板60，在凸轮41在连杆22的带动下旋转至最高点，进行夹紧掩膜板60，并加紧锁死，保证固定。

[0039] 参照图3，另一实施例为，所述夹紧件40为夹爪42，所述连杆22固定连接所述夹爪42的一端，以带动夹爪42翻转或来回移动。进一步地，所述夹爪 42开设有与掩膜板60边沿相适应的缺口421，所述夹爪42靠近所述安装板30 时，所述掩膜板60的边沿容置于所述缺口421。

[0040] 通过缺口421可保证夹爪42在夹紧掩膜板60时，掩膜板60边沿的垂直面和侧面与缺口421的内壁紧密抵接，使掩膜板60进行锁死，防止其移动，提高掩膜板60在运输过程中的稳定性。

[0041] 优选地，该掩膜板运输装置还包括多个滚轮50，所述滚轮50设于所述运输架10。

[0042] 上述的滚轮50优选为四个，分别设于运输架10底部的四个角处，通过滚轮50便于运输架10移动，进一步地，滚轮50可才有橡胶材质，以减小移动过程中的震动，保证掩膜板60运输过程中的精度不受影响，保证掩膜板60的精度。

[0043] 以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。